CN111465801A - 高压气罐的自动更换方法 - Google Patents

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Abstract

本发明的特征是，依次实施：在柜（100）中装载第一、二高压气罐（201、202），将第一高压气罐（201）的气体输送到供气管线，而第二高压气罐（202）的阀门连接件（211）是连接于连接器座（310）待机的第一步骤；通过控制部（500）检测到第一高压气罐（201）的更换时间以后，切换流道停止由第一高压气罐（201）供气，由第二高压气罐（202）供气的第二步骤；将第一高压气罐（201）的阀门手柄（213）关闭的第三步骤；从连接器座（310）上释放第一高压气罐（201）的连接状态以后，用端帽（212）关闭阀门连接件（211）的第四步骤；使第一高压气罐（201）下降至下止点的第五步骤；在连接器座（310）上将用完的垫圈自动去除的第六步骤；将第一高压气罐（201）的夹紧状态释放的第七步骤；打开柜（100）的门，将第一高压气罐（201）用第三高压气罐（203）更换以后关门的第八步骤；将第三高压气罐（203）夹紧的第九步骤；在连接器座（310）上自动插入新的垫圈的第十步骤；使第三高压气罐（203）上升至上止点以后，使阀门连接件（211）的中心和连接器座（310）的中心校准的第十一步骤；从第三高压气罐（203）上去除端帽以后，将阀门连接件（211）连接到连接器座（310）的第十二步骤；打开第三高压气罐（203）的阀门手柄（213）待机的第十三步骤。

Description

高压气罐的自动更换方法
技术领域
本发明涉及半导体制造工艺（Fabrication Process）设备中，为了给晶圆生产线输送气体，在柜（cabinet）上的提升装置上装载（loading）高压气罐后，在高压气罐的更换时点，从连接器座上卸下用完的高压气罐以后，将新的高压气罐连接到连接器座的高压气罐的自动更换方法。
背景技术
在半导体的制造工艺上，通常根据用途输送不同种类的气体使用，如果这些气体一旦被大量吸入人体或者散发到空气中，容易造成安全事故或者环境污染等带来较大伤害，因此必须小心谨慎使用。
例如，用于离子注入工艺的气体种类一般包括砷化氢（AsH3：Arsine）、磷化氢（PH3：Phosphine）或三氟化硼（BF3：Boron Fluoride）等有毒气体，这些气体的毒性非常强，被作业人员吸入呼吸道会造成致命性的伤害，因此在生产线上输送的过程中须细心管理，谨防泄漏。
如上所述的半导体制造工艺用气体而言，其管理非常重要，这些气体以被高压填充到气罐（下称高压气罐）内的状态装在柜内，由供气管线输送至生产线，气体消耗约达到90%左右时，为避免高压气罐内残留的异物进入晶圆加工工艺，由作业人员用新的高压气罐进行更换，使气体被继续输送。
图1是简略显示采用现有技术的半导体装备供气装置的透视图，FAB 7外部的规定场所设有柜1，用于安放FAB 7内各个装备8所需的SiH4、PH3、NF3、CF4等工程气体被分别填充的多个高压气罐（省略图示），所述柜1的一侧设有可以引导分别连接于所述高气罐的供气管线3的管道4。
所述管道4的另一侧设有数量对应于高压气罐的调压箱5，用于输送沿着供气管线3流入的工艺气体，所述的各调压箱5上端部连接着与装备8数量同样数量的供应管9，用于与FAB 7内的各装备8对应连接。
然后由安放在柜1中的各个高压气罐供给工艺气体时，各工艺气体沿着从管道4内部通过的供气管线3流入各个调压箱5。
然后流入各调压箱5内的各工艺气体通过过滤器（省略图示）被净化以后，沿着以与FAB7内装备8对应的数量分支连接的各个供应管9被输送，用于晶圆的加工。
如上所述，将气体输送到供气管线3的途中，气体被耗尽，高压气罐的更换时间被控制部（省略图示）检测到时，作业人员将用完的高压气罐的阀门关闭后，从外部气体管线上卸下来。
然后作业人员将从气体管线卸下来的高压气罐从柜1中卸下以后，用新的高压气罐更换，然后将所述高压气罐重新连接到外部的气体管线，然后打开（Open）关闭气体喷嘴的阀门手柄即完成高压气罐的更换。
先有技术文献
（专利文献0001）韩国注册专利公报10-0242982（1998.11.15注册）；
（专利文献0002）韩国注册专利公报10-0649112（2006.11.16注册）；
（专利文献0003）韩国注册专利公报10-09885575（2010.09.29注册）。
