CN111354379B - 具有夹具的滑动器测试插座及相关组件和使用方法 - Google Patents

Abstract

本申请公开了具有夹具的滑动器测试插座及相关组件和使用方法。描述了用于将硬盘驱动器的滑动器暂时地保持在用于滑动器的动态电气测试的测试插座中的夹具，以及涉及包括测试插座的组件、头万向架组件、测试组件，以及相关的使用方法。

Description

具有夹具的滑动器测试插座及相关组件和使用方法

技术领域

以下描述涉及用于将硬盘驱动器的滑动器暂时保持在用于测试滑动器的测试插座中的夹具，以及包括测试插座的组件、头万向架组件(head-gimbal-assembly)、测试组件、以及相关的使用方法。

背景技术

用于数字信息的长期磁存储的硬盘驱动器是现代世界中无处不在且必不可少的设备。硬盘驱动器包括在包封内的一个或多个旋转磁存储盘。为了使用硬盘驱动器存储和检索数字信息，硬盘驱动器设备还包括适于从磁盘读取信息和向磁盘写入信息的电子和控制机构。这些部件中的一个，“头万向架组件”，是悬架组件的部分，该悬架组件提供与读取或写入头(简称“读取头”)的电气连接。读取头是“滑动器”的部件，“滑动器”包括读取头、空气轴承表面和电气连接。悬架组件通常包括层压挠曲件，以用于在读取头和电子设备(诸如计算机)之间承载朝向和来自读取头的电信号。头万向架组件是头堆叠组件的部件，该头堆叠组件通常包括多个头万向架组件，其中每个头万向架组件被附接到悬架臂的末端，该悬架臂被附接到致动器。

滑动器的读取头包括用于从旋转磁盘读取数据或向旋转磁盘写入数据的一个或多个小型换能器。滑动器还包括空气轴承表面，以在盘旋转时将读取头适当地定位在盘上方。电子功能(包括例如，电气接触垫和其他电气连接)也是滑动器的部分。盘包括磁性层，该磁性层可以被写入头选择性地磁化，以按照允许通过读取头检索信息的方式存储数字信息。

头万向架组件被附接到作为盘驱动器的部分的致动器臂(附接到致动器的悬架臂)，并由致动器臂固定以将滑动器放置在与磁盘表面相邻但不接触的位置。当盘旋转时，旋转盘表面处的气流与滑动器的空气轴承表面相互作用，从而产生流经滑动器与盘表面分开的空间的空气垫或“轴承”。该空气垫，或“空气轴承”使滑动器和读取头悬于磁盘表面(“上方”)所需的距离处。如果读取头距离表面太远，将会发生信号损失，并且如果头距离表面太近，头可能会接触表面(即，“碰撞”)，导致对读取头或对盘的损坏并经常造成硬盘驱动器故障。

通常，作为完整悬架组件的部分，滑动器被永久性地绑定到作为悬架组件的部分的头万向架组件上。但是，在将悬架组件合并到盘驱动器之前，必须显示出悬架组件的读取头具有适当的读写能力，这需要进行电子测试。该类型的性能测试被称为“动态电气测试”或“DET”。

如果在读取头操作期间测试条件与实际条件非常相似，则可以以所需的精确度执行动态电气测试。例如，可以通过使用悬架组件保持和电气地连接读取头来提高动态电气测试的准确度，该悬架组件与读取头将被结合以作为成品的部分的悬架组件相似。但是，如果在该测试过程中读取头被永久性地附接在悬架组件上并在随后被发现是有缺陷的，那么整个悬架组件，包括滑动器、头万向架组件和致动器臂都必须被丢弃。

为了避免如电子测试所确定的那样由于有缺陷的读取头而丢弃整个悬架组件，理想的方法是对滑动器的读取头进行测试，而不必将读取头(滑动器)永久性地结合到头万向架组件上。如果在读取头被永久性地被结合到悬架组件之前由所执行的测试发现读取头是有缺陷的，那么可以只丢弃或修理读取头，而不是更大且价值更高的悬架组件。

在动态电气测试期间模拟使用环境的测试组件已经被提出并且被商用。与制造微电子设备(诸如硬盘驱动器)的大多数方面一样，必须不断更新和改进用于硬盘驱动器滑动器的动态电气测试的测试方法和测试组件。

发明内容

在生产过程中，在滑动器被永久性地制成头万向架组件(HGA)的部分之后，才对滑动器的读写功能进行典型的商用规模测试。在该类型的测试(有时被称为电气测试或“ET”)期间，头万向架组件“飞过”旋转的磁记录介质表面，并且在记录盘的一个或多个测试半径下测量滑动器的重要的电气或机械参数，例如，误码率或“BER”、覆写“OVW”(其测量现有轨道可以被新轨道覆写的程度)、接触功率，以及其他电子测试(ET)测量。如果HGA未能对这些参数中的任何一个表现出必要的水平，则会丢弃整个头万向架组件，从而导致悬架和滑动器损失。

