CN111378948A - 一种用于镀膜的基板横移夹紧机构 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 56
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 52
- 239000007888 film coating Substances 0.000 title abstract description 4
- 238000009501 film coating Methods 0.000 title abstract description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 10
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 15
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 14
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 12
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 abstract description 8
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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- C23C14/50—Substrate holders
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
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Abstract
本发明涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种用于镀膜的基板横移夹紧机构，包括真空气缸、两套抱臂机构，真空气缸连接驱动两套抱臂机构的夹紧与打开以实现对基板的夹紧或松开；抱臂机构包括推动部件、连杆、旋转轴以及抱臂，其中推动部件与真空气缸相传动配合，真空气缸可上下直线运动，推动部件可在真空气缸的驱动下可左右直线运动，推动部件通过连杆连接旋转轴，旋转轴可在推动部件的带动下旋转，抱臂与旋转轴相连接固定使抱臂在旋转轴的带动下旋转；两套抱臂机构的抱臂相向旋转实现基板的夹紧，两套抱臂机构的抱臂相背旋转实现基板的松开。本发明的优点是：结构简单合理，占用空间小，降低成本，简化动作流程，自动化程度及精度高。
Description
技术领域
本发明涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种用于镀膜的基板横移夹紧机构。
背景技术
自动化连续式真空镀膜设备成为镀膜设备发展的趋势之一。为实现真空镀膜设备自动化连续式工作,其中一个关键是基板装卸方式的自动化。真空镀膜设备的基板自动装卸机构的设计需要考虑到与镀膜腔室的镀膜流程以及其他前道和后道流程的兼容性，并兼顾性能稳定性和成本因素。
基板的装卸过程中，需要对基板进行夹紧，以保证其装卸的安全性。目前，常常通过自动化的夹紧装置来实现，但目前的夹紧机构的缺点往往在于占用空间大，成本也相应增加，另外一个设计难点则是输出力不足，无法夹紧基板，尤其是针对大面积的基板而言，其基板本身重量较大，在夹紧装卸中更容易发生危险。
发明内容
本发明的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种用于镀膜的基板横移夹紧机构，通过单气缸驱动两抱臂机构对基板进行旋转式夹紧，在保证基板夹紧稳定性的同时，节省占用空间，降低成本。
本发明目的实现由以下技术方案完成：
一种用于镀膜的基板横移夹紧机构，用于对基板进行夹紧，其特征在于：包括真空气缸、两套抱臂机构，所述真空气缸连接驱动所述两套抱臂机构的夹紧与打开以实现对基板的夹紧或松开；所述抱臂机构包括推动部件、连杆、旋转轴以及抱臂，其中所述推动部件与所述真空气缸相传动配合，所述真空气缸可上下直线运动，所述推动部件可在所述真空气缸的驱动下可左右直线运动，所述推动部件通过所述连杆连接所述旋转轴，所述旋转轴可在所述推动部件的带动下旋转，所述抱臂与所述旋转轴相连接固定使所述抱臂在所述旋转轴的带动下旋转；两套所述抱臂机构的抱臂相向旋转实现所述基板的夹紧，两套所述抱臂机构的抱臂相背旋转实现所述基板的松开。
两套所述抱臂机构的抱臂相向旋转时，两所述抱臂上的夹持部经旋转相对，两者之间的相对距离满足于从两侧夹紧所述基板的要求。
