CN111494977B - 一种剥离废液回收系统和回收方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种剥离废液回收系统和回收方法，回收系统包括精馏塔、刮膜蒸发器、第一热交换器、第二热交换器和第三热交换器；刮膜蒸发器第二出口用于输出重组分；第一热交换器的第一热媒出口用于输出中间组分；精馏塔第一出口与第二热交换器连通后分两通路，其中一通路用于输出轻组分。回收方法包括如下步骤：剥离废液经热交换后精馏：塔顶流股热交换后分两部分，其中一部分为轻组分；塔底流股分两部分：其中一部分蒸发后再分两部分，其中一部分为重组分；从塔中抽出汽相的中间流股与剥离废液热交换得冷凝后的中间组分。本发明使用一个精馏塔完成对剥离废液中轻组分与重组分的去除，工艺流程短，管道简单，设备少，有效减小占地、降低真空泵负荷。

Description

一种剥离废液回收系统和回收方法

技术领域

本发明涉及废有机溶剂回收技术领域，具体涉及一种剥离废液回收系统和回收方法。

背景技术

光电半导体行业使用有机溶剂或有机溶剂水溶液对光阻胶进行剥离，使用后的有机溶剂或有机溶剂水溶液称为剥离废液。剥离废液一般溶解有<5wt％的光阻胶，在升温、浓缩的情况下，光阻胶会析出附着在设备和管道上，影响剥离废液回收装置的正常运行。

所述剥离废液主要成分是MEA(monoethanolamine，一乙醇胺)、BDG(2-(2-Butoxyethoxy)ethanol，二乙二醇单丁醚)、重组分(主要是光阻胶)、轻组分(主要是水)。剥离废液回收装置目前普遍采用、且较可靠的手段是通过精馏去除剥离废液中的轻组分和重组分，剩下的有机物回收再利用。CN105523598A为阶段性变压精馏塔回收光刻胶剥离液的方法，其具体步骤为：(1)向光刻胶剥离液中加入活性炭脱色并吸附金属离子，经分离后，得到初级再生液；(2)所得初级再生液在氮气氛和抗氧化剂保护下经过四次精馏得到光刻胶剥离液合格品，现有的剥离废液回收装置所用精馏工艺含有2至4个精馏塔，建成后占地面积广，设备多，管路复杂。剥离废液中需回收再利用的有机物沸点高，剥离废液回收装置要求在负压状态下操作，通过降低压力降低有机物的沸点，从而降低对再沸器加热用的蒸汽的压力。采用2个以上精馏塔的精馏工艺增加了剥离废液回收装置的容积，要求更大功率的真空泵与之匹配。

发明内容

本发明的目的在于提供一种剥离废液回收系统和回收方法，以解决现有技术中剥离废液回收装置所用精馏工艺含有2至4个精馏塔，建成后占地面积广，设备多，管路复杂，真空泵负荷大的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明实施例第一方面提供一种剥离废液回收系统，包括精馏塔、刮膜蒸发器、第一热交换器、第二热交换器和第三热交换器；

所述精馏塔内设有汽相抽出单元；所述精馏塔还设有：精馏塔第一进口，设于所述精馏塔的中部；精馏塔第二进口，设于所述精馏塔的上部；精馏塔第三进口，设于所述精馏塔的下部；精馏塔第四进口，设于所述精馏塔的下部；精馏塔第一出口，设于所述精馏塔的顶部；精馏塔第二出口，设于所述精馏塔的底部；

所述刮膜蒸发器设有刮膜蒸发器进口、刮膜蒸发器第一出口和刮膜蒸发器第二出口；所述刮膜蒸发器第一出口设于所述刮膜蒸发器的顶部；所述刮膜蒸发器第一出口与所述精馏塔第四进口连通，形成回流；所述刮膜蒸发器第二出口设于所述刮膜蒸发器的底部，用于输出重组分；

所述第一热交换器设有第一冷媒进口、第一冷媒出口、第一热媒进口和第一热媒出口，所述第一冷媒进口用于通入剥离废液，所述第一冷媒出口与所述精馏塔第一进口连通，所述汽相抽出单元与所述第一热媒进口连通，所述第一热媒出口用于输出中间组分；

所述精馏塔第一出口与所述第二热交换器连通后分两通路：一通路与所述精馏塔第二进口连通，形成回流，另一通路用于输出轻组分；

所述精馏塔第二出口分两通路：一通路经所述第三热交换器与所述精馏塔第三进口连通，形成回流；另一通路与所述刮膜蒸发器进口连通。

上述剥离废液回收系统使用一个精馏塔完成对剥离废液中轻组分与重组分的去除，工艺流程短，管道简单，设备少，能有效减小占地面积、降低真空泵负荷。剥离废液中光阻胶等重组分在精馏塔中从上往下集中，最终在刮膜蒸发器底部汇聚后流出，整个系统流程短，能有效降低光阻胶在设备和管道上附着的机率，提高剥离废液回收系统连续运转时间。

优选地，所述剥离废液回收系统还包括如下技术特征中的至少一项：

1)还包括第一泵和/或第一储罐，所述第一泵和/或所述第一储罐设于所述第二热交换器分两通路之前的通路上。

第一泵用于将通入的流体增压后分两部分，一部分输出轻组分，另一部分回流至精馏塔。第一储罐用于缓冲、存储通入的流体。

2)还包括第二泵和/或第二储罐，所述第二泵和/或第二储罐设于连接所述第一热媒出口的通路上。

第二泵用于将通入的流体增压后输出中间组分。第二储罐用于缓冲、存储通入的流体。

优选地，所述剥离废液回收系统还包括如下技术特征中的至少一项：

a)还包括第四热交换器，所述第四热交换器设有第四热交换器气相出口和第四热交换器液相出口；

所述第二热交换器设有第二热交换器气相出口和第二热交换器液相出口；

所述第二热交换器气相出口与所述第四热交换器连通；

所述第四热交换器液相出口与所述第二热交换器液相出口经管道合并后再分两通路或者经管道合并后再经所述第一泵和/或所述第一储罐后再分两通路；

所述两通路为：一通路与所述精馏塔第二进口连通，形成回流，另一通路用于输出轻组分；

所述第四热交换器气相出口用于输出不凝气。

第二热交换器气相出口与第四热交换器连通，用于冷凝通入的流体，第二热交换器液相出口用于输出冷凝后的液体。第四热交换器用于进一步冷凝通入的流体，第四热交换器液相出口用于输出冷凝后的液体，冷凝后的液体可回流至精馏塔进一步精馏处理；第四热交换器气相出口用于输出不凝气，不凝气排出，进一步提高系统的处理效果。

b)还包括第五热交换器，所述第五热交换器设有第五热交换器气相出口和第五热交换器液相出口；

所述第一热媒出口设有第一热媒气相出口和第一热媒液相出口；

所述第一热媒气相出口与所述第五热交换器连通；

所述第五热交换器液相出口与所述第一热媒液相出口经管道合并后输出中间组分或者经管道合并后再经所述第二泵和/或所述第二储罐后输出中间组分；

所述第五热交换器气相出口用于输出不凝气。

第一热媒气相出口与第五热交换器连通，用于冷凝通入的流体，第一热媒液相出口用于输出冷凝后的液体。第五热交换器用于进一步冷凝通入的流体，第五热交换器液相出口用于输出冷凝后的液体，冷凝后的液体为中间组分，可进一步得到回收利用；第五热交换器气相出口用于输出不凝气，不凝气排出，进一步提高系统的处理效果。