发明内容
技术课题
但这种现有的高压气罐的更换方法是，作业人员将新的高压气罐装载到柜中的状态下，检测到高压气罐的更换时间时，用手将用完的高压气罐卸下以后，将新的高压气罐连接到气体配管的连接器座上，不仅无法迅速更换高压气罐，还会根据作业人员熟练程度，发生人为失误（human error），而且在更换操作中因不小心导致气体从高压气罐泄漏时，容易造成气体爆炸或者作业人员被泄漏气体中毒等可谓是其致命性缺陷。
本发明是为解决现有的这些问题而提出，其目的在于，将高压气罐装载到柜中设置的提升装置以后，在高压气罐的更换时点卸下连接于连接器座上的高压气罐的同时，将新的高压气罐自动连接到连接器座，使得高压气罐的更换实现自动化。
技术方案
根据实现所述目的所需的本发明的一实施例，提供高压气罐的自动更换方法，其特征是，依次实施；在可升、降地设置于柜上的一对提升装置上装载第一、二高压气罐，将第一高压气罐的气体输送到供气管线，而第二高压气罐的阀门连接件是连接于连接器座待机的第一步骤；由所述第一高压气罐供气的途中，通过控制部检测到第一高压气罐的更换时间以后，切换流道停止由第一高压气罐供气，由第二高压气罐供气的第二步骤；将所述第一高压气罐的阀门手柄自动关闭的第三步骤；从所述连接器座上释放第一高压气罐的连接状态以后，用端帽关闭阀门连接件的第四步骤；使所述第一高压气罐被放置的圆盘下降至下止点的第五步骤；在所述连接器座上将用完的垫圈自动去除的第六步骤；将放置于所述圆盘上的第一高压气罐的夹紧状态释放的第七步骤；打开所述柜的门，从圆盘上去除第一高压气罐以后，在圆盘上放置第三高压气罐并关门的第八步骤；将放置于所述圆盘上的第三高压气罐夹紧的第九步骤；在所述连接器座上自动插入新的垫圈的第十步骤；使所述第三高压气罐被装载的提升装置上升至上止点以后，使阀门连接件的中心和连接器座的中心校准的第十一步骤；从所述第三高压气罐上去除端帽以后，将阀门连接件连接到连接器座的第十二步骤；打开所述第三高压气罐的阀门手柄待机的第十三步骤。
有益效果
本发明的有益效果在于，将一对提升装置可升、降地设置，先由一个高压气罐将气体输送至供气管线，然后控制部检测到高压气罐的更换时间时，切换流道使待机中的另一高压气罐供气，然后将结束供气的高压气罐自动卸下以后，在提升装置的圆盘上装载新的高压气罐，保持待机状态，因此和现有的手动更换高压气罐相比，可以将高压气罐自动更换，进而预防作业人员人为失误，使得高压气罐的更换实现自动化。
附图说明
图1是简略显示采用现有技术的半导体装备供气装置的透视图；
图2是用以说明本发明的柜的正视图；
图3是显示本发明的连接机构的透视图；
图4是显示本发明的提升装置和夹紧装置的正视图；
图5是显示本发明的下部夹紧装置的透视图；
图6是本发明中夹紧装置将高压气罐夹紧的状态下阻挡器将夹紧装置开启（on）的状态图；
图7是显示高压气罐的透视图；
图8是本发明中使第一高压气罐升、降的提升装置位于下止点，第二高压气罐被放置在圆盘上的提升装置是位于上止点的状态图；
图9a和图9b是用以说明本发明的流程图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案详细进行描述，但所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，本领域普通技术人员可以以各种形态实现是显而易见的。附图中的图示简略，并不符合比例。图中部分的相对尺寸和比率是，为了图中的明确性和便利，其大小可以被夸张或缩小图示，任一尺寸仅限于示例，并没有限定。而且两个以上的图中显示的同一结构物、要素或配件使用同一参考符号，以显示相似特征。
图2是用以说明本发明的柜的正视图，图3是显示本发明的连接机构的透视图，图4是显示本发明的提升装置及夹紧装置的正视图，图2是省略显示被可开闭地设置在柜100的正面的门。
本发明的结构包括：设置于柜100内的上部，使高压气罐200的阀门连接装置211自动连接到连接器座310上或者释放的连接机构300和，具备放置于所述高压气罐200被放置的圆盘410并使高压气罐200升、降的提升装置400和，设在所述提升装置400上夹紧高压气罐200并旋转的夹紧装置420和，控制所述结构的控制部500。
本发明是柜100内安装两个高压气罐200，因此具备连接机构300和夹紧装置420的提升装置400被设置一对，由某一个高压气罐200给供气管线（省略图示）供气时，另一个高压气罐202是连接于又另一个连接机构300的连接器座310，等待供气。