在改进的电子测试方法中，“测试悬架”被用于在测试过程中暂时地保持滑动器。该测试悬架可与最终的商业悬架相比较，但包括可以暂时地(即，可释放地)以工作方式保持滑动器作为头万向架组件的部分的“测试插座”，以便滑动器可以暂时地由测试系统保持以进行测试。滑动器可以被放置在测试插座中，并且测试悬架可以被用于滑动器的电子测试，包括读写头功能的测试。使用测试悬架暂时地保持滑动器以进行测试可以节省大量成本并提高生产效率，因为如果滑动器无法通过性能测试，与有缺陷的滑动器被永久性地固定到头万向架组件和悬架上的更大且更昂贵的组件相反，可以单独丢弃该缺陷滑动器。

本发明的测试悬架包括夹持机构(“夹具”)，该夹持机构以使滑动器与组件电子地接合的方式可释放地保持滑动器在悬架组件中的适当位置，以进行测试。所描述的夹具通常包括用于接合滑动器的一端的前接触表面；用于接合滑动器的相对端的后接触表面；以及在夹具上部的前接触和后接触表面之间的空间(“滑动器空间”)，在测试过程中滑动器被可释放地定位并被保持在该空间中。

先前的夹具设计包括位于滑动器空间两侧的弹簧，即不在滑动器覆盖范围内，是指在相对于夹具的长度和宽度方向上对应于滑动器空间的水平区域的垂直空间；先前的夹具设计包括位于滑动器空间的横向面并且位于与滑动器空间共享的垂直高度(z方向的高度)上的弹簧。弹簧、前后接触表面以及滑动器空间均位于夹具的单个垂直高度。因为弹簧和滑动器空间位于相同的高度(垂直地)，所以弹簧必须定位成避开滑动器空间，诸如在滑动器空间的左侧和右侧。弹簧与滑动器空间在垂直方向上不位于相同的位置；弹簧与滑动器空间不共享覆盖范围。该总体设计使夹具呈现出包括覆盖范围、总质量以及重心和滚动惯性的物理特征，反映了弹簧在滑动器空间覆盖范围横向侧和外侧的水平分散定位。

相反，当前描述的发明包括一种夹具，该夹具具有与滑动器空间相比位于夹具的不同垂直高度处的弹簧，例如，夹具的弹簧可以位于低于滑动器空间的高度的垂直高度处。在滑动器空间的高度下方的垂直地放置弹簧允许弹簧或一组弹簧，或弹簧或一组弹簧的至少部分位于滑动器空间的下面，例如，至少共享与滑动器空间的覆盖范围相同的垂直覆盖范围部分。如本文所使用的，滑动器、夹具、弹簧、或其他相关结构的“覆盖范围”，是在垂直(z)方向上延伸的结构在长度(x)和宽度(y)维度上的面积。所描述的设计的夹具的潜在优点包括夹具整体覆盖范围的减小、夹具质量的降低，以及相对于使用具有质量更重、覆盖范围更大或因为具有完全位于滑动器空间的覆盖范围外侧的弹簧而不同的重心的夹具而言，在使用期间潜在地提高夹具的位置稳定性。如所描述的夹具稳定性的提高可以被示为在使用期间夹具的振动减小，特别是在共振频率下。振动减小可以诸如通过降低滑动器的错误率来提升夹具保持的滑动器的性能(例如，在测试期间)，该错误率可能由于夹具(包括夹具的弹簧)的设计(尺寸、形状、质量、覆盖范围等)引起或增加。

一方面，发明涉及用于可移除地保持滑动器的夹具。夹具包括：固定框架，包括在该框架的后部沿宽度方向延伸的固定后框架构件；在固定框架的水平面上延伸的弹簧；以及在长度方向和宽度方向上延伸并位于弹簧上表面上方的开放空间。开放空间在长度方向上部分地由以下部分限定：在夹具前部在水平面上方延伸的前接触表面；以及在夹具后部在水平面上方延伸的后接触表面。弹簧将固定框架与后接触表面连接，使得随着弹簧的挠曲，后接触表面在夹具的长轴的方向上相对于框架是可移动的。

