CN106847688A - 一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法 - Google Patents
一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106847688A CN106847688A CN201710018986.9A CN201710018986A CN106847688A CN 106847688 A CN106847688 A CN 106847688A CN 201710018986 A CN201710018986 A CN 201710018986A CN 106847688 A CN106847688 A CN 106847688A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- stretching
- twin shaft
- backing material
- stretchable
- shaft pre
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 69
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 34
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 claims description 6
- 238000012876 topography Methods 0.000 claims description 6
- 229920005573 silicon-containing polymer Polymers 0.000 claims description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 3
- 125000000118 dimethyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims description 3
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 claims description 3
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 3
- 238000000053 physical method Methods 0.000 claims description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 abstract description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 19
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 239000013536 elastomeric material Substances 0.000 description 2
- 239000002305 electric material Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 241000208340 Araliaceae Species 0.000 description 1
- 235000005035 Panax pseudoginseng ssp. pseudoginseng Nutrition 0.000 description 1
- 235000003140 Panax quinquefolius Nutrition 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000036772 blood pressure Effects 0.000 description 1
- 230000036760 body temperature Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 235000008434 ginseng Nutrition 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 238000011056 performance test Methods 0.000 description 1
- -1 polydimethylsiloxane, dimethyl Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
- H01L21/283—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current
- H01L21/285—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a gas or vapour, e.g. condensation
- H01L21/28506—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a gas or vapour, e.g. condensation of conductive layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
本发明提供了一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法，该方法包括可拉伸衬底材料、双轴预拉伸、导电材料淀积和预拉伸恢复；所述的可拉伸衬底材料是在承受外力的情况下易发生形变而不容易断裂的材料；所述的双轴预拉伸是对可拉伸衬底材料施加两个垂直方向的外力，使之发生双轴形变的过程；所述的导电材料淀积是利用物理、化学方法在预拉伸的衬底上制备导电薄膜的过程；所述拉伸恢复是在淀积导电材料之后，卸去衬底材料的外部载荷使衬底材料恢复到原来尺寸的过程。本发明提出的导电电极制备方法实现了高可拉伸性，高电导率，高稳定性和低成本的电极材料的制备，并且在很大的拉伸程度下具备良好的导电性能，拓展了导电材料的应用范围。
Description
技术领域
本发明涉及可拉伸电子器件领域，具体涉及一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法。
背景技术