所述柜100的上部装着两个高压气罐200，因此位于各连接装置300上部的柜100上具备作业人员将柜100的门（省略图示）开放，或者控制高压气罐200的夹紧或松开以及输入高压气罐200信息的屏幕。
所述夹紧装置420是如4所示，被分别设置在可升、降地设置在动基座430上的各提升装置400上，发挥将放置于提升装置400圆盘410上的高压气罐200夹紧或者松开的作用。
图5是显示下部夹紧装置的透视图，所述夹紧装置420是被设置成夹架422随着第一传动装置421的驱动同时展开或者收缩，所述各夹架422上有设有两个滚筒的夹持装置424以轴425为中心被可转动地设置，在夹架422的上部或下部如图6所示设有通过夹持装置424上形成的定位孔424a使阻挡器427升、降的第二传动装置426，以免一对夹持装置424将放置于圆盘410上的高压气罐200夹紧的状态下不展开，因此在高压气罐200被放置在圆盘410上的状态下，阻挡器427被插进定位孔424a以后，就算放置在圆盘410上的高压气罐200的位置脱离固定位置，但一对夹架422被第一传动装置421向内侧收缩时，因阻挡器427被插在定位孔424a上，所以一对夹持装置424不会展开，而是夹紧高压气罐200。
因此在夹紧或松开高压气罐200之前，必须驱动第二传动装置421，使阻挡器427开启（on）或关闭（off）。
被可旋转地设置在所述夹持装置424上的一对滚筒423是用同步带428连接着，驱动装置429驱动后其动力通过又另一个同步带441传递，使一侧的滚筒423旋转时，因滚筒423紧密地接合于高压气罐200而被设置在位于反面的夹持装置424上的一对滚筒423是没有驱动装置也可以一起旋转。
所述高压气罐200被放置到圆盘410之前，第一传动装置421将一对夹架422展开的如图5所示的状态下，一对夹持装置424保持展开的状态是，因构成夹紧装置420的夹架422和夹持装置424之间连接着螺旋弹簧而变得可能。
图9a和图9b是用以说明本发明的流程图，首先从高压气罐201、202被装载（loading）到可升、降地设置在柜100上的一对提升装置400上，如图2所示，将所述第一高压气罐201的气体输送至供气管线，第二高压气罐202是连接于连接器座310待机的第一步骤开始说明。
如上所述，由所述第一高压气罐201供气的途中，被控制部500检测到第一高压气罐201的更换时间时，由控制部判断第二高压气罐202的更换是否已准备完成，更换准备完成以后，切换气体配管的流道，中断第一高压气罐201的供气，然后实施由第二高压气罐202供气的第二步骤。
更换所述高压气罐202之前，之所以控制部500对此进行判断，是为了判断有无第二高压气罐202，或者第二高压气罐202的阀门连接装置211是否正确连接到连接器座310上，判断正确时切换流道，判断异常时发生错误的同时，由第一高压气罐201继续供气的同时，由作业人员对此进行处理。
因为气体被从供气管线暂停供气时，这样处理可以避免进行工艺的晶圆上发生不良。
所述第一高压气罐201的更换时期是，根据加工工艺输送的气体种类不同，因此由控制部500检测第一高压气罐201的重量或者压力，在设定值以下时判断而得出。
如上所述，切换气体配管的流道，停止由第一高压气罐201供气后，实施将所述第一高压气罐201阀门手柄213自动关闭的第三步骤。
将所述第一高压气罐201的阀门手柄213自动关闭或者打开的动作是，通过阀门手柄机构600的阀门手柄座610得以实施，或者其结构可以由该领域的专家适用各种形态，故不再详述。
将所述第一高压气罐201的阀门手柄213关闭以后，实施将连接于第一高压气罐201的供气管线的配管内残余气体排出，然后清洁配管内部，然后实施减压试验和加压试验，判断正常时，从所述连接器座310上卸下第一高压气罐201的连接状态以后，用端帽212将阀门连接件211自动关闭的第四步骤，判断异常时，发生错误，由作业人员进行处理。
在所述高压气罐200的阀门连接件211上将端帽212自动锁住或者分离的作业是通过连接机构300的端帽座320得以实施，也可以通过本领域技术人员适用不同形态是显而易见的。
将所述高压气罐201的端帽212锁住以后，为了将所述第一高压气罐201用新的第三高压气罐203更换而如图8所示实施使提升装置400下降至下止点的第五步骤。
使所述提升装置400下降至下止点步骤中，实施将用完的垫圈通过垫圈自动更换装置700从所述连接器座310上自动卸下的第六步骤。
