CN111462942A - 基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极及其制作方法 - Google Patents

基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极及其制作方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111462942A
CN111462942A CN201910046585.3A CN201910046585A CN111462942A CN 111462942 A CN111462942 A CN 111462942A CN 201910046585 A CN201910046585 A CN 201910046585A CN 111462942 A CN111462942 A CN 111462942A
Authority
CN
China
Prior art keywords
flexible substrate
crack
stretchable electrode
crack structure
manufacturing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201910046585.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111462942B (zh
Inventor
李立强
谭子婷
李红卫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou Institute of Nano Tech and Nano Bionics of CAS
Original Assignee
Suzhou Institute of Nano Tech and Nano Bionics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou Institute of Nano Tech and Nano Bionics of CAS filed Critical Suzhou Institute of Nano Tech and Nano Bionics of CAS
Priority to CN201910046585.3A priority Critical patent/CN111462942B/zh
Publication of CN111462942A publication Critical patent/CN111462942A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111462942B publication Critical patent/CN111462942B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B5/00—Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form
    • H01B5/14—Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form comprising conductive layers or films on insulating-supports
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing conductors or cables
    • H01B13/0026—Apparatus for manufacturing conducting or semi-conducting layers, e.g. deposition of metal

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

本发明公开了一种基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极及其制作方法。所述的制作方法包括：对柔性衬底进行加工处理以在所述柔性的衬底的表面形成裂纹结构，所述裂纹结构包括复数条取向一致的裂纹；至少在所述柔性衬底的裂纹结构上形成导电层。本发明的制作方法利用各种柔性衬底在不同处理方式下产生取向较为均匀裂纹的特点，经过表面修之后复合上导电材料，进而制备出具有可折叠特性的可拉伸电极，该电极还具有拉伸范围宽、电导能力高、稳定性优异等优点。

Description

基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极及其制作方法
技术领域
本发明涉及一种可拉伸电极，特别涉及一种基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极及其制作方法，属于微纳电子器件技术领域。
背景技术
可拉伸电子器件是将电子元件与生物学相结合的一个日益重要的领域，由于人类社会对可穿戴器件和生物可植入设备的需求不断增长。例如，检测电生理学信号，建立人机器连接，或者提供方便的治疗等。而可拉伸电极作为连接所有电子元件以形成可拉伸电子产品的必要基础，因此具有宽拉伸范围，高电导能力以及稳定性好的可拉伸电极的制备受到广泛关注。
可拉伸电极主要通过两种方式制备。其中一种方法是在柔性衬底上构筑可拉伸结构再复合刚性或者具备一定柔性的导电材料。这些可拉伸结构包括：“波浪形”几何形状，蛇形互连结构，或者渗流网络结构。另一个侧重于新型可拉伸导电纳米材料的制备，包括碳纳米管，石墨烯，导电聚合物及他们的复合材料和新材料。