随着科技水平的不断提高，人们希望通过电子设备随时对自己的身体状况进行更好的监测，如运动状态，呼吸状况，体温和血压等各项身体和生理指标。基于这样的需求和人体各部位对可拉伸特性的依赖，可拉伸材料成为检测人体指标的重要材料。作为电学信号产生、采集和传导的基础材料，高可靠的可拉伸导电材料成为制备可拉伸电极和可拉伸器件的关键。如何制备具有高可拉伸性，高电导率，高稳定性和低成本的电极材料已经成为许多研究者关注的话题。
在现有的研究成果中，主要通过三种方案制备可拉伸性能的电极材料。第一：通过在可拉伸衬底中添加导电的纳米材料，金属纳米线和碳纳米管等常被用为这样的填充材料；第二，生长具有固有缺陷的金属薄膜；第三，在衬底表面制备U型/Z型的金属薄膜。前两种方法具有不稳定的导电性和有限的可拉伸性；第三种方法中制备的金属薄膜的表面应力，严重影响其导电性和稳定性。这一点在多次拉伸之后尤为明显。
为了突破这样的限制，一些研究人员把金电极转移到具有栅槽结构的可拉伸衬底上，实现了导电性能，拉伸性能和稳定性都较好的金属电极。不过该方法工艺复杂性较高，且有手工贴合步骤，较难实现大面积、高可靠和低成本的制作。
发明内容
本发明的实施例提供了一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法，实现高可拉伸性，高电导率，高稳定性和低成本的电极材料的制备。
为了实现上述目的，本发明采取了如下技术方案：
一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法，其特征在于，包括:
选取可拉伸的衬底材料，对所述可拉伸的衬底材料进行双轴预拉伸；
利用物理或者化学方法在双轴预拉伸后的衬底材料上淀积导电材料；
卸去所述衬底材料的外部载荷，对所述衬底材料进行拉伸恢复，恢复到原来的尺寸。
所述可拉伸的衬底材料为聚二甲基硅氧烷的聚合物或者其他橡胶材料。
利用外力先对所述可拉伸的衬底材料进行单轴拉伸，再进行另一轴的拉伸；或者，利用外力同时对所述可拉伸的衬底材料进行两个轴向拉伸。
拉伸方向采用相互垂直的两个方向，预拉伸的比例可在拉伸材料的弹性限度内自行调节。
所述的导电材料为金属导电材料或者银纳米线或者碳纳米管或者石墨烯。
所述物理方法为物理气相沉积、喷涂、丝网印刷的制备导电材料方法；所述化学方法为化学气相沉积的制备导电材料方法。
当卸去所述衬底材料的外部载荷后，衬底材料会发生拉伸反方向的收缩，导电材料受到衬底材料施加的剪切应力，表面形貌会由原先的平坦平面变为具有上下起伏的褶皱结构；
所述衬底材料的可拉伸性能决定了在此衬底材料上实现导电材料的可拉伸性的上限，后续当所述衬底材料再次被拉伸时，拉伸在所述导电材料的预拉伸比例之内，所述导电材料的表面结构会重新被拉伸开来，而不会发生断裂。
由上述本发明的实施例提供的技术方案可以看出，本发明实施例提出的导电电极制备方法使不具备拉伸特性的导电材料实现可拉伸的功能，并且在很大得拉伸条件下具备良好的导电性能，极大的拓展了导电材料的应用范围；该制备方法对衬底和导电材料没有苛刻要求，能适用于大部分常见可拉伸衬底和导电材料。
本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的 一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的实施例提供了一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法的工艺流程侧视图；
图2为本发明的实施例提供了一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法的材料单轴预拉伸的俯视图；
图3为本发明的实施例提供了一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法的双轴预拉伸俯视图；
图4为本发明的实施例提供了一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法的单轴预拉伸的电极在释放拉力时产生的应力情况示意图；
图5为本发明的实施例提供了一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法的双轴预拉伸的电极在释放拉力时产生的应力情况示意图；
图6为本发明的实施例提供了一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法的单轴预拉伸金电极表面形貌(未释放(a)和已释放(b)拉力情况)示意图；
图7为本发明的实施例提供了一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法的双轴预拉伸金电极表面形貌及在不同比例后续拉伸情况下的表面形貌示意图；
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。
本技术领域技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本发明的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。应该理解，当我们称元件被“连接”或“耦接”到另一元件时，它可以直接连接或耦接到其他元件，或者也可以存在中间元件。此外，这里使用的“连接”或“耦接”可以包括无线连接或耦接。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的任一单元和全部组合。
本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本发明所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样定义，不会用理想化或过于正式的含义来解释。
为便于对本发明实施例的理解，下面将结合附图以几个具体实施例为例做进一步的解释说明，且各个实施例并不构成对本发明实施例的限定。
实施例：
利用本发明描述的方法在PDMS(polydimethylsiloxane，聚二甲基硅氧烷)衬底上进行双轴预拉伸金电极的制备及相关性能测试；如图1至5所示描述了基本的制备流程和机理分析，图6至7展示了金电极的制备实例。
图1为本发明的实施例提供了一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法的工艺流程侧视图；如图1所示，分为四个步骤，分别是：
步骤(a)：制备PDMS衬底，选取可拉伸的衬底材料；
所述可拉伸的衬底材料为聚二甲基硅氧烷的聚合或者橡胶材料。
