CN111397793A - 用于感测压力的方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及用于感测压力的方法。所述方法包括：在具有传感隔膜的传感模处接收输入压力；响应于所述输入压力挠曲所述传感隔膜；当所述传感隔膜挠曲预定量时将所述传感隔膜与隔膜止挡部的隔膜止挡部表面接合；响应于传感隔膜与隔膜止挡部的接合，限制所述传感隔膜的挠曲。所述隔膜止挡部具有包括朝向传感隔膜延伸的多个限定的突出部的形貌，并且所述形貌被配置来减小所述隔膜止挡部表面与所述传感隔膜之间相对于光滑隔膜止挡部表面的静摩擦。

Description

用于感测压力的方法

相关申请

本发明是2015年3月24日提交的、发明名称为《带有过压保护的压力传感器》的中国发明专利申请号201510129398.3的分案申请。

技术领域

本发明大体涉及用于感测压力的方法。

背景技术

压力传感器通常包括配置来检测介质压力的压力传感元件，其中介质压力通过将由介质引入的压力引起的机械应力转化成电输出信号而被感测到。压力测量通常在绝对压力、表压或压差（或者相对压力）测量的情况下而被测量。绝对压力传感器表示特定类型的传感装置，其测量相对于真空（或者密封的基准）的压力。在另一方面，表压传感器测量相对于大气压力的压力。压差传感器测量两个输入压力之间的压力差值。这些和其它类型的压力传感器使用于多种多样的应用中，包括例如商业的、汽车的、航空的、工业的、医疗的应用以及在其它相似的和不同的工业中。

发明内容

本公开大体涉及传感器，以及更具体地涉及在使用期间可暴露于过压下的传感器。虽然已知传感器组件存在，但是仍然存在对于此类传感器组件的改进的需要。

因此，在一个示例中，压力传感器可包括用于接收输入压力的输入部和具有传感隔膜的传感模，该传感隔膜暴露于输入压力中且配置成响应于输入压力而挠曲。一个或更多个传感元件可操作地联接至传感隔膜以便于感测传感隔膜的挠曲。第一隔膜止挡部可布置成邻近传感隔膜的第一侧以限制传感隔膜朝向第一隔膜止挡部的挠曲。第一隔膜止挡部可包括面对传感隔膜的第一侧的第一隔膜止挡部表面，该第一隔膜止挡部包括多个限定的突出部。

在另一个示例中，压力传感器可包括用于接收压力输入的输入部和具有第一主表面和相对的第二主表面的传感模。凹部可设置在第一主表面中以形成凹进的第一表面，其中传感隔膜限定在传感模的凹进的第一表面与第二主表面之间。传感隔膜可暴露于输入压力且可响应于该输入压力而挠曲。一个或更多个传感元件可操作地联接至传感隔膜以感测传感隔膜的挠曲。第一基底可相对于传感模的第一主表面而固定。第一基底可具有第一隔膜止挡部，该隔膜止挡部延伸远离基底且进入传感模中的凹部，且邻近传感隔膜的凹进的第一表面以限制传感隔膜朝向第一隔膜止挡部的挠曲。在一些情况下，第二基底可相对于传感模的第二主表面而固定。第二基底可具有第二隔膜止挡部，该第二隔膜止挡部邻近于传感隔膜的第二主表面延伸以限制传感隔膜朝向第二隔膜止挡部的挠曲。

在还有的另一示例中，压力传感器可包括用于接收输入压力的输入部和传感隔膜，该传感隔膜暴露于输入压力且配置成响应于输入压力而挠曲。一个或更多个传感元件可操作地联接至传感隔膜以感测传感隔膜的挠曲。隔膜止挡部可放置在邻近传感隔膜处以限制传感隔膜的挠曲。隔膜止挡部可具有隔膜止挡部表面，用于当传感隔膜由于输入压力已经挠曲了预定量时接合传感隔膜。在一些情况下，隔膜止挡部表面可具有被配置来减小隔膜止挡部表面和传感隔膜之间相对于光滑的隔膜止挡部表面的静摩擦（例如静摩擦）的形貌。

提供前面的概述来帮助对本公开的一些创造性特征的大体的理解，其并不旨在是完整的说明。对本公开的完整领会能够通过将整个说明、权利要求、附图和摘要作为整体而获得。

附图说明

在附图中，贯穿各个视图的相同的附图标记指相同的或功能相似的元件，以及附图被并入说明书中且形成说明书的一部分，附图进一步显示几个说明性的实施例以及与说明一起用来解释几个说明性实施例，其中：