更优选地，所述剥离废液回收系统还包括如下技术特征中的至少一项：

11)特征1)中，还包括第四热交换器，所述第四热交换器设有第四热交换器气相出口和第四热交换器液相出口；

所述第一储罐还设有第一储罐气相出口；

所述第一储罐气相出口与所述第四热交换器连通，所述第四热交换器液相出口与所述第一储罐连通，所述第四热交换器气相出口用于输出不凝气。

第一储罐用于气液分离，分离后的气相从第一储罐气相出口排出。第四热交换器用于进一步冷凝通入的流体，冷凝后的液体可回流至精馏塔进一步精馏处理，不凝气排出，进一步提高系统的处理效果。第四热交换器气相出口用于输出不凝气，第四热交换器液相出口用于输出冷凝后的液体。

21)特征2)中，还包括第五热交换器，所述第五热交换器设有第五热交换器气相出口和第五热交换器液相出口；

所述第二储罐还设有第二储罐气相出口；

所述第二储罐气相出口与所述第五热交换器连通，所述第五热交换器液相出口与所述第二储罐连通，所述第五热交换器气相出口用于输出不凝气。

第二储罐用于气液分离，分离后的气相从第二储罐气相出口排出。第五热交换器用于进一步冷凝通入的流体，冷凝后的液体可进一步得到回收利用，不凝气排出，进一步提高系统的处理效果。第五热交换器气相出口用于输出不凝气，第五热交换器液相出口用于输出冷凝后的液体。

优选地，所述剥离废液回收系统还包括如下技术特征中的至少一项：

1)还包括第三泵，所述第三泵设于所述精馏塔第一出口和/或设于所述汽相抽出单元的通路上。第三泵用于维持剥离废液回收系统的真空度。

2)还包括相连通的第三储罐和第三泵，所述第三泵与所述第三储罐设于所述精馏塔第一出口的通路上。

第三储罐为真空缓冲罐，用于稳定剥离废液回收系统压力(真空度)。为有效控制工作压力，可通入惰性气体，当压力过低时，往剥离废液回收系统补充惰性气体，适当调高压力。

3)还包括相连通的第四储罐和第三泵，所述第三泵与所述第四储罐设于所述汽相抽出单元的通路上。

第四储罐为真空缓冲罐，用于稳定剥离废液回收系统压力。为有效控制工作压力，可通入惰性气体，当压力过低时，往剥离废液回收系统补充惰性气体，适当调高压力。

优选地，所述剥离废液回收系统还包括如下技术特征中的至少一项：

1)还包括第四泵，所述精馏塔第二出口经所述第四泵连通后再分两通路：一通路经所述第三热交换器与所述精馏塔第三进口连通，形成回流；另一通路与所述刮膜蒸发器进口连通。

第四泵用于将通入流体增压输入至第三热交换器及刮膜蒸发器。

2)还包括第五储罐和/或第五泵；

所述第五储罐和/或所述第五泵设于连接所述第一冷媒进口的通路上。

第五储罐用于存储剥离废液。第五泵用于将剥离废液增压输入至下一个装置。

3)还包括第六储罐和/或第六泵；

所述第六储罐和/或所述第六泵设于连接所述刮膜蒸发器第二出口的通路上。

第六储罐用于存储重组分。第六泵用于将重组分增压输出。

4)所述精馏塔为填料精馏塔或板式精馏塔。

5)所述第三热交换器为降膜蒸发器、虹吸式再沸器或釜式再沸器。

6)所述精馏塔第一进口位于所述汽相抽出单元上方；优选地，所述精馏塔第一进口与所述汽相抽出单元之间的填料高度为1m～6m，或者所述精馏塔第一进口与所述汽相抽出单元之间设有与1m～6m填料高度分离效果等同的数层塔板。利于剥离废液中轻组分与重组分的分离。

本发明实施例第二方面提供一种剥离废液回收方法，包括如下步骤：

所述剥离废液经热交换处理被加热后经精馏塔精馏：

从塔顶获得塔顶流股；所述塔顶流股进行热交换处理被冷凝后分两部分：一部分回流至所述精馏塔，另一部分为轻组分；

从塔底获得塔底流股；所述塔底流股分两部分：一部分进行热交换处理后回流至所述精馏塔，另一部分进行蒸发处理后再分两部分，一部分回流至所述精馏塔，另一部分为重组分，所述重组分输出；

从塔中抽出汽相的中间流股，所述中间流股与所述剥离废液进行热交换处理，以提供冷凝后的中间组分和加热后的剥离废液。

本实施例剥离废液回收方法使用一个精馏塔完成对剥离废液中轻组分与重组分的去除，工艺流程短，管道简单，设备少，能有效减小占地面积、降低真空泵负荷。剥离废液中光阻胶等重组分在精馏塔中从上往下集中，最终进行蒸发处理获得重组分，方法流程短，能有效降低光阻胶在设备和管道上附着的机率，提高剥离废液回收方法连续运转时间。

优选地，所述剥离废液回收方法还包括如下技术特征中的至少一项：

1)所述塔顶流股进行热交换处理被冷凝后，经第一泵和/或第一储罐后分两部分：一部分回流至所述精馏塔，另一部分为轻组分。

第一泵用于将通入的流体增压后分两部分，一部分输出轻组分，另一部分回流至精馏塔。第一储罐用于缓冲、存储通入的流体。

2)所述中间流股进行热交换处理被冷凝后，通入第二泵和/或第二储罐，从第二泵或第二储罐输出中间组分。

第二泵用于将通入的流体增压后输出中间组分。第二储罐用于缓冲、存储通入的流体。

优选地，所述剥离废液回收方法还包括如下技术特征中的至少一项：

a)所述塔顶流股进行热交换处理，以提供塔顶热交换气相流股和塔顶热交换液相流股；

所述塔顶热交换气相流股进行热交换处理，以提供第一气相流股和第一液相流股；

所述第一液相流股与所述塔顶热交换液相流股混合后分成两部分；或者，所述第一液相流股与所述塔顶热交换液相流股混合后经第一泵和/或第一储罐分成两部分；

所述两部分为：一部分回流至所述精馏塔，另一部分为轻组分；

所述第一气相流股为不凝气。

塔顶热交换气相流股进行热交换处理，目的是进一步冷凝通入的流体，冷凝后的液体可进一步得到回收利用，不凝气排出，进一步提高系统的处理效果。

b)所述中间流股进行热交换处理，以提供塔中热媒气相流股和塔中热媒液相流股；

所述塔中热媒气相流股进行热交换处理，以提供第二气相流股和第二液相流股；

所述第二液相流股与所述塔中热媒液相流股混合后获得冷凝后的中间组分；或者，所述第二液相流股与所述塔中热媒液相流股混合后经第二泵和/或第二储罐，从第二泵或第二储罐输出冷凝后的中间组分；

所述第二气相流股为不凝气。

塔中热媒气相流股进行热交换处理，目的是进一步冷凝通入的流体，冷凝后的液体可进一步得到回收利用，不凝气排出，进一步提高系统的处理效果。

更优选地，所述剥离废液回收方法还包括如下技术特征中的至少一项：

11)所述塔顶流股进行热交换处理被冷凝后，经所述第一储罐，以提供第一储罐气相流股和第一储罐液相流股；

所述第一储罐气相流股进行热交换处理，以提供第一气相流股和第一液相流股；

所述第一液相流股回流至所述第一储罐，与所述第一储罐液相流股混合；

所述第一气相流股为不凝气。

第一储罐用于气液分离，分离得到第一储罐气相流股。第一储罐气相流股进行热交换处理，目的是进一步冷凝通入的流体，冷凝后的液体可进一步得到回收利用，不凝气排出，进一步提高系统的处理效果。

