CN111405964A - 喷丸处理装置以及喷丸处理方法 - Google Patents
喷丸处理装置以及喷丸处理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111405964A CN111405964A CN201880076261.8A CN201880076261A CN111405964A CN 111405964 A CN111405964 A CN 111405964A CN 201880076261 A CN201880076261 A CN 201880076261A CN 111405964 A CN111405964 A CN 111405964A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- processed
- shot
- endless belt
- conveying
- conveyance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24C—ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
- B24C1/00—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods
- B24C1/10—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods for compacting surfaces, e.g. shot-peening
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24C—ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
- B24C3/00—Abrasive blasting machines or devices; Plants
- B24C3/02—Abrasive blasting machines or devices; Plants characterised by the arrangement of the component assemblies with respect to each other
- B24C3/04—Abrasive blasting machines or devices; Plants characterised by the arrangement of the component assemblies with respect to each other stationary
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24C—ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
- B24C3/00—Abrasive blasting machines or devices; Plants
- B24C3/08—Abrasive blasting machines or devices; Plants essentially adapted for abrasive blasting of travelling stock or travelling workpieces
- B24C3/10—Abrasive blasting machines or devices; Plants essentially adapted for abrasive blasting of travelling stock or travelling workpieces for treating external surfaces
- B24C3/14—Apparatus using impellers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24C—ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
- B24C3/00—Abrasive blasting machines or devices; Plants
- B24C3/32—Abrasive blasting machines or devices; Plants designed for abrasive blasting of particular work, e.g. the internal surfaces of cylinder blocks
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24C—ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
- B24C5/00—Devices or accessories for generating abrasive blasts
- B24C5/06—Impeller wheels; Rotor blades therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24C—ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
- B24C9/00—Appurtenances of abrasive blasting machines or devices, e.g. working chambers, arrangements for handling used abrasive material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Automatic Assembly (AREA)
Abstract
本发明涉及喷丸处理装置以及喷丸处理方法。一实施方式的喷丸处理装置具备:引导部,沿着被处理体的搬送方向而设置;旋转机构,包含提供用于载置被处理体的载置面的第一环状带、以及以载置面向与搬送方向相反的方向移动的方式驱动第一环状带的第一驱动部;搬送机构,朝向搬送方向推压被处理体,从而使被处理体在载置面上沿着引导部在搬送方向滚动移动;以及至少一个投射机,向在载置面上滚动移动的被处理体投射投射材料。
Description
技术领域