将垫圈从所述连接器座310上自动卸下的时点是，提升装置400到达下止点以后实施也可以，但以与提升装置400的驱动不同的驱动卸下垫圈，在提升装置400下降的途中也可以实施，因此没有限定的必要。
从所述连接器座310上卸下垫圈以后，实施用传感器（省略图示）检测连接器座310上是否存在残留垫圈，然后有残留垫圈时，发生错误，使作业人员对此进行处理，但如果没有残留的垫圈时，将放置于所述圆盘410上的第一高压气罐201的夹紧状态释放成半自动的第七步骤。
使所述第一高压气罐201的夹紧释放的动作是如图5所示，作业人员触摸位于柜100的上部的相应屏幕110的夹紧装置打开确认按钮时，第二传动装置426驱动起来，使插在夹持装置424的定位孔424a的阻挡器427关闭（off）同时，驱动第一传动装置421，使一对夹架422向两侧展开，使得第一高压气罐201的夹紧状态被释放。
如上所述，通过第一传动装置421的驱动，一对夹架422展开的状态下，夹持装置424保持通过螺旋弹簧440的复原力展开的状态。
通过如上所述的动作，释放第一高压气罐201的夹紧状态后，实施作业人员将柜100门打开，从圆盘410上拿下第一高压气罐201以后，将新的高压气罐即第三高压气罐203放在圆盘410上，然后关门的第八步骤。
将第三高压气罐203放到所述圆盘410而高压气罐的更换完成以后，作业人员触摸屏幕110，输入新的第三高压气罐203的信息即气体种类、条码、重量等信息，然后将柜100门关闭，触摸确认已完成高压气罐更换的按钮。
通过如上所述的动作，在圆盘410上去除用完的高压气罐201的同时，更换成新的第三高压气罐203以后，通过传感器（省略图示）确认放置于圆盘410上的第三高压气罐203的投入排列位置是否正确，正常时实施下一步骤，投入排列位置错位异常时，发生错误，由作业人员打开已关闭的门，从圆盘410上拿出第三高压气罐203以后重新投入，然后把门关闭。
放置于圆盘410上的第三高压气罐203的投入排列位置正常时，实施将放置于圆盘410上的第三高压气罐203夹紧的第九步骤。
所述第三高压气罐203的夹紧是与高压气罐的松开、被相反地实施。
就是说，作业人员将第三高压气罐203推进，使第三高压气罐203被放置到圆盘410以后，位于内侧的滚筒423被第三高压气罐203推进内侧，被螺旋弹簧440的复原力相互展开着的一对夹持装置424同时收缩，使可旋转地设置于夹持装置424的滚筒423将第三高压气罐203同时包住。
如上所述，滚筒423包住第三高压气罐203的状态下，作业人员触摸屏幕110的夹紧装置交叉确认按钮时，第二传动装置426驱动起来，将阻挡器427开启（on）插进夹持装置424的定位孔424a的同时，驱动第一传动装置421，使一对夹架422向内侧收缩，使得滚筒423夹紧第三高压气罐203。
通过所述动作，使得放置于圆盘410的第三高压气罐203被夹紧以后，需将新的垫圈自动插入连接于第三高压气罐203的连接器座310，但将新的垫圈插入连接器座310之前，应先确认有无用完的垫圈为宜。
但确认已用完的垫圈之前，重新实施一次从连接器座310上将用完的垫圈去除的动作，然后确认有无残留垫圈为宜。
如果连接器座310上存在残留垫圈时，通过控制部500发生错误，使作业人员对此进行处理。
如上所述，之所以多次实施用完的连接器座310有无残留垫圈，是因为万一存在残留垫圈，则将第三高压气罐203的阀门连接件211连接到连接器座310时，可以彻底避免发生连接不良而有害气体泄漏的现象。
如上所述，确认所述连接器座310上不存在用完的垫圈以后，实施将新的垫圈通过垫圈自动更换装置700自动插进连接器座310的第十步骤。
将新的垫圈自动插进所述连接器座310以后，进一步实施用传感器（省略图示）确认连接器座310是否插入新的垫圈的步骤。
这是因为在连接器座310上不插入新的垫圈，而是将第三高压气罐203的阀门连接件211连接到连接器座310上，可以彻底解决有害气体泄漏的现象。
确认通过控制部500确认新的垫圈已插进所述连接器座310以后，实施使所述第三高压气罐203被装载的提升装置400上升至上止点以后，将阀门连接件211的中心和连接器座310的中心校准的第十一步骤。
如上所述，使阀门连接件211的中心和连接器座310的中心校准的动作是，使装载于提升装置400的第三高压气罐203自动上升和下降以及旋转的同时，使结合于第三高压气罐203的阀门的端帽212中心与连接于气体配管的连接器座310的中心一致而得以实施。