21)所述中间流股进行热交换处理被冷凝后，经所述第二储罐，以提供第二储罐气相流股和第二储罐液相流股；

所述第二储罐气相流股进行热交换处理，以提供第二气相流股和第二液相流股；

所述第二液相流股回流至所述第二储罐，与所述第二储罐液相流股混合；

所述第二气相流股为不凝气。

第二储罐用于气液分离，分离得到第二储罐气相流股。第二储罐气相流股进行热交换处理，目的是进一步冷凝通入的流体，冷凝后的液体可进一步得到回收利用，不凝气排出，进一步提高系统的处理效果。

更优选地，所述剥离废液回收方法还包括如下技术特征中的至少一项：

1)所述第一储罐经第三储罐和第三泵提供真空度，从第三泵的出口获得不凝气。第三储罐为真空缓冲罐，用于稳定剥离废液回收系统压力(真空度)。

2)所述第二储罐经第四储罐和第三泵提供真空度，从第三泵的出口获得不凝气。第四储罐为真空缓冲罐，用于稳定剥离废液回收系统压力。

上述不凝气是指物料中溶解的空气、从接头处泄漏进系统的空气等在操作条件不能凝结的气体。

上述技术方案具有下列技术效果：

1)本发明实施例剥离废液回收系统和回收方法使用一个精馏塔完成对剥离废液中轻组分与重组分的去除，工艺流程短，管道简单，设备少，能有效减小占地面积、降低真空泵负荷；

2)本发明实施例使剥离废液中光阻胶等重组分在精馏塔中从上往下集中，最终在刮膜蒸发器底部汇聚后流出，整个流程短，能有效降低光阻胶在设备和管道上附着的机率，提高剥离废液回收系统连续运转时间。

附图说明

图1为本发明第一实施例剥离废液回收系统示意图。

图2为本发明第二实施例剥离废液回收系统示意图。

图3为本发明第三实施例剥离废液回收系统示意图。

图4为本发明第四实施例剥离废液回收系统示意图。

附图标记

10 精馏塔

11 汽相抽出单元

12 精馏塔第一进口

13 精馏塔第二进口

14 精馏塔第三进口

15 精馏塔第四进口

16 精馏塔第一出口

17 精馏塔第二出口

20 刮膜蒸发器

21 刮膜蒸发器进口

22 刮膜蒸发器第一出口

23 刮膜蒸发器第二出口

30 第一热交换器

311 第一冷媒进口

312 第一冷媒出口

321 第一热媒进口

322 第一热媒出口

3221 第一热媒气相出口

3222 第一热媒液相出口

40 第二热交换器

41 第二热交换器气相出口

42 第二热交换器液相出口

50 第三热交换器

60 第一泵

70 第一储罐

71 第一储罐气相出口

80 第二泵

90 第二储罐

91 第二储罐气相出口

100 第四热交换器

101 第四热交换器气相出口

102 第四热交换器液相出口

110 第五热交换器

111 第五热交换器气相出口

112 第五热交换器液相出口

120 第三泵

130 第三储罐

140 第四储罐

150 第四泵

160 第五储罐

170 第五泵

180 第六储罐

190 第六泵

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。

须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。

如图1所示，本发明第一实施例提供一种剥离废液回收系统，包括精馏塔10、刮膜蒸发器20、第一热交换器30、第二热交换器40和第三热交换器50；

精馏塔10内设有汽相抽出单元11；精馏塔10还设有：精馏塔第一进口12，设于精馏塔10的中部；精馏塔第二进口13，设于精馏塔10的上部；精馏塔第三进口14，设于精馏塔10的下部；精馏塔第四进口15，设于精馏塔10的下部；精馏塔第一出口16，设于精馏塔10的顶部；精馏塔第二出口17，设于精馏塔10的底部；

刮膜蒸发器20设有刮膜蒸发器进口21、刮膜蒸发器第一出口22和刮膜蒸发器第二出口23；刮膜蒸发器第一出口22设于刮膜蒸发器20的顶部；刮膜蒸发器第一出口22与精馏塔第四进口15连通，形成回流；刮膜蒸发器第二出口23设于刮膜蒸发器20的底部，用于输出重组分；

第一热交换器30设有第一冷媒进口311、第一冷媒出口312、第一热媒进口321和第一热媒出口322，第一冷媒进口311用于通入剥离废液，第一冷媒出口312与精馏塔第一进口12连通，汽相抽出单元11与第一热媒进口321连通，第一热媒出口322用于输出中间组分；

精馏塔第一出口16与第二热交换器40连通后分两通路：一通路与精馏塔第二进口13连通，形成回流，另一通路用于输出轻组分；

精馏塔第二出口17分两通路：一通路经第三热交换器50与精馏塔第三进口14连通，形成回流；另一通路与刮膜蒸发器进口21连通。

本实施例剥离废液回收系统使用一个精馏塔10完成对剥离废液中轻组分与重组分的去除，工艺流程短，管道简单，设备少，能有效减小占地面积、降低真空泵负荷。剥离废液中光阻胶等重组分在精馏塔10中从上往下集中，最终在刮膜蒸发器20底部汇聚后流出，整个系统流程短，能有效降低光阻胶在设备和管道上附着的机率，提高剥离废液回收系统连续运转时间。

本实施例剥离废液回收系统在使用时，剥离废液通入第一热交换器30的第一冷媒进口311，精馏塔10的汽相抽出单元11抽出的汽相通入第一热交换器30的第一热媒进口321，剥离废液和汽相抽出单元11抽出的汽相经第一热交换器30进行热交换处理，以提供中间组分和加热后的剥离废液；加热后的剥离废液经精馏塔10的精馏塔第一进口12通入精馏塔10精馏，从精馏塔第一出口16获得塔顶流股，从精馏塔第二出口17获得塔底流股；塔顶流股经第二热交换器40进行热交换处理被冷凝后分两部分：一部分回流至精馏塔10，另一部分为轻组分；塔底流股分两部分：一部分经第三热交换器50进行热交换后回流至精馏塔10，另个一部分经刮膜蒸发器20进行蒸发处理后分两部分：一部分回流至精馏塔10，另一部分为重组分，重组分输出。

精馏塔10为填料精馏塔或板式精馏塔，优选为填料精馏塔，更利于剥离废液中轻组分与重组分的分离。图1所示为填料精馏塔，填料精馏塔的液体分布器可以是槽盘式液体分布器、窄槽式液体分布器，或其他现有的液体分布器，能满足液体分布要求即可。

精馏塔第一进口12位于汽相抽出单元11上方。精馏塔第一进口12与汽相抽出单元11之间的填料高度为1m～6m，或者精馏塔第一进口12与汽相抽出单元11之间设有与1m～6m填料高度分离效果等同的数层塔板。利于剥离废液中轻组分与重组分的分离。

第三热交换器50可为降膜蒸发器、虹吸式再沸器或釜式再沸器，优选为降膜蒸发器，热交换效果较好，受热时间短。

如图2所示，在一优选的第二实施例中，剥离废液回收系统还可包括第一泵60和/或第一储罐70，第一泵60和/或第一储罐70设于第二热交换器40分两通路之前的通路上。具体地，可以有以下连接方式：