所述真空气缸上设置有凸轮随动器，所述推动部件上设置有与所述凸轮随动器相吻合适配的凹槽，所述凹槽相较于所述真空气缸的运动方向倾斜布置，所述凸轮随动器承插在所述凹槽内且两者之间构成滑动配合，所述真空气缸通过所述凸轮随动器与所述凹槽之间的配合实现所述真空气缸的上下直线运动至所述推动部件左右直线运动的动力转化。
两个所述推动部件上的凹槽呈V字形夹角布置。
所述推动部件上设置有凸轮随动器，所述凸轮随动器与所述连杆构成传动配合，所述推动部件通过所述凸轮随动器与所述连杆之间的传动配合实现所述推动部件左右直线运动至所述旋转轴的旋转的动力转化。
本发明的优点是：结构简单合理，占用空间小，降低成本，简化动作流程，自动化程度及精度高；可对基板进行稳定有效的夹紧，保证基板在撰写过程中的安全性；抱臂端运动行程小，采用旋转式夹紧可配合基板交接机构的避让，节省了动作机构，提高了搬送效率。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明的结构分解示意图；
图3为本发明的抱臂夹紧状态示意图；
图4为本发明的抱臂打开状态示意图。
具体实施方式
以下结合附图通过实施例对本发明特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：
如图1-4所示，图中标记1-7分别表示为：真空气缸1、凸轮随动器2、推动部件3、凸轮随动器4、连杆5、转动轴6、抱臂7。
实施例：本实施例中用于镀膜的基板横移夹紧机构用于基板装卸的过程中，其主要用于对基板进行夹紧，保证基板在装卸过程中的安全性和稳定性。
如图1和图2所示，本实施例中用于镀膜的横移夹紧机构包括真空气缸1，真空气缸1作为整套机构的动力部件为机构的运动提供动力。在真空气缸1的对称两侧分别设置有凸轮随动器2，凸轮随动器2作为真空气缸1和推动部件3之间的传动部件。两个凸轮随动器2分别嵌装在两个推动部件3上所设置的凹槽内，且凸轮随动器2与凹槽之间构成滑动配合，即凸轮随动器2可沿凹槽的槽体方向滑动。结合图1和图2所示，真空气缸1在工作时上下直线运动，而设置在真空气缸1上的凸轮随动器2则随着真空气缸1上下直线运动，此时随着凸轮随动器2的运动其在凹槽内滑移，从而传动使推动部件3左右直线移动。如图2所示，两个推动部件3的结构相同呈对称布置，两个推动部件3上的凹槽的槽体方向构成V字形夹角布置，从而使两推动部件3进行相对运动，并且可进一步保证两个推动部件3运动时的同步性，尤其是两个推动部件3运动行程的一致性。
如图1和图2所示，在每个推动部件3的下部均设置有凸轮随动器4，凸轮随动器4亦可随着推动部件3的左右直线运动而运动。凸轮随动器4的一侧设置有连杆5，连杆5具有一承口，该承口与凸轮随动器4的外轮廓形状、大小相吻合适配，从而实现当凸轮随动器4随着推动部件3左右直线运动时，连杆5可受凸轮随动器4的传动而受力。连杆5的下方连接有旋转轴6，旋转轴6与连杆5之间构成轴孔配合，使得连杆5在受力时，旋转轴6可被驱动旋转。旋转轴6则与抱臂7相连接固定，使得抱臂7本体可在驱动下进行旋转。
结合图1和图3所示，本实施例中的用于镀膜的基板横移夹紧机构在夹紧状态时具有如下动作：真空气缸1向下直线运动（如图3中真空气缸1位置处的箭头方向所示），两个凸轮随动器2分别沿对应的推动部件3上的凹槽向下滑动并带动两个推动部件3向两侧相背运动（如图3中左、右两侧的推动部件3的箭头方向所示）；两个凸轮随动器2上的凸轮随动器4分别通过连杆5传递动力至旋转轴6旋转，此时两个抱臂7在旋转轴6的带动下呈相向旋转（如图3中两抱臂7位置处的箭头方向所示）直至两个夹持部相对，从而可从基板的两侧对基板构成旋转式夹紧。两个抱臂7上的夹持部之间的距离与基板的宽度相吻合适配，满足于可有效稳定夹紧的要求。而在基板被夹紧后，本实施例中的横移夹紧机构可在导轨的作用下横移，实现基板的搬送；在搬送过程中，作为提供夹紧力的真空气缸1始终保持工作，从而使两个抱臂7始终夹紧基板，保证基板在搬送时的稳定及安全。
结合图1和图4所示，本实施例中的用于镀膜的基板横移夹紧机构在打开状态时具有如下动作：真空气缸1向上直线运动（如图4中真空气缸1位置处的箭头方向所示），两个凸轮随动器2分别沿对应的推动部件3上的凹槽向上滑动并带动两个推动部件3相向运动（如图4中左、右两侧的推动部件3的箭头方向所示）；两个凸轮随动器2上的凸轮随动器4分别通过连杆5传递动力至旋转轴6旋转，此时两个抱臂7在旋转轴6的带动下呈相背旋转（如图4中两抱臂7位置处的箭头方向所示）并可放开基板。抱臂7的打开动作必须在基板完成交接后方可进行，例如利用本实施例中的横移夹紧机构进行基板的搬送，将基板夹紧搬送至下一工位，该工位上的一机构对基板进行夹持或装载，只有当基板完成交接后，即该基板被稳定地夹持或装载后，抱臂7方可打开，从而保证基板在装卸的搬送过程中始终处于安全且稳定的状态。