图1是说明性压力传感器的示意性截面图；

图2是说明性压力传感器的示意性截面图；

图3是说明性压力传感器的示意性截面图；

图4是可使用在图1-3的压力传感器中的说明性止挡部的一部分的示意性截面图；

图5是可使用在图1-3的压力传感器中的说明性止挡部的一部分的顶视图；

图6是可使用在图1-3的压力传感器中的说明性止挡部的一部分的示意性截面图；

图7是可使用在图1-3的压力传感器中的说明性止挡部的一部分的顶视图；

图8是图7的说明性止挡部沿着线8-8的示意性截面图；以及

图9是可使用在图1-3的压力传感器中的说明性止挡部的一部分的顶视图。

虽然本公开服从于各个改变和可替代形式，但是其的细节已经以示例的方式在附图中被示出且将被详细描述。然而，应该理解到本发明不是要将本公开的多个方面限制为此文中所述的特定的说明性实施例。相反地，本发明是要覆盖所有落入本公开的精神和范围内的改变、等效物以及可替代物。

具体实施方式

下列说明应该参照附图而被阅读，其中贯穿几个视图的相同的附图标记指示相同的元件。说明和附图（其并不一定是按比例的）描述说明性的实施例且并不旨在限制本公开的范围。所描述的说明性的实施例旨在仅作为示例性的。

图1是说明性的压力传感器10的示意性截面图。压力传感器10可包括传感模12、基层14和顶层16。预期到此处的术语“层”旨在包括任何合适的一层或多层或层组合，包括整体成型的多层或者分别成型的多层，例如分别成型的一个或多个基底、一个或多个模具和/或其它一个或多个元件。

传感模12可包括传感隔膜18，在一些实施例中该传感隔膜18由传感模12的一部分所限定，传感模12的此部分薄于传感模12的其它部分。将领会到在一些实施例中压力传感器10可包括在图1中未明确示出的额外的层和/或元件。通常说来，压力传感器10可以是任意类型的压力传感器。在一个示例中，压力传感器10可以是例如绝对压力传感器、表压传感器、压差传感器或者所需要的其它压力传感器的压力传感器。示例压力传感器可包括但是不限于那些在美国专利：7,503,221；7,493,822；7,216,547；7,082,835；6,923,069；6,877,380和美国专利申请公布：2010/0180688；2010/0064818；2010/00184324；2007/0095144和2003/0167851中所描述的，所有这些在此处通过引用被并入此文中。

在图1中所示出的示例中，压力传感器10是绝对压力传感器。因此，顶层16可包括在特定基准压力下构造的腔20。腔20可包括在特定参考压力下加压的流体。顶层16也可包括止挡部22，如将更详细讨论的，该止挡部22能够限制传感隔膜18的向上（在所示出的取向中）行进。基层14可包括用作来接收输入压力的输入端口的流体路径24。例如加压流体介质（例如液体或气体）的输入压力能够行进通过流体路径24且在传感隔膜18上施加作用力。如果输入压力大于腔20内的参考压力，则传感隔膜18将沿着向上的方向（以所示出的取向）挠曲或弯曲。将领会到此文中参照特定方向，例如向上和向下，仅仅是说明性的，因为压力传感器10可使用在多种不同的空间取向中。

为了感测传感隔膜18的运动，例如挠曲或弯曲，压力传感器10可包括一个或更多个传感元件26，其可以设置在传感隔膜18的周围。传感元件26可以是配置来将传感隔膜18的机械运动、应力和/或挠曲转化成电信号的任何元件。在一些实施例中，例如传感元件26可以是压敏电阻器。在一些实施例中，例如传感元件26可以布置成惠斯通电桥（例如半桥或全桥）以便提供指示传感隔膜18的机械挠曲的电信号。虽然在图1的所示出的横截面中显示两个传感元件26，但是将领会到压力传感器10可包括任意所需数量的传感元件26。在一些实施例中，总共四个传感元件26可布置成全惠斯通电桥构型。

在一些实施例中，传感隔膜18可以被认为是具有限定传感隔膜18的横截面表面面积的周界。止挡部22可以被认为是具有止挡部表面23，该止挡部表面23具有限定止挡部表面23的横截面面积的周界。在一些实施例中，由止挡部表面23的周界限定的横截面面积在由传感隔膜18的周界限定的横截面表面面积的约10%与95%之间。在一些实施例中，由止挡部表面23的周界限定的横截面面积在由传感隔膜18的周界限定的横截面面积的约60%与90%之间。在一些实施例中，由止挡部表面23的周界限定的横截面面积在由传感隔膜18的周界限定的横截面面积的约60%与75%之间。