精馏塔第一出口16依次经第二热交换器40和第一泵60连通后再分两通路；

或者，精馏塔第一出口16依次经第二热交换器40和第一储罐70连通后再分两通路；

或者，精馏塔第一出口16依次经第二热交换器40、第一储罐70和第一泵60连通后再分两通路；

两通路为：一通路与精馏塔第二进口13连通，形成回流，另一通路用于输出轻组分。

第一泵60用于将通入的流体增压后分两部分，一部分输出轻组分，另一部分回流至精馏塔。第一储罐70用于缓冲、存储通入的流体。

如图3所示，在一优选的第三实施例中，剥离废液回收系统还可包括第四热交换器100，第四热交换器100设有第四热交换器气相出口101和第四热交换器液相出口102；

第二热交换器40设有第二热交换器气相出口41和第二热交换器液相出口42；

第二热交换器气相出口41与第四热交换器100连通；

第四热交换器液相出口102与第二热交换器液相出口42经管道合并后再分两通路或者经管道合并后再经第一泵60和/或第一储罐70后再分两通路；

两通路为：一通路与精馏塔第二进口13连通，形成回流，另一通路用于输出轻组分；

第四热交换器气相出口101用于输出不凝气。

第四热交换器液相出口102与第二热交换器液相出口42经管道合并后再经第一泵60和/或第一储罐70后再分两通路，具体地，可以有如下连接方式：

第四热交换器液相出口102与第二热交换器液相出口42经管道合并后经第一泵60连通后再分两通路；

或者，第四热交换器液相出口102与第二热交换器液相出口42经管道合并后经第一储罐70连通后再分两通路；

或者，第四热交换器液相出口102与第二热交换器液相出口42经管道合并后依次经第一储罐70和第一泵60连通后再分两通路。

第二热交换器40可为间壁式热交换器，例如管壳式热交换器，第二热交换器气相出口41与第四热交换器100连通，用于冷凝通入的流体，第二热交换器液相出口42用于输出冷凝后的液体。第四热交换器100可为间壁式热交换器，例如管壳式热交换器，第四热交换器100用于进一步冷凝通入的流体，第四热交换器液相出口102用于输出冷凝后的液体，冷凝后的液体可回流至精馏塔进一步精馏处理；第四热交换器气相出口101用于输出不凝气，不凝气排出，进一步提高系统的处理效果。

如图4所示，在一优选的第四实施例中，剥离废液回收系统还可包括第四热交换器100，第四热交换器100设有第四热交换器气相出口101和第四热交换器液相出口102；

第一储罐70还设有第一储罐气相出口71；

第一储罐气相出口71与第四热交换器100连通，第四热交换器液相出口102与第一储罐70连通，第四热交换器气相出口101用于输出不凝气。

第一储罐70用于气液分离，分离后的气相从第一储罐气相出口71排出。第四热交换器100用于进一步冷凝通入的流体，冷凝后的液体可回流至精馏塔10进一步精馏处理，不凝气排出，进一步提高系统的处理效果。第四热交换器100可为间壁式热交换器，例如管壳式热交换器，第四热交换器气相出口101用于输出不凝气，第四热交换器液相出口102用于输出冷凝后的液体。

如图2所示，在一优选的第二实施例中，剥离废液回收系统还可包括第二泵80和/或第二储罐90，第二泵80和/或第二储罐90设于连接第一热媒出口322的通路上。具体地，可以有以下连接方式：

第一热媒出口322与第二泵80连通，从第二泵80输出中间组分；

或者，第一热媒出口322与第二储罐90连通，从第二储罐90输出中间组分；

或者，第一热媒出口322依次经第二储罐90与第二泵80，从第二泵80输出中间组分。

第二泵80用于将通入的流体增压后输出中间组分。第二储罐90用于缓冲、存储通入的流体。

如图3所示，在一优选的第三实施例中，剥离废液回收系统还可包括第五热交换器110，第五热交换器110设有第五热交换器气相出口111和第五热交换器液相出口112；

第一热媒出口322设有第一热媒气相出口3221和第一热媒液相出口3222；

第一热媒气相出口3221与第五热交换器110连通；

第五热交换器液相出口112与第一热媒液相出口3222经管道合并后输出中间组分或者经管道合并后再经第二泵80和/或第二储罐90后输出中间组分；

第五热交换器气相出口111用于输出不凝气。

第五热交换器液相出口112与第一热媒液相出口3222经管道合并后再经第二泵80和/或第二储罐90后输出中间组分，具体地，可以有如下连接方式：

第五热交换器液相出口112与第一热媒液相出口3222经管道合并后与第二泵80连通，从第二泵80输出中间组分；

或者，第五热交换器液相出口112与第一热媒液相出口3222经管道合并后与第二储罐90连通，从第二储罐90输出中间组分；

或者，第五热交换器液相出口112与第一热媒液相出口3222经管道合并后依次经第二储罐90与第二泵80，从第二泵80输出中间组分。

第一热交换器30可为间壁式热交换器，例如管壳式热交换器，第一热媒气相出口3221与第五热交换器110连通，用于冷凝通入的流体，第一热媒液相出口3222用于输出冷凝后的液体。第五热交换器110可为间壁式热交换器，例如管壳式热交换器，第五热交换器110用于进一步冷凝通入的流体，第五热交换器液相出口112用于输出冷凝后的液体，冷凝后的液体为中间组分，可进一步得到回收利用；第五热交换器气相出口111用于输出不凝气，不凝气排出，进一步提高系统的处理效果。

如图4所示，在一优选的第四实施例中，剥离废液回收系统还可包括第五热交换器110，第五热交换器110设有第五热交换器气相出口111和第五热交换器液相出口112；

第二储罐90还设有第二储罐气相出口91；

第二储罐气相出口91与第五热交换器110连通，第五热交换器液相出口112与第二储罐90连通，第五热交换器气相出口111用于输出不凝气。

第二储罐90用于气液分离，分离后的气相从第二储罐气相出口91排出。第五热交换器110用于进一步冷凝通入的流体，冷凝后的液体可进一步得到回收利用，不凝气排出，进一步提高系统的处理效果。第五热交换器110可为间壁式热交换器，例如管壳式热交换器，第五热交换器气相出口111用于输出不凝气，第五热交换器液相出口112用于输出冷凝后的液体。