现有的可拉伸电极多采用在柔性衬底上复合上导电材料，通常需要使用例如光刻等较为复杂的工艺过程，并且制备出来的电极的拉伸范围较小，稳定性较差或者电导率低。除此之外，某些可拉伸电极为了增大拉伸范围而牺牲电导能力，或者为了提高导电材料与衬底的黏附性而牺牲了拉伸范围。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极及其制作方法，以克服现有技术的不足。
为实现前述发明目的，本发明采用的技术方案包括：
本发明实施例提供了一种基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极的制作方法，其包括：
对柔性衬底进行加工，以在所述柔性衬底的表面形成裂纹结构，所述裂纹结构包括复数条取向一致的裂纹；
至少在所述裂纹结构上形成导电层。
在一些较为具体的实施方案中，所述的制作方法包括：采用物理处理和/或化学处理方式对柔性衬底进行加工，以形成所述的裂纹结构。
优选的，所述的裂纹为微米尺寸的裂纹。
优选的，所述裂纹的宽度为1-10μm。
在一些较为具体的实施方案中，所述的化学处理方式包括化学腐蚀方式。
优选的，所述的化学腐蚀方式包括酸处理。
在一些较为具体的实施方案中，所述的物理处理方式包括氧等离子体处理。
优选的，所述氧等离子体处理的时间为1-50min，功率10-500W，压强为1-500Pa。
在一些较为具体的实施方案中，所述的制作方法还包括：对所述裂纹结构进行表面修饰改性处理。
在一些较为具体的实施方案中，所述的制作方法包括：在真空条件下采用(3-巯基丙基)三甲氧基硅烷对所述裂纹结构进行表面修饰改性处理。
优选的，所述表面修饰改性处理时间5-300min。
优选的，所述(3-巯基丙基)三甲氧基硅烷的用量为1-50μL/m2。
在一些较为具体的实施方案中，所述的制作方法包括：使所述柔性衬底处于拉伸状态，并在所述裂纹结构上形成所述导电层。
在一些较为具体的实施方案中，至少采用磁控溅射、电子束蒸发、热蒸镀法和液相法中的任意一种方式在所述裂纹结构的表面形成所述导电层。
优选的，所述导电层的材质包括导电金属或导电非金属。
优选的，所述导电金属包括金、银、铜中的任意一种，但不限于此。
优选的，导电金属可以是纳米尺度的金属线，例如银纳米线等。
优选的，所述导电非金属包括碳纳米管、石墨烯或导电聚合物。
优选的，所述的导电聚合物包括聚3，4-乙烯二氧噻吩∶聚苯乙烯磺酸盐(PEDOT∶PSS)、聚吡咯(PPy)中的任意一种或两种以上的组合，但不限于此。
在一些较为具体的实施方案中，所述柔性衬底的材质包括聚二甲基硅氧烷(PDMS)、聚酰亚胺(PI)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、脂肪族芳香族无规共聚酯(Ecoflex)、聚氨基甲酸酯、聚苯乙烯(PS)、苯乙烯一丁二烯一苯乙烯嵌段共聚物(SBS)、苯乙烯一乙烯一丁烯一苯乙烯嵌段共聚物(SEBS)、苯乙烯一乙烯一丙烯一苯乙烯型嵌段共聚物(SEPS)中的任意一种或两种以上的组合，但不限于此。
本发明实施例还提供了由所述的制作方法制作形成的基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极。
在一些较为具体的实施方案中，所述基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极的拉伸范围为0％-300％，电导率为0.1-107S/m。
与现有技术相比，本发明的优点至少在于：
(1)本发明提供的基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极的制作方法工艺简单、可控性好，通过利用各种柔性衬底在不同处理方式下产生取向较为均匀裂纹的特点，经过表面修饰之后复合导电材料并形成微米尺度的导电膜，即可制备出进而制备出折叠式可拉伸电极；
(2)本发明提供的折叠式可拉伸电极具有宽拉伸范围，高电导能力以及稳定性优异等优点。
附图说明
图1是本发明一典型实施案例中一种折叠式可拉伸电极的结构示意图；
图2是本发明实施例1制备形成的一种典型折叠式可拉伸电极样品在不同拉伸倍率(0％～180％)下的I-V曲线图；
图3是本发明实施例1制备形成的一种典型折叠式可拉伸电极样品在100％拉伸范围内10K次的循环稳定性测试图。
具体实施方式
鉴于现有技术中的不足，本案发明人经长期研究和大量实践，得以提出本发明的技术方案。如下将对该技术方案、其实施过程及原理等作进一步的解释说明。
本发明的如下实施例中所提供的折叠式可拉伸电极的一种典型结构可以参阅图1，其可以包括柔性衬底1以及形成在柔性衬底上的导电层2，柔性衬底的至少一侧表面上形成由复数条取向较为一致的裂纹组成的裂纹结构11，导电层2至少覆盖在所述的裂纹结构11上；其中柔性衬底1可以经由PI胶带4固定在硅片3上。
实施例1
一种基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极的制作方法，可以包括如下步骤：
选用聚二甲基硅氧烷膜(PDMS)作为柔性衬底；
1)采用氧等离子体处理的方式对聚二甲基硅氧烷膜进行处理，以在聚二甲基硅氧烷膜的单面或者双面表面形成由复数条取向较为一致的裂纹组成的裂纹结构；其中，氧等离子处理的时间为1-50min，功率10-500W，压强为1-500Pa；
2)接着采用(3-巯基丙基)三甲氧基硅烷(MPTMS)在20-200℃、持续抽真空状态(0.01MPa以下)下对形成有裂纹结构的聚二甲基硅氧烷膜进行5-300min的表面修饰改性处理；(3-巯基丙基)三甲氧基硅烷的用量为1-50μL/m2；
