CN203342976U - 自动洒水装置 - Google Patents
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Abstract
一种自动洒水装置，包括一筒体，具有由四周筒壁围绕形成的一集水室，该集水室一端封闭，另一端形成能枢接筒体于一供水管路上的一进水口；其中，筒壁上间隔布设有多个连通集水室至筒壁外部的洒水孔，且所述洒水孔分别具有一中心轴线，所述中心轴线分别形成于集水室内一质点的切线路径上，所述切线路径和筒体中心向外延伸的一法线相互垂直。依此，经由供水管路导入筒体内的水自洒水孔向外喷洒而产生的推力来带动筒体旋转，使水呈水幕状均匀分布的向外喷洒，据以解决洒水死角的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及洒水器的结构技术，特别是有关于一种自动洒水装置，以及一种设于半导体废气处理槽内的自动洒水装置。
背景技术
传统的洒水装置一般分为固定式及旋转式，固定式是将水通过洒水头上的洒水孔以放射状向外喷洒，而旋转式是通过水由洒水孔向外喷洒时所产生的作用力来带动洒水头旋转，使水能以洒水头为圆心来进行360度的向外喷洒，然而固定式的洒水装置由于喷洒角度已固定，因此导致洒水孔周围会发生洒水死角的现象，而旋转式的洒水装置虽然能进行360度的旋转洒水，但是洒水头上的洒水孔通常位于同一平面，导致由洒水头喷洒而出时难以呈水幕状的均匀分布。
此外，周知在半导体的产制过程中，会产生许多具有毒性、腐蚀性及易燃性的制程废气，为了避免该废气污染环境而造成公害的可能性，必须先将该废气内的有害物质予以过滤去除之后，才能将无害的废气排放至外界大气。
传统的半导体制程废气的处理方式，是将该制程废气注入废气处理槽内，先接受废气处理槽内的高温火焰燃烧，而形成高温废气，迫使高温废气中有害物质接受高温催化，而分解成无害的物质，随后通过废气处理槽内部的洒水装置将高温废气中可溶于水的有害物质加以溶解，而使高温废气转换成为无害的气体，同时冷却该高温废气，以利于排放至外界大气中，而不会造成环境的污染。
然而，传统配置于废气处理槽内部的洒水装置是以拉西环(Rasching ring)搭配固定式喷嘴头来进行水洗作业，此种配置方式会造成气体原有的流通空间，因拉西环的占据而减少，并且长期使用下来，会有粉末持续附着于拉西环上，当粉末累积过多时，会导致气体的流通受到阻碍，造成需要停止机台的运作，将拉西环取出，并加以清洗或是更换，使气体的流通能保持顺畅。此外，拉西环搭配固定式喷嘴头的水洗方式，存在有洒水死角的问题，导致需要进行处理的气体，难以有效地与水接触，造成粉末捕抓与气体降温的成效并不理想。
因此，如何避免洒水装置上堆积粉末以及排除洒水死角的现象，已成为熟悉本技术领域人士所应面对的待以改善的重要课题。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型的目的旨在提供一种自动洒水装置，使水能呈水幕状均匀分布的向外喷洒，进而避免发生洒水死角的现象，并解决粉末堆积于洒水装置的问题。
具体的说，本实用新型的技术手段，包括：
一供水管路；
一筒体，具有由四周筒壁围绕形成的一集水室，集水室一端封闭，另一端形成一进水口，该筒体通过该进水口枢接于供水管路上；
其中，筒壁上间隔布设有多个连通集水室至筒壁外部的洒水孔，且所述洒水孔分别具有一中心轴线，所述中心轴线分别形成于集水室内一质点的切线路径上，所述切线路径和筒体中心向外延伸的一法线相互垂直。