在一优选的实施方式中，剥离废液回收系统还可包括第三泵120，第三泵120设于精馏塔第一出口16和/或设于汽相抽出单元11的通路上。

第三泵120设于精馏塔第一出口16的通路上，具体地，可以有如下连接方式：

第二热交换器40与第三泵120连通；

或者，第一储罐70与第三泵120连通；

或者，第四热交换器气相出口101与第三泵120连通。

第三泵120设于汽相抽出单元11的通路上，具体地，可以有如下连接方式：

第一热交换器30与第三泵120连通；

或者，第二储罐90与第三泵120连通；

或者，第五热交换器气相出口111与第三泵120连通。

第三泵120设于精馏塔第一出口16的通路和汽相抽出单元11的通路上的各种组合，具体地，可以有如下连接方式：

第二热交换器40与第三泵120连通，第一热交换器30与第三泵120连通；

或者，第一储罐70与第三泵120连通，第二储罐90与第三泵120连通等。

第三泵120用于维持剥离废液回收系统的真空度。

在一优选的实施方式中，剥离废液回收系统还可包括相连通的第三储罐130和第三泵120，第三泵120与第三储罐130设于精馏塔第一出口16的通路上。

第三泵120与第三储罐130连通后设于精馏塔第一出口16的通路上，具体地，可以有如下连接方式：

第二热交换器40经第三储罐130与第三泵120连通；

或者，第一储罐70经第三储罐130与第三泵120连通；

或者，第四热交换器气相出口101经第三储罐130与第三泵120连通。

第三储罐130设有用于给剥离废液回收系统补充惰性气体从而调整压力的第三储罐惰性气体进口。第三储罐130为真空缓冲罐，用于稳定剥离废液回收系统压力(真空度)。为有效控制工作压力，可通入惰性气体，当压力过低时，往剥离废液回收系统补充惰性气体，适当调高压力，惰性气体的进入点可设置在第三储罐130顶部，可通入N₂惰性气体。本发明实施时的工作压力(即为精馏塔塔顶压力)为负压，绝对压力不大于20kPa，优选的不大于15kPa，更优选为不大于10kPa，且不低于100Pa，优选的不低于200Pa。

在一优选的实施方式中，剥离废液回收系统还可包括相连通的第四储罐140和第三泵120，第三泵120与第四储罐140设于汽相抽出单元11的通路上。

第三泵120与第四储罐140设于汽相抽出单元11的通路上，具体地，可以有如下连接方式：

第一热交换器30经第四储罐140与第三泵120连通；

或者，第二储罐90经第四储罐140与第三泵120连通；

或者，第五热交换器气相出口111经第四储罐140与第三泵120连通。

第四储罐140设有用于给剥离废液回收系统补充惰性气体从而调整压力的第四储罐惰性气体进口。第四储罐140为真空缓冲罐，用于稳定剥离废液回收系统压力。由第三泵120控制第四储罐140的压力以控制第二储罐90的压力，进而控制汽相抽出单元11至第一热交换器30的管道中压力，最终控制从汽相抽出单元11抽出的汽相流量。为有效控制工作压力，可通入惰性气体，当压力过低时，往剥离废液回收系统补充惰性气体，适当调高压力，惰性气体的进入点可设置在第四储罐140的顶部，可通入N₂惰性气体。本发明实施时的工作压力(即为精馏塔塔顶压力)为负压，绝对压力不大于20kPa，优选的不大于15kPa，更优选为不大于10kPa，且不低于100Pa，优选的不低于200Pa。

在一优选的实施方式中，剥离废液回收系统还可包括第四泵150，精馏塔第二出口17经第四泵150连通后再分两通路：一通路经第三热交换器50与精馏塔第三进口14连通，形成回流；另一通路与刮膜蒸发器进口21连通。第四泵150用于将通入流体增压输入至第三热交换器50及刮膜蒸发器20。

剥离废液回收系统还可包括第五储罐160和/或第五泵170；

第五储罐160和/或第五泵170设于连接第一冷媒进口311的通路上。

第五储罐160和/或第五泵170设于连接第一冷媒进口311的通路上，具体地，可以有如下连接方式：

第五储罐160与第一冷媒进口311连通；

或者，第五泵170与第一冷媒进口311连通；

或者，第五储罐160经第五泵170与第一冷媒进口311连通。

第五储罐160用于存储剥离废液。第五泵170用于将剥离废液增压输入至下一个装置。

剥离废液回收系统还可包括第六储罐180和/或第六泵190；

第六储罐180和/或第六泵190设于连接刮膜蒸发器第二出口23的通路上。

第六储罐180和/或第六泵190设于连接刮膜蒸发器第二出口23的通路上，具体地，可以有如下连接方式：

刮膜蒸发器第二出口23与第六储罐180连通；

或者，刮膜蒸发器第二出口23与第六泵190连通；

或者，刮膜蒸发器第二出口23经第六储罐180与第六泵190连通。

第六储罐180用于存储重组分。第六泵190用于将重组分增压输出。

如图4所示，本发明第四实施例提供一种优选的剥离废液回收系统，包括精馏塔10、刮膜蒸发器20、第一热交换器30、第二热交换器40、第三热交换器50、第一泵60、第一储罐70、第二泵80、第二储罐90、第四热交换器100、第五热交换器110、第三泵120、第三储罐130、第四储罐140、第四泵150、第五储罐160、第五泵170、第六储罐180和第六泵190；

精馏塔10内设有汽相抽出单元11；精馏塔10还设有：精馏塔第一进口12，设于精馏塔10的中部；精馏塔第二进口13，设于精馏塔10的上部；精馏塔第三进口14，设于精馏塔10的下部；精馏塔第四进口15，设于精馏塔10的下部；精馏塔第一出口16，设于精馏塔10的顶部；精馏塔第二出口17，设于精馏塔10的底部；

刮膜蒸发器20设有刮膜蒸发器进口21、刮膜蒸发器第一出口22和刮膜蒸发器第二出口23；刮膜蒸发器第一出口22设于刮膜蒸发器20的顶部；刮膜蒸发器第一出口22与精馏塔第四进口15连通，形成回流；刮膜蒸发器第二出口23设于刮膜蒸发器20的底部，用于输出重组分；

第一热交换器30设有第一冷媒进口311、第一冷媒出口312、第一热媒进口321和第一热媒出口322；

第一储罐70还设有第一储罐气相出口71；

第二储罐90还设有第二储罐气相出口91；

第四热交换器100设有第四热交换器气相出口101和第四热交换器液相出口102；第五热交换器110设有第五热交换器气相出口111和第五热交换器液相出口112；

用于存储剥离废液的第五储罐160经第五泵170与第一冷媒进口311连通，第一冷媒出口312与精馏塔第一进口12连通，汽相抽出单元11与第一热媒进口321连通，第一热媒出口322经第二储罐90与第二泵80连通，从第二泵80输出中间组分；第二储罐气相出口91与第五热交换器110连通，第五热交换器液相出口112与第二储罐90连通，第五热交换器气相出口111经第四储罐140与第三泵120连通；从第五热交换器气相出口111输出不凝气，不凝气只有很少一部分因泄漏而产生的空气，通过管道依次经过第四储罐140与第三泵120，排去废气处理系统。

精馏塔第一出口16依次经第二热交换器40、第一储罐70和第一泵60连通后再分两通路；两通路为：一通路与精馏塔第二进口13连通，形成回流，另一通路用于输出轻组分；第一储罐气相出口71与第四热交换器100连通，第四热交换器液相出口102与第一储罐70连通，第四热交换器气相出口101经第三储罐130与第三泵120连通；从第四热交换器气相出口101输出不凝气，不凝气只有很少一部分因泄漏而产生的空气，通过管道依次经过第三储罐130与第三泵120，排去废气处理系统。

精馏塔第二出口17经第四泵150连通后再分两通路：一通路经第三热交换器50与精馏塔第三进口14连通，形成回流；另一通路与刮膜蒸发器进口21连通，刮膜蒸发器第一出口22与精馏塔第四进口15连通，形成回流；刮膜蒸发器第二出口23经第六储罐180与第六泵190连通，从第六泵190输出重组分；

精馏塔10为填料精馏塔，第三热交换器50为降膜蒸发器，精馏塔第一进口12位于汽相抽出单元11上方，精馏塔第一进口12与汽相抽出单元11之间的填料高度为1m～6m，第三储罐130设有用于给剥离废液回收系统补充惰性气体从而调整压力的第三储罐惰性气体进口，第四储罐140设有用于给剥离废液回收系统补充惰性气体从而调整压力的第四储罐惰性气体进口。