形成压力传感器10的元件可以由任何需要的和合适的材料成型。例如，传感模12可以由硅材料成型，包括至少一些硅的材料（例如硅混合物）、GaAs、金属和/或具有相似或不同性质的任何其它材料。传感隔膜18可通过例如蚀刻、机械加工或者配置来使传感隔膜18成型在传感模12内的任何其它成型技术的方式而被形成在传感模12中。在一些情况下，传感元件26可以是压阻元件，该压阻元件由压电材料和/或可配置成响应于机械应力或运动而改变或更改其电的或其它性质的一种或更多种其它材料而制成，或者包括压电材料和/或可配置成响应于机械应力或运动而改变或更改其电的或其它性质的一种或更多种其它材料。

基层14和顶层16可由任何合适的材料而形成。在一些实施例中，基层14和/或顶层16可至少部分地由金属材料（例如金属材料包括铝、不锈钢、镍钴铁合金例如KOVAR®、任何其它金属材料和/或这些金属材料的任何组合）而制成。在一些情况下，基层14和/或顶层16可完全由金属材料制成，而在其它情况下，基层14和/或顶层16可被涂覆以金属材料。在一些实施例中，基层14和/或顶层16可至少部分由玻璃材料（例如硼硅酸盐玻璃，例如PYREX®、BOROFLOAT® 33、HOYA SD-2和/或其它硼硅酸盐玻璃材料等）而形成。在一些实施例中，基层14和/或顶层16可至少部分地由陶瓷材料形成。在一些实施例中，使用来形成传感模12、基层12和顶层16中的每一个的材料可选择成热兼容的。

在一些实施例中，虽然未明确示出，但是基层14和/或顶层16可包括不同的两层或更多层，每层是相同材料或不同材料。如果存在的话，每层可以使用任何合适的技术而连接。传感模12、基层14和顶层16可使用任何想要的方法或技术被连接在一起以形成压力传感器10。例如在一些实施例中，传感模12、基层14和顶层16可使用阳极键合、玻璃料熔合（frit bonding）、熔化、焊接、软钎焊、胶粘剂或者所需要的任何其它合适的键合、连接或密封技术而连接到一起。

图2提供压力传感器110的另一个说明性的但非限制性的示例。压力传感器110是压差传感器且可包括传感模112、基层114和顶层116。传感模112可包括传感隔膜118，在一些实施例中，其由传感模112的一部分所限定，传感模112的此部分薄于传感模112的其它部分。将领会到在一些实施例中，压力传感器110包括在图2中未明确示出的额外的层和元件。

如所示的，压力传感器110可包括包含约束层止挡部128的约束层146。约束层止挡部128可以形成为约束层146的凸起部分且可朝向传感隔膜118向上（以所示出的取向）延伸。如将讨论的，约束层止挡部128可限制传感隔膜118的向下挠曲、弯曲或其它运动。在一些情况下，约束层止挡部128与约束层146整体成型，而在另外的情况下，约束层止挡部128与约束层146分别成型且附接至约束层146。在一些情形中，约束层止挡部128由不同于约束层146的材料成型或者包括不同于约束层146的材料。

压力传感器110还可包括包含顶部止挡部132的止挡部层130。顶部止挡部132可以成型为朝向传感隔膜118向下（以所示出的取向）延伸的突出部。如将讨论的，顶部止挡部132可限制传感隔膜118的向上挠曲、弯曲或者其它运动。在一些情况下，顶部止挡部132与止挡部层130整体成型，而在其它情况下，顶部止挡部132与止挡部层130分别成型且附接至止挡部层130。在一些情形中，顶部止挡部132由不同于止挡部层130的材料成型或者包括不同于止挡部层130的材料。

如所示出的，压力传感器110包括几个流体路径，该流体路径可配置来提供第一压力输入和第二压力输入，由此压力传感器110能够测量第一和第二压力输入之间的相对差值，或者压差。基层114包括流体路径134以及约束层146包括流体路径136，其中流体路径136流体联接至流体路径134使得流体路径134和流体路径136结合提供至传感隔膜118的第一侧138的输入端口。类似地，止挡部层130包括延伸通过止挡部层130的流体路径140，且该流体路径140与流体路径142流体联接使得流体路径140和流体路径142结合提供至传感隔膜118的第二侧144的输入端口。