3)最后在一定预拉伸状态下通过蒸镀法或者是液相反应等方式在聚二甲基硅氧烷膜上制作金膜作为导电层，其中金膜至少覆盖所述裂纹结构，进而形成在拉伸或者收缩过程中导电膜(或称导电层)能够进行折叠或者伸张的可拉伸电极，其结构可以参阅图1所示。
4)对制作形成的折叠式可拉伸电极进行测试，包括：并在不同拉伸长度(0％～180％的拉伸倍率)下测试其导电性能，以及在100％拉伸范围内对其10K次循环稳定性进行测试，所获测试结果分别如图2和图3所示。
实施例2
选用聚酰亚胺膜(PI)作为柔性衬底；
1)采用紫外处理的方式对聚酰亚胺膜进行处理，以在聚酰亚胺膜的单面或者双面表面形成由复数条取向较为一致的裂纹组成的裂纹结构；其中紫外处理采用的波长为10-380nm，紫外处理的强度为10mW/cm2；
2)采用氧等离子体处理的方式(时间为1-50min，功率为10-500W，压强为1-500Pa)对形成有裂纹结构的聚酰亚胺膜进行表面亲水性处理；
3)在一定预拉伸状态下通过旋涂(在500-6000r/s旋涂速度下旋涂10-60s)方式在聚酰亚胺膜上制作聚3，4-乙烯二氧噻吩∶聚苯乙烯磺酸盐(PEDOT∶PSS)膜作为导电层，导电层至少覆盖所述裂纹结构，进而形成在拉伸或者收缩过程中导电膜(或称导电层)能够进行折叠或者伸张的可拉伸电极，其结构可以参阅图1所示；其中聚3，4-乙烯二氧噻吩∶聚苯乙烯磺酸盐的用量为1-105μl/cm2；
4)对制作形成的折叠式可拉伸电极进行测试，包括：并在不同拉伸长度(倍率)下测试其导电性能，以及在100％拉伸范围内对其10K次循环稳定性进行测试，所获测试结果与实施例1中的结果基本一致。
实施例3
选用聚对苯二甲酸乙二醇酯膜(PET)作为柔性衬底；
1)将其转移至平铺的棉花上，并采用紫外处理的方式对聚对苯二甲酸乙二醇酯膜进行处理，以在聚对苯二甲酸乙二醇酯膜的单面或者双面表面形成由复数条取向较为一致的裂纹组成的裂纹结构；其中紫外处理采用的紫外光波长为185-254nm、紫外处理的强度为10mW/cm2；
2)无需对聚对苯二甲酸乙二醇酯膜表面做进一步处理，在一定预拉伸状态下通过蒸镀法或者是电子束蒸发等方式在聚对苯二甲酸乙二醇酯膜上制作银作为导电层，导电层至少覆盖所述裂纹结构，进而形成在拉伸或者收缩过程中导电膜(或称导电层)能够进行折叠或者伸张的可拉伸电极，其结构可以参阅图1所示；
3)对制作形成的折叠式可拉伸电极进行测试，包括：并在不同拉伸长度(倍率)下测试其导电性能，以及在100％拉伸范围内对其10K次循环稳定性进行测试，所获测试结果与实施例1中的结果基本一致。
实施例4
选用脂肪族芳香族无规共聚酯膜作为柔性衬底；
1)采用化学腐蚀的方式对脂肪族芳香族无规共聚酯膜进行处理，以在脂肪族芳香族无规共聚酯膜的单面或者双面表面形成由复数条取向较为一致的裂纹组成的裂纹结构；其中本实施例中的化学腐蚀采用在0.1-10mol/1硝酸中浸泡5-240min的方式；
2)采用(3-巯基丙基)三甲氧基硅烷在20-200℃、持续抽真空状态(0.01MPa以下)下对形成有裂纹结构的脂肪族芳香族无规共聚酯膜进行5-300min的表面修饰改性处理；(3-巯基丙基)三甲氧基硅烷的用量为1-50μL/m2；
3)在一定预拉伸状态下通过液相反应等方式在脂肪族芳香族无规共聚酯膜上制作银纳米线作为导电层，导电层至少覆盖所述裂纹结构，进而形成在拉伸或者收缩过程中导电膜(或称导电层)能够进行折叠或者伸张的可拉伸电极，其结构可以参阅图1所示；
4)对制作形成的折叠式可拉伸电极进行测试，包括：并在不同拉伸长度(倍率)下测试其导电性能，以及在200％拉伸范围内对其10K次循环稳定性进行测试，所获测试结果与实施例1中的结果基本一致。
实施例5
选用聚苯乙烯作为柔性衬底；
1)采用化学腐蚀的方式对聚苯乙烯进行处理，以在聚苯乙烯的单面或者双面表面形成由复数条取向较为一致的裂纹组成的裂纹结构；其中本实施例中采用的化学腐蚀处理包括在0.1-10mol/1盐酸中氧化1-60min；
2)使用N-(3-三甲氧基硅丙基)吡咯，在30-100℃、持续抽真空状态(0.01MPa以下)下对形成有裂纹结构的聚苯乙烯进行5-300min的表面修饰改性处理；
3)在一定预拉伸状态下通过蒸镀法或者是液相反应等方式在聚苯乙烯上制作聚吡咯(PPy)膜作为导电层，导电层至少覆盖所述裂纹结构，进而形成在拉伸或者收缩过程中导电膜(或称导电层)能够进行折叠或者伸张的可拉伸电极，其结构可以参阅图1所示；
4)对制作形成的折叠式可拉伸电极进行测试，包括：并在不同拉伸长度(倍率)下测试其导电性能，以及在300％拉伸范围内对其10K次循环稳定性进行测试，所获测试结果与实施例1中的结果基本一致。
实施例6
选用苯乙烯一丁二烯一苯乙烯嵌段共聚物膜作为柔性衬底；
1)采用化学腐蚀的方式对苯乙烯一丁二烯一苯乙烯嵌段共聚物进行处理，以在苯乙烯一丁二烯一苯乙烯嵌段共聚物膜的单面或者双面表面形成由复数条取向较为一致的裂纹组成的裂纹结构；本实施例中采用的化学腐蚀处理包括在0.1-5mol/1硝酸中浸泡5-300min；
2)在一定预拉伸状态下通过电子束蒸发等方式在苯乙烯一丁二烯一苯乙烯嵌段共聚物上制作铜膜作为导电层，导电层至少覆盖所述裂纹结构，进而形成在拉伸或者收缩过程中导电膜(或称导电层)能够进行折叠或者伸张的可拉伸电极，其结构可以参阅图1所示；
3)对制作形成的折叠式可拉伸电极进行测试，包括：并在不同拉伸长度(倍率)下测试其导电性能，以及在300％拉伸范围内对其10K次循环稳定性进行测试，所获测试结果与实施例1中的结果基本一致。