步骤(b)：对所述可拉伸的衬底材料进行双轴预拉伸；
利用外力先对所述可拉伸的衬底材料进行单轴拉伸，再进行另一轴的拉伸，或者，利用外力同时对所述可拉伸的衬底材料进行两个轴向拉伸。
拉伸方向采用相互垂直的两个方向，预拉伸的比例可在拉伸材料的弹性限度内自行调节。
图2和图3展示了两种预拉伸方式，即：单轴拉伸与双轴拉伸；如图3、图4所示：由于一般的弹性材料具有正的泊松比，因而在单轴(x轴方向)拉伸时，垂直方向(y轴方向)收缩，通过双轴预拉伸可以使x和y轴方向都产生拉伸。
步骤(c)：磁控溅射金电极，利用物理或者化学方法在双轴预拉伸后的衬底衬底上淀积导电材料；
所述物理方法为物理气相沉积、喷涂、丝网印刷的制备导电材料方法；所述化学方法为化学气相沉积的制备导电材料方法。
所述的导电材料为金属导电材料或者银纳米线或者碳纳米管或者石墨烯。
图4和图5展示了在两种预拉伸情况下淀积金电极的拉力释放阶段，即：单轴预拉伸与双轴预拉伸，金表面所受的应力情况；如图4所示：在单轴拉伸时，金电极在x轴方向有向内的应力，该应力使金电极表面产生局域卷曲，形成褶皱类的表面形貌；y方向有向外的应力，该应力使金电极发生拉伸，在x方向预拉伸较大的情况，该拉伸应力会使金电极断裂。而在图5所示的双轴拉伸中，由于预拉伸的比例弥补了正泊松比带来的影响，因而金在y方向上也发生收缩，不会发生断裂。
步骤(d)：拉力释放，卸去所述衬底材料的外部载荷，对所述衬底材料进行拉伸恢复，恢复到原来的尺寸。
当卸去所述衬底材料的外部载荷后，衬底材料会发生拉伸反方向的收缩，导电材料受到衬底材料施加的剪切应力，表面形貌会由原先的平坦平面变为具有上下起伏的褶皱结构；
所述衬底材料的可拉伸性能决定在此衬底材料上实现导电材料的可拉伸性的上限，后续当所述衬底材料再次被拉伸时，拉伸在所述导电材料的预拉伸比例之内，所述导电材料的表面结构会重新被拉伸开来，而不会发生断裂。
图6为单轴预拉伸金电极表面形貌(未释放(a)和已释放(b)拉力情况)示意图，如图6所示：当金电极溅射到PDMS表面后，未释放预拉伸力前(图6(a))，金电极具有平整且连续的表面；释放拉伸力之后(图6(b))，x方向具有较为规律的褶皱结构；y方向则产生较为严重的断裂情况。
图7为双轴预拉伸金电极表面形貌及在不同比例后续拉伸情况下的表面形貌示意图，如图7所示：释放拉伸力之后，在x和y方向都产生褶皱结构，由于是两个方向褶皱的叠加，因而形貌较为复杂，当该结构在x轴方向发生拉伸时，可以看出x方向的褶皱渐渐变为平坦；y方向的结构逐渐被凸显出来，当拉伸程度达到甚至超过预拉伸比例时，会在x方向产生明显的金薄膜断裂，此时会严重影响金电极的导电性能。
以上对本发明所提供的一种利用双轴预拉伸法制备可拉伸导电电极的方法进行了详细介绍，同时参照附图对本申请的示例性的实施方案进行了描述。本领域技术人员应该理解，上述实施方案仅仅是为了说明的目的而所举的示例，而不是用来进行限制，凡在本申请的教导和权利要求保护范围下所作的任何修改、等同替换等，均应包含在本申请要求保护的范围内。
综上所述，本发明实施例通过提出的导电电极制备方法使不具备拉伸特性的导电材料实现可拉伸的功能，并且在很大得拉伸条件下具备良好的导电性能，极大的拓展了导电材料的应用范围；该制备方法对衬底和导电材料没有苛刻要求，能适用于大部分常见可拉伸衬底和导电材料；本发明提出的电极材料的制备方法工艺简单，成本低，将对电极进行处理的复杂工艺过程转换为对可拉伸衬底的简单操作，易于实现大面积制备及图形化。
本领域普通技术人员可以理解：附图只是一个实施例的示意图，附图中的模块或流程并不一定是实施本发明所必须的。
本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于装置或系统实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述得比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。以上所描述的装置及系统实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性劳动的情况下，即可以理解并实施。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易 想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
Claims (7)
1.一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法，其特征在于，包括:
选取可拉伸的衬底材料，对所述可拉伸的衬底材料进行双轴预拉伸；
利用物理或者化学方法在双轴预拉伸后的衬底材料上淀积导电材料；
卸去所述衬底材料的外部载荷，对所述衬底材料进行拉伸恢复，恢复到原来的尺寸。
2.根据权利要求1所述的一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法，其特征在于，所述可拉伸的衬底材料为聚二甲基硅氧烷的聚合物或者其他橡胶材料。
3.根据权利要求2所述的一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法，其特征在于，所述的对所述可拉伸衬底材料进行双轴预拉伸，包括：
利用外力先对所述可拉伸的衬底材料进行单轴拉伸，再进行另一轴的拉伸；
或者，
利用外力同时对所述可拉伸的衬底材料进行两个轴向拉伸。
4.根据权利要求3所述的一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法，其特征在于，拉伸方向采用相互垂直的两个方向，预拉伸的比例可在拉伸材料的弹性限度内自行调节。
5.根据权利要求4所述的一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法，其特征在于，所述的导电材料为金属导电材料或者银纳米线或者碳纳米管或者石墨烯。
6.根据权利要求5所述的一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法，其特征在于，所述物理方法为物理气相沉积、喷涂、丝网印刷的制备导电材料方法；所述化学方法为化学气相沉积的制备导电材料方法。
7.根据权利要求1-6任意一项所述的一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法，其特征在于，所述的卸去所述衬底材料的外部载荷，对所述衬底材料进行拉伸恢复，恢复到原来的尺寸，包括：
当卸去所述衬底材料的外部载荷后，衬底材料会发生拉伸反方向的收缩，导电材料受到衬底材料施加的剪切应力，表面形貌会由原先的平坦平面变为具有上下起伏的褶皱结构；