本发明涉及喷丸处理装置以及喷丸处理方法。
背景技术
在下述专利文献1中公开了与圆板形状的制品的抛丸清理装置相关的技术。在专利文献1所记载的装置中,圆板形状的制品以立起的状态被向抛丸清理室内搬入。搬入到抛丸清理室内的制品沿着搬送方向一边滚动一边被搬送。保持立起的状态被搬送的制品在抛丸清理室内的规定位置停止,在以所希望的旋转速度旋转的状态下,通过投射投射材料来进行抛丸清理。这样,在专利文献1所记载的装置中,使制品旋转并且进行加工,从而抑制了抛丸清理不均。
专利文献1:日本实开昭51-52392号公报
然而,在上述现有技术中,在使作为制品的被处理体旋转并且进行投射时,必须将该制品设为非搬送状态。
因此,谋求一种能够使被处理体旋转同时进行投射投射材料而不停止被处理体的搬送的喷丸处理装置以及喷丸处理方法。
发明内容
一实施方式的喷丸处理装置具备:引导部,沿着被处理体的搬送方向而设置;旋转机构,包含提供用于载置被处理体的载置面的第一环状带、以及以载置面向与搬送方向相反的方向移动的方式驱动第一环状带的第一驱动部;搬送机构,朝向搬送方向推压被处理体,从而使被处理体在载置面上沿着引导部在搬送方向滚动移动;以及至少一个投射机,向在载置面上滚动移动的被处理体投射投射材料。
在上述实施方式的喷丸处理装置中,使载置面向与搬送方向相反的方向移动并且使被处理体向搬送方向移动,所以被处理体在载置面上沿着搬送方向滚动移动。而且,向在载置面上滚动移动的被处理体投射投射材料,所以能够一边使被处理体旋转一边投射投射材料而不停止被处理体的搬送。
在一实施方式中,引导部也可以构成为以将被处理体向与搬送方向以及铅垂方向垂直的方向倾斜的状态支承被处理体。
在上述实施方式中,以将被处理体向与搬送方向以及铅垂方向垂直的方向倾斜的状态支承被处理体,所以能够抑制在搬送时被处理体在与搬送方向以及铅垂方向垂直的方向晃动的情况。在其它的一实施方式中,至少一个投射机也可以包含被设置于被处理体的搬送路径的上方的上部投射机。
在一实施方式中,第一环状带也可以由钢制的多个板状部件构成。
根据上述实施方式,例如与第一环状带由橡胶形成的情况相比,能够抑制因投射材料被投射而引起的带的损耗。
在一实施方式中,多个板状部件的每一个也可以具有在与搬送方向以及铅垂方向垂直的方向,相对于水平面倾斜的表面。
在上述实施方式中,多个板状部件具有相对于水平面倾斜的表面,所以对被处理体作用因其自重而欲在钢制的板状部件的倾斜的面滑动的力。由此,被处理体在倾斜的状态下被引导部支承,所以被处理体不易倾倒,能够稳定地支承被处理体。
在一实施方式中,也可以还具备:用于搬出被处理体的搬出室,在搬出室设置有:抵接部,其能够向与搬送方向以及铅垂方向垂直的方向移动,并能够从侧方与被配置于搬出室的被处理体的上部抵接;以及移动机构,其使抵接部向与搬送方向以及铅垂方向垂直的方向移动。
在上述实施方式中,在搬出室设置有能够向与搬送方向以及铅垂方向垂直的方向移动,并能够从侧方与被配置于搬出室的被处理体的上部抵接的抵接部。使该抵接部以从侧方与被处理体的上部抵接的方式移动,由此能够使被处理体向侧方倾倒。在搬出室中使被处理体倾倒,由此能够除去附着于被处理体的投射材料。
在一实施方式中,也可以为搬送机构具有:被设置于载置面的上方的第二环状带、驱动第二环状带的第二驱动部、以及沿着第二环状带的外周面排列的多个推压部,多个推压部的各个以与被处理体抵接的方式从第二环状带向下方延伸,并根据第二环状带的驱动而将被处理体向搬送方向推压,从而将被处理体朝向搬送方向搬送。此外,在一实施方式中,也可以还具备:搬入机构,其被设置于比载置面靠搬送方向的上游侧,以规定的周期将被处理体向载置面上搬入;以及控制装置,其调整第二环状带的驱动速度,以便配合被处理体被搬入到载置面上的时刻,将多个推压部中的一个推压部配置于能够向搬送方向推压被搬入到载置面上的被处理体的位置。
在上述实施方式中,调整第二环状带的驱动速度,以便配合被处理体被搬入到载置面上的时刻,将多个推压部中的一个推压部被配置于能够向搬送方向推压被搬入到载置面上的被处理体的位置,所以能够高效地搬送被处理体。
在一实施方式中,提供一种使用喷丸处理装置而将投射材料向被处理体投射的喷丸处理方法。该喷丸处理装置具备:引导部,其沿着被处理体的搬送方向而设置;旋转机构,其包含提供用于载置被处理体的载置面的环状带、以及驱动环状带的驱动部;搬送机构,其朝向搬送方向搬送被处理体;以及至少一个投射机,其将投射材料向被处理体投射。一实施方式的喷丸处理方法包含以下工序:以载置面向与搬送方向相反的方向移动的方式驱动环状带;通过搬送机构而将被处理体朝向搬送方向推压,从而使被处理体在载置面上沿着引导部且朝向搬送方向滚动移动;以及从至少一个投射机向在载置面上滚动移动的被处理体投射投射材料。
在上述一实施方式的喷丸处理方法中,使载置面向与搬送方向相反的方向移动并且使被处理体向搬送方向移动,所以被处理体在载置面上沿着搬送方向滚动移动。而且,投射材料被向在载置面上滚动移动的被处理体投射,所以能够一边使被处理体旋转一边投射投射材料而不停止被处理体的搬送。
根据本发明的一实施方式以及各种实施方式,能够一边使被处理体旋转一边投射投射材料而不停止被处理体的搬送。
附图说明
图1是表示一实施方式的喷丸装置的侧视图。
图2是放大表示图1的喷丸装置的下部侧的一部分的侧视图。
图3是表示一实施方式的喷丸装置的主视图。
图4是表示一实施方式的喷丸装置的俯视图。
图5是放大表示图1的喷丸装置的搬入侧的机构的一部分的侧视图。
图6是简化并且放大表示图1的喷丸装置的主要部位的侧视图。
图7是放大表示图1的喷丸装置的搬送机构的图。图7(A)是俯视图,图7(B)是从正面观察的剖视图。
图8是从正面观察通过图1的喷丸装置对被处理体进行喷丸处理的状态而放大地表示的剖视图。
图9是表示图1的喷丸装置的搬出侧的机构的一部分的图。图9(A)是后视图。图9(B)是侧视图。
图10是表示通过图1的喷丸装置旋转搬送被处理体的状态的立体图。图10(A)是从斜下方观察的立体图,图10(B)是从斜上方观察的立体图。
图11是表示一实施方式的喷丸处理方法的流程图。
具体实施方式
使用图1~图10来说明一实施方式的喷丸处理装置。以下,如图1~9所示,将从喷丸处理装置的前方朝向后方的方向作为x方向,将喷丸处理装置的上方向(铅垂方向)作为z方向,将与x方向以及z方向正交的方向作为y方向来进行说明。
(实施方式的结构)
图1是作为一实施方式的喷丸处理装置的喷丸装置10的侧视图,图2是放大表示图1的喷丸装置10的下部侧的一部分的侧视图。另外,图3是喷丸装置10的主视图,图4是喷丸装置10的俯视图。在本实施方式的喷丸装置10中进行喷丸处理的被处理体W(参照图2)是圆板状的盘式转子。如图10所示,在被处理体W的外周部形成有贯通孔Wc,喷丸装置10对贯通孔Wc也实施喷丸处理。