结合图3和图4所示，本实施例中用于镀膜的基板横移夹紧机构通过一个真空气缸1驱动两个抱臂7的工作，占地空间小，便于镀膜工艺的自动化布置，降低成本。同时，两个抱臂7采用与基板可有效配合旋转式夹紧，因此其在空间范围内的移动行程范围极小，简化动作流程，且有利于与下一工位上机构交接时的避让，避免两个机构在交接时的相互冲突，提高搬送效率。
虽然以上实施例已经参照附图对本发明目的的构思和实施例做了详细说明，但本领域普通技术人员可以认识到，在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本发明作出各种改进和变换，故在此不一一赘述。
Claims (5)
1.一种用于镀膜的基板横移夹紧机构，用于对基板进行夹紧，其特征在于：包括真空气缸、两套抱臂机构，所述真空气缸连接驱动所述两套抱臂机构的夹紧与打开以实现对基板的夹紧或松开；所述抱臂机构包括推动部件、连杆、旋转轴以及抱臂，其中所述推动部件与所述真空气缸相传动配合，所述真空气缸可上下直线运动，所述推动部件可在所述真空气缸的驱动下可左右直线运动，所述推动部件通过所述连杆连接所述旋转轴，所述旋转轴可在所述推动部件的带动下旋转，所述抱臂与所述旋转轴相连接固定使所述抱臂在所述旋转轴的带动下旋转；两套所述抱臂机构的抱臂相向旋转实现所述基板的夹紧，两套所述抱臂机构的抱臂相背旋转实现所述基板的松开。
2.根据权利要求1所述的一种用于镀膜的基板横移夹紧机构，其特征在于：两套所述抱臂机构的抱臂相向旋转时，两所述抱臂上的夹持部经旋转相对，两者之间的相对距离满足于从两侧夹紧所述基板的要求。
3.根据权利要求1所述的一种用于镀膜的基板横移夹紧机构，其特征在于：所述真空气缸上设置有凸轮随动器，所述推动部件上设置有与所述凸轮随动器相吻合适配的凹槽，所述凹槽相较于所述真空气缸的运动方向倾斜布置，所述凸轮随动器承插在所述凹槽内且两者之间构成滑动配合，所述真空气缸通过所述凸轮随动器与所述凹槽之间的配合实现所述真空气缸的上下直线运动至所述推动部件左右直线运动的动力转化。
4.根据权利要求3所述的一种用于镀膜的基板横移夹紧机构，其特征在于：两个所述推动部件上的凹槽呈V字形夹角布置。
5.根据权利要求1所述的一种用于镀膜的基板横移夹紧机构，其特征在于：所述推动部件上设置有凸轮随动器，所述凸轮随动器与所述连杆构成传动配合，所述推动部件通过所述凸轮随动器与所述连杆之间的传动配合实现所述推动部件左右直线运动至所述旋转轴的旋转的动力转化。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010385445.1A CN111378948B (zh) | 2020-05-09 | 一种用于镀膜的基板横移夹紧机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010385445.1A CN111378948B (zh) | 2020-05-09 | 一种用于镀膜的基板横移夹紧机构 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN111378948A true CN111378948A (zh) | 2020-07-07 |
| CN111378948B CN111378948B (zh) | 2024-06-28 |
Family
ID=
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW201616588A (zh) * | 2014-10-22 | 2016-05-01 | Els System Technology Co Ltd | 基板夾持裝置 |
| CN206186384U (zh) * | 2016-11-23 | 2017-05-24 | 苏州逸风塑胶电子有限公司 | 用于塑胶件的超声波焊接的固定装置 |
| CN107937881A (zh) * | 2017-11-20 | 2018-04-20 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 基板夹紧装置 |
| CN213357730U (zh) * | 2020-05-09 | 2021-06-04 | 光驰科技(上海)有限公司 | 一种用于镀膜的基板横移夹紧机构 |
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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