本发明还采用诸如聚二甲基硅氧烷(PDMS)、聚酰亚胺(PI)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、脂肪族芳香族无规共聚酯(Ecoflex)、聚氨基甲酸酯、聚苯乙烯(PS)、苯乙烯一丁二烯一苯乙烯嵌段共聚物(SBS)、苯乙烯一乙烯一丁烯一苯乙烯嵌段共聚物(SEBS)、苯乙烯一乙烯一丙烯一苯乙烯型嵌段共聚物(SEPS)中的任意一种或两种以上的组合作为柔性衬底，并针对不同的衬底采用诸如物理处理方式和化学处理的方式在柔性衬底上制作形成由复数条取向一致的裂纹组成的裂纹结构，并对裂纹结构进行表面修饰改性处理或不处理，之后再柔性衬底上制作形成导电层，并使导电层至少覆盖裂纹结构，进而形成如图1中结构所示的可折叠式可拉伸电极，并对获得的可折叠式可拉伸电极进行性能测试，其测试结果与实施例1中的结果基本一致。
应当理解，上述实施例仅为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极的制作方法，其特征在于包括：
对柔性衬底进行加工，以在所述柔性衬底的表面形成裂纹结构，所述裂纹结构包括复数条取向一致的裂纹；
至少在所述裂纹结构上形成导电层。
2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于包括：采用物理处理和/或化学处理方式对柔性衬底进行加工，以形成所述的裂纹结构；优选的，所述的裂纹为微米级尺寸的裂纹；优选的，所述裂纹的宽度为1-10μm。
3.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于：所述的化学处理方式包括化学腐蚀方式；优选的，所述化学腐蚀方式包括酸处理；和/或，所述的物理处理方式包括紫外处理和氧等离子体处理中的任意一种；优选的，所述氧等离子体处理的时间为1-30min，功率10-500W，压强为1-500Pa。
4.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于还包括：对所述裂纹结构进行表面修饰改性处理。
5.根据权利要求4所述的制作方法，其特征在于包括：在真空条件下采用(3-巯基丙基)三甲氧基硅烷，在20-100℃下对所述裂纹结构进行表面修饰改性处理；优选的，所述表面修饰改性处理时间5-300min；优选的，所述(3-巯基丙基)三甲氧基硅烷的用量为1-50μL/m2。
6.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于包括：使所述柔性衬底处于拉伸状态，并在所述裂纹结构上形成所述导电层。
7.根据权利要求1或6所述的制作方法，其特征在于：至少采用磁控溅射、电子束蒸发、热蒸镀法和液相法中的任意一种方式在所述裂纹结构的表面形成所述导电层；优选的，所述导电层的材质包括导电金属或导电非金属；优选的，所述导电金属包括金、银、铜中的任意一种；优选的，所述导电非金属包括碳纳米管、石墨烯或导电聚合物；优选的，所述的导电聚合物包括聚3，4-乙烯二氧噻吩∶聚苯乙烯磺酸盐(PEDOT∶PSS)、聚吡咯(PPy)中的任意一种或两种以上的组合。
8.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述柔性衬底的材质包括聚二甲基硅氧烷、聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、脂肪族芳香族无规共聚酯、聚氨基甲酸酯、聚苯乙烯、苯乙烯一丁二烯一苯乙烯嵌段共聚物、苯乙烯一乙烯一丁烯一苯乙烯嵌段共聚物、苯乙烯一乙烯一丙烯一苯乙烯型嵌段共聚物中的任意一种或两种以上的组合。
9.由权利要求1-8中任一项所述的制作方法制作形成的基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极。
10.根据权利要求9所述的基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极，其特征在于：所述基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极的拉伸范围为0％-300％，电导率为0.1-107Sm-1。
CN201910046585.3A 2019-01-18 2019-01-18 基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极及其制作方法 Active CN111462942B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910046585.3A CN111462942B (zh) 2019-01-18 2019-01-18 基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极及其制作方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910046585.3A CN111462942B (zh) 2019-01-18 2019-01-18 基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极及其制作方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111462942A true CN111462942A (zh) 2020-07-28
CN111462942B CN111462942B (zh) 2022-01-28

Family

ID=71684091