喷丸装置10是沿着搬送方向(图6的箭头X所表示的方向)搬送被处理体W,并且向被处理体W投射投射材料的装置。被处理体W的搬送方向与从喷丸装置10的前方朝向后方的方向、即x方向一致。如图2所示,喷丸装置10具备机箱12。此外,在图1~图6中,方便起见,以适当地透视机箱12的壁的状态示出了机箱12的内部的结构要素的一部分。如图2所示,机箱12将被处理体W的搬送方向(箭头X方向)作为长边方向。在机箱12中,在被处理体W的搬送方向的上游侧(图中右侧)形成有用于搬入被处理体W的搬入口14,并且在被处理体W的搬送方向的下游侧(图中左侧)形成有作为被处理体W的搬出用的搬出口16(参照图4)。搬入口14使装置近前侧(图2中右侧)的空间与机箱12的内部空间连通,搬出口16(参照图4)使机箱12的内部空间与装置右侧的空间连通。
在比搬入口14靠装置近前侧(-x方向侧)设置有搬入用的载置台13。在搬入口14设置有第一升降门20A。第一升降门20A在由传感器检测到被处理体W存在于载置台13上时而打开,在被处理体W经过第一升降门20A的关闭位置时而关闭。此外,能够通过操作操作盘的触摸面板而使第一升降门20A开闭。另外,在机箱12的内部的比第一升降门20A靠下游侧(+x方向侧)设置有第二升降门20B。另外,在机箱12的内部的比第二升降门20B靠下游侧(+x方向侧)设置有第三升降门20C。并且,在搬出口16设置有第四升降门20D。比第三升降门20C靠被处理体W的搬送方向的下游侧被设为用于搬出被处理体W的搬出室70。
此外,以下在不区别第一升降门20A、第二升降门20B、第三升降门20C以及第四升降门20D而对它们进行概况说明的情况下,称为升降门20A~20D。升降门20A~20D是通过气缸机构22A、22B、22C、22D(以下简称为“气缸机构22A~22D”)沿装置上下方向升降的构造,在使被处理体W通过时上升而打开。气缸机构22A~22D连接有控制装置72(在图中模块化地表示),气缸机构22A~22D的动作被控制装置72控制。
在机箱12的内部的第二升降门20B与第三升降门20C之间设置有分隔壁24A、24B。分隔壁24A与分隔壁24B之间成为投射室26。投射室26是用于通过向被处理体W投射投射材料来进行被处理体W的喷砂处理(喷丸投射抛丸清理处理,广义上是表面加工)的空间。
在机箱12内的第二升降门20B与第三升降门20C之间形成有被处理体W的搬送路径亦即搬送路38。在搬送路38的上方侧以及侧方侧安装有多台(在本实施方式中共计六台(参照图4))投射机28。投射机28例如是离心式投射机,能够通过叶轮的旋转而对投射材料提供离心力。投射机28用离心力来加速投射材料,向正在搬送路38上搬送的被处理体W(更具体而言在投射室26中被搬送的被处理体W)投射投射材料。
图8示出了从正面观察通过喷丸装置10对被处理体W进行喷丸处理的状态的放大剖视图。此外,在图8中,方便起见,省略了表示剖面的阴影。如图8所示,在本实施方式中,作为投射机28包含:上部投射机28A、第一横投射机28B以及第二横投射机28C。上部投射机28A被设置于被处理体W的搬送路径亦即搬送路38的上方,朝向被处理体W的外周侧从上方投射投射材料的。第一横投射机28B被设置于搬送路38的侧方,朝向搬送时的直立姿势的被处理体W的一方侧面从斜上方侧投射投射材料的。第二横投射机28C被设置于搬送路38的侧方,朝向搬送时的直立姿势的被处理体W的另一方侧面从侧方侧投射投射材料的。此外,在以下的说明中,在不区别上部投射机28A、第一横投射机28B以及第二横投射机28C而对它们进行概况说明的情况下,称为投射机28。
另一方面,在图2所示的投射机28的上方侧配置有导入管29。如图1所示,导入管29的上端经由流量调整装置30与投射材料储藏用的喷丸罐32连接。另外,投射机28经由导入管29、流量调整装置30以及喷丸罐32而与循环装置34连结。循环装置34是用于搬送由投射机28投射的投射材料并使投射材料向投射机28循环的装置。
循环装置34具备在机箱12的下部在装置前后方向(图1的x方向)延伸的第一螺旋搬送机34A、以及在第一螺旋搬送机34A的搬送方向下游侧的侧方侧被立起设置在装置上方侧的斗式升降机34B(参照图3)。另外,循环装置34还具备从斗式升降机34B的上部的侧方侧向装置前后方向(图1的x方向)延伸的第二螺旋搬送机34C、以及被设置于第二螺旋搬送机34C与喷丸罐32之间的分离器34D。
图5是放大表示图1的喷丸装置10的搬入侧的一部分的侧视图。如图5所示,在机箱12的搬入侧设置有第一搬入装置36A以及第二搬入装置36B。第一搬入装置36A被设置于比第一升降门20A靠上游侧(-x方向侧)。第二搬入装置36B被设置于第一升降门20A与第二升降门20B之间。第一搬入装置36A以及第二搬入装置36B与控制装置72(参照图2)连接,通过来自控制装置72的控制信号来控制第一搬入装置36A以及第二搬入装置36B的动作。第一搬入装置36A包含气缸机构,构成为在第一升降门20A被打开的时刻将载置台13上的被处理体W向搬送方向推出。第二搬入装置36B包含气缸机构而构成,构成为在第二升降门20B被打开的时刻,将被配置于第一升降门20A与第二升降门20B之间的被处理体W向搬送方向推出。
另外,在机箱12的内部的搬入侧且第二升降门20B的下游侧设置有第三搬入装置36C。第三搬入装置36C与控制装置72(参照图2)连接,第三搬入装置36C的动作被控制装置72(参照图2)控制。第三搬入装置36C具备用于将被处理体W向搬送方向投出的L字形的臂36C1。臂36C1能够绕搬送宽度方向的轴36C2转动,根据未图示的气缸机构的动作而在接受被处理体W时的第一位置(36X)与将被处理体W向该搬送方向下游侧投出时的第二位置(36Y)之间转动。而且,第三搬入装置36C构成为以预先设定的规定的周期进行动作而使臂36C1从第一位置(36X)转动到第二位置(36Y)之后向第一位置(36X)转动(返回)。
图10以立体图示出了通过喷丸装置10旋转搬送被处理体W的状态。图10(A)是从斜下方观察的立体图,图10(B)是从斜上方观察的立体图。如图10(A)以及图10(B)所示,喷丸装置10还具备沿着被处理体W的搬送方向而设置的引导部40。在一实施方式中,引导部40也可以包含一对上侧导轨40A和一对下侧导轨40B。一对上侧导轨40A沿着被处理体W的搬送方向、即x方向延伸,经由搬送路38在y方向相互分离。一对上侧导轨40A被设置于与被处理体W的上部对应的高度位置,以将被处理体W向搬送方向搬送的方式引导该被处理体W。一对下侧导轨40B也沿着被处理体W的搬送方向、即x方向延伸,经由搬送路38在y方向相互分离。一对下侧导轨40B被设置于与被处理体W的下部对应的高度位置,以将被处理体W向搬送方向搬送的方式引导该被处理体W。在一实施方式中,如图8的局部放大图所示,引导部40也可以在使被处理体W向与搬送方向以及铅垂方向垂直的y方向(在本实施方式中作为一个例子是装置左侧)倾斜的状态支承被处理体W。