附图说明

图1A和1B示出了包括所描述的夹具的组件的俯视透视图。

图2A和2B示出了包括所描述的夹具的组件的俯视剖视图。

图3A和3B示出了所描述的夹具的侧面剖视图。

图4A和4B示出了作为组件的部分的所描述的夹具的替代示例的俯视剖视图。

图5A、5B和5C示出了本说明书的示例夹具的俯视图、侧面剖视图和侧面透视图。

图6A、6B和6C示出了本说明书的示例夹具的俯视图、侧面剖视图和侧面透视图。

图7示出了作为组件的部分的所描述的夹具的替代示例的俯视剖视图。

图8示出了包括所描述的夹具的头万向架组件的透视图。

具体实施方式

当前描述的本发明涉及测试插座和相关组件，该测试插座和相关组件包括适于暂时保持硬盘驱动器的滑动器的夹具。夹具包括一个或一组弹簧，该一个或一组弹簧可以以允许夹具暂时地且可移除地保持滑动器以用于滑动器的电子测试的方式，相对于滑动器和夹具的其他结构挠曲。本发明还涉及各种组件，其包括夹具之一，诸如头万向架组件、致动器组件、悬架组件、电子测试组件等，它们中的任何一个均适于在滑动器被夹具暂时地保持时测试滑动器。

夹具是可以被认为在两个水平维度(长度“x”和宽度“y”)以及垂直维度(高度“z”)上延伸的三维结构。夹具包括适于在使用夹具对滑动器进行电子测试的过程中包含滑动器的“滑动器空间”。根据本发明，弹簧或一组弹簧在垂直(“z”)方向上位于夹具的高度，该高度低于滑动器空间的垂直高度。可选地并且优选地，弹簧中的一些或全部或弹簧组可以位于滑动器空间的下方和覆盖范围内，即，在滑动器空间的以长度和宽度的水平尺寸占据的区域中。夹具的弹簧的位置与先前的测试插座设计不同，先前的测试插座的设计包括与滑动器空间垂直高度相同的弹簧，这要求弹簧位于滑动器空间的左侧和右侧以至少部分地围绕在滑动器空间的周围。在这些先前夹具设计中，弹簧无法位于滑动器空间的覆盖范围内，即，无法位于与滑动器空间的x-和y-位置重叠、但位于z-方向上的不同(更低)位置的空间内。

有利地，通过将夹具的弹簧放置在与滑动器空间的垂直高度相比较低的夹具的垂直高度处(可选地并且优选地具有至少部分共享的覆盖区域)，夹具的形状、尺寸、重心、惯性矩(围绕长轴)、测试插座或其他包含夹具的组件中的一个或多个可以相对于可比较的含弹簧结构的这些特性中的一个或多个得到改善，可比较的含弹簧结构包括在与滑动器空间共享的垂直位置的弹簧，并且该弹簧必须完全在滑动器空间的覆盖范围之外。可以选择弹簧或一组弹簧相对于夹具的滑动器空间的所描述的布置以产生夹具或测试插座的一个或多个改善的物理特征，并且优选地产生改善的功能。例如，弹簧、弹簧组、或它们的至少部分可以被放置在低于滑动器空间并在滑动器空间的相同垂直“覆盖区域”内的位置处。这允许夹具或测试插座的整体覆盖区域的减小。这还允许夹具、测试插座或包括夹具的其他组件的总质量的降低。夹具或测试插座的降低的质量或所选的重心或惯性矩可以有效地改善滑动器在测试过程中的夹具的性能，诸如通过减少使用期间的振动或测试插座的摆动。减少的摆动或振动可以导致测试过程中滑动器的错误率的降低。

通常，所描述的夹具可以被认为包括以下结构：固定框架、滑动器空间、固定并被连接到固定框架的后接触表面、被附接到固定框架(或固定在其上的结构)的一端的弹簧或一组弹簧、被直接或间接附接到弹簧且相对于固定框架可移动的前接触表面、以及前接触表面和后接触表面之间的滑动器空间。

固定框架可以包括在框架后部并在宽度方向(“y”方向)上延伸的固定后框架构件。可选地，一个或多个附加固定框架构件可以在夹具的左侧和右侧的每一个上、从后框架构件沿朝向夹具前部的方向延伸。后接触表面位于夹具的后部。后接触表面可以相对于固定框架是固定的，并且可以被直接或间接地连接到固定后框架构件。至少一个弹簧(例如，一组多个弹簧)位于固定框架的平面中，换句话说，弹簧或弹簧组位于夹具的区域上并在该区域的长度和宽度方向上延伸，该夹具的垂直高度与固定框架的垂直高度相同。优选地，弹簧、弹簧组或它们的部分位于夹具的垂直位置，该垂直高度在滑动器空间下方，并且更优选地，弹簧、弹簧组或它们的部分可以至少部分位于滑动器空间下面(下方)，即滑动器空间的覆盖范围内。

夹具还包括在夹具前部的前接触表面。前接触表面相对于固定框架是不固定的(即，是可移动的)，并且被直接或间接地连接到弹簧。前接触表面位于夹具的在弹簧的上表面的垂直上方的高度处。前接触表面被直接或间接地连接到弹簧，并且弹簧被直接或间接地连接到固定框架。结果，通过向前接触表面施加力，前接触表面相对于固定框架和后接触表面(例如，在夹具的长度方向上)是可移动的，这导致弹簧随着前接触表面的运动而挠曲。

夹具包括在长度(x)方向和宽度(y)方向上延伸的开放空间(本文中被称为“滑动器空间”)，该开放空间位于弹簧或弹簧组的平面上方的垂直位置处的垂直方向上。滑动器空间在后部由固定后接触表面界定。滑动器空间还在前部由可移动前接触表面界定。前接触表面可以在弹簧的挠曲下在长度方向上远离后接触表面移动(例如拉动)，以增加滑动器空间的尺寸(长度)，以允许将滑动器放置到滑动器空间中。滑动器将包括与固定后接触表面接触的后缘。随着滑动器如此位于滑动器空间中，可以允许前接触表面向后接触表面向后移动，并且将与位于滑动器空间中的滑动器的前缘接合。当位于滑动器空间中时，滑动器会被电子地连接到测试插座或测试悬架，因此可以通过动态电气测试来测试滑动器。测试后，可以通过将前接触表面从滑动器上移开(拉出)使得前接触表面与滑动器前缘脱离来使滑动器与夹具脱离，并且可以在向上的方向上移动滑动器并将其从滑动器空间移除。

在示例设备和系统中，所描述的夹具可以被包括作为被附接到悬架组件的测试插座的部分。测试插座包括头万向架组件，该头万向架组件包括夹具。在当前有用的示例中，测试插座可以是悬架组件的部分，该悬架组件还包括用于将夹具和夹持在夹具的滑动器空间中的滑动器电气地连接到动态电气测试系统的层压挠曲件。夹具可以以暂时和可移除的方式接收和滑动器以进行测试。在测试过程中，要求提供了滑动器和测试系统之间的电气连接。在典型的使用条件下，通过让滑动器记录和读取相对于磁记录盘的数据，可以评估滑动器的读写能力。测试完成之后，滑动器可以从测试插座(即，从夹具)移除，并且另一个滑动器可以被放置到测试插座中并使用具有相同的头万向架组件和悬架组件的相同测试插座进行测试。

滑动器可以是对任何类型的硬盘驱动器有用的滑动器。示例包括在垂直磁记录系统、热辅助磁记录系统、或其他类型的磁记录系统和设备中有用的滑动器。“滑动器”通常包括用于从旋转磁盘读取数据或向旋转磁盘写入数据的小型换能器，以及随着盘旋转有效地将换能器适当地定位在盘上方的空气轴承表面。

热辅助磁记录(“HAMR”)滑动器是指一种滑动器设备，该设备包括电磁读取头(即，读取头、写入头或两者)、空气轴承表面、以及允许滑动器能够被用于热辅助磁记录的某些能力，这些功能包括光学能力和光学结构，诸如与激光二极管单元协作的光波导。

图1A示出了所描述的夹具100的俯视透视图，夹具100可以位于悬架组件或头万向架组件(HGA)(未示出)的远端。夹具100对于在滑动器的电子测试中夹持滑动器(滑动器在图1A中未示出)是有用的。夹具100包括滑动器空间102，该空间在长度方向(图1中的“x”方向)上被界定在夹具”前”位置的前接触表面104和在夹具后部的后接触表面106之间。滑动器空间102还被上支撑构件110的上表面108的下面(下方，垂直地，在“z”方向上)界定。当滑动器位于滑动器空间102中时(如图1B)，多个电气连接112位于夹具100的后部以接合滑动器的电气接触垫(未示出)。电气连接112还被电气地连接到层压挠曲件114，该层压挠曲件连接到电子测试设备(未示出)。

在图1B中，示出了在滑动器空间102内正在被夹具100夹持的滑动器120(在阴影中)。滑动器120的底部表面由上支撑构件110的上表面108支撑。滑动器120的前缘122与前接触表面104机械地接合。滑动器120的后缘124与后接触表面106机械地接合。滑动器120的电气接触垫(未示出)与电气连接112电气地接合。夹具100的弹簧140(140L,140R)在上支撑构件110的下方可见。开放空间(未示出)存在于弹簧140R和140L的上表面和上支撑构件110的底部表面之间。

图2A是夹具100的俯视剖面图。该图示出了：在长度方向上被界定在夹具“前”位置的前接触表面104和在夹具“后”部的后接触表面106之间的滑动器空间102(未特别示出)；电气连接112；以及层压挠曲件114。还示出了两组弹簧：夹具110左侧上的140L，以及夹具110右侧上的140R。弹簧140L和140R中的每一个都位于夹具的垂直位置(在“z”-方向)，该垂直位置低于滑动器空间102的高度，滑动器空间102的高度低于后接触表面106和前接触表面104中的每个的高度。

参考图2A中更多细节，示例夹具100的更多特征包括如图所示的固定框架150，该固定框架包括在框架后部并在宽度方向(“y”方向)上延伸的固定后框架构件152。在夹具100的一侧(例如，右侧)并从固定后框架构件152在长度方向上朝前(朝向夹具100的前部)延伸的是固定右侧框架构件154。在夹具100的另一侧(例如，左侧)并从固定后框架构件152在长度方向上朝前(朝向夹具100的前部)延伸的是固定左侧框架构件156。还示出了手柄160，其被连接到前接触表面104和轴向构件180，轴向构件180被连接到弹簧140R和140L。

左侧弹簧140L位于夹具的左侧，并且右侧弹簧140R位于夹具的右侧。每个弹簧140L具有被附接到轴向构件180的中心端和被附接到固定左侧框架构件156的横向端。每个右侧弹簧140R具有被附接到轴向构件180的中心端和被附接到固定右侧框架构件154的横向端。轴向构件180沿着夹具100的纵向轴延伸，并且以允许弹簧随着轴向构件180和前接触表面104(和可选手柄160)被纵向地移开(参见图2A中的箭头)后接触表面106和固定框架150而挠曲的方式连接到弹簧140R和140L的中心端。

图2B示出了图2A的示例夹具100，其中手柄160在长度方向被拉离框架150。在该状态下，弹簧140R和140L挠曲(例如，延伸)，并且前接触表面104在长度方向上被移开后接触表面106，以在长度方向上增加滑动器空间102的尺寸。图2A和2B还示出了可选底部支撑构件162，该底部支撑构件在长度和宽度方向上延伸并且相对于固定框架150是固定的。开放空间存在于底部支撑构件162的上表面和弹簧140R和140L的下表面之间。

图3A和3B是所描述的示例夹具的侧面截面图，包括图1A、1B、2A或2B的夹具100的特征。图3A是沿着在偏心线处(例如，在线“L1”处)在长度方向上延伸的截面截取的截面图。图3B是相同示例夹具100沿着在偏心线处(例如，在线“L2”处)在长度方向上延伸的中线截面截取的侧面截面图。

图3A和3B示出了：位于滑动器空间102内的滑动器(例如，120)、可移动前接触表面104、(相对于固定框架150(未示出))固定后接触表面106(超出深度)、上支撑构件110(相对于框架150是固定的)、底部支撑构件162(相对于框架150是固定的)、以及手柄160。在图3B中，示出了手柄160正在被拉出框架150以延伸弹簧140R，并且将前接触表面104移开后接触表面106。开放空间166存在于上支撑构件110的底部表面与弹簧140R和轴向构件180的上表面之间。开放空间168存在于底部支撑构件162的上表面与弹簧140R和轴向构件180的下表面之间。

图3A和3B(不一定按比例)允许讨论夹具100的不同层在高度(z)或“厚度”方向上的相对尺寸。夹具的每层的厚度可以是将如本文所描述执行的层有效的任何厚度。可以通过使用单个沉积(例如，电镀)步骤或使用多个沉积步骤的沉积来形成层。层的有用厚度的示例可以是从0.01毫米(10微米)至120微米，例如，从25微米至100微米。不同的结构可以具有不同的特定厚度范围。例如，底部支撑构件或上支撑构件可以比弹簧或框架更薄(厚度更小)。上支撑构件或下支撑构件的厚度的示例可以在从10微米至50微米的范围内，例如，从15至40微米或从20至30微米。弹簧的厚度的示例可以在从10微米至130微米的范围内，例如，从20微米至100微米。

根据本文所描述的任何有用或优选示例，夹具可以具有一个或多个弹簧或一组或多组弹簧，它们共同产生有用力，通过前接触表面，该有用力被施加到位于滑动器空间中的滑动器的前缘。该力可以具有所需的大小，例如在从10至50克的范围内，例如，从15至35或30克(力)。

图4A和图4B示出了具有替代形式的弹簧140L和140R的夹具100的两个示例。这些图的夹具100的其它特征被编号标识，这些编号与贯穿本说明书中用于可比较的结构的编号一致。图4A和4B示出了夹具100的左侧和右侧上的两组弹簧140L和140R。每组包括8或9个单独的弹簧，这些弹簧可以是弯曲的或与直段之间的拐角成角度。在替代实施例中，在单独的弹簧中可以包括更多或更少的弯曲、成角度的拐角或笔直的部分。另外，一组中可以包括更多或更少的弹簧；例如，一组弹簧(在夹具的左侧或右侧上)可以包括1到15个单独的弹簧，例如从3到21个弹簧，或从4到12个弹簧。还应注意，弯曲段142L和142R中的每一个均用作弹簧，并且在手柄160在远离后接触表面106的方向移动时发生挠曲。

图5A、5B、5C、6A、6B和6C示出了具有替代形式的弹簧140的夹具100的两个附加示例。每个夹具包括仅两个弹簧，左侧和右侧各自仅有一个弹簧。每个弹簧包括在宽度和长度方向上盘绕的环(环的部分)或多个环(多个环的部分)，当在纵向方向上将手柄160拉离后接触面106时，允许弹簧发生挠曲。

图7示出了具有替代形式的弹簧140的夹具100的另一示例。每个夹具包括仅两个弹簧，左侧和右侧各自仅有一个弹簧。每个弹簧包括具有固定的中心端141L、141R的同心螺旋或环，该中心端141L、141R被固定到下支撑构件162、上支撑构件110(未示出)或两者。每个弹簧的可移动端143L、143R被固定到轴向构件180。当在纵向方向上将手柄160拉离后接触表面106时，弹簧140L和140R发生挠曲，并且前接触表面104移开固定后接触表面106。

本文所描述的夹具可以由有用的金属制成，诸如钯或钯合金、镍或镍合金(诸如镍和钴的合金(NiCo))、钢、不锈钢、铜或铜合金、钛或钛合金等。有用的金属和金属合金包括能够通过电沉积(电镀)技术沉积成膜的那些。

可以通过发现对制备夹具有用的任何方法来制备所描述的夹具。示例方法包括可以被用于沉积金属或金属合金膜的方法(诸如电沉积或电镀)，具体包括被称为“微尺度增材制造”的方法，该方法还涉及光刻技术的使用以在垂直方向上逐渐形成结构(例如，夹具)的多个顺序图案化层。根据此类方法，可以通过沉积的步骤，在先前层的顶上电镀一层，牺牲支撑材料的多个单层和电镀金属来构建小规模(例如，微型)多层金属结构(诸如夹具)。每一层均包括由这两种材料制成的图案--正极部分对应于夹具的层的金属，牺牲支撑材料的图案化(负极)部分对应于夹具的金属结构之间的空间。每层都存在于夹具的单个垂直高度处。夹具的层的材料是金属，并且金属夹具结构之间的开放空间的材料被牺牲支撑材料填充。在沉积多层金属和牺牲支撑材料之后，从金属夹具的组装层中化学地去除牺牲支撑材料，以留下沉积金属的层，在沉积(例如，电镀)步骤中，这些金属层已粘合在一起。

包含所描述的夹具的测试插座可以被用于动态电气测试系统的悬架组件中，以提供与滑动器的暂时电气连接，用于滑动器的动态电气测试。滑动器可以被放置在夹具中，并且关闭夹具以固定滑动器以进行电气测试。测试后，可以将滑动器移除，然后另一个滑动器被放置在夹具中进行测试。头万向架组件、悬架组件，以及测试系统和组件的示例在美国专利号8,089,730和8,514,522中进行了描述，其全部内容通过引用合并于此。

参考图8，示出了头万向架组件(HGA)200的透视图，头万向架组件包括作为本说明书的头万向架组件的单个示例的夹具、读取头(也称为“滑动器”)120和悬架组件204。夹具100可以包括本文所描述的特征(细节未示出)。如图所示，夹具100夹持滑动器120并向其提供多个电气连接。悬架组件204包括悬架安装板206和被附接到悬架安装板206上的负载梁208(例如经由铰链板212)。负载梁208可以由例如不锈钢的金属制成。悬架组件204还包括限定主体区域232的层压挠曲件220。

进一步的示例：

示例1.一种用于可移除地保持滑动器的夹具，所述夹具包括：固定框架，包括在所述框架后部并在宽度方向上延伸的固定后框架构件；弹簧，在所述固定框架的水平面上延伸；开放空间，在长度方向上和所述宽度方向上延伸并位于所述弹簧的上表面上方，所述开放空间在所述长度方向上部分地被以下部件限定：在所述夹具的前部、在所述水平面的上方延伸的前接触表面；在所述夹具的后部、在所述水平面的上方延伸的后接触表面；以及所述弹簧将所述固定框架与所述后接触表面连接，使得随着所述弹簧的挠曲，所述后接触表面在所述夹具的长轴的方向上相对于所述框架是可移动的。

示例2.如示例1所述的组件，包括：在所述框架的左边部分的固定左侧框架构件，在长度方向上从所述前框架构件朝向所述框架的后部延伸；以及在所述框架的右边部分的固定右侧框架构件，在长度方向上从所述前框架构件朝向所述框架的所述后部延伸。

示例3.如示例2所述的组件，包括：在所述夹具左侧的左侧弹簧组，每个弹簧具有被附接到轴向构件的中心端和被附接到所述固定左侧框架构件的横向端；在所述夹具右侧的右侧弹簧组，每个弹簧具有被附接到轴向构件的中心端，和被附接到所述固定右侧框架构件的横向端；所述轴向构件沿着所述框架的长轴延伸，并被连接到所述弹簧，使得随着所述弹簧的挠曲，所述轴向构件相对于所述固定框架在所述夹具的长轴方向上是可移动的；所述后接触表面被连接到所述轴向构件。

示例4.如示例3所述的组件，其中所述右侧弹簧组包括从4至21个弹簧，以及所述左侧弹簧组包括从4至21个弹簧。

示例5.如示例1所述的组件，包括：左侧弹簧，在所述夹具的左侧上在所述长度方向上延伸，所述左侧弹簧具有相对于所述固定框架固定的前固定端，以及被直接或间接地连接到所述后接触表面的后可移动端；以及右侧弹簧，在所述夹具的右侧上在所述长度方向上延伸，所述右侧弹簧具有相对于所述固定框架固定的前固定端，以及被直接或间接地连接到所述后接触表面的后可移动端。

示例6.如示例5所述的组件，其中所述弹簧的每个均具有在所述长度方向上和所述宽度方向上形成的多个弯曲的环。

示例7.如示例1-6中任一项所述的组件，包括相对于所述固定框架固定的上支撑构件，所述上支撑构件包括在所述宽度方向上和所述长度方向上延伸的上支撑表面，所述上支撑表面位于低于所述前接触表面的高度且低于所述后接触表面的高度的高度处，限定了所述空间的底部，并在弹簧的至少部分上延伸。

示例8.如示例7所述的组件，包括在所述上支撑构件的下表面和所述弹簧的上表面之间的垂直间隔。

示例9.如示例1-8中任一项所述的组件，包括在所述宽度方向上和所述长度方向上延伸的下支撑构件，所述下支撑构件位于低于弹簧的下表面的高度处。

示例10.如示例9所述的组件，包括在所述下支撑构件的上表面和弹簧的下表面之间的垂直间隔。

示例11.如示例9或10所述的组件，包括：在所述夹具的左侧上的左侧螺旋弹簧，所述左侧螺旋弹簧具有被附接到轴向构件的可移动端和被附接到所述下支撑构件的固定端；在所述夹具的右侧上的右侧螺旋弹簧，所述右侧螺旋弹簧具有被附接到所述轴向构件的可移动端和被附接到所述下支撑构件的固定端。

示例12.如示例1-11中任一项所述的组件，其中每个弹簧具有在从10至130微米的范围内的高度。

示例13.如示例1-12中任一项所述的组件，其中所述弹簧由金属制成。

示例14.如示例1-13中任一项所述的组件，其中所述弹簧由选自以下的金属制成：钯、镍-碳合金、铜或铜合金、镍或镍合金、铁合金、钢、钛或钛合金。

示例15.如示例1-14中任一项所述的组件，其中在将滑动器放置在所述夹具中的情况下，弹簧产生的力在从10至50克(力)的范围内。

示例16.如示例1-15中任一项所述的组件，包括在所述滑动器空间的前位置处的电气触点组。

示例17.如示例1-16中任一项所述的组件，包括被连接到所述可移动接触表面和弹簧的手柄，所述手柄具有可以在拉离所述前接触表面的方向上手动抓住和拉动的尺寸和形状。

示例18.包括如示例1-17中任一项所述的组件的电子测试组件，被固定到电气测试设备的万向架。

示例19.一种使用如示例18所述的测试插座的方法，所述方法包括：将滑动器放置在所述夹具中；以及通过动态电气测试，对所述滑动器的所述电气功能进行测试；测试后，从所述夹具将所述滑动器移除；以及在从所述夹具将所述滑动器移除后，将第二滑动器放置在所述夹具中。

Claims (19)

1.一种用于可移除地保持滑动器的夹具，所述夹具包括：

固定框架，包括在所述框架后部并在宽度方向上延伸的固定后框架构件，

弹簧，在所述固定框架的水平面上延伸，

开放空间，在长度方向上和所述宽度方向上延伸并位于所述弹簧的上表面上方，所述开放空间在所述长度方向上部分地被以下部件限定：

在所述夹具的前部、在所述水平面的上方延伸、并且适于接合所述滑动器的一端的前接触表面，

在所述夹具的后部、在所述水平面的上方延伸、并且适于接合所述滑动器的相对端的后接触表面；以及

所述弹簧将所述固定框架与所述后接触表面连接，使得随着所述弹簧的挠曲，

所述后接触表面在所述夹具的长轴的方向上相对于所述框架是可移动的。

2.如权利要求1所述的夹具，包括：

在所述框架的左边部分的固定左侧框架构件，在长度方向上从所述后框架构件朝向所述框架的前部延伸，以及

在所述框架的右边部分的固定右侧框架构件，在长度方向上从所述后框架构件朝向所述框架的所述前部延伸。

3.如权利要求2所述的夹具，包括：

在所述夹具左侧的左侧弹簧组，每个弹簧具有被附接到轴向构件的中心端和被附接到所述固定左侧框架构件的横向端，

在所述夹具右侧的右侧弹簧组，每个弹簧具有被附接到轴向构件的中心端，和被附接到所述固定右侧框架构件的横向端，

所述轴向构件沿着所述框架的长轴延伸，并被连接到所述弹簧，使得随着所述弹簧的挠曲，所述轴向构件相对于所述固定框架在所述夹具的长轴方向上是可移动的，

所述后接触表面被连接到所述轴向构件。

4.如权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述右侧弹簧组包括从4至21个弹簧，以及所述左侧弹簧组包括从4至21个弹簧。

5.如权利要求1所述的夹具，包括：

左侧弹簧，在所述夹具的左侧上在所述长度方向上延伸，所述左侧弹簧具有相对于所述固定框架固定的前固定端，以及被直接或间接地连接到所述后接触表面的后可移动端，以及

右侧弹簧，在所述夹具的右侧上在所述长度方向上延伸，所述右侧弹簧具有相对于所述固定框架固定的前固定端，以及被直接或间接地连接到所述后接触表面的后可移动端。

6.如权利要求5所述的夹具，其特征在于，所述弹簧的每个均具有在所述长度方向上和所述宽度方向上形成的多个弯曲的环。

7.如权利要求1-6中任一项所述的夹具，包括相对于所述固定框架固定的上支撑构件，所述上支撑构件包括在所述宽度方向上和所述长度方向上延伸的上支撑表面，所述上支撑表面位于低于所述前接触表面的高度且低于所述后接触表面的高度的高度处，限定了所述空间的底部，并在弹簧的至少部分上延伸。

8.如权利要求7所述的夹具，包括在所述上支撑构件的下表面和弹簧的上表面之间的垂直间隔。

9.如权利要求1所述的夹具，包括在所述宽度方向上和所述长度方向上延伸的下支撑构件，所述下支撑构件位于低于弹簧的下表面的高度处。

10.如权利要求9所述的夹具，包括在所述下支撑构件的上表面和弹簧的下表面之间的垂直间隔。

11.如权利要求9或10所述的夹具，包括：

在所述夹具的左侧上的左侧螺旋弹簧，所述左侧螺旋弹簧具有被附接到轴向构件的可移动端和被附接到所述下支撑构件的固定端，

在所述夹具的右侧上的右侧螺旋弹簧，所述右侧螺旋弹簧具有被附接到所述轴向构件的可移动端和被附接到所述下支撑构件的固定端。

12.如权利要求1所述的夹具，其特征在于，每个弹簧具有在从10至130微米的范围内的高度。

13.如权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述弹簧由金属制成。

14.如权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述弹簧由选自以下的金属制成：钯、镍-碳合金、铜或铜合金、镍或镍合金、铁合金、钢、钛或钛合金。

15.如权利要求1所述的夹具，其特征在于，在将滑动器放置在所述夹具中的情况下，弹簧产生的力在从10至50克(力)的范围内。

16.如权利要求1所述的夹具，包括在所述开放空间的前位置处的电气触点组。

17.如权利要求1所述的夹具，包括被连接到所述前接触表面和弹簧的手柄，所述手柄具有可以在拉离所述前接触表面的方向上手动抓住和拉动的尺寸和形状。

18.一种电子测试组件，包括被固定到电气测试设备的万向架的测试插座组件，所述测试插座组件包括夹具，所述夹具包括：

固定框架，包括在所述框架后部并在宽度方向上延伸的固定后框架构件，

弹簧，在所述固定框架的水平面上延伸，

开放空间，在长度方向上和所述宽度方向上延伸并位于所述弹簧的上表面上方，所述开放空间在所述长度方向上部分地被以下部件限定：

在所述夹具的前部、在所述水平面的上方延伸、并且适于接合滑动器的一端的前接触表面，

在所述夹具的后部、在所述水平面的上方延伸、并且适于接合所述滑动器的相对端的后接触表面；以及

所述弹簧将所述固定框架与所述后接触表面连接，使得随着所述弹簧的挠曲，

所述后接触表面在所述夹具的长轴的方向上相对于所述框架是可移动的。

19.一种使用如权利要求18所述的电子测试组件的方法，所述方法包括：

将滑动器放置在所述夹具中，以及

通过动态电气测试，对所述滑动器的所述电气功能进行测试，

测试后，从所述夹具将所述滑动器移除，以及

在从所述夹具将所述滑动器移除后，将第二滑动器放置在所述夹具中。

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