CN111450720A - 水溶液的气体浓度提升装置 - Google Patents

水溶液的气体浓度提升装置 Download PDF

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    • B01F23/20—Mixing gases with liquids
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Abstract

本发明提供一种水溶液的气体浓度提升装置，包括一浓度提升槽、一气体输入端、一循环管线、一冷却装置及一洒水装置，其中浓度提升槽内具有水溶液，并经由气体输入端将气体输送至浓度提升槽。循环管线将浓度提升槽内的水溶液输送至洒水装置，并以冷却装置降低循环管线输送的水溶液的温度。洒水装置将经过冷却的水溶液以水滴或水柱的状态喷洒在浓度提升槽内，其中水滴或水柱会接触浓度提升槽内的气体，使得气体溶解在水溶液，并落在气体浓度提升槽的底部，通过循环管线及冷却装置多次循环及冷却水溶液，可有效提升水溶液中的气体浓度。

Description

水溶液的气体浓度提升装置
技术领域
本发明有关于一种水溶液的气体浓度提升装置，可有效高气体溶解在水溶液的效率，并提升水溶液中的气体浓度。
背景技术
在半导体、发光二极体或液晶等电子工业制品的制程中，经常会使用湿式化学清洗制程来去除基板表面上的微粒子。具体而言可利用一定浓度的气体水溶液或药剂活化硅晶圆及微粒子表面，进而达到洗净目的。
一般而言通常会依据气体对水的溶解度，选择适合的装置将气体溶于水中，以形成需要的气体水溶液。具体而言，排水集气法适用于难溶于水的气体，向上排气法适用于易溶于水，且比空气重的气体，而向下排气法则适用于易溶水，比空气轻的气体，然而依据气体的特性分别使用不同的装置及方法，使得气体可顺利溶于水中，有可能会增加采购不同设备需要的成本，亦无法有效提高气体的溶解效率。
发明内容
为了解决上述习用构造的问题，本发明提出一种新颖的水溶液的气体浓度提升装置，在使用时不需要依据气体的溶解度或比重，选择不同的装置或方法将气体溶于水中，此外亦可增加气体溶于水的效率，并提高水溶液的气体浓度。
本发明的一目的，在于提供一种水溶液的气体浓度提升装置，主要包括一浓度提升槽、一循环管线及一洒水装置，其中循环管线连接浓度提升槽，而洒水装置则位于浓度提升槽内。循环管线将浓度提升槽内的水溶液输送至洒水装置，并通过洒水装置将水溶液以水滴或水柱的方式喷洒，使得水滴或水柱与浓度提升槽内的气体接触，以提高水溶液中的气体浓度。
本发明的一目的，在于提供一种水溶液的气体浓度提升装置，主要于循环管线上设置一冷却装置，其中冷却装置通过热传导的方式降低循环管线内的水溶液的温度。而后通过洒水装置将低温的水溶液以水滴或水柱的方式喷洒，以利于气体溶解在水溶液中，并提高水溶液的气体浓度。
本发明的一目的，在于提出一种水溶液的气体浓度提升装置，其中洒水装置连接一转动机构，转动机构用以驱动洒水装置相对于浓度提升槽转动，使得洒水装置喷洒出的水滴或水柱均匀的通过浓度提升槽的各个区域，以利于气体溶解在水溶液中。
本发明的一目的，在于提供一种水溶液的气体浓度提升装置，包括：一浓度提升槽，包括一容置空间用以容置一气体及一水溶液；一气体输入端，连接浓度提升槽，并将气体输送至浓度提升槽的容置空间内；一循环管线，连接浓度提升槽，并用以输送浓度提升槽的容置空间内的水溶液；一帮浦，连接循环管线；一冷却装置，连接循环管线，并用以降低循环管线内的水溶液的温度；及一洒水装置，位于浓度提升槽的容置空间内，并连接循环管线，其中帮浦用以将浓度提升槽的容置空间内的水溶液经由循环管线输送至洒水装置，并经由洒水装置将水溶液以复数个水滴或复数个水柱的状态喷洒至浓度提升槽的容置空间内，使得浓度提升槽内的气体与水溶液接触，以提高水溶液中溶解的气体的浓度。
所述的水溶液的气体浓度提升装置，其中洒水装置为一十字形或一米字形，并于十字形或米字形的洒水装置的表面设置复数个穿孔。
所述的水溶液的气体浓度提升装置，其中洒水装置为一柱状，并于柱状的洒水装置的表面设置复数个狭缝，使得水溶液经由狭缝喷洒出片状的水柱。
所述的水溶液的气体浓度提升装置，包括一转动机构连接洒水装置，并驱动洒水装置相对于浓度提升槽转动。