图6是放大表示喷丸装置10的主要部位的侧视图。如图6所示,喷丸装置10还具备旋转机构42。旋转机构42被设置于搬送路38的下方,具有链轮44A、链轮44B、链条46A、第一环状带46以及马达M1(第一驱动部)。链轮44A以及44B构成为能够以沿y方向延伸的轴线为中心进行旋转。第一环状带46以从y方向观察成为环状的方式,经由链条46A架设在链轮44A和44B。该第一环状带46提供在其上表面载置被处理体W的载置面46C。即载置面46C提供搬送被处理体W的搬送路38。
被配置于上游侧的链轮44A经由驱动力传递机构48与马达M1连接。马达M1与控制装置72连接,马达M1的动作被控制装置72控制。若由控制装置72通过控制信号使马达M1动作,则链轮44A进行旋转,以第一环状带46的载置面46C向与被处理体W的搬送方向(箭头X方向)相反的方向(箭头Y方向)移动的方式,使第一环状带46旋转。
在一实施方式中,第一环状带46也可以由钢制的多个板状部件47构成。多个板状部件47以沿着链条46A的外周排列的方式被安装于链条46A。如图8的局部放大图所示,构成第一环状带46的外周面的板状部件47的表面47S也可以在y方向上,相对于水平面倾斜。即板状部件47的表面47S在位于环状的第一环状带46的上侧部分且能够载置被处理体W的状态下,从使被处理体W倾斜的一侧亦即搬送宽度方向一侧(在本实施方式中是装置左侧)朝向搬送宽度方向另一侧(在本实施方式中是装置右侧)向下方侧倾斜。
如图6所示,喷丸装置10还具备搬送机构50。搬送机构50被设置于旋转机构42的上方,将被处理体W朝向搬送方向推压,从而在载置面46C上使被处理体W沿着引导部40在搬送方向滚动移动。图7(A)是搬送机构50的俯视图,图7(B)是放大表示搬送机构50的正面观察的剖视图。此外,在图7(B)中省略了表示剖面的阴影。
如图7(A)所示,搬送机构50具有链轮54A、链轮54B、链条56A、第二环状带56以及马达M2(第二驱动部)。链轮54A以及54B构成为能够以沿z方向延伸的轴线为中心进行旋转。第二环状带56被设置于载置面46C的上方,以从z方向观察成为环状的方式,经由链条56A架设在链轮54A和54B。第二环状带56被配置于沿着搬送路38(参照图6)向y方向偏移的位置(装置右侧),具有位于搬送路38的上方的搬送面56C。
被配置于搬送下游侧的链轮54B经由驱动力传递机构58与马达M2连接。马达M2与控制装置72连接,马达M2的动作被控制装置72控制。若由控制装置72利用控制信号而使马达M2动作,则链轮54B进行旋转,使第二环状带56旋转。此时,第二环状带56以其搬送面56C沿着与被处理体W的搬送方向(箭头X方向)平行的方向移动的方式被旋转驱动。此外,在图6中,在透视第二环状带56的状态下图示出了链轮54B。
在一实施方式中,如图7(A)所示,第二环状带56也可以由钢制的多个板状部件57构成。如图6以及10所示,多个板状部件57以沿着链条56A的外周排列的方式被安装于该链条56A。此外,在图6中,为了简化图而省略了多个板状部件57的边界部的图示。另外,如图7(A)以及10(B)所示,搬送机构50还具备沿着第二环状带56的外周面排列的多个推压部52。多个推压部52的一端与第二环状带56的多个板状部件57连接。此外,也可以使一个推压部52与多个板状部件57连接。即如图7(A)所示,在第二环状带56沿着其周向隔开间隔地设置多个推压部52。在一实施方式中,如图7(B)所示,推压部52呈具有沿着y方向延伸的第一部分52A和沿着-z方向(下方)延伸的第二部分52B的倒L字形。第二部分52B构成为伴随着搬送面56C的移动而沿着一对上侧导轨40A之间移动。因此,推压部52构成为从第二环状带56向下方延伸,其下部与被配置于搬送路38的被处理体W抵接。
如上述那样,搬送机构50的搬送面56C沿着与搬送方向平行的方向移动,由此推压部52将被处理体W向搬送方向推压,所以使被处理体W朝向搬送方向(箭头X方向)搬送。此时,旋转机构42的载置面46C朝向与搬送方向相反的方向(箭头Y方向)移动,所以在被配置于载置面46C的被处理体W被立起的状态下,在载置面46C上向搬送方向滚动移动。以下,将供旋转机构42以及搬送机构50设置的区域称为旋转搬送区域A1。此外,被设置于比旋转搬送区域A1靠搬送方向上游侧的图5所示的第三搬入装置36C是将被处理体W搬入到旋转搬送区域A1的最上游侧亦即载置面46C上的搬入机构。
通过控制装置72控制使旋转驱动第二环状带56的速度,以便配合第三搬入装置36C将被处理体W搬入到旋转搬送区域A1的最上游侧亦即载置面46C上的时刻,将多个推压部52中的一个配置于能够将被搬入到载置面46C上的被处理体W向搬送方向推压的位置。控制装置72以恒定的速度旋转驱动第二环状带56。
在图8所示的被配置于搬送上游侧的从动侧的链轮54A的旋转轴上端部固定有向链轮54A的轴的径向突出的金属制的杆60。另外,在杆60的附近配置有接近开关62。
接近开关62采用在杆60接近到规定范围内时使包含接近开关62的电气电路(控制电路部)成为导通状态的构成。即接近开关62检测杆60的接近。而且,在本实施方式中,设定为在多个推压部52中的任一个到达图5所示的旋转搬送区域A1的最上游侧的规固定位置的情况下,图8所示的接近开关62检测杆60的接近。接近开关62与控制装置72(参照图2)连接,将检测信号向控制装置72(参照图2)输出。另外,在接近开关62检测到杆60的接近的情况下,控制装置72(参照图2)进行控制,以便使图5所示的气缸机构22B进行动作而打开第二升降门20B,并且第二搬入装置36B将被处理体W向第三搬入装置36C的臂36C1的上侧推出。
图9(A)以后视图示出了喷丸装置10的搬出侧的机构的一部分,图9(B)以侧视图示出了喷丸装置10的搬出侧的机构的一部分。如图9(B)所示,在与旋转搬送区域A1的搬出侧连续的搬出侧区域A2设置有斜面64,使被处理体W以直立姿势滚动。