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910046585.3A Active CN111462942B (zh) 2019-01-18 2019-01-18 基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极及其制作方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111462942B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023070864A1 (zh) * 2021-11-01 2023-05-04 中国科学院深圳先进技术研究院 基于反应离子刻蚀的柔性可拉伸金膜电极及其制备方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009046852A1 (de) * 2008-11-20 2010-06-17 Ceramtec Ag Vielschichtaktor mit Außenelektroden als metallische, poröse, dehnbare Leitschicht
CN104849259A (zh) * 2015-06-05 2015-08-19 中物院成都科学技术发展中心 一种柔性表面增强拉曼基底的制备方法
US20160234930A1 (en) * 2015-02-05 2016-08-11 Electronics And Telecommunications Research Institute Stretchable transparent electrode and method of fabricating same
CN106847688A (zh) * 2017-01-11 2017-06-13 北京大学 一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法
CN107910104A (zh) * 2017-10-09 2018-04-13 厦门大学 一种导电膜及其制备方法
CN108444377A (zh) * 2018-03-18 2018-08-24 吉林大学 基于规则微米裂纹阵列结构柔性应变传感器及其制备方法
CN108553102A (zh) * 2018-03-14 2018-09-21 浙江大学 一种柔性可拉伸多通道凸形表面肌电极及其制备方法
CN108917582A (zh) * 2018-03-30 2018-11-30 华东理工大学 应变传感器及其制造方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009046852A1 (de) * 2008-11-20 2010-06-17 Ceramtec Ag Vielschichtaktor mit Außenelektroden als metallische, poröse, dehnbare Leitschicht
US20160234930A1 (en) * 2015-02-05 2016-08-11 Electronics And Telecommunications Research Institute Stretchable transparent electrode and method of fabricating same
CN104849259A (zh) * 2015-06-05 2015-08-19 中物院成都科学技术发展中心 一种柔性表面增强拉曼基底的制备方法
CN106847688A (zh) * 2017-01-11 2017-06-13 北京大学 一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法
CN107910104A (zh) * 2017-10-09 2018-04-13 厦门大学 一种导电膜及其制备方法
CN108553102A (zh) * 2018-03-14 2018-09-21 浙江大学 一种柔性可拉伸多通道凸形表面肌电极及其制备方法
CN108444377A (zh) * 2018-03-18 2018-08-24 吉林大学 基于规则微米裂纹阵列结构柔性应变传感器及其制备方法
CN108917582A (zh) * 2018-03-30 2018-11-30 华东理工大学 应变传感器及其制造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023070864A1 (zh) * 2021-11-01 2023-05-04 中国科学院深圳先进技术研究院 基于反应离子刻蚀的柔性可拉伸金膜电极及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN111462942B (zh) 2022-01-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Zhou et al. Conductive polymer protonated nanocellulose aerogels for tunable and linearly responsive strain sensors
Cheng et al. Stretchable thin‐film electrodes for flexible electronics with high deformability and stretchability