因此，如果作用在传感隔膜118的第一侧138上的输入压力大于作用在传感隔膜118的第二侧144上的输入压力，则传感隔膜118可以向上方向（以所示出的取向）弯曲、挠曲、形变或者以其它方式移动。如果传感隔膜118移动足够远，则传感隔膜118将接触顶部止挡部132的止挡部表面132a，使得顶部止挡部132限制传感隔膜118的运动以帮助阻止对于传感隔膜118的可能的损坏，否则过度移动（例如过压）会引起损坏。类似地，如果作用在传感隔膜118的第二侧144上的输入压力大于作用在传感隔膜118的第一侧138上的输入压力，则传感隔膜118可以向下方向（以所示出的取向）弯曲、挠曲、形变或者以其它方式移动。如果传感隔膜118移动足够远，则传感隔膜118将接触约束层止挡部128的止挡部表面128a，使得约束层止挡部128限制传感隔膜118的运动以帮助阻止对于传感隔膜118的可能的损坏，否则过度移动会引起损坏。

为了感测传感隔膜118的前述的例如挠曲或弯曲的运动，压力传感器110可包括一个或更多个传感元件126，其中传感元件126可围绕传感隔膜118设置。传感元件126可以是配置来将传感隔膜118的机械运动、应力和/或挠曲转化成电信号的任何元件。在一些实施例中，例如，传感元件126可以是压敏电阻器。在一些实施例中，例如传感元件126可以布置成惠斯通电桥（例如全桥或半桥构型）以便提供指示传感隔膜118的机械运动、应力和/或挠曲的电信号。

图3提供另一压差传感器210的说明性的但非限制性的示例。压力传感器210可包括传感模212、基层214和顶层216。传感模212可包括传感隔膜218，该传感隔膜在一些实施例中由传感模212的一部分所限定，传感模212的此部分薄于传感模212的其它部分。

压力传感器210可包括约束层246，该约束层246包括约束层止挡部228。约束层止挡部228可成型为约束层246的凸起部分且可朝向传感隔膜218向上（以所示出的取向）延伸。可替代地，约束层止挡部228可与约束层246分开成型且随后固定至约束层246。如将讨论的，约束层止挡部228可限制传感隔膜218的向下的挠曲、弯曲或其它运动。压力传感器还可包括包含顶部止挡部232的止挡部层230。顶部止挡部232可以是朝向传感隔膜218向下（以所示出的取向）延伸的突出部。如将讨论的，顶部止挡部232可限制传感隔膜218的向上的挠曲、弯曲或其它运动。

如所示出的，压力传感器210包括几个可配置来提供第一压力输入和第二压力输入的流体路径，由此压力传感器210能够测量该第一和第二压力输入之间的相对差值，或者压差。基层214包括流体路径234，以及约束层246包括流体联接至流体路径234且流体联接至流体路径262的流体路径236a，其结合来提供至传感隔膜218的第一侧238的输入端口。

同样地，流体路径240延伸穿过顶层216且流体联接至流体路径252。在一些实施例中，如所示出的，流体路径252可由设置在顶层216与止挡部层230之间的O形环或者其它密封结构所限定。流体路径254a和流体路径254b显示出流体联接至流体路径252且延伸穿过止挡部层230使得流体路径254a和流体路径254b流体联接至流体路径260以便提供至传感隔膜218的第二侧244的输入压力。

在此构型中，如果作用在传感隔膜218的第一侧238上的输入压力大于作用在传感隔膜218的第二侧244上的输入压力，则传感隔膜218可以向上的方向（以所示出的取向）弯曲、挠曲或者以其它方式移动。如果传感隔膜218移动足够远，则传感隔膜218将接触顶部止挡部232的止挡部表面232a，使得顶部止挡部232限制传感隔膜218的运动以帮助阻止对于传感隔膜218的可能的损坏，否则过度移动会引起损坏。类似地，如果作用在传感隔膜218的第二侧244上的输入压力大于作用在传感隔膜118的第一侧238上的输入压力，则传感隔膜218可以向下的方向（以所示出的取向）弯曲、挠曲或者以其它方式移动。如果传感隔膜218移动足够远，则传感隔膜218将接触约束层止挡部228的止挡部表面228a，使得约束层止挡部228限制传感隔膜218的运动以帮助阻止对于传感隔膜218的可能的损坏，否则过度移动会引起损坏。