所述衬底材料的可拉伸性能决定了在此衬底材料上实现导电材料的可拉伸性的上限，后续当所述衬底材料再次被拉伸时，拉伸在所述导电材料的预拉伸比例之内，所述导电材料的表面结构会重新被拉伸开来，而不会发生断裂。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710018986.9A CN106847688A (zh) | 2017-01-11 | 2017-01-11 | 一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710018986.9A CN106847688A (zh) | 2017-01-11 | 2017-01-11 | 一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106847688A true CN106847688A (zh) | 2017-06-13 |
Family
ID=59117426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201710018986.9A Pending CN106847688A (zh) | 2017-01-11 | 2017-01-11 | 一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN106847688A (zh) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108489375A (zh) * | 2018-02-06 | 2018-09-04 | 常州大学 | 基于碳纳米管的二维传感器制作方法 |
| CN109381182A (zh) * | 2018-10-11 | 2019-02-26 | 北京印刷学院 | 一种柔性可拉伸生物传感器及其制备方法 |
| CN109448883A (zh) * | 2018-10-19 | 2019-03-08 | 东南大学 | 一种预拉伸加工的褶皱状石墨烯柔性电极的制造方法 |
| CN110033900A (zh) * | 2019-04-09 | 2019-07-19 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 柔性导电薄膜及其制备方法、显示面板 |
| CN110237995A (zh) * | 2019-06-19 | 2019-09-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种制备电极的设备和方法 |
| CN110441945A (zh) * | 2019-08-01 | 2019-11-12 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 在显示面板中制备褶皱结构的方法、褶皱结构及显示面板 |
| CN111048550A (zh) * | 2018-10-12 | 2020-04-21 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 | 显示面板及其制备方法、电子设备 |
| CN111078041A (zh) * | 2018-10-19 | 2020-04-28 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 | 一种触控传感器、触控显示装置及触控传感器的制备方法 |
| CN111128728A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-05-08 | 清华大学 | 一种可拉伸晶体管及其制备方法 |
| CN111462942A (zh) * | 2019-01-18 | 2020-07-28 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极及其制作方法 |
| CN111785164A (zh) * | 2020-06-04 | 2020-10-16 | 华中科技大学 | 一种可拉伸反射式相变显示器件及其制备方法 |
| WO2021114041A1 (zh) * | 2019-12-09 | 2021-06-17 | 鹏鼎控股(深圳)股份有限公司 | 可拉伸感测结构及其制作方法 |
| CN113380700A (zh) * | 2021-05-20 | 2021-09-10 | 绵阳惠科光电科技有限公司 | 一种柔性屏的制备方法和柔性屏 |
| CN114888423A (zh) * | 2022-07-12 | 2022-08-12 | 杭州沈氏节能科技股份有限公司 | 一种基于扩散焊接的板翅式换热器制作方法 |
| CN115124751A (zh) * | 2022-06-22 | 2022-09-30 | 武汉工程大学 | 一种基于多级微褶皱结构可拉伸电极及其制备方法和应用 |
| WO2023197130A1 (zh) * | 2022-04-12 | 2023-10-19 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 一种多通道高密度的超窄可拉伸微电极及其制备方法和应用 |
| CN117405748A (zh) * | 2023-12-14 | 2024-01-16 | 北京大学 | 一种柔性可拉伸生物传感器及其制备方法和应用 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20120118617A1 (en) * | 2009-05-14 | 2012-05-17 | DuPont Tejin Films Limited Partnership | Transparent Conductive Composite Films |
| CN103903870A (zh) * | 2014-03-09 | 2014-07-02 | 复旦大学 | 一种可变色和可拉伸的超级电容器及其制备方法 |
| CN104827021A (zh) * | 2015-04-09 | 2015-08-12 | 山东师范大学 | 一种高导电可拉伸海绵状石墨烯基电极材料的制备方法 |
| CN106229038A (zh) * | 2016-09-07 | 2016-12-14 | 东华大学 | 一种基于多级结构石墨烯的可拉伸透明导电弹性体的制备方法 |
-
2017