在第三升降门20C的附近设置有检测到达了第三升降门20C的近前(图9(B)的右侧)的被处理体W的传感器S1。传感器S1与控制装置72(参照图2)连接,将检测信号向控制装置72(参照图2)输出。在传感器S1检测到被处理体W到达第三升降门20C的近前的情况下,控制装置72以打开第三升降门20C的方式控制气缸机构22C的动作。
如图9(A)所示,在作为搬送路38的搬出侧的搬出室70内设置有挤压板65以及抵接部件66。挤压板65被设置于与y方向正交的平面上,相对于被配置于搬出室70内的被处理体W而被配置于侧方(装置左侧)。抵接部件66经由安装部件被安装于挤压板65的上部,从挤压板65向被配置于搬出室70内的被处理体W侧(装置右侧)伸出。该抵接部件66是被弯曲为近似U字形(“コ”字型)的弯曲棒状的部件,被配置为从装置背面观察时使装置下方侧开放。抵接部件66相对于引导部40(参照图9(B))被设置于被处理体W的搬送方向的下游侧,具备能够从侧方侧(装置右侧)与被配置于搬出室70的处于直立姿势的被处理体W的上部抵接的抵接部66A。
另外,在挤压板65的装置左侧的面安装有剖面为L字形的托架67A,在托架67A的下边部安装有用于使向搬送宽度方向的移动顺畅的车轮67B。另外,在托架67A的装置左侧的面连结有作为移动机构的气缸机构68的杆部68A的前端部。由此,抵接部66A能够以在搬送宽度方向横穿搬送路38的方式,即沿着y方向移动。另外,抵接部66A被设定为在被处理体W被配置于搬出室70的时刻相对于被处理体W被配置于装置右侧。
气缸机构68是公知的气缸机构。在气缸机构68连接有控制装置72,气缸机构68的动作被控制装置72控制。气缸机构68的杆部68A在搬送路38的侧方侧(装置左侧)将搬送宽度方向作为轴线方向而被配置。由此,通过气缸机构68进行动作从而使挤压板65以及抵接部件66向y方向移动。此外,在图中,用双点划线示出了向装置左侧移动的状态的挤压板65、抵接部件66、托架67A以及车轮67B。
如图9(B)所示,在搬出室70的上侧设置有检测配置于搬出室70的规固定位置的被处理体W的传感器S2。该传感器S2与控制装置72(参照图2)连接,将检测信号向控制装置72(参照图2)输出。控制装置72(参照图2)控制气缸机构68的动作,以便基于来自传感器S2的检测信号在被处理体W被配置于搬出室70的上述规固定位置的时刻,使图9(A)所示的抵接部66A从装置右侧与处于搬送姿势的被处理体W抵接并向装置左侧移动。由此,处于搬送姿势的被处理体W被倒向装置左侧。另外,在使被处理体W倒下的时刻,控制装置72(参照图2)以打开第四升降门20D的方式控制气缸机构22D(参照图2)的动作,并且以挤压板65向装置右侧移动的方式控制气缸机构68的动作。由此,倒下的被处理体W被从搬出口16搬出。
(实施方式的作用/效果)
接下来,说明上述实施方式的作用以及效果。
如图10所示,在喷丸装置10中,在被处理体W的搬送路径亦即搬送路38的y方向的两侧设置有引导部40。引导部40以将直立姿势的被处理体W向其搬送方向(箭头X方向)搬送的方式引导该被处理体W。另外,在搬送路38的下方设置有旋转机构42。旋转机构42具有从y方向观察呈环状的第一环状带46,上述直立姿势的被处理体W被载置于其载置面46C上,并且以载置面46C向与搬送方向(箭头X方向)相反的方向(箭头Y方向)移动的方式旋转驱动第一环状带46。在第一环状带46被旋转驱动的状态下,第一环状带46上的被处理体W被搬送机构50的推压部52向搬送方向(箭头X方向)搬送。由此,被处理体W一边以所希望的旋转速度(向箭头R方向)旋转一边沿搬送方向滚动移动。从投射机28向在载置面46C上滚动移动的被处理体W投射投射材料。因此,能够使被处理体W旋转并且向被处理体W投射投射材料而不停止被处理体W的搬送。
在上述实施方式的喷丸装置10中,能够使被处理体W一边以所希望的旋转速度旋转一边进行搬送,所以能够抑制被处理体W的搬送方向的投射室26的长度,并且也能够抑制由投射机28引起的投射材料的浪费。
另外,在喷丸装置10中,如图7(A)所示,被配置于搬送路38的侧方,从z方向观察呈环状的搬送机构50的第二环状带56被旋转驱动。在第二环状带56沿着其周向隔开间隔地设置有多个推压部52。另一方面,图5所示的第三搬入装置36C以规定的周期进行动作而将被处理体W向旋转机构的旋转搬送区域A1的最上游侧搬入。这里,设定旋转驱动第二环状带56的速度,以便配合第三搬入装置36C将被处理体W向旋转搬送区域A1的最上游侧搬入的时刻,将多个推压部52中的任一个配置于能够在旋转搬送区域A1的最上游侧推压被处理体W的位置。因此,能够利用图6所示的推压部52高效地依次推压并搬送被第三搬入装置36C搬入到旋转搬送区域A1的最上游侧的被处理体W。
在喷丸装置10中,如图8所示,上部投射机28A朝向被处理体W的外周侧从上方侧投射投射材料。另外,如图8的局部放大图所示,引导部40以使被处理体W向y方向(在本实施方式中装置左侧)倾斜的状态支承被处理体W。因此,在从上部投射机28A向被处理体W投射投射材料的情况下,被处理体W不易左右晃动,所以能够很好地对被处理体W的外周部侧的贯通孔Wc进行喷砂处理。此外,例如关于没有在被处理体W的外周部侧形成贯通孔Wc而形成有凹部的情况,同样地能够很好地对该凹部进行喷砂处理。
另外,在本实施方式中,如图6所示,第一环状带46构成为包含沿着其周向并列设置而构成该第一环状带46的外周面的多个钢制的板状部件47。因此,例如与第一环状带46由橡胶形成的情况相比,因投射材料被投射而引起的第一环状带46的损耗被抑制。
另外,在本实施方式中,如图8的局部放大图所示,板状部件47的表面47S在y方向上相对于水平面倾斜。因此,对被处理体W作用因其自重而欲在钢制的板状部件47的倾斜的表面47S滑动的力。由此,被处理体W欲依靠引导部40的上侧导轨40A,所以难以向与使被处理体W倾斜的一侧相反的一侧(在本实施方式中是装置右侧)倾倒,能够稳定地保持被处理体W的姿势。
另外,在本实施方式中,在搬送路38的搬出侧设置有图9(A)所示的抵接部件66以及气缸机构68。抵接部件66的抵接部66A相对于引导部40(参照图9(B))被设置于被处理体W的搬送方向的下游侧,被配置为能够沿y方向在搬送路38上移动,并且在搬送路38的搬出侧能够从侧方侧与处于直立姿势的被处理体W的上部抵接。另外,气缸机构68使抵接部66A向搬送宽度方向移动。由此,在搬送路38的搬出侧相对于处于直立姿势的被处理体W的上部被配置于侧方侧的抵接部66A通过气缸机构68而进行移动,从而抵接部66A能够使被处理体W倾倒。其结果是,能够使附着于被处理体W的投射材料从被处理体W落下。
以下,对搬送圆板状的被处理体W并且向被处理体W投射投射材料的喷丸处理方法进行说明。