依此，本实用新型利用将洒水孔间隔布设于筒壁上，当集水室内的水自洒水孔向外喷洒时，不但能提供动力来驱动筒体旋转之外，还能够凭借筒体的旋转，使得洒水孔向外喷洒的水幕密度能够更加地均匀分布，以排除洒水死角的问题，而且筒体表面附着的杂质(例如粉末或灰尘)能利用旋转时所生成离心力来加以甩除，避免粉末堆积于筒体表面。
在实施上，本实用新型还包括：
所述筒体经由一滚动轴承而枢设于供水管路上。依此，筒体能以供水管路为固定端进行旋转洒水。
所述筒体为圆柱状的筒体。依此，当水由洒水孔向外喷洒时所生成的作用力能均匀作用于筒体上，使筒体能保持稳定的旋转。
所述洒水孔是一直孔或者是一由集水室内向筒壁外部扩张的圆锥孔。依此，使水由集水室内通过洒水孔向外喷洒时能呈水幕状的均匀分布。
所述筒体设于一废气处理槽内，其中所述废气处理槽是一半导体废气处理槽。依此，可利用由筒体内向外喷洒的水幕与废气处理槽内的废气进行充分接触，使废气中可溶于水的有害物质加以溶解，以利于清除废气中有害的物质。
以上内容与后续的实施方式及附图简单说明，皆是为了能够进一步说明本实用新型为解决问题所采取的技术手段及其所能产生的功效。而有关本实用新型可供据以实施的相关细节，也将在后续的详细说明及附图中加以阐述。
附图说明
图1是本实用新型的一实施例的立体示意图；
图2是图1的剖示图；
图3是图2中A-A断面的剖示图；
图4是图3的动作示意图；
图5是本实用新型的另一实施例的配置示意图；
图6是本实用新型的再一实施例的配置示意图。
附图标记说明：10-筒体；101-切线路径；102-法线；11-筒壁；12-集水室；121-进水口；13-洒水孔；131-中心轴线；20-供水管路；30-滚动轴承；40-废气处理槽；41-进气口；42-加热分解区；43-排气口；44-进水口；45-水洗区；46-排水口；51-废气；52-水；60-固定端。
具体实施方式
实施本实用新型的自动洒水装置的目的，在于改善传统洒水装置容易发生洒水死角的现象，以及避免粉末的堆积。请合并参阅图1、图2、图3及图4，说明本实用新型的一实施例，是在提供一种自动洒水装置。其中，图1揭示出本实用新型的一实施例的立体示意图，图2揭示出图1的剖示图，图3揭示出图2中A-A断面的剖示图，图4揭示出图3的动作示意图。其中：
筒体10内部具有由四周筒壁11围绕形成的一集水室12，而集水室12一端封闭，另一端形成一进水口121，使筒体10通过该进水口121而枢接于一供水管路20上，在实施上，筒体10是经由一滚动轴承30而枢设于供水管路20上，并将供水管路20设置于一固定端60(例如建筑物顶部)，当供水管路20内的水进入集水室12后，通过水于集水室12内所囤积的水压，进而增加水由集水室12内向外喷洒时所生成的作用力，以提供筒体10旋转之用。筒壁11上间隔布设有多个洒水孔13，集水室12内的水通过洒水孔13向筒壁11外部喷洒，且洒水孔13内具有一中心轴线131，而中心轴线131分别是形成于集水室12内一质点的切线路径101上，且切线路径101和筒体10中心向外延伸的一法线102相互垂直，当切线路径101(也就是中心轴线131)与法线102的交点距离筒体10中心越远时，水经由洒水孔13向外喷洒所提供筒体10旋转的作用力越大，而当切线路径101(也就是中心轴线131)与法线102的交点位于筒体10中心时，水经由洒水孔13向外喷洒所生成的作用力难以提供筒体10旋转之用。
更进一步的说，筒体10在实施上为一圆柱状的筒体，而洒水孔13则间隔布设于呈圆柱状的筒体10的筒壁11上，当水由洒水孔13向外喷洒时所生成的作用力能均匀作用于筒体10上，使筒体10能保持稳定的旋转。洒水孔13在实施上可以是一直孔或者是一由集水室12内向筒壁11外部扩张的圆锥孔，使水由集水室内通过洒水孔向外喷洒时能呈水幕状的均匀分布。