该优选的剥离废液回收系统在使用时，存储于第五储罐160的剥离废液经第五泵170泵入第一热交换器30的第一冷媒进口311，精馏塔10的汽相抽出单元11抽出的汽相通入第一热交换器30的第一热媒进口321，剥离废液和汽相抽出单元11抽出汽相的中间流股经第一热交换器30进行热交换处理，获得冷凝后的中间流股和加热后的剥离废液；冷凝后的中间流股通入第二储罐90，获得第二储罐气相流股和第二储罐液相流股；第二储罐气相流股从第二储罐气相出口91输出，然后通入第五热交换器110进行热交换处理，从第五热交换器气相出口111获得第五热交换器气相流股，第五热交换器气相流股为不凝气，从第五热交换器液相出口112获得第五热交换器液相流股；第五热交换器液相液相流股回流至第二储罐90，与第二储罐液相流股混合，然后经第二泵80输出中间组分；第二储罐90经第四储罐140和第三泵120提供真空度，从第三泵120的出口获得不凝气；加热后的剥离废液经精馏塔第一进口12通入精馏塔10精馏，从精馏塔第一出口16获得塔顶流股，从精馏塔第二出口17获得塔底流股；塔顶流股通入第二热交换器40进行热交换处理，获得冷凝后的塔顶流股；冷凝后的塔顶流股通入第一储罐70，获得第一储罐气相流股和第一储罐液相流股；第一储罐储罐气相流股从第一储罐气相出口71输出，然后通入第四热交换器100进行热交换处理，从第四热交换器气相出口101获得第四热交换器气相流股，第四热交换器气相流股为不凝气，从第四热交换器液相出口102获得第四热交换器液相流股；第四热交换器液相流股回流至第一储罐70，与第一储罐液相流股混合，然后经第一泵60后分两部分：一部分回流至精馏塔10，另一部分为轻组分；第一储罐70经第三储罐130和第三泵120提供真空度，从第三泵120的出口获得不凝气；塔底流股经第四泵150后分两部分：一部分通入第三热交换器50，进行热交换处理后回流至精馏塔10，另一部分通入刮膜蒸发器20进行蒸发处理后再分两部分，一部分从刮膜蒸发器第一出口22回流至精馏塔10，另一部分从刮膜蒸发器第二出口23通入第六储罐180，然后经第六泵190泵出，获得重组分。

如图3所示，本发明第三实施例提供一种优选的剥离废液回收系统，该剥离废液回收系统与第四实施例的区别是：第二热交换器40设有第二热交换器气相出口41和第二热交换器液相出口42；第二热交换器气相出口41与第四热交换器100连通；第四热交换器液相出口102与第二热交换器液相出口42经管道合并后再经第一储罐70和第一泵60后再分两通路；第一热媒出口322设有第一热媒气相出口3221和第一热媒液相出口3222；第一热媒气相出口3221与第五热交换器110连通；第五热交换器液相出口112与第一热媒液相出口3222经管道合并后再经第二储罐90和第二泵80输出中间组分，本实施例其他特征与第四实施例相同，此不赘述。

本发明另一实施例还提供一种剥离废液回收方法，包括如下步骤：

剥离废液经热交换处理被加热后经精馏塔精馏：

从塔顶获得塔顶流股；塔顶流股进行热交换处理被冷凝后分两部分：一部分回流至精馏塔，另一部分为轻组分；

从塔底获得塔底流股；塔底流股分两部分：一部分进行热交换处理后回流至精馏塔，另一部分进行蒸发处理后再分两部分，一部分回流至精馏塔，另一部分为重组分，重组分输出；

从塔中抽出汽相的中间流股，中间流股与剥离废液进行热交换处理，以提供冷凝后的中间组分和加热后的剥离废液。

本实施例剥离废液回收方法使用一个精馏塔完成对剥离废液中轻组分与重组分的去除，工艺流程短，管道简单，设备少，能有效减小占地面积、降低真空泵负荷。剥离废液中光阻胶等重组分在精馏塔中从上往下集中，最终进行蒸发处理获得重组分，方法流程短，能有效降低光阻胶在设备和管道上附着的机率，提高剥离废液回收方法连续运转时间。

在一优选的实施方式中，塔顶流股进行热交换处理被冷凝后，经第一泵和/或第一储罐后分两部分：一部分回流至精馏塔，另一部分为轻组分。第一泵用于将通入的流体增压后分两部分，一部分输出轻组分，另一部分回流至精馏塔。第一储罐用于缓冲、存储通入的流体。

在一优选的实施方式中，中间流股进行热交换处理被冷凝后，通入第二泵和/或第二储罐，从第二泵或第二储罐输出中间组分。第二泵用于将通入的流体增压后输出中间组分。第二储罐用于缓冲、存储通入的流体。

在一优选的实施方式中，塔顶流股进行热交换处理，以提供塔顶热交换气相流股和塔顶热交换液相流股；

塔顶热交换气相流股进行热交换处理，以提供第一气相流股和第一液相流股；

第一液相流股与塔顶热交换液相流股混合后分成两部分；或者，第一液相流股与塔顶热交换液相流股混合后经第一泵和/或第一储罐分成两部分；

两部分为：一部分回流至精馏塔，另一部分为轻组分；

第一气相流股为不凝气。

塔顶热交换气相流股进行热交换处理，目的是进一步冷凝通入的流体，冷凝后的液体可进一步得到回收利用，不凝气排出，进一步提高系统的处理效果。

在一优选的实施方式中，中间流股进行热交换处理，以提供塔中热媒气相流股和塔中热媒液相流股；

塔中热媒气相流股进行热交换处理，以提供第二气相流股和第二液相流股；

第二液相流股与塔中热媒液相流股混合后获得冷凝后的中间组分；或者，第二液相流股与塔中热媒液相流股混合后经第二泵和/或第二储罐，从第二泵或第二储罐输出冷凝后的中间组分；

第二气相流股为不凝气。

塔中热媒气相流股进行热交换处理，目的是进一步冷凝通入的流体，冷凝后的液体可进一步得到回收利用，不凝气排出，进一步提高系统的处理效果。

在一优选的实施方式中，塔顶流股进行热交换处理被冷凝后，经第一储罐，以提供第一储罐气相流股和第一储罐液相流股；

第一储罐气相流股进行热交换处理，以提供第一气相流股和第一液相流股；

第一液相流股回流至第一储罐，与第一储罐液相流股混合；

第一气相流股为不凝气。

第一储罐用于气液分离，分离得到第一储罐气相流股。第一储罐气相流股进行热交换处理，目的是进一步冷凝通入的流体，冷凝后的液体可进一步得到回收利用，不凝气排出，进一步提高系统的处理效果。

在一优选的实施方式中，中间流股进行热交换处理被冷凝后，经第二储罐，以提供第二储罐气相流股和第二储罐液相流股；

第二储罐气相流股进行热交换处理，以提供第二气相流股和第二液相流股；

第二液相流股回流至第二储罐，与第二储罐液相流股混合；

第二气相流股为不凝气。

第二储罐用于气液分离，分离得到第二储罐气相流股。第二储罐气相流股进行热交换处理，目的是进一步冷凝通入的流体，冷凝后的液体可进一步得到回收利用，不凝气排出，进一步提高系统的处理效果。