图11是表示一实施方式的喷丸处理方法MT的流程图。在该方法MT中,使用图1所示的喷丸装置10向被处理体投射投射材料。在方法MT中,首先,进行工序ST1。在工序ST1中,以载置面46C向与被处理体W的搬送方向(箭头X方向)相反的方向(箭头Y方向)移动的方式驱动第一环状带46。在接着的工序ST2中,以搬送机构50的搬送面56C向被处理体W的搬送方向(箭头X方向)移动的方式驱动第二环状带56。由此,被设置于第二环状带56的多个推压部52沿着搬送方向移动。在接下来的工序ST3中,向喷丸装置10的搬送路38搬入被处理体W。具体而言,通过第一搬入装置36A、第二搬入装置36B以及第三搬入装置36C,将被处理体W的外周侧载置在第一环状带46的载置面46C上。被载置于载置面46C上的被处理体W被多个推压部52中的一个推压部52朝向搬送方向推压,其结果是,被处理体W在向与搬送方向相反的方向移动的载置面46C上沿着引导部40向搬送方向滚动移动。在接下来的工序ST4中,从投射机28向在载置面46C上滚动移动的被处理体W投射投射材料。由此,被处理体W的表面被加工。在接下来的工序ST5中,表面加工完毕的被处理体W被向搬出室70搬送,从喷丸装置10搬出。此外,在一实施方式中,在搬出被处理体W时,也可以使抵接部66A以从侧方与被处理体W的上部抵接的方式移动,由此使被处理体W向侧方倾倒。
如以上说明的那样,根据本实施方式,具有能够以使被处理体W立起的状态并且以所希望的旋转速度使被处理体W一边旋转一边进行搬送,并且向该被处理体W投射投射材料这样优异的效果。
(实施方式的补充说明)
此外,在上述实施方式的喷丸装置10以及喷丸处理方法中,被处理体W虽是圆板状的盘式转子,但被处理体也可以是圆板状的其它制品,也可以是有底短圆筒状的制品(例如鼓式制动器)。
另外,在上述实施方式中,图8等所示的引导部40以使被处理体W朝向上方向搬送宽度方向一侧倾斜的状态支承被处理体W,但引导部40也可以在使被处理体W沿铅垂方向立起的状态下进行支承。
另外,在上述实施方式中,图6等所示的第一环状带46构成为包含沿着其周向并列设置而构成该第一环状带46的外周面的多个钢制的板状部件47,但第一环状带46例如也可以是橡胶制的环状带。
另外,在上述实施方式中,在图8所示的板状部件47中构成第一环状带46的外周面的表面47S在位于环状的第一环状带46的上侧部分且能够载置被处理体W的状态下,从使被处理体W倾斜的一侧亦即搬送宽度方向一侧(在本实施方式中是装置左侧)朝向搬送宽度方向另一侧(在本实施方式中是装置右侧)向下方侧倾斜,但表面47S也可以在位于环状的第一环状带46的上侧部分且能够载置被处理体W的状态下,例如沿着搬送宽度方向(换言之水平方向)而配置。
另外,在上述实施方式中,图9所示的搬送路38的搬出侧设置有抵接部66A和气缸机构68(移动机构),但也可以未必设置抵接部66A和气缸机构68。
另外,在上述实施方式中,控制旋转驱动第二环状带56的速度,以便配合图5所示的第三搬入装置36C将被处理体W搬入旋转搬送区域A1的最上游侧的时刻,将多个推压部52中的任一个配置于能够在旋转搬送区域A1的最上游侧推压被处理体W的位置,但也可以不必进行这样的控制。
另外,在上述实施方式中,喷丸处理装置采用喷丸装置10,但喷丸处理装置例如能够应用于喷丸硬化装置以及喷丸装置兼喷丸硬化装置这样的任意喷丸处理装置。
此外,上述实施方式以及上述多个变形例也可以在不矛盾的范围内适当地组合。
以上,虽对各种实施方式的喷丸处理装置以及喷丸处理方法进行了说明,但并不限于上述实施方式,在不改变发明的宗旨的范围内能够构成各种变形实施方式。
附图标记的说明
10…喷丸装置,12…机箱,28…投射机,28A…上部投射机,36A…第一搬入装置,36B…第二搬入装置,36C…第三搬入装置,38…搬送路,40…引导部,42…旋转机构,46…第一环状带,46C…载置面,47…板状部件,47S…表面,50…搬送机构,52…推压部,56…第二环状带,56C…搬送面,66A…推压部,70…搬出室,72…控制装置,M1…马达,M2…马达,W…被处理体。
Claims (9)
1.一种喷丸处理装置,其特征在于,具备:
引导部,沿着被处理体的搬送方向而设置;
旋转机构,包括提供用于载置所述被处理体的载置面的第一环状带、以及以所述载置面向与所述搬送方向相反的方向移动的方式驱动所述第一环状带的第一驱动部;
搬送机构,通过朝向所述搬送方向推压所述被处理体,从而使所述被处理体在所述载置面上沿着所述引导部向所述搬送方向滚动移动;以及
至少一个投射机,将投射材料向在所述载置面上滚动移动的所述被处理体投射。
2.根据权利要求1所述的喷丸处理装置,其特征在于,
所述引导部构成为以将所述被处理体向与所述搬送方向以及铅垂方向垂直的方向倾斜的状态支承所述被处理体。
3.根据权利要求1或2所述的喷丸处理装置,其特征在于,
所述至少一个投射机包含上部投射机,该上部投射机被设置于所述被处理体的搬送路径的上方。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的喷丸处理装置,其特征在于,
所述第一环状带由钢制的多个板状部件构成。
5.根据权利要求4所述的喷丸处理装置,其特征在于,
所述多个板状部件的每一个具有在与所述搬送方向以及铅垂方向垂直的方向,相对于水平面倾斜的表面。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的喷丸处理装置,其特征在于,
还具备用于搬出所述被处理体的搬出室,
在所述搬出室设置有:
抵接部,能够向与所述搬送方向以及铅垂方向垂直的方向移动,能够从侧方与被配置于所述搬出室的所述被处理体的上部抵接;以及
移动机构,使所述抵接部向与所述搬送方向以及铅垂方向垂直的方向移动。
7.根据权利要求1~6中任一项所述的喷丸处理装置,其特征在于,
所述搬送机构具有被设置于所述载置面的上方的第二环状带、驱动所述第二环状带的第二驱动部、以及沿着所述第二环状带的外周面排列的多个推压部,
所述多个推压部的每一个通过以与所述被处理体抵接的方式从所述第二环状带向下方延伸,并根据所述第二环状带的驱动而将所述被处理体向所述搬送方向推压,从而将所述被处理体朝向所述搬送方向搬送。
8.根据权利要求7所述的喷丸处理装置,其特征在于,还具备:
搬入机构,被设置于比所述载置面靠所述搬送方向的上游侧,以规定的周期将所述被处理体向所述载置面上搬入;以及
控制装置,调整所述第二环状带的驱动速度,以便配合所述被处理体被搬入到所述载置面上的时刻,将所述多个推压部中的一个推压部配置于能够向所述搬送方向推压被搬入到所述载置面上的所述被处理体的位置。