为了感测传感隔膜218的例如挠曲或弯曲的前述运动，压力传感器210可包括一个或更多个传感元件226，其可以设置在传感隔膜218的周围。传感元件226可以是配置来将传感隔膜218的机械运动、应力和/或挠曲转化成电信号的任何元件。在一些实施例中，例如传感元件226可以是压敏电阻器。在一些实施例中，例如传感元件226可以布置成惠斯通电桥（全桥或半桥构型）以便提供指示传感隔膜218的机械运动、应力和/或挠曲的电信号。

如所讨论的，此文中所述的止挡部可帮助阻止传感隔膜18、118、218的过度移动，否则其将由于足够大的输入压力而引起损坏。在一些情形中，在形成传感隔膜的材料与形成传感隔膜所接触的止挡部的材料之间存在静摩擦或者“静摩擦”的可能性。随后的附图提供止挡部构型的说明性的但非限制性的示例，其可以使用于例如压力传感器10、110、210的压力传感器中以便帮助限制或者减小静摩擦。在一些实施例中，止挡部可具有面对传感隔膜的表面，该传感隔膜包括多个限定的突出部。这些突出部可以是规则的或者不规则的，组成图案的或者随意的。

图4提供止挡部400的一部分的示意性横截面。将领会到止挡部400能够代表在图1-3中所描述的任意止挡部，例如止挡部22、顶部止挡部132、232或者约束层止挡部128、228。止挡部400可被认为大体限定由虚线指示的表面410。许多凹部430可形成在表面410中，由此限定许多突出部420。将领会到止挡部400可替代地被认为是包括许多从表面开始延伸的突出部，带有限定在多个突出部之间的凹部。在一些实施例中，凹部430蚀刻至止挡部400中。在一些实施例中，如所示的，突出部420可具有带有倒圆边缘的面向前表面422。在一些实施例中，每个突出部420具有面向前表面422，且所有突出部420的面向前表面422的结合的表面面积可在由止挡部400的周界限定的整个横截面面积所限定的横截面面积的约5%与60%之间。

在一些情形中，凹部430可使用各向异性的蚀刻被蚀刻至止挡部400中，其可在面向前表面422的周界周围以及沿着每个突出部420的蚀刻侧壁432向下产生相对锐利的边缘。各向异性的蚀刻可以是反应离子刻蚀或者如想要的任何合适的蚀刻。此后，由各向异性的蚀刻产生的锐利的边缘可以通过应用各向同性的蚀刻而被磨圆。在各向同性的蚀刻中花费的时间长度可决定边缘被磨圆的相对程度。在一些情形中，突出部的10%-100%之间的面向前表面422被磨圆，其余部分（若有的话）相对于表面410是相对平的以及更平。在一些情形中，突出部的30%-90%之间的面向前表面422被磨圆，其余部分（若有的话）相对于表面410是相对平的以及更平。在一些情形中，突出部的40%-70%之间的面向前表面422被磨圆，其余部分（若有的话）相对于表面410是相对平的以及更平。这些仅仅是示例。在一些情况下，突出部420可以由机械地磨削、切割、喷砂成型或以所需要的其它方式机械地操纵止挡部的面向前表面而成型。

图5是止挡部400的顶视图，说明突出部420以行和列布置成规则图案的实施例。在一些实施例中，流动通道440可限定在相邻的突出部之间和/或在突出部420的相邻的行和列之间。流动通道440可以例如通过蚀刻而形成。突出部420中至少一些可具有至少约为100微米的平均高度。图4和图5显示具有平的剖面的止挡部400。在一些实施例中，合适的止挡部可具有弯曲的或者其它非平面的剖面，以便减小静摩擦，例如图6中所示。

图6提供止挡部600的一部分的示意性横截面。将领会到止挡部600能够代表在图1-3中所述的任意止挡部，例如止挡部22、顶部止挡部132、232或者约束层止挡部128、228。止挡部600可被认为限定由虚线指示的表面610。不同于图4和图5显示的平的表面410，表面610是弯曲的。在一些情形中，许多凹部630可以形成在表面610中，由此限定许多突出部620、622、624、626、628。在所示出的止挡部中，表面610包括延伸至第一高度的第一突出部620、延伸至第二高度的第二突出部622、延伸至第三高度的第三突出部624、延伸至第四高度的第四突出部626以及延伸至第五高度的第五突出部628。将领会到所示出的突出部的数量仅仅是说明性的，且止挡部600可具有更大数量的突出部。能够看出止挡部600被配置使得更接近于止挡部600的外周的突出部延伸至的高度小于更接近于止挡部600的中心的突出部延伸至的高度，虽然这并不是必须的。将领会到图6并不是按比例的，如在一些实施例中在止挡部600的外周附近的突出部相对于止挡部600的中心附近的突出部之间可存在5至15微米的突出部高度差。