Trung et al. Materials and devices for transparent stretchable electronics
Cheong et al. Silver nanowire network transparent electrodes with highly enhanced flexibility by welding for application in flexible organic light-emitting diodes
Zhang et al. Highly stable and stretchable graphene–polymer processed silver nanowires hybrid electrodes for flexible displays
Wang et al. Plasma-induced nanowelding of a copper nanowire network and its application in transparent electrodes and stretchable conductors
JP5707628B2 (ja) グラフェンのロールツーロール転写方法、グラフェンのロールツーロール転写装置、グラフェンロールの製造方法、及び素子の製造方法
Zhou et al. Copper mesh templated by breath-figure polymer films as flexible transparent electrodes for organic photovoltaic devices
JP7176411B2 (ja) フレキシブル電極及びセンサー素子
CN102522145A (zh) 一种纳米银透明电极材料及其制备方法
KR101521694B1 (ko) 플렉서블/스트레처블 투명도전성 필름 및 그 제조방법
Kim et al. Flexible, highly durable, and thermally stable SWCNT/polyimide transparent electrodes
Liu et al. A new method for fabricating ultrathin metal films as scratch-resistant flexible transparent electrodes
Chen et al. Heterogeneous surface orientation of solution-deposited gold films enables retention of conductivity with high strain—a new strategy for stretchable electronics
CN112053806B (zh) 纳米片-纳米线复合结构透明加热薄膜的制备方法
Lee et al. Fully solution-processed and foldable metal-oxide thin-film transistor
TW201442245A (zh) 薄膜電晶體及其製備方法
Ervasti et al. Inkjet-deposited single-wall carbon nanotube micropatterns on stretchable PDMS-Ag substrate–electrode structures for piezoresistive strain sensing
Kim et al. Highly deformable transparent Au film electrodes and their uses in deformable displays
Hu et al. Tuning the electronic properties of robust bio-bond graphene papers by spontaneous electrochemical reduction: from insulators to flexible semi-metals
Nie et al. High-performance transparent and conductive films with fully enclosed metal mesh
Kubo et al. Fabrication of a bilayer structure of Cu and polyimide to realize circuit microminiaturization and high interfacial adhesion in flexible electronic devices
Li et al. Eggshell-inspired membrane—shell strategy for simultaneously improving the sensitivity and detection range of strain sensors
CN111462942B (zh) 基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极及其制作方法
Yu et al. Degradable, ultra-flexible, transparent and conductive film made of assembling CuNWs on chitosan

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant