CN111396723B - 一种洁净室多点检测装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种洁净室多点检测装置，属于洁净室技术领域。一种洁净室多点检测装置，包括:移动支座；万向轮，包括万向前轮、万向后轮，均连接在所述移动支座底部；其中，所述万向前轮、万向后轮上均设有滚轮；第一摩擦片；第二摩擦片，滑动连接在所述移动支座上；用于驱动所述移动支座移动的驱动把手，转动连接在所述移动支座上；检测组件，设置在所述移动支座上端；第一调高组件；第二调高组件；本发明通过万向轮、滑动轮的设置便于对检测组件进行移动，通过两组调高组件的设置便于对检测组件的高度调节，能够对洁净房内的多个位置进行检测，提高了检测结果的代表性，且通过连接绳、弹性绳的设置，能够提高监测过程中的稳定性。

Description

一种洁净室多点检测装置
技术领域
本发明涉及洁净室技术领域，尤其涉及一种洁净室多点检测装置。
背景技术
洁净室，亦称无尘车间、无尘室或清洁室，洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100％没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方英寸1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。
现有的在对洁净室进行安全检测的过程中，常常是进行单点检测，检测结果不具有代表性，进而不便于判断洁净室是否合格，降低了检测的效率。
发明内容
本发明的目的是为了解决上述背景技术中提出的题，而提出的一种洁净室多点检测装置。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
一种洁净室多点检测装置，包括:移动支座；万向轮，包括万向前轮、万向后轮，均连接在所述移动支座底部；其中，所述万向前轮、万向后轮上均设有滚轮；第一摩擦片，固定连接在所述滚轮上；第二摩擦片，滑动连接在所述移动支座上，与第一摩擦片相贴用于限制滚轮的转动；用于驱动所述移动支座移动的驱动把手，转动连接在所述移动支座上，用于控制万向后轮上第二摩擦片的滑动；检测组件，设置在所述移动支座上端；第一调高组件，设置在所述移动支座上，用于调节检测组件的高度；第二调高组件，与所述第一调高组件、检测组件均可拆卸相连，用于调节检测组件的高度；其中，所述第一调高组件包括支撑架，所述支撑架用于驱动万向前轮上第二摩擦片的滑动，所述移动支座上滑动连接有滑动连接块，所述滑动连接块与支撑架通过调节臂相连，所述移动支座上转动连接有正反转丝杆，所述正反转丝杆与滑动连接块螺纹连接。
优选的，所述移动支座上固定连接有固定板，所述固定板上滑动连接有滑动柱，所述滑动柱与第二摩擦片固定相连，所述滑动柱上套接有调节弹簧，所述调节弹簧的两端分别与固定板、滑动柱相连。
优选的，所述支撑架上连接有弹性绳，所述弹性绳与滑动柱相连，所述弹性绳穿过固定板。
优选的，所述驱动把手下端固定连接有驱动块，所述移动支座上滑动连接有滑动块，所述驱动块与滑动块相匹配，所述滑动块的下端与滑动柱通过连接绳相连。
优选的，所述第二调高组件包括液压升降装置，所述液压升降装置的输出端固定连接有放置座，所述放置座用于放置检测组件。
优选的，还包括安装座，所述检测组件安装在安装座上，所述放置座上滑动连接有压紧轴，所述压紧轴与安装座相贴，所述压紧轴上滑动连接有压紧弹簧，所述压紧弹簧的两端分别与放置座、压紧轴相贴。
优选的，所述安装座的下端还设有滑动轮。
优选的，所述液压升降装置与支撑架通过螺栓相连。
优选的，所述正反转丝杆上固定连接有转盘。
与现有技术相比，本发明提供了一种洁净室多点检测装置，具备以下有益效果：
1、该洁净室多点检测装置，使用者在使用时，首先对本装置进行移动，移动至待检测位置时通过两组调高组件对检测组件进行高度调节，进而便于检测不同点位，且在检测时能够分别对万向前轮、万向后轮进行固定，提高监测过程中的稳定性；
在对本装置进行移动时，首先通过推动或拉动驱动把手转动，当驱动把手转动到最大距离时，此时通过驱动把手、万向轮便于使用者控制移动支座的滑动；
需要注意的是，在未控制驱动把手时，驱动万向后轮上的第一摩擦片与第二摩擦片相贴，防止驱动万向后轮滑动，在驱动把手转动时，会通过驱动块带动滑动块滑动，进而在滑动块滑动时会通过连接绳拉动滑动柱滑动，调节弹簧压缩，使得第二摩擦片与第一摩擦片分离，能够移动移动支座；
在调节检测组件的高度时，首先通过液压升降装置能够带动检测组件滑动，进行调节；
通过第二调高组件进行调节时，会进一步改变检测组件的高度，且会使得本装置的重心发生变化，稳定性降低，因此增加了弹性绳；
通过转动转盘，结合正反转丝杆、滑动连接块、调节臂、支撑架能够调节检测组件的高度，且在支撑架滑动时，会通过弹性绳带动万向前轮上的滑动柱滑动，使得第一摩擦片与第二摩擦片相贴，防止滚轮滑动，进而提高了本装置的稳定性；
该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本发明通过万向轮、滑动轮的设置便于对检测组件进行移动，通过两组调高组件的设置便于对检测组件的高度调节，能够对洁净房内的多个位置进行检测，提高了检测结果的代表性，且通过连接绳、弹性绳的设置，能够提高监测过程中的稳定性。
附图说明
图1为本发明提出的一种洁净室多点检测装置的结构示意图之一；
图2为本发明提出的一种洁净室多点检测装置的结构示意图之一；
图3为本发明提出的一种洁净室多点检测装置的图2中A部分的结构示意图；
图4为本发明提出的一种洁净室多点检测装置的结构示意图之一；
图5为本发明提出的一种洁净室多点检测装置的图4中B部分的结构示意图；
图6为本发明提出的一种洁净室多点检测装置的图4中C部分的结构示意图；
图7为本发明提出的一种洁净室多点检测装置的结构示意图之一；
图8为本发明提出的一种洁净室多点检测装置的图7中D部分的结构示意图。
图中：1、移动支座；101、驱动把手；102、驱动块；103、滑动块； 104、连接绳；2、支撑架；201、调节臂；202、滑动连接块；203、正反转丝杆；204、转盘；205、弹性绳；3、液压升降装置；301、放置座； 302、压紧轴；303、压紧弹簧；304、安装座；305、滑动轮；306、检测组件；4、滚轮；401、第一摩擦片；402、第二摩擦片；403、滑动柱； 404、调节弹簧；405、固定板；5、万向轮；501、万向前轮；502、万向后轮。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
实施例：
参照图1-8，一种洁净室多点检测装置，包括:移动支座1；万向轮5，包括万向前轮501、万向后轮502，均连接在移动支座1底部；其中，万向前轮501、万向后轮502上均设有滚轮4；第一摩擦片 401，固定连接在滚轮4上；第二摩擦片402，滑动连接在移动支座 1上，与第一摩擦片401相贴用于限制滚轮4的转动；用于驱动移动支座1移动的驱动把手101，为了便于驱动把手101在不使用时的复位，在驱动把手101的两侧均设有U型弹片，U型弹片的另一端与移动支座1相贴，转动连接在移动支座1上，用于控制万向后轮502 上第二摩擦片402的滑动；检测组件306，设置在移动支座1上端；第一调高组件，设置在移动支座1上，用于调节检测组件306的高度；第二调高组件，与第一调高组件、检测组件306均可拆卸相连，用于调节检测组件306的高度；其中，第一调高组件包括支撑架2，支撑架2用于驱动万向前轮501上第二摩擦片402的滑动，移动支座1上滑动连接有滑动连接块202，滑动连接块202与支撑架2通过调节臂201相连，移动支座1上转动连接有正反转丝杆203，正反转丝杆203与滑动连接块202螺纹连接。
移动支座1上固定连接有固定板405，固定板405上滑动连接有滑动柱403，滑动柱403与第二摩擦片402固定相连，滑动柱403上套接有调节弹簧404，调节弹簧404的两端分别与固定板405、滑动柱403相连。
支撑架2上连接有弹性绳205，弹性绳205与滑动柱403相连，弹性绳205穿过固定板405，便于对弹性绳205的施力方向进行导向。
驱动把手101下端固定连接有驱动块102，移动支座1上滑动连接有滑动块103，驱动块102与滑动块103相匹配，滑动块103的下端与滑动柱403通过连接绳104相连。
第二调高组件包括液压升降装置3，液压升降装置3的输出端固定连接有放置座301，放置座301用于放置检测组件306，通过两组调高组件的设置，调节的高度范围更大。
为了便于拆卸，使得检测组件306能够检测较低的位置，还包括安装座304，检测组件306安装在安装座304上，放置座301上滑动连接有压紧轴302，压紧轴302与安装座304相贴，压紧轴302上滑动连接有压紧弹簧303，压紧弹簧303的两端分别与放置座301、压紧轴302相贴，使用时通过拉动压紧轴302即可将安装座304放入或取出。
安装座304的下端还设有滑动轮305，能够在将检测组件306取下对低处进行检测时，便于检测组件306的移动。
液压升降装置3与支撑架2通过螺栓相连，通过螺栓的设置便于将液压升降装置3进行拆卸，进而便于检修。
为了便于对正反转丝杆203进行转动，正反转丝杆203上固定连接有转盘204。
需要注意的是，还可以通过电机驱动的方式带动正反转丝杆 203的转动；
检测组件306为压力传感器、温度传感器、湿度传感器、光照强度传感器、噪声传感器、风速检测器、激光尘埃粒子采样器中的一种或几种，能够对洁净室内的压力、湿度、温度、照度、噪声、风速和尘埃粒子进行检测，提高了检测效率，便于检测洁净室是否达标。
使用者在使用时，首先对本装置进行移动，移动至待检测位置时通过两组调高组件对检测组件306进行高度调节，进而便于检测不同点位，且在检测时能够分别对万向前轮501、万向后轮502进行固定，提高监测过程中的稳定性；
在对本装置进行移动时，首先通过推动或拉动驱动把手101转动，当驱动把手101转动到最大距离时，此时通过驱动把手101、万向轮5便于使用者控制移动支座1的滑动；
需要注意的是，在未控制驱动把手101时，驱动万向后轮502 上的第一摩擦片401与第二摩擦片402相贴，防止驱动万向后轮502 滑动，在驱动把手101转动时，会通过驱动块102带动滑动块103 滑动，进而在滑动块103滑动时会通过连接绳104拉动滑动柱403 滑动，调节弹簧404压缩，使得第二摩擦片402与第一摩擦片401 分离，能够移动移动支座1；
在调节检测组件306的高度时，首先通过液压升降装置3能够带动检测组件306滑动，进行调节；
通过第二调高组件进行调节时，会进一步改变检测组件306的高度，且会使得本装置的重心发生变化，稳定性降低，因此增加了弹性绳205；
通过转动转盘204，结合正反转丝杆203、滑动连接块202、调节臂201、支撑架2能够调节检测组件306的高度，且在支撑架2滑动时，会通过弹性绳205带动万向前轮501上的滑动柱403滑动，使得第一摩擦片401与第二摩擦片402相贴，防止滚轮4滑动，进而提高了本装置的稳定性；
需要注意的是，在此状态下移动移动支座1时，需要将第一调高组件降低，且降低的第一调高组件会使得本装置的重心降低，提高移动过程中的稳定性；