所述的水溶液的气体浓度提升装置，包括一隔热层包覆浓度提升槽。
所述的水溶液的气体浓度提升装置，包括一溶液输出端连接浓度提升槽，并将水溶液输出浓度提升槽。
所述的水溶液的气体浓度提升装置，包括一液体输入端连接浓度提升槽，并用以将水溶液输送至浓度提升槽的容置空间内。
所述的水溶液的气体浓度提升装置，其中液体输入端连接循环管线或帮浦，并经由循环管线将水溶液输送至浓度提升槽的容置空间内。
所述的水溶液的气体浓度提升装置，其中洒水装置位于气体输入端的上方。
本发明的有益效果是：本发明在使用时不需要依据气体的溶解度或比重，选择不同的装置或方法将气体溶于水中，此外亦可增加气体溶于水的效率，并提高水溶液的气体浓度。
附图说明
图1为本发明水溶液的气体浓度提升装置一实施例的构造示意图。
图2为本发明水溶液的气体浓度提升装置的洒水装置一实施例的构造示意图。
图3为本发明水溶液的气体浓度提升装置的洒水装置又一实施例的构造示意图。
图4为本发明水溶液的气体浓度提升装置一实施例的构造示意图。
图5为本发明水溶液的气体浓度提升装置的洒水装置又一实施例的立体示意图。
图6为本发明水溶液的气体浓度提升装置的洒水装置又一实施例的构造示意图。
附图标记说明：10-气体浓度提升装置；11-浓度提升槽；111-容置空间；12-水溶液；121-水滴；131-气体输入端；133-液体输出端；135-液体输入端；14-气体；15-冷却装置；151-容置槽；153-输入端；155-输出端；16-帮浦；17-循环管线；18-隔热层；19-洒水装置；191-穿孔；193-转动机构；20-气体浓度提升装置；221-水柱；223-重迭区；29-洒水装置；291-狭缝。
具体实施方式
请参阅图1，为本发明水溶液的气体浓度提升装置一实施例的构造示意图。如图所示，水溶液的气体浓度提升装置10包括一浓度提升槽11、一气体输入端131、一冷却装置15、一循环管线17及一洒水装置19，其中气体输入端131及循环管线17流体连接浓度提升槽11。
浓度提升槽11可为封闭的中空的槽体，并包括一容置空间111用以容纳气体及/或液体。具体而言，浓度提升槽11内可放置一水溶液12，并通过连接浓度提升槽11的气体输入端131将一气体14输送至浓度提升槽11的容置空间111内，其中有部分的气体14可能会溶于水溶液12。
循环管线17流体连接浓度提升槽11，并用以循环浓度提升槽11的容置空间111内的水溶液12。具体而言，循环管线17的两端皆连接浓度提升槽11，例如循环管线17的一端连接浓度提升槽11的底部，而另一端则连接浓度提升槽11的顶部。在本发明一实施例中，循环管线17可连接一帮浦16，并通过帮浦16将浓度提升槽11底部的水溶液12经由循环管线17输送至浓度提升槽11的顶部。
洒水装置19设置于浓度提升槽11的容置空间111内，并连接循环管线17的一端。在本发明一实施例中，洒水装置19的外观类似莲蓬头，并具有复数个穿孔191。帮浦16用以将浓度提升槽11的容置空间111内的水溶液12经由循环管线17输送至洒水装置19，并经由洒水装置19的穿孔191将水溶液12以复数个水滴121或水柱的状态喷洒至浓度提升槽11的容置空间111内。
具体而言，洒水装置19可设置在气体输入端131的上方，例如连接浓度提升槽11的顶部，其中洒水装置19喷洒的水滴121会受到重力的作用而往浓度提升槽11的底部落下。水滴121下落的过程中会与下方的气体输入端131输出的气体14接触，其中气体14会溶于水滴121中，使得水滴121中气体14浓度逐渐提高，而后水滴121会汇集在浓度提升槽11的底部。
在实际应用时，帮浦16及循环管线17可不断的循环水溶液12，并经由洒水装置19持续喷洒出水溶液12的水滴121，使得水滴121接触浓度提升槽11内的气体14，藉此以逐渐提高水溶液12中的气体14浓度。
循环管线17可连接冷却装置15，并通过冷却装置15降低循环管线17内的水溶液12的温度。藉由降低水溶液12的温度将有利于使得气体14溶解在水溶液12中，并提高水溶液12的气体14浓度。
具体而言，气体14溶解在水溶液12是一种放热反应，会提高水溶液12的温度。当水溶液12的温度上升时，会降低气体14的溶解度。为此本发明通过冷却装置15降低水溶液12的温度，以利于气体14溶于水溶液12中。
在本发明一实施例中，冷却装置15可包括一容置槽151、一输入端153及一输出端155，其中容置槽151包覆部分的循环管线17。冷却液可经由输入端153及输出端155进出容置槽151，容置槽151内的冷却液会接触部分的循环管线17，并以热传导的方式降低循环管线17内的水溶液12的温度。上述冷却装置15的构造仅为本发明一具体的实施方式，并非本发明权利范围的限制。
在本发明一实施例中，如图2及图3所示，洒水装置19可包括复数个分支，例如洒水装置19可为十字形或米字形，并于洒水装置19的表面上设置复数个穿孔191。此外洒水装置19可连接一转动机构193，例如洒水装置19可通过转动机构193连接循环管线17及/或浓度提升槽11，并通过转动机构193驱动洒水装置19相对于循环管线17及/或浓度提升槽11转动，使得洒水装置19喷洒出的水滴121均匀分布在浓度提升槽11的容置空间111内，并与容置空间111内的气体14接触。具体而言，转动机构193包括马达及/或转动轴承等构造，为本发明常用的背景技术，在此便不详细说明。
在本发明实施例中，洒水装置19用以喷洒出水溶液12的水滴121而非雾滴，其中水滴121较不会长时间飘浮在容置空间111内，而是会以较快的速度往浓度提升槽11的底部落下，例如水滴121的直径可大于1mm，藉此可提高循环管线17及帮浦16输送及循环水溶液12的速度，以提高气体14溶于水溶液12的效率。
在本发明一实施例中，气体浓度提升装置10可包括一液体输出端133，例如液体输出端133可连接浓度提升槽11的底部，并用以将浓度提升槽11内的水溶液12排出。具体而言，浓度提升槽11内的水溶液12经过多次的循环、冷却及喷洒后，水溶液12中的气体14浓度将会逐渐增加，当水溶液12的气体14浓度到达预设值后，便可通过液体输出端133将浓度提升槽11内的水溶液12排出。
在本发明一实施例中，水溶液的气体浓度提升装置10可包括一液体输入端135，用以将水溶液12输送至浓度提升槽11内。例如液体输入端135可连接帮浦16或循环管线17，并经由循环管线17将水溶液12输送至浓度提升槽11。在实际应用时，液体输入端135可经由循环管线17直接将外界的水溶液12输送至浓度提升槽11的底部。在不同实施例中，液体输入端135可经由循环管线17将外界的水溶液12输送至浓度提升槽11的顶部，并经由洒水装置19将外界的水溶液12喷洒到浓度提升槽11内。
在本发明一实施例中，亦可于浓度提升槽11及/或循环管线17的周围或外部设置一隔热层18，以避免经过冷却装置15的水溶液12温度上升，并可有效提高气体14溶于水溶液12的效率。
请参阅图4，为本发明水溶液的气体浓度提升装置又一实施例的构造示意图。如图所示，水溶液的气体浓度提升装置20包括一浓度提升槽11、一气体输入端131、一冷却装置15、一循环管线17及一洒水装置29，其中气体输入端131及循环管线17流体连接浓度提升槽11。
本发明实施例的气体浓度提升装置20基本上与图1的气体浓度提升装置10的构造相同，主要的差异在于本发明实施例的洒水装置29为柱状，如图5所示，并于柱状的洒水装置29的表面设置复数个狭缝291，其中洒水装置29经由各个狭缝291喷洒出片状的水柱221。
在本发明一实施例中，洒水装置29上的狭缝291喷洒出的水柱221之间可具有一重迭区223，如图6所示。水柱221会受到重力的作用而往下落，并与由气体输入端131输入浓度提升槽11的气体14接触，使得气体14溶于水溶液12中，而水溶液12则会汇集在浓度提升槽11的底部。
本发明实施例的洒水装置29亦可连接一转动机构193，并通过转动机构193驱动洒水装置29相对于浓度提升槽11转动，使得洒水装置29喷洒出的水柱221可均匀通过浓度提升槽11的容置空间111。
只要是可溶于水的气体14都可应用本发明所述的气体浓度提升装置10/20，使得气体14溶于水溶液12中，因此气体14的种类并非本发明权利范围的限制。
本发明优点：
本发明在使用时不需要依据气体的溶解度或比重，选择不同的装置或方法将气体溶于水中，此外亦可增加气体溶于水的效率，并提高水溶液的气体浓度。
以上所述，仅为本发明的一较佳实施例而已，并非用来限定本发明实施的范围，即凡依本发明申请专利范围所述的形状、构造、特征及精神所为的均等变化与修饰，均应包括于本发明的申请专利范围内。