9.一种喷丸处理方法,是使用喷丸处理装置而将投射材料向被处理体投射的喷丸处理方法,其特征在于,
所述喷丸处理装置具备:
引导部,沿着被处理体的搬送方向而设置;
旋转机构,包含提供用于载置所述被处理体的载置面的环状带、以及驱动所述环状带的驱动部;
搬送机构,朝向所述搬送方向搬送所述被处理体;以及
至少一个投射机,将投射材料向所述被处理体投射,
所述喷丸处理方法包含以下工序:
以所述载置面向与所述搬送方向相反的方向移动的方式驱动所述环状带;
通过所述搬送机构而将所述被处理体朝向所述搬送方向推压,从而使所述被处理体在所述载置面上沿着所述引导部向所述搬送方向滚动移动;以及
从所述至少一个投射机向在所述载置面上滚动移动的所述被处理体投射所述投射材料。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017230014 | 2017-11-30 | ||
JP2017-230014 | 2017-11-30 | ||
PCT/JP2018/037782 WO2019106968A1 (ja) | 2017-11-30 | 2018-10-10 | ショット処理装置及びショット処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111405964A true CN111405964A (zh) | 2020-07-10 |
CN111405964B CN111405964B (zh) | 2022-07-15 |
Family
ID=66664864
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201880076261.8A Active CN111405964B (zh) | 2017-11-30 | 2018-10-10 | 喷丸处理装置以及喷丸处理方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11344995B2 (zh) |
JP (1) | JP7092149B2 (zh) |
CN (1) | CN111405964B (zh) |
DE (1) | DE112018006115T5 (zh) |
TW (1) | TW201934265A (zh) |
WO (1) | WO2019106968A1 (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112019001610T5 (de) * | 2018-03-26 | 2020-12-17 | Sintokogio, Ltd. | Abstrahl-verarbeitungsvorrichtung |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5782677A (en) * | 1997-01-14 | 1998-07-21 | Kanouse; Richard C. | Continuous process blast mill for finishing cast metal parts |
CN101992427A (zh) * | 2009-10-07 | 2011-03-30 | 新东工业株式会社 | 连续式的输送机式喷丸硬化装置和喷丸硬化方法 |
CN102001028A (zh) * | 2010-10-20 | 2011-04-06 | 无锡富岛精工有限公司 | 通过式棒材抛丸清理机 |
CN102862126A (zh) * | 2011-07-05 | 2013-01-09 | 新东工业株式会社 | 喷丸处理装置 |
KR101286451B1 (ko) * | 2012-11-07 | 2013-07-16 | 삼진쇼트기계공업 주식회사 | 원주 회전식 이송구조를 갖는 연속식 쇼트 피닝 장치 |
CN103796798A (zh) * | 2012-08-06 | 2014-05-14 | 新东工业株式会社 | 喷丸处理装置 |
CN104114325A (zh) * | 2012-02-17 | 2014-10-22 | 中央发条株式会社 | 喷丸装置 |
JP2015134679A (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | トヨタ自動車株式会社 | 搬送装置 |
CN105026107A (zh) * | 2013-03-07 | 2015-11-04 | 新东工业株式会社 | 抛丸处理装置 |
JP2016036864A (ja) * | 2014-08-06 | 2016-03-22 | 株式会社サンポー | ショットブラスト装置 |
CN106457517A (zh) * | 2014-07-15 | 2017-02-22 | 新东工业株式会社 | 抛丸处理装置 |
CN206287025U (zh) * | 2016-12-26 | 2017-06-30 | 海盐常绿标准件有限公司 | 一种通过式抛丸清理机 |
CN206379848U (zh) * | 2016-12-27 | 2017-08-04 | 江西永骏泰新能源科技有限公司 | 一种电机装配用的装置 |
CN107081683A (zh) * | 2017-02-17 | 2017-08-22 | 厦门达斯自动化技术有限公司 | 一种金属表面处理新装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS535678Y2 (zh) | 1974-10-19 | 1978-02-13 | ||
JP5057493B1 (ja) * | 2012-04-07 | 2012-10-24 | アサヒフォージ株式会社 | ショットブラストシステム |
-
2018
- 2018-10-10 CN CN201880076261.8A patent/CN111405964B/zh active Active
- 2018-10-10 JP JP2019557049A patent/JP7092149B2/ja active Active
- 2018-10-10 DE DE112018006115.9T patent/DE112018006115T5/de active Pending
- 2018-10-10 WO PCT/JP2018/037782 patent/WO2019106968A1/ja active Application Filing