- 2017-01-11 CN CN201710018986.9A patent/CN106847688A/zh active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20120118617A1 (en) * | 2009-05-14 | 2012-05-17 | DuPont Tejin Films Limited Partnership | Transparent Conductive Composite Films |
| CN103903870A (zh) * | 2014-03-09 | 2014-07-02 | 复旦大学 | 一种可变色和可拉伸的超级电容器及其制备方法 |
| CN104827021A (zh) * | 2015-04-09 | 2015-08-12 | 山东师范大学 | 一种高导电可拉伸海绵状石墨烯基电极材料的制备方法 |
| CN106229038A (zh) * | 2016-09-07 | 2016-12-14 | 东华大学 | 一种基于多级结构石墨烯的可拉伸透明导电弹性体的制备方法 |
Cited By (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108489375A (zh) * | 2018-02-06 | 2018-09-04 | 常州大学 | 基于碳纳米管的二维传感器制作方法 |
| CN108489375B (zh) * | 2018-02-06 | 2022-10-28 | 常州大学 | 基于碳纳米管的二维传感器制作方法 |
| CN109381182A (zh) * | 2018-10-11 | 2019-02-26 | 北京印刷学院 | 一种柔性可拉伸生物传感器及其制备方法 |
| CN111048550B (zh) * | 2018-10-12 | 2022-06-17 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 | 显示面板及其制备方法、电子设备 |
| CN111048550A (zh) * | 2018-10-12 | 2020-04-21 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 | 显示面板及其制备方法、电子设备 |
| CN111078041A (zh) * | 2018-10-19 | 2020-04-28 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 | 一种触控传感器、触控显示装置及触控传感器的制备方法 |
| CN109448883A (zh) * | 2018-10-19 | 2019-03-08 | 东南大学 | 一种预拉伸加工的褶皱状石墨烯柔性电极的制造方法 |
| CN111462942A (zh) * | 2019-01-18 | 2020-07-28 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极及其制作方法 |
| CN111462942B (zh) * | 2019-01-18 | 2022-01-28 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极及其制作方法 |
| WO2020206735A1 (zh) * | 2019-04-09 | 2020-10-15 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 柔性导电薄膜及其制备方法、显示面板 |
| CN110033900A (zh) * | 2019-04-09 | 2019-07-19 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 柔性导电薄膜及其制备方法、显示面板 |
| CN110237995A (zh) * | 2019-06-19 | 2019-09-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种制备电极的设备和方法 |
| CN110441945A (zh) * | 2019-08-01 | 2019-11-12 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 在显示面板中制备褶皱结构的方法、褶皱结构及显示面板 |
| WO2021114041A1 (zh) * | 2019-12-09 | 2021-06-17 | 鹏鼎控股(深圳)股份有限公司 | 可拉伸感测结构及其制作方法 |
| CN111128728B (zh) * | 2019-12-13 | 2021-08-31 | 清华大学 | 一种可拉伸晶体管及其制备方法 |
| CN111128728A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-05-08 | 清华大学 | 一种可拉伸晶体管及其制备方法 |
| CN111785164A (zh) * | 2020-06-04 | 2020-10-16 | 华中科技大学 | 一种可拉伸反射式相变显示器件及其制备方法 |
| CN113380700A (zh) * | 2021-05-20 | 2021-09-10 | 绵阳惠科光电科技有限公司 | 一种柔性屏的制备方法和柔性屏 |
| WO2023197130A1 (zh) * | 2022-04-12 | 2023-10-19 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 一种多通道高密度的超窄可拉伸微电极及其制备方法和应用 |
| CN115124751A (zh) * | 2022-06-22 | 2022-09-30 | 武汉工程大学 | 一种基于多级微褶皱结构可拉伸电极及其制备方法和应用 |
| CN115124751B (zh) * | 2022-06-22 | 2023-09-26 | 武汉工程大学 | 一种基于多级微褶皱结构可拉伸电极及其制备方法和应用 |
| CN114888423A (zh) * | 2022-07-12 | 2022-08-12 | 杭州沈氏节能科技股份有限公司 | 一种基于扩散焊接的板翅式换热器制作方法 |
| CN114888423B (zh) * | 2022-07-12 | 2022-10-21 | 杭州沈氏节能科技股份有限公司 | 一种基于扩散焊接的板翅式换热器制作方法 |
| CN117405748A (zh) * | 2023-12-14 | 2024-01-16 | 北京大学 | 一种柔性可拉伸生物传感器及其制备方法和应用 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106847688A (zh) | 一种基于双轴预拉伸的可拉伸电极制备方法 | |
| Huang et al. | Phase-separation-induced PVDF/graphene coating on fabrics toward flexible piezoelectric sensors | |
| Li et al. | Recent progress in flexible and stretchable piezoresistive sensors and their applications | |
| Ma et al. | Design and application of ‘J-shaped’stress–strain behavior in stretchable electronics: a review | |
| Wu | Stretchable electronics: functional materials, fabrication strategies and applications | |
| Li et al. | Recent advances of carbon-based flexible strain sensors in physiological signal monitoring | |
| Lai et al. | Electric eel‐skin‐inspired mechanically durable and super‐stretchable nanogenerator for deformable power source and fully autonomous conformable electronic‐skin applications | |
| Xu et al. | Triboelectric electronic-skin based on graphene quantum dots for application in self-powered, smart, artificial fingers | |
| Lacour et al. | Stretchable interconnects for elastic electronic surfaces | |
| CN107655397B (zh) | 一种兼备高电阻应变灵敏系数与高形变能力的多功能石墨烯柔性传感器及其制备方法 | |
| Zhao et al. | Highly sensitive flexible strain sensor based on threadlike spandex substrate coating with conductive nanocomposites for wearable electronic skin | |
| Wang et al. | A highly stretchable and transparent silver nanowire/thermoplastic polyurethane film strain sensor for human motion monitoring | |
| EP3567610B1 (en) | Flexible sensor apparatus | |
| Wagner et al. | Materials for stretchable electronics | |
| Paul et al. | An investigation into the durability of screen-printed conductive tracks on textiles | |
| Guo et al. | Stretchable and compressible strain sensors based on carbon nanotube meshes | |
| Zhilyaeva et al. | A novel straightforward wet pulling technique to fabricate carbon nanotube fibers | |
| CN109238522A (zh) | 一种可穿戴的柔性应力传感器及其制备方法和应用 | |
| CN107881768B (zh) | 一种基于聚氨酯纤维的可拉伸应变传感器及其制备方法 | |
| Filiatrault et al. | A self-assembled, low-cost, microstructured layer for extremely stretchable gold films | |
| Nguyen et al. | Review on the transformation of biomechanical energy to green energy using triboelectric and piezoelectric based smart materials | |
| US9212960B2 (en) | Nanostructures with strain-induced resistance | |
| Hubertus et al. | Electromechanical evaluation of sub-micron NiCr-carbon thin films as highly conductive and compliant electrodes for dielectric elastomers | |
| Fuh et al. | All-fiber transparent piezoelectric harvester with a cooperatively enhanced structure | |
| Wang et al. | Scalable nanomanufacturing and assembly of chiral-chain piezoelectric tellurium nanowires for wearable self-powered cardiovascular monitoring |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20170613 |