Claims (9)

1.一种水溶液的气体浓度提升装置，其特征在于，包括：
一浓度提升槽，包括一容置空间用以容置一气体及一水溶液；
一气体输入端，连接该浓度提升槽，并将该气体输送至该浓度提升槽的该容置空间内；
一循环管线，连接该浓度提升槽，并用以输送该浓度提升槽的该容置空间内的该水溶液；
一帮浦，连接该循环管线；
一冷却装置，连接该循环管线，并用以降低该循环管线内的该水溶液的温度；及
一洒水装置，位于该浓度提升槽的该容置空间内，并连接该循环管线，其中该帮浦用以将该浓度提升槽的该容置空间内的该水溶液经由该循环管线输送至该洒水装置，并经由该洒水装置将该水溶液以复数个水滴或复数个水柱的状态喷洒至该浓度提升槽的该容置空间内，使得该浓度提升槽内的该气体与该水溶液接触，以提高该水溶液中溶解的该气体的浓度。
2.根据权利要求1所述的水溶液的气体浓度提升装置，其特征在于，该洒水装置为一十字形或一米字形，并于该十字形或该米字形的该洒水装置的表面设置复数个穿孔。
3.根据权利要求1所述的水溶液的气体浓度提升装置，其特征在于，其中该洒水装置为一柱状，并于该柱状的该洒水装置的表面设置复数个狭缝，使得该水溶液经由该狭缝喷洒出片状的该水柱。
4.根据权利要求1所述的水溶液的气体浓度提升装置，其特征在于，包括一转动机构连接该洒水装置，并驱动该洒水装置相对于该浓度提升槽转动。
5.根据权利要求1所述的水溶液的气体浓度提升装置，其特征在于，包括一隔热层包覆该浓度提升槽。
6.根据权利要求1所述的水溶液的气体浓度提升装置，其特征在于，包括一溶液输出端连接该浓度提升槽，并将该水溶液输出该浓度提升槽。
7.根据权利要求6所述的水溶液的气体浓度提升装置，其特征在于，包括一液体输入端连接该浓度提升槽，并用以将该水溶液输送至该浓度提升槽的该容置空间内。
8.根据权利要求7所述的水溶液的气体浓度提升装置，其特征在于，该液体输入端连接该循环管线或该帮浦，并经由该循环管线将该水溶液输送至该浓度提升槽的该容置空间内。
9.根据权利要求1所述的水溶液的气体浓度提升装置，其特征在于，该洒水装置位于该气体输入端的上方。
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