- 2018-10-10 US US16/762,977 patent/US11344995B2/en active Active
- 2018-11-16 TW TW107140772A patent/TW201934265A/zh unknown
Patent Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5782677A (en) * | 1997-01-14 | 1998-07-21 | Kanouse; Richard C. | Continuous process blast mill for finishing cast metal parts |
CN101992427A (zh) * | 2009-10-07 | 2011-03-30 | 新东工业株式会社 | 连续式的输送机式喷丸硬化装置和喷丸硬化方法 |
CN101992427B (zh) * | 2009-10-07 | 2013-12-25 | 新东工业株式会社 | 连续式的输送机式喷丸硬化装置和喷丸硬化方法 |
CN102001028A (zh) * | 2010-10-20 | 2011-04-06 | 无锡富岛精工有限公司 | 通过式棒材抛丸清理机 |
CN102862126A (zh) * | 2011-07-05 | 2013-01-09 | 新东工业株式会社 | 喷丸处理装置 |
CN104114325A (zh) * | 2012-02-17 | 2014-10-22 | 中央发条株式会社 | 喷丸装置 |
CN103796798A (zh) * | 2012-08-06 | 2014-05-14 | 新东工业株式会社 | 喷丸处理装置 |
KR101286451B1 (ko) * | 2012-11-07 | 2013-07-16 | 삼진쇼트기계공업 주식회사 | 원주 회전식 이송구조를 갖는 연속식 쇼트 피닝 장치 |
CN105026107A (zh) * | 2013-03-07 | 2015-11-04 | 新东工业株式会社 | 抛丸处理装置 |
JP2015134679A (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | トヨタ自動車株式会社 | 搬送装置 |
CN106457517A (zh) * | 2014-07-15 | 2017-02-22 | 新东工业株式会社 | 抛丸处理装置 |
JP2016036864A (ja) * | 2014-08-06 | 2016-03-22 | 株式会社サンポー | ショットブラスト装置 |
CN206287025U (zh) * | 2016-12-26 | 2017-06-30 | 海盐常绿标准件有限公司 | 一种通过式抛丸清理机 |
CN206379848U (zh) * | 2016-12-27 | 2017-08-04 | 江西永骏泰新能源科技有限公司 | 一种电机装配用的装置 |
CN107081683A (zh) * | 2017-02-17 | 2017-08-22 | 厦门达斯自动化技术有限公司 | 一种金属表面处理新装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112018006115T5 (de) | 2020-08-13 |
US11344995B2 (en) | 2022-05-31 |
JP7092149B2 (ja) | 2022-06-28 |
CN111405964B (zh) | 2022-07-15 |
JPWO2019106968A1 (ja) | 2020-12-03 |
US20200269387A1 (en) | 2020-08-27 |
TW201934265A (zh) | 2019-09-01 |
WO2019106968A1 (ja) | 2019-06-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5321978B2 (ja) | 連続式のコンベア式ショットピーニング装置及びショットピーニング方法 | |
KR102158405B1 (ko) | 쇼트 처리 장치 | |
US9156132B2 (en) | Surface treatment machine | |
CN110785260A (zh) | 喷丸处理装置 | |
CN111405964B (zh) | 喷丸处理装置以及喷丸处理方法 | |
JP2011079120A (ja) | ショットブラスト方法およびその設備 | |
WO2013011736A1 (ja) | ショット処理装置 | |
TWI674950B (zh) | 珠擊處理裝置 | |
US20150151407A1 (en) | Shot processing machine | |
US10300580B2 (en) | Shot processing device | |
KR100646754B1 (ko) | 석재의 표면가공을 위한 쇼트 블라스트 장치 | |
CN109701797B (zh) | 预涂底漆生产线 | |
WO2012066809A1 (ja) | ショット処理装置 | |
JPH05286552A (ja) | 丸ベルトコンベアおよびその使用方法 | |
JP6066459B2 (ja) | ショット処理装置及びショット処理方法 | |
US2343357A (en) | Abrasive removing apparatus | |
JP2018158411A (ja) | ショットブラスト装置 | |
JP2010149215A (ja) | ブラスト装置 | |
JPH0710254A (ja) | パーツフイーダー | |
JPH0761574A (ja) | 昇降搬送装置 | |
JP6704121B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP2512278B2 (ja) | コイルばね用ショットピ―ニング装置 | |
JPH0621642Y2 (ja) | 加工バリの除去装置 | |
JP3001491U (ja) | シャトルコンベア | |
KR20110037504A (ko) | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |