CN111338184B - 一种便于更换掩膜版涂胶机顶柱的装置 - Google Patents

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    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
    • G03F7/162—Coating on a rotating support, e.g. using a whirler or a spinner

Abstract

本发明公开了一种便于更换掩膜版涂胶机顶柱的装置，包括夹具本体，夹具本体从上到下包括凹槽层和贯穿层，凹槽层为形状与顶柱Pin形状相同的凹槽，贯穿层为贯穿夹具本体的通槽，通槽内连接有力矩杆，力矩杆的两端均穿过通槽位于夹具本体外，力矩杆所在直线与夹具本体所在平面平行。本结构简单、操作使用方便，实现了涂胶快速换线的功能，降低人员使用扳手造成操作不当的磕碰风险。

Description

一种便于更换掩膜版涂胶机顶柱的装置
技术领域
本发明涉及掩膜版领域，具体涉及一种便于更换掩膜版涂胶机顶柱的装置。
背景技术
掩膜版又称光掩膜版、光罩(Photo mask)，由石英玻璃作为基板衬底，首先在石英玻璃基板上镀上一层金属铬层，然后在铬层上面涂覆光刻胶使其成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备使光刻胶感光，被曝光的区域通过显影、蚀刻在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模母版。近年来国内显示面板产量逐年增加，并且面板厂商开始量产TFT LCD五代线，对掩膜版的需求量也越来越大。尤其是对高世代掩膜版的需求不断攀升。
在高世代大尺寸掩膜版涂胶机在进行光刻胶的涂布工艺中，由于涂胶机可以同时兼顾 G8.5(1220mm*1400mm*13mm)与G10.5(1620mm*1780mm*17mm)代线涂胶，因此在涂胶机上经常会换线。但由于G8.5和G10.5的尺寸不同，用于涂胶时支撑掩膜版的顶柱(顶柱 Pin)的位置也不同，因此二者之间会经常切换。另一方面由于涂胶工艺对掩膜版的水平度或平坦度有很高的要求，因此对顶柱Pin的安装也有很高的要求，而用于更换顶柱Pin的工具也至关重要，不仅可以保证安装的位置精度，更能提高作业效率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是现有的顶柱Pin更换工具力矩不足并且与顶柱Pin间有较大的间隙，在使用时需要借助扳手才能拧紧或拧松，而扳手的使用不仅会降低更换顶柱Pin 的作业效率，同时容易划伤转盘的特氟龙面层；另一方面由于间隙大的原因，使得现有顶柱 Pin更换工具在使用过程中由于顶柱Pin高度有限，会经常发生与顶柱Pin脱离的现象，造成工具及顶柱Pin的双重损害，目的在于提供一种便于更换掩膜版涂胶机顶柱的装置，解决顶柱Pin的更换问题。
本发明通过下述技术方案实现：
一种便于更换掩膜版涂胶机顶柱的装置，包括夹具本体，夹具本体从上到下包括凹槽层和贯穿层，凹槽层为形状与顶柱Pin形状相同的凹槽，贯穿层为贯穿夹具本体的通槽，通槽内连接有力矩杆，力矩杆的两端均穿过通槽位于夹具本体外，力矩杆所在直线与夹具本体所在平面平行。
进一步的，本夹具在使用时，将夹具本体上的凹槽层卡在顶柱Pin上，由于凹槽层的形状与顶柱Pin的形状相同，因此在使用时直接将夹具本体上的凹槽层套装在顶柱Pin上，可将顶柱Pin与夹具本体固定，然后通过在贯穿层上的通槽上穿过力矩杆，力矩杆的两端均在夹具本体外，因此在拧紧或拧松顶柱Pin的过程中，本结构不会划伤转盘的特氟龙面层，并且，在力矩杆的作用下，可双手进行固定操作，更便于操作使用，使用效率更高。
更进一步的，力矩杆的一端设置有小通槽，小通槽上连接有用于防止力矩杆从小通槽滑出的插销。力矩杆可在通槽内滑动，起到自由调节力矩大小的作用，既可以双手施力换顶柱 Pin，也可以起到像扳手单端受力换顶柱Pin的作用。在力矩杆一端设有插销，可保证力矩杆在受力过程中不会从主体中滑出脱落。
同时，夹具本体的底面设置有凸起刀口，凸起刀口用于拿取顶柱Pin孔垫块。凸起刀口为一字形状。顶柱Pin孔垫块上设置有一字型的凹槽，因此在取下顶柱Pin后，可使用夹具本体底面上的凸起刀口插入顶柱Pin孔垫块上的一字型凹槽中，进而可便捷的对顶柱Pin孔垫块进行拿取，使用效率更高，更便于操作。
优选的，力矩杆的长度不小于20cm。力矩杆的长度不小于20cm，这样在操作时，双手能有操作空间，使用时，更便于调节，进一步的提高了使用效率。
优选的，凹槽层的内侧设置有橡胶层。在其内侧设置有橡胶层，这样在使用时，顶柱Pin 和凹槽接触时，能起到保护作用，更便于长期使用。
同时，凹槽层的四个侧面中，两个相对的面为平面；另外两个相对的面为曲面。这样在凹槽层和顶柱Pin连接时，通过旋转本结构能够有效地带动顶柱Pin一起旋转，不会产生相对旋转，提高使用效率。
并且，凹槽层的底面设置有圆形凹槽，圆形凹槽用于放置转盘上用于连接顶柱Pin的连接杆。圆形凹槽的侧面设置有橡胶层。
顶柱Pin通过连接杆连接在转盘上，连接后连接杆的一端在顶柱Pin的上方，因此通过设置圆形凹槽，使得顶柱Pin与凹槽层连接后，位于顶柱Pin上方的连接杆插入圆形凹槽中，进而使得顶柱Pin和凹槽层更贴合的连接，提高使用效率。
本发明与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：
本发明一种便于更换掩膜版涂胶机顶柱的装置，本结构简单、操作使用方便，实现了涂胶快速换线的功能，降低人员使用扳手造成操作不当的磕碰风险。
并且，本发明夹具本体的凹槽可以完全吻合卡扣在顶柱Pin上，增加受力面积，夹具本体的背面有一字形状的凸起刀口，可以在安装或取下更换顶柱Pin后填补缺口的顶柱Pin孔垫块；
同时力矩杆可在通槽中自由滑动，力矩杆的滑动可以灵活调节力矩大小，保证顶柱Pin 在安装过程中旋紧或拧松；在力矩杆一端加有插销，使得力矩杆受力时不会从“凹型”主体滑出脱落。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本发明实施例的限定。在附图中：
图1为本发明结构示意图。
图2为本发明结构示意图。
图3为本发明爆炸结构示意图。
图4为本发明适用的涂胶机转盘结构示意图。
图5为本发明顶柱Pin孔垫块示意图。
附图中标记及对应的零部件名称：
1-夹具本体，2-力矩杆，3-插销，4-凸起刀口，5-转盘，6-掩膜版，7-顶柱Pin，8-顶柱Pin 孔，9-顶柱Pin孔垫块，10-凹槽层，11-圆形凹槽，12-贯穿层。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本发明作进一步的详细说明，本发明的示意性实施方式及其说明仅用于解释本发明，并不作为对本发明的限定。
实施例1
如图1-3所示，本发明一种便于更换掩膜版涂胶机顶柱的装置，包括夹具本体1，夹具本体1从上到下包括凹槽层10和贯穿层12，凹槽层10为形状与顶柱Pin7形状相同的凹槽，贯穿层12为贯穿夹具本体1的通槽，通槽内连接有力矩杆2，力矩杆2的两端均穿过通槽位于夹具本体1外，力矩杆2所在直线与夹具本体1所在平面平行。
力矩杆2的一端设置有小通槽，小通槽上连接有用于防止力矩杆2从小通槽滑出的插销 3。夹具本体1的底面设置有凸起刀口4，凸起刀口4用于拿取顶柱Pin孔垫块9。凸起刀口4 为一字形状。顶柱Pin孔垫块9的形状如图5所示。
本实施例中，力矩杆2的长度为30cm。凹槽的内侧设置有橡胶层。
实施例2
本实施例中的夹具本体1的凹槽层10的尺寸大小完全吻合并卡扣在顶柱Pin 7上，如图 1和4所述，凹槽层10的形状和顶柱Pin 7的形状相同；顶柱Pin 7用于掩膜版5加载时的支撑及调节。夹具本体1的背面设置有一个“一字”凸起刀口4，凸起刀口4用于安装或取下更换顶柱Pin 7后，通过将凸起刀口4插入顶柱Pin孔垫块9中，将其移动到顶柱Pin孔8中进行填补，顶柱Pin孔垫块9可以保证掩膜版6在转盘5中涂胶时，光刻胶不会溢流进顶柱Pin孔8中。凸起刀口4还可用于卸载安装在转盘5中的顶柱Pin孔垫块9。
夹具本体1的贯穿层12内穿过一根力矩杆2，力矩杆2可以在夹具本体1中的贯穿层12 中自由前后滑动，起到自由调节力矩大小的作用。力矩杆2的末端配有插销3，所述插销3可以防止力矩杆在受力过程中脱离夹具本体1。
实施例3
在实施例2的基础上，在使用时，首先在夹具本体1中插入力矩杆2，力矩杆2可以在夹具本体1中自由滑动以便自由调节力矩大小，然后在力矩杆2一端中插入插销3，插销可以保证力矩杆2不从夹具本体1中脱落，本结构就组装完成。
涂胶换顶柱Pin工具组装完成后，将夹具本体1的凹槽套装在安装在转盘5中的顶柱Pin 7上，旋转力矩杆2使其对顶柱Pin 7进行安装或拆卸。然后将“一字”凸起刀口4卡在顶柱 Pin孔垫块9的一字槽中，将顶柱Pin孔垫块9安装或拆卸在所需安装的顶柱Pin孔8位置。本结构不仅可以代替扳手减少作业时间，而且可以降低人员操作过程中对涂胶转盘特氟龙表面造成损伤的风险。
同时，凹槽层10的四个侧面中，两个相对的面为平面；另外两个相对的面为曲面。这样在凹槽层10和顶柱Pin7连接时，通过旋转本结构能够有效地带动顶柱Pin7一起旋转，不会产生相对旋转，提高使用效率。
并且，凹槽层10的底面设置有圆形凹槽11，圆形凹槽11用于放置转盘5上用于连接顶柱Pin7的连接杆。圆形凹槽11的侧面设置有橡胶层。
顶柱Pin7通过连接杆连接在转盘5上，连接后连接杆的一端在顶柱Pin7的上方，因此通过设置圆形凹槽11，使得顶柱Pin7与凹槽层10连接后，位于顶柱Pin7上方的连接杆插入圆形凹槽11中，进而使得顶柱Pin7和凹槽层10更贴合的连接，提高使用效率。
以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种便于更换掩膜版涂胶机顶柱的装置，其特征在于，包括夹具本体(1)，夹具本体(1)从上到下依次包括凹槽层(10)和贯穿层(12)，凹槽层(10)为形状与顶柱Pin(7)形状相同的凹槽，贯穿层(12)为贯穿夹具本体(1)侧面的通槽，通槽内连接有力矩杆(2)，力矩杆(2)的两端均穿过通槽位于夹具本体(1)外，力矩杆(2)所在直线与夹具本体(1)所在平面平行。
2.根据权利要求1所述的一种便于更换掩膜版涂胶机顶柱的装置，其特征在于，力矩杆(2)的一端设置有小通槽，小通槽上连接有用于防止力矩杆(2)从贯穿层(12)滑出的插销(3)。
3.根据权利要求1所述的一种便于更换掩膜版涂胶机顶柱的装置，其特征在于，夹具本体(1)的底面设置有凸起刀口(4)，凸起刀口(4)用于拿取顶柱Pin孔垫块(9)。
4.根据权利要求1所述的一种便于更换掩膜版涂胶机顶柱的装置，其特征在于，力矩杆(2)的长度不小于20cm。
5.根据权利要求3所述的一种便于更换掩膜版涂胶机顶柱的装置，其特征在于，凸起刀口(4)为一字形状。
6.根据权利要求1所述的一种便于更换掩膜版涂胶机顶柱的装置，其特征在于，凹槽层(10)的内侧设置有橡胶层。
7.根据权利要求1所述的一种便于更换掩膜版涂胶机顶柱的装置，其特征在于，凹槽层(10)的四个侧面中，两个相对的面为平面；另外两个相对的面为曲面。
8.根据权利要求1所述的一种便于更换掩膜版涂胶机顶柱的装置，其特征在于，凹槽层(10)的底面设置有圆形凹槽(11)，圆形凹槽(11)用于放置转盘(5)上用于连接顶柱Pin(7)的连接杆。
9.根据权利要求8所述的一种便于更换掩膜版涂胶机顶柱的装置，其特征在于，圆形凹槽(11)的侧面设置有橡胶层。
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