通过上述构件的组成，当水由供水管路20通过进水口121流入集水室12后，水经由在集水室12内所累积的水压而通过洒水孔13向外喷洒(如图4所示)，凭借水向外喷洒时所生成的作用力来带动筒体10旋转。
接着，请参阅图5，揭示本实用新型的另一实施例的配置示意图，说明将筒体10设于一废气处理槽40内，在实施上废气处理槽40是指用以处理半导体制程所生成的废气51的设备，且废气处理槽40内设置有加热分解区42及水洗区45，废气51先经由进气口41注入废气处理槽40内，当废气51通过加热分解区42时，凭借火焰或热空气来迫使废气51中有害物质接受高温催化，进而分解成无害的物质，接着，废气51进入水洗区45，凭借进水口44进入筒体10内的水52经由洒水孔13向外呈水幕状均匀分布喷洒，凭借水幕与废气51的充分接触，将废气51中可溶于水52的有害物质加以溶解，而使废气51转换成为无害的气体，然后通过排气口43排放至外界大气中，而水52则通过排水口46流到废水处理设备(未绘示)，以处理水52中所含的有害物质。
最后，请参阅图6，揭示本实用新型的再一实施例的配置示意图，说明将筒体10植设于一废气处理槽40内，而该废气处理槽40内设置有水洗区45，废气51经由进气口41注入废气处理槽40内，当废气51通过水洗区45时，通过进水口44进入筒体10内的水52经由洒水孔13向外呈水幕状均匀分布喷洒，通过水幕与废气51的充分接触，将废气51中可溶于水52的有害物质加以溶解，而使废气51转换成为无害的气体，然后通过排气口43排放至外界大气中，而水52则通过排水口46流到废水处理设备(未绘示)，以处理水52中所含的有害物质。
根据以上实施例的说明，本实用新型的自动洒水装置是利用水通过筒壁上间隔布设的多个洒水孔向外喷洒时所生成的作用力，用以带动筒体旋转，并通过筒体旋转来使由洒水孔向外喷洒的水幕能均匀分布，进而避免发生洒水死角的现象。此外，可将自动洒水装置运用于处理半导体制程所生成的废气的废气处理槽内，并依照废气中所含有害物质的种类，将废气导入如图5或图6中的废气处理槽内，利用筒体所喷洒出来的水幕与废气充分接触，进而溶解废气中所含可溶于水的有害物质，以避免废气排放时对环境造成污染。
综上所陈，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用以限定本实用新型；凡其他未脱离本实用新型所揭示的精神下而完成的等效修饰或置换，均应包含于权利要求的保护范围内。
Claims (7)
1.一种自动洒水装置，其特征在于，包括：
一供水管路；
一筒体，具有由四周筒壁围绕形成的一集水室，集水室一端封闭，另一端形成一进水口，该筒体通过该进水口枢接于供水管路上；
其中，筒壁上间隔布设有多个连通集水室至筒壁外部的洒水孔，且所述洒水孔分别具有一中心轴线，所述中心轴线分别形成于集水室内一质点的切线路径上，所述切线路径和筒体中心向外延伸的一法线相互垂直。
2.如权利要求1所述的自动洒水装置，其特征在于，所述筒体经由一滚动轴承而枢设于供水管路上。
3.如权利要求1所述的自动洒水装置，其特征在于，所述筒体为圆柱状的筒体。
4.如权利要求1所述的自动洒水装置，其特征在于，所述洒水孔是一直孔。
5.如权利要求1所述的自动洒水装置，其特征在于，所述洒水孔是一由集水室内向筒壁外部扩张的圆锥孔。
6.如权利要求1所述的自动洒水装置，其特征在于，所述筒体设于一废气处理槽内。
7.如权利要求6所述的自动洒水装置，其特征在于，所述废气处理槽是一半导体废气处理槽。
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