本发明通过万向轮5、滑动轮305的设置便于对检测组件306进行移动，通过两组调高组件的设置便于对检测组件306的高度调节，能够对洁净房内的多个位置进行检测，提高了检测结果的代表性，且通过连接绳104、弹性绳205的设置，能够提高监测过程中的稳定性。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种洁净室多点检测装置，其特征在于，包括:
移动支座(1)；
万向轮(5)，包括万向前轮(501)、万向后轮(502)，均连接在所述移动支座(1)底部；
其中，所述万向前轮(501)、万向后轮(502)上均设有滚轮(4)；
第一摩擦片(401)，固定连接在所述滚轮(4)上；
第二摩擦片(402)，滑动连接在所述移动支座(1)上，与第一摩擦片(401)相贴用于限制滚轮(4)的转动；
用于驱动所述移动支座(1)移动的驱动把手(101)，转动连接在所述移动支座(1)上，用于控制万向后轮(502)上第二摩擦片(402)的滑动；
检测组件(306)，设置在所述移动支座(1)上端；
第一调高组件，设置在所述移动支座(1)上，用于调节检测组件(306)的高度；
第二调高组件，与所述第一调高组件、检测组件(306)均可拆卸相连，用于调节检测组件(306)的高度；
其中，所述第一调高组件包括支撑架(2)，所述支撑架(2)用于驱动万向前轮(501)上第二摩擦片(402)的滑动，所述移动支座(1)上滑动连接有滑动连接块(202)，所述滑动连接块(202)与支撑架(2)通过调节臂(201)相连，所述移动支座(1)上转动连接有正反转丝杆(203)，所述正反转丝杆(203)与滑动连接块(202)螺纹连接。
2.根据权利要求1所述的一种洁净室多点检测装置，其特征在于，所述移动支座(1)上固定连接有固定板(405)，所述固定板(405)上滑动连接有滑动柱(403)，所述滑动柱(403)与第二摩擦片(402)固定相连，所述滑动柱(403)上套接有调节弹簧(404)，所述调节弹簧(404)的两端分别与固定板(405)、滑动柱(403)相连。
3.根据权利要求2所述的一种洁净室多点检测装置，其特征在于，所述支撑架(2)上连接有弹性绳(205)，所述弹性绳(205)与滑动柱(403)相连，所述弹性绳(205)穿过固定板(405)。
4.根据权利要求2所述的一种洁净室多点检测装置，其特征在于，所述驱动把手(101)下端固定连接有驱动块(102)，所述移动支座(1)上滑动连接有滑动块(103)，所述驱动块(102)与滑动块(103)相匹配，所述滑动块(103)的下端与滑动柱(403)通过连接绳(104)相连。
5.根据权利要求1所述的一种洁净室多点检测装置，其特征在于，所述第二调高组件包括液压升降装置(3)，所述液压升降装置(3)的输出端固定连接有放置座(301)，所述放置座(301)用于放置检测组件(306)。
6.根据权利要求5所述的一种洁净室多点检测装置，其特征在于，还包括安装座(304)，所述检测组件(306)安装在安装座(304)上，所述放置座(301)上滑动连接有压紧轴(302)，所述压紧轴(302)与安装座(304)相贴，所述压紧轴(302)上滑动连接有压紧弹簧(303)，所述压紧弹簧(303)的两端分别与放置座(301)、压紧轴(302)相贴。
7.根据权利要求6所述的一种洁净室多点检测装置，其特征在于，所述安装座(304)的下端还设有滑动轮(305)。
8.根据权利要求5所述的一种洁净室多点检测装置，其特征在于，所述液压升降装置(3)与支撑架(2)通过螺栓相连。
9.根据权利要求1所述的一种洁净室多点检测装置，其特征在于，所述正反转丝杆(203)上固定连接有转盘(204)。
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