在一些实施例中，突出部620、622、624、626、628可布置成规则图形，例如图4和图5中所示的突出部420。如所示出的，表面610可被认为限定简单的曲线。在一些实施例中，预想到表面610可以不呈现简单的曲线，而是可具有由振荡曲线或正弦曲线更好地描述的形状。在一些实施例中，表面610可被认为是凸形的。在一些实施例中，表面610相反可以是凹形的。

图7提供另一说明性止挡部700的顶视平面图。图8 提供图7的说明性止挡部沿着线8-8的示意性截面图。将领会到止挡部700能够代表在图1-3中所描述的任意止挡部，例如止挡部22、顶部止挡部132、232或者约束层止挡部128、228。说明性止挡部700包括表面710和在表面710上方（以所示的取向）延伸的凸起周界720。如果过压引起传感隔膜接触止挡部700，则传感隔膜可仅接触凸起周界720。在一些实施例中，如图7中所示，止挡部700也可包括一个或更多个定位于表面710内的凸起突出部730。 虽然示出的是单个的凸起突出部730，但是将领会到止挡部700可在表面710上包括布置成任意图案的任意数量的凸起突出部730。在一些实施例中，虽然不是必须的，但是凸起周界720可包括一个或更多个切口740。切口740（如果存在的话）可通过在传感隔膜的移动期间允许传感隔膜与表面710之间的流体流动（例如空气）而帮助传感隔膜移动远离止挡部700。

图9还提供另一说明性止挡部800的顶视图。将领会到止挡部800能够代表图1-3中所述的任意止挡部，例如止挡部22、顶部止挡部132、232或者约束层止挡部128、228。说明性止挡部800包括表面810和凸起图案820。在所示出实施例中，凸起图案820呈大的X的形状，其可以是与邻近的传感隔膜（未示出）对准。预期到多种不同的形状。例如，凸起图案820可以是以星状物的形式。凸起图案820可以是以数字符号或者#号标签的形式。将领会到止挡部800可如所示的包括单个的凸起图案820，或者可包括分散在表面810周围的几个相对小的凸起图案。

将领会到上述公开、其它特征和功能的变型或者其替代可以按期望地结合成多种其它的不同系统或应用。还有其中的各个目前未预料的或者意外的替代、修改、变型或者改进随后可由本领域技术人员而作出，其也是要被所附权利要求所包含的。

Claims (9)

1.一种用于感测压力的方法，所述方法包括：

在具有传感隔膜的传感模处接收输入压力；

响应于所述输入压力挠曲所述传感隔膜；

当所述传感隔膜挠曲预定量时使所述传感隔膜与隔膜止挡部的隔膜止挡部表面接合；

响应于传感隔膜与隔膜止挡部的接合，限制所述传感隔膜的挠曲，

其中所述隔膜止挡部表面具有包括朝向传感隔膜延伸的多个限定的突出部的形貌，并且

其中所述形貌被配置来减小所述隔膜止挡部表面与所述传感隔膜之间相对于光滑隔膜止挡部表面的静摩擦。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个限定的突出部中的每一个延伸到一高度，且其中定位更接近于所述隔膜止挡部表面的周界的所述多个限定的突出部中至少一些延伸到的高度小于定位更接近于所述隔膜止挡部表面的中心的所述多个限定的突出部中至少一个延伸到的高度。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个限定的突出部布置成预定的图案。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个限定的突出部包括在所述多个限定的突出部之间的一个或更多个流动通道。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述一个或更多个流动通道被蚀刻且具有多个蚀刻的侧壁。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个限定的突出部中的每一个具有限定所述隔膜止挡部表面的一部分的面向前表面，以及其中所述多个限定的突出部中的每一个突出部的所述面向前表面具有倒圆的边缘。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个限定的突出部中至少一些具有至少100微米的高度。

8.根据权利要求1所述的方法，其中：

所述传感隔膜的周界限定横截面表面面积；

所述隔膜止挡部表面的周界限定横截面面积，其中由所述隔膜止挡部表面的所述周界限定的所述横截面面积在由所述传感隔膜的所述周界所限定的所述横截面面积的10%与95%之间。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述多个限定的突出部中每个具有面向前表面，以及其中所有所述多个限定的突出部结合的所述面向前表面在由所述隔膜止挡部表面的所述周界所限定的所述横截面面积的5%与60%之间。

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