在一优选的实施方式中，第一储罐经第三储罐和第三泵提供真空度，从第三泵的出口获得不凝气。第三储罐为真空缓冲罐，用于稳定剥离废液回收系统压力(真空度)。

在一优选的实施方式中，第二储罐经第四储罐和第三泵提供真空度，从第三泵的出口获得不凝气。第四储罐为真空缓冲罐，用于稳定剥离废液回收系统压力。

上述不凝气是指物料中溶解的空气、从接头处泄漏进系统的空气等在操作条件不能凝结的气体。

实施例1

本实施例提供一种剥离废液回收方法，使用上述图4的回收系统进行处理，精馏塔第一进口与汽相抽出单元之间的填料高度分别为1m、3m和6m，包括如下步骤：

剥离废液经热交换处理被加热后经精馏塔精馏：

从塔顶获得塔顶流股；塔顶流股进行热交换处理被冷凝后，经第一储罐，以提供第一储罐气相流股和第一储罐液相流股；第一储罐气相流股进行热交换处理，以提供第一气相流股和第一液相流股；第一气相流股为不凝气；第一液相流股回流至第一储罐，与第一储罐液相流股混合后再经第一泵后分两部分：一部分回流至精馏塔，另一部分为轻组分；第一储罐经第三储罐和第三泵提供真空度，从第三泵的出口获得不凝气。

从塔底获得塔底流股；塔底流股分两部分：一部分进行热交换处理后回流至精馏塔；另一部分进行蒸发处理后再分两部分，其中，一部分回流至精馏塔，另一部分为重组分，重组分经第六储罐180与第六泵190排出；

从塔中抽出汽相的中间流股，中间流股与剥离废液进行热交换处理，以提供冷凝后的中间流股和加热后的剥离废液。冷凝后的中间流股经第二储罐，以提供第二储罐气相流股和第二储罐液相流股；第二储罐气相流股进行热交换处理，以提供第二气相流股和第二液相流股；第二气相流股为不凝气；第二液相流股回流至第二储罐，与第二储罐液相流股混合后经第二泵80排出中间组分；第二储罐经第四储罐和第三泵提供真空度，从第三泵的出口获得不凝气。处理效果见表1，储存在第一储罐70中的冷凝液含水量可达到99.9wt％以上，经第一泵60送出剥离废液回收装置的流量根据剥离废液的水含量而定，如果剥离废液含水量很少，可以间歇性外送。

从汽相抽出单元11抽出部分汽相通过管道输送至第一热交换器30冷凝成液体，为剥离废液回收系统要回收的有机物：MEA和BDG的混合物，经检测，从第二泵80的出口输出中间组分中MEA和BDG总含量为99.67％、99.98wt％和99.99wt％，回收率≥90％储存在第二储罐90中的MEA和BDG混合物作为产品通过管道经过第二泵80送出剥离废液回收系统。

剥离废液中的重组分在精馏塔10的下部集中，主要组分是光阻胶、BDG和极少量MEA，通过管道经第四泵150一部分输送至第三热交换器50加热后返回精馏塔10，一部分输送至刮膜蒸发器20，在刮膜蒸发器20中部分BDG和几乎全部MEA汽化，以光刻胶和剩余的BDG为主的流股(该流股中各组分质量分布见表1)作为精馏残液通过管道依次经过第六储罐180与第六泵190送出剥离废液回收系统。

表1

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图4只是本发明的一个实施例，第三储罐130和第四储罐140的目的是提高剥离液回收系统的操作稳定，如果不用第三储罐130和第四储罐140，不能认为是对本发明的改动，仍属于本发明的保护范围。

综上所述，本发明有效克服了现有技术中的多种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (13)

1.一种剥离废液回收系统，其特征在于，包括精馏塔（10）、刮膜蒸发器（20）、第一热交换器（30）、第二热交换器（40）和第三热交换器（50）；

所述精馏塔（10）内设有汽相抽出单元（11）；所述精馏塔（10）还设有：精馏塔第一进口（12），设于所述精馏塔（10）的中部；精馏塔第二进口（13），设于所述精馏塔（10）的上部；精馏塔第三进口（14），设于所述精馏塔（10）的下部；精馏塔第四进口（15），设于所述精馏塔（10）的下部；精馏塔第一出口（16），设于所述精馏塔（10）的顶部；精馏塔第二出口（17），设于所述精馏塔（10）的底部；

所述刮膜蒸发器（20）设有刮膜蒸发器进口（21）、刮膜蒸发器第一出口（22）和刮膜蒸发器第二出口（23）；所述刮膜蒸发器第一出口（22）设于所述刮膜蒸发器（20）的顶部；所述刮膜蒸发器第一出口（22）与所述精馏塔第四进口（15）连通，形成回流；所述刮膜蒸发器第二出口（23）设于所述刮膜蒸发器（20）的底部，用于输出重组分；

所述第一热交换器（30）设有第一冷媒进口（311）、第一冷媒出口（312）、第一热媒进口（321）和第一热媒出口（322），所述第一冷媒进口（311）用于通入剥离废液，所述第一冷媒出口（312）与所述精馏塔第一进口（12）连通，所述汽相抽出单元（11）与所述第一热媒进口（321）连通，所述第一热媒出口（322）用于输出中间组分；

所述精馏塔第一出口（16）与所述第二热交换器（40）连通后分两通路：一通路与所述精馏塔第二进口（13）连通，形成回流，另一通路用于输出轻组分；

所述精馏塔第二出口（17）分两通路：一通路经所述第三热交换器（50）与所述精馏塔第三进口（14）连通，形成回流；另一通路与所述刮膜蒸发器进口（21）连通。

2.如权利要求1所述的剥离废液回收系统，其特征在于，所述剥离废液回收系统还包括如下技术特征中的至少一项：

1）还包括第一泵（60）和/或第一储罐（70），所述第一泵（60）和/或所述第一储罐（70）设于所述第二热交换器（40）分两通路之前的通路上；

2）还包括第二泵（80）和/或第二储罐（90），所述第二泵（80）和/或第二储罐（90）设于连接所述第一热媒出口（322）的通路上。

3.如权利要求2所述的剥离废液回收系统，其特征在于，所述剥离废液回收系统还包括如下技术特征中的至少一项：

a）还包括第四热交换器（100），所述第四热交换器（100）设有第四热交换器气相出口（101）和第四热交换器液相出口（102）；

所述第二热交换器（40）设有第二热交换器气相出口（41）和第二热交换器液相出口（42）；

所述第二热交换器气相出口（41）与所述第四热交换器（100）连通；

所述第四热交换器液相出口（102）与所述第二热交换器液相出口（42）经管道合并后再分两通路或者经管道合并后再经所述第一泵（60）和/或所述第一储罐（70）后再分两通路；

所述两通路为：一通路与所述精馏塔第二进口（13）连通，形成回流，另一通路用于输出轻组分；

所述第四热交换器气相出口（101）用于输出不凝气；

b）还包括第五热交换器（110），所述第五热交换器（110）设有第五热交换器气相出口（111）和第五热交换器液相出口（112）；

所述第一热媒出口（322）设有第一热媒气相出口（3221）和第一热媒液相出口（3222）；

所述第一热媒气相出口（3221）与所述第五热交换器（110）连通；

所述第五热交换器液相出口（112）与所述第一热媒液相出口（3222）经管道合并后输出中间组分或者经管道合并后再经所述第二泵（80）和/或所述第二储罐（90）后输出中间组分；

所述第五热交换器气相出口（111）用于输出不凝气。

4.如权利要求2所述的剥离废液回收系统，其特征在于，所述剥离废液回收系统还包括如下技术特征中的至少一项：

11）特征1）中，还包括第四热交换器（100），所述第四热交换器（100）设有第四热交换器气相出口（101）和第四热交换器液相出口（102）；

所述第一储罐（70）还设有第一储罐气相出口（71）；

所述第一储罐气相出口（71）与所述第四热交换器（100）连通，所述第四热交换器液相出口（102）与所述第一储罐（70）连通，所述第四热交换器气相出口（101）用于输出不凝气；

21）特征2）中，还包括第五热交换器（110），所述第五热交换器（110）设有第五热交换器气相出口（111）和第五热交换器液相出口（112）；

所述第二储罐（90）还设有第二储罐气相出口（91）；

所述第二储罐气相出口（91）与所述第五热交换器（110）连通，所述第五热交换器液相出口（112）与所述第二储罐（90）连通，所述第五热交换器气相出口（111）用于输出不凝气。

5.如权利要求1或2或4任一项所述的剥离废液回收系统，其特征在于，所述剥离废液回收系统还包括如下技术特征中的至少一项：

1）还包括第三泵（120），所述第三泵（120）设于所述精馏塔第一出口（16）和/或设于所述汽相抽出单元（11）的通路上；

2）还包括相连通的第三储罐（130）和第三泵（120），所述第三泵（120）与所述第三储罐（130）设于所述精馏塔第一出口（16）的通路上；

3）还包括相连通的第四储罐（140）和第三泵（120），所述第三泵（120）与所述第四储罐（140）设于所述汽相抽出单元（11）的通路上。

6.如权利要求3所述的剥离废液回收系统，其特征在于，所述剥离废液回收系统还包括如下技术特征中的至少一项：

1）还包括第三泵（120），所述第三泵（120）设于所述精馏塔第一出口（16）和/或设于所述汽相抽出单元（11）的通路上；

2）还包括相连通的第三储罐（130）和第三泵（120），所述第三泵（120）与所述第三储罐（130）设于所述精馏塔第一出口（16）的通路上；

3）还包括相连通的第四储罐（140）和第三泵（120），所述第三泵（120）与所述第四储罐（140）设于所述汽相抽出单元（11）的通路上。

7.如权利要求1所述的剥离废液回收系统，其特征在于，所述剥离废液回收系统还包括如下技术特征中的至少一项：

1）还包括第四泵（150），所述精馏塔第二出口（17）经所述第四泵（150）连通后再分两通路：一通路经所述第三热交换器（50）与所述精馏塔第三进口（14）连通，形成回流；另一通路与所述刮膜蒸发器进口（21）连通；

2）还包括第五储罐（160）和/或第五泵（170）；

所述第五储罐（160）和/或所述第五泵（170）设于连接所述第一冷媒进口（311）的通路上；

3）还包括第六储罐（180）和/或第六泵（190）；

所述第六储罐（180）和/或所述第六泵（190）设于连接所述刮膜蒸发器第二出口（23）的通路上；

4）所述精馏塔（10）为填料精馏塔或板式精馏塔；

5）所述第三热交换器（50）为降膜蒸发器、虹吸式再沸器或釜式再沸器；

6）所述精馏塔第一进口（12）位于所述汽相抽出单元（11）上方；所述精馏塔第一进口（12）与所述汽相抽出单元（11）之间的填料高度为1m~6m，或者所述精馏塔第一进口（12）与所述汽相抽出单元（11）之间设有与1m~6m填料高度分离效果等同的数层塔板。

8.一种剥离废液回收方法，其特征在于，包括如下步骤：

所述剥离废液经热交换处理被加热后经精馏塔精馏：

从塔顶获得塔顶流股；所述塔顶流股进行热交换处理被冷凝后分两部分：一部分回流至所述精馏塔，另一部分为轻组分；

从塔底获得塔底流股；所述塔底流股分两部分：一部分进行热交换处理后回流至所述精馏塔，另一部分进行蒸发处理后再分两部分，一部分回流至所述精馏塔，另一部分为重组分，所述重组分输出；

从塔中抽出汽相的中间流股，所述中间流股与所述剥离废液进行热交换处理，以提供冷凝后的中间组分和加热后的剥离废液。

9.如权利要求8所述的剥离废液回收方法，其特征在于，所述剥离废液回收方法还包括如下技术特征中的至少一项：

1）所述塔顶流股进行热交换处理被冷凝后，经第一泵和/或第一储罐后分两部分：一部分回流至所述精馏塔，另一部分为轻组分；

2）所述中间流股进行热交换处理被冷凝后，通入第二泵和/或第二储罐，从第二泵或第二储罐输出中间组分。

10.如权利要求8或9所述的剥离废液回收方法，其特征在于，所述剥离废液回收方法还包括如下技术特征中的至少一项：

a）所述塔顶流股进行热交换处理，以提供塔顶热交换气相流股和塔顶热交换液相流股；

所述塔顶热交换气相流股进行热交换处理，以提供第一气相流股和第一液相流股；

所述第一液相流股与所述塔顶热交换液相流股混合后分成两部分；或者，所述第一液相流股与所述塔顶热交换液相流股混合后经第一泵和/或第一储罐分成两部分；

所述两部分为：一部分回流至所述精馏塔，另一部分为轻组分；

所述第一气相流股为不凝气；

b）所述中间流股进行热交换处理，以提供塔中热媒气相流股和塔中热媒液相流股；

所述塔中热媒气相流股进行热交换处理，以提供第二气相流股和第二液相流股；

所述第二液相流股与所述塔中热媒液相流股混合后获得冷凝后的中间组分；或者，所述第二液相流股与所述塔中热媒液相流股混合后经第二泵和/或第二储罐，从第二泵或第二储罐输出冷凝后的中间组分；

所述第二气相流股为不凝气。

11.如权利要求9所述的剥离废液回收方法，其特征在于，所述剥离废液回收方法还包括如下技术特征中的至少一项：

11)所述塔顶流股进行热交换处理被冷凝后，经所述第一储罐，以提供第一储罐气相流股和第一储罐液相流股；

所述第一储罐气相流股进行热交换处理，以提供第一气相流股和第一液相流股；

所述第一液相流股回流至所述第一储罐，与所述第一储罐液相流股混合；

所述第一气相流股为不凝气；

21)所述中间流股进行热交换处理被冷凝后，经所述第二储罐，以提供第二储罐气相流股和第二储罐液相流股；

所述第二储罐气相流股进行热交换处理，以提供第二气相流股和第二液相流股；

所述第二液相流股回流至所述第二储罐，与所述第二储罐液相流股混合；

所述第二气相流股为不凝气。

12.如权利要求10所述的剥离废液回收方法，其特征在于，所述剥离废液回收方法还包括如下技术特征中的至少一项：

1）所述第一储罐经第三储罐和第三泵提供真空度，从第三泵的出口获得不凝气；

2）所述第二储罐经第四储罐和第三泵提供真空度，从第三泵的出口获得不凝气。

13.如权利要求11所述的剥离废液回收方法，其特征在于，所述剥离废液回收方法还包括如下技术特征中的至少一项：

1）所述第一储罐经第三储罐和第三泵提供真空度，从第三泵的出口获得不凝气；

2）所述第二储罐经第四储罐和第三泵提供真空度，从第三泵的出口获得不凝气。