使结合于所述第三高压气罐203的端帽212中心与连接于气体配管的连接器座310的中心一致以后，实施利用连接机构300的端帽座320从第三高压气罐203上去除端帽212以后，将阀门连接件211连接到连接器座310的第十二步骤。
从所述第三高压气罐203上去除端帽212以后，将阀门连接件211连接到连接器座310，然后打开所述第三高压气罐203的阀门手柄213之前，如果发生紧急情况，应进一步实施在阀门手柄机构600的轴（省略图示）上卷绕发条的动作，使得阀门手柄213自动关闭。
这是因为将第三高压气罐203的气体通过气体配管输送到供气管线的过程中，突然发生振动或者地震等而气体泄漏或者停电时，将第三高压气罐203的阀门手柄自动关闭，彻底避免气体泄漏而发生安全事故的现象。
在阀门手柄机构600的轴上卷绕发条（省略图示），使所述第三高压气罐203的阀门手柄213被关闭以后，实施使阀门手柄机构600的阀门手柄座610旋转，打开所述第三高压气罐203的阀门手柄213待机的第十三步骤。
打开所述第三高压气罐203的阀门手柄213以后，应进一步实施配管内的减压试验和加压试验为宜。
根据本发明的一实施例中的说明，柜100中安装两个高压气罐200，且高压气罐200内的气体在设定值以下时，可以自动更换，但在柜100中安装3~4个或者其以上的高压气罐200后，通过控制部500每次检测到高压气罐200的更换时间时，也可以将高压气罐200依次更换是显而易见的。
以上实施例仅用以说明本发明的实施例，但本领域的普通技术人员在没有改变其技术方案或者必需特征的前提下，依然可以以各种具体形态实施。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所述的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例所述技术方案的范围。
符号说明
100：柜； 110：屏幕；
200：高压气罐； 211：阀门连接件；
212：端帽； 213：阀门手柄；
300：连接机构； 310：连接器座；
320：端帽座； 400：提升装置；
410：圆盘； 420：夹紧装置；
421：第一传动装置； 422：夹架；
423：滚筒； 424：夹持装置；
426：第二传动装置； 427：阻挡器；
500：控制部； 610：阀门手柄座。

Claims (17)

1.一种高压气罐的自动更换方法，其特征在于，依次实施：
在可升、降地设置于柜（100）上的一对提升装置（400）上装载第一、二高压气罐（201）（202），将第一高压气罐（201）的气体输送到供气管线，而第二高压气罐（202）的阀门连接件（211）是连接于连接器座（310）待机的第一步骤；
由所述第一高压气罐（201）供气的途中，通过控制部（500）检测到第一高压气罐（201）的更换时间以后，切换流道停止由第一高压气罐（201）供气，由第二高压气罐（202）供气的第二步骤；
将所述第一高压气罐（201）的阀门手柄（213）自动关闭的第三步骤；
从所述连接器座（310）上释放第一高压气罐（201）的连接状态以后，用端帽（212）关闭阀门连接件（211）的第四步骤；
使所述第一高压气罐（201）被放置的圆盘（410）下降至下止点的第五步骤；
在所述连接器座（310）上将用完的垫圈自动去除的第六步骤；
将放置于所述圆盘（410）上的第一高压气罐（201）的夹紧状态释放的第七步骤；
打开所述柜（100）的门，从圆盘（410）上除去第一高压气罐（201）以后，在圆盘（410）上放置第三高压气罐（203）并关门的第八步骤；
将放置于所述圆盘（410）上的第三高压气罐（203）夹紧的第九步骤；
在所述连接器座（310）上自动插入新的垫圈的第十步骤；
使所述第三高压气罐（203）被装载的提升装置（400）上升至上止点以后，使阀门连接件（211）的中心和连接器座（310）的中心校准的第十一步骤；
从所述第三高压气罐（203）上去除端帽以后，将阀门连接件（211）连接到连接器座（310）的第十二步骤；
打开所述第三高压气罐（203）的阀门手柄（213）待机的第十三步骤。
2.根据权利要求1所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
所述第一、二高压气罐（201）（202）的更换时间是，由控制部（500）检测高压气罐（201）（202）的重量或压力而低于设定值时判断。
3.根据权利要求1所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
所述第一、二高压气罐（201）（202）的阀门手柄（213）的开闭是通过构成阀门手柄机构（600）的阀门手柄座（610）的旋转得以实施。
4.根据权利要求1所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
在所述第一、二高压气罐（201）（202）的阀门连接件（211）上将端帽（212）锁住或者卸下的作业是通过连接机构（300）的端帽座（320）得以实施。
5.根据权利要求1所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
所述第六步骤中，从连接器座（310）上去除垫圈的时点是在圆盘（410）到达下止点时实施。
6.根据权利要求5所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
从所述连接器座（310）上去除用完的垫圈以后，进一步实施确认有无垫圈残留的步骤。
7.根据权利要求1所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
所述第八步骤中进一步实施判断放置于圆盘（410）上的第三高压气罐（203）是否处于固定位置的步骤。
8.根据权利要求1所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
在所述连接器座（310）上插入新的垫圈之前进一步实施确认是否残留用完的垫圈的步骤。
9.根据权利要求8所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
确认所述连接器座（310）上是否残留用完的垫圈之前，再实施一次在连接器座（310）上去除垫圈的步骤。
10.根据权利要求1所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
所述第十步骤以后，进一步实施确认连接器座（310）上是否插入新的垫圈的步骤。
11.根据权利要求1所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
所述第一高压气罐（201）的夹紧释放是，作业人员按下夹紧装置打开确认按钮，使阻挡器（427）关闭（off），使夹紧装置（420）打开而得以实施。
12.根据权利要求1所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
所述第三高压气罐（203）的夹紧是，作业人员按下夹紧装置交叉确认按钮，使阻挡器（427）开启（on），使夹紧装置（420）交叉而得以实施。
13.根据权利要求1所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
将所述第一高压气罐（201）的阀门手柄（213）锁住后，将配管内的残余气体去除后进行清洁，然后实施减压试验和加压试验。
14.根据权利要求1所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
在所述圆盘（410）上放置第三高压气罐（203）后，作业人员通过屏幕将第三高压气罐（203）的信息输入到控制部（500）以后把门关闭。
15.根据权利要求6、8、10中任一项所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
确认所述连接器座（310）上有无用完的垫圈的步骤中，检测到垫圈时，由通知装置将此通知给作业人员，使错误得到处理。
16.根据权利要求1所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
打开所述第三高压气罐（203）的阀门手柄（213）以后，进一步实施配管内的减压试验和加压试验。
17.根据权利要求16所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
打开所述第三高压气罐（203）的阀门手柄（213）之前，进一步实施在构成阀门手柄机构（600）的阀门手柄座（610）的轴上卷绕发条的动作，使得紧急情况下阀门手柄（213）可自动锁住。
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