CN111300497A - 一种保持环切断方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种保持环切断方法，所述切断方法包括如下步骤：(1)将厚度为0.5‑3mm的切断刀具固定在进给装置上，所述进给装置将所述切断刀具定位在起始切断位置上；(2)按照预设切断参数进行切断操作，直至切断得到完整保持环。所述切断方法通过切断刀具和切断参数的协同设计，避免了切断过程中待切断保持环锭材的粘刀问题，保证了保持环产品的平面度和平行度，从而减小保持环产品的报废率，保证了保持环产品的质量；其中，保持环产品的平面度和平行度可以达到0.01‑0.08mm；此外，所述切断方法不仅具有较高的稳定性，还可以避免待切断保持环锭材的浪费，从而节约了材料成本。

Description

一种保持环切断方法
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种保持环切断方法。
背景技术
芯片在生活中的应用已经无所不在，并向着集成化和微型化的趋势发展。标签类、LED灯珠类芯片的面积已经小到几乎让人无法察觉，例如地铁车票，演唱会门票等等。在对芯片进行去层分析时，也为了使芯片表面光滑和平坦，通常需要对芯片进行研磨。
目前，一般是使用化学机械研磨方法来实现研磨过程，其原理是通过化学反应和机械作用来研磨剥除沉积在芯片表面的多余的薄膜，使芯片表面光滑平坦。化学机械研磨方法的具体过程为：研磨液喷嘴向研磨垫喷出研磨液，研磨液再向周边扩散，使得各个沟槽都有研磨液分布；当研磨垫旋转时，研磨垫通过研磨液的作用对芯片进行研磨。
在使用化学机械研磨方法进行芯片研磨的过程中，需要通过保持环(RetainerRing)对芯片进行保护和固定。如果保持环的平面度和平行度达不到质量要求，会导致研磨后的芯片也达不到平面度和平行度的质量要求，甚至会导致芯片的断裂。
目前，一般采用聚苯硫醚(Polyphenylene sulfide，PPS)制作保持环。PPS是一种综合性能优异的特种工程塑料，具有优良的耐高温、耐腐蚀、耐辐射、阻燃、均衡的物理机械性能，极好的尺寸稳定性以及优良的电性能等特点，被广泛用作结构性高分子材料，通过填充、改性后广泛用作特种工程塑料。同时，PPS还可制成各种功能性的薄膜、涂层和复合材料，在电子电器、航空航天、汽车运输等领域获得成功应用。
然而，由于PPS材料偏软，在PPS保持环锭材切断制备保持环的过程中很容易发生粘刀问题，导致保持环的平面度和平行度较差，根本达不到保持环产品的质量要求，导致保持环产品的报废率很高；此外，现有PPS保持环锭材切断方法的稳定性较差，保持环锭材的浪费较严重，材料成本较高。因此，亟需开发一种行之有效的保持环切断方法。
发明内容
鉴于现有技术中存在的问题，本发明提出一种保持环切断方法，所述切断方法通过切断刀具和切断参数的协同设计，避免了切断过程中待切断保持环锭材的粘刀问题，保证了保持环产品的平面度和平行度，从而减小保持环产品的报废率，保证了保持环产品的质量；其中，保持环产品的平面度和平行度可以达到0.01-0.08mm；此外，所述切断方法不仅具有较高的稳定性，还可以避免待切断保持环锭材的浪费，从而节约了材料成本。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
本发明的目的在于提供一种保持环切断方法，所述切断方法包括如下步骤：
(1)将厚度为0.5-3mm的切断刀具固定在进给装置上，所述进给装置将所述切断刀具定位在起始切断位置上；
(2)按照预设切断参数进行切断操作，直至切断得到完整保持环。
本发明所述切断方法采用厚度为0.5-3mm的切断刀具，并通过与切断参数的协同设计，有效防止待切断材料的粘刀问题，保证了保持环产品在平面度和平行度上的质量要求，降低了保持环产品的报废率；此外，所述切断方法还可以提高工艺稳定性，减少待切断材料的浪费，从而有效地节约了生产成本。
作为本发明优选的技术方案，步骤(1)所述切断刀具为圆形刀具。
本发明所述切断方法采用圆形刀具作为切断刀具，可以有效地减小刀具的切断阻力，并提高刀具的耐磨损性能，从而保证了保持环产品在平面度和平行度上的质量要求，提高了切断工艺的稳定性。
作为本发明优选的技术方案，步骤(1)所述切断刀具的直径为100-150mm，例如100mm、105mm、110mm、115mm、120mm、125mm、130mm、135mm、140mm、145mm或150mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，步骤(1)所述切断刀具的内孔直径为10-50mm，本领域技术人员可以根据实际情况进行合理设计或选择，以内孔直径和固定切断刀具的刀杆相配套为准则。
作为本发明优选的技术方案，步骤(1)所述切断刀具的锯齿个数为60-120个，例如60个、65个、70个、75个、80个、85个、90个、95个、100个、105个、110个、115个或120个等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，步骤(1)所述切断刀具的材料为钨钢。
本发明所述切断方法采用钨钢制成的切断刀具，因为钨钢属于硬质合金，具有硬度高、强度和韧性较好、耐磨、耐热、耐腐蚀等一系列优良性能，特别是钨钢的高硬度和耐磨性，使其能够在500℃的温度下也基本保持不变，在1000℃时仍有很高的硬度。
作为本发明优选的技术方案，步骤(2)所述切断参数的切削转速为1500-1600m/min，例如1500m/min、1520m/min、1540m/min、1550m/min、1570m/min、1590m/min或1600m/min等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，步骤(2)所述切断参数的进给量为100-120m/min，例如100m/min、102m/min、105m/min、107m/min、110m/min、113m/min、115m/min、118m/min或120m/min等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，所述切断方法包括如下步骤：
(1)将厚度为0.5-3mm的切断刀具固定在进给装置上，所述进给装置将所述切断刀具定位在起始切断位置上；
其中，所述切断刀具为圆形刀具，且直径为100-150mm；
所述切断刀具的内孔直径为10-50mm；
所述切断刀具的锯齿个数为60-120个；
所述切断刀具的材料为钨钢；
(2)按照预设切断参数进行切断操作，直至切断得到完整保持环；
其中，所述切断参数的切削转速为1500-1600m/min；
所述切断参数的进给量为100-120m/min。
与现有技术相比，本发明至少具有以下有益效果：
(1)本发明所述切断方法通过切断刀具和切断参数的协同设计，避免了切断过程中待切断保持环锭材的粘刀问题，保证了保持环产品的平面度和平行度，从而减小了保持环产品的报废率，保证了保持环产品的质量；其中，保持环产品的平面度和平行度可以达到0.01-0.08mm；
(2)本发明所述切断方法不仅具有较高的稳定性，还可以避免待切断保持环锭材的浪费，从而节约了材料成本。
具体实施方式
为便于理解本发明，下面将通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。本领域技术人员应该明了，所述实施例仅仅是帮助理解本发明，不应视为对本发明的具体限制。
实施例1
本实施例提供了一种保持环切断方法，所述切断方法包括如下步骤：
(1)将厚度为1mm的切断刀具固定在进给装置上，所述进给装置将所述切断刀具定位在起始切断位置上；
其中，所述切断刀具为圆形刀具，且直径为125mm；
所述切断刀具的内孔直径为25.4mm；
所述切断刀具的锯齿个数为80个；
所述切断刀具的材料为钨钢；
(2)按照预设切断参数进行切断操作，直至切断得到完整保持环；
其中，所述切断参数的切削转速为1550m/min；
所述切断参数的进给量为110m/min。
本实施例所述切断方法没有发生粘刀问题，得到的保持环产品具有良好的平面度和平行度，达到了保持环产品的质量要求；其中，经三坐标测量机检测，所得保持环产品的平面度和平行度为0.01mm；此外，本实施例所述切断方法，具有较高的稳定性，避免了待切断保持环锭材的浪费，节约了材料成本。
实施例2
本实施例提供了一种保持环切断方法，所述切断方法包括如下步骤：
(1)将厚度为0.5mm的切断刀具固定在进给装置上，所述进给装置将所述切断刀具定位在起始切断位置上；
其中，所述切断刀具为圆形刀具，且直径为100mm；
所述切断刀具的内孔直径为25.4mm；
所述切断刀具的锯齿个数为60个；
所述切断刀具的材料为钨钢；
(2)按照预设切断参数进行切断操作，直至切断得到完整保持环；
其中，所述切断参数的切削转速为1500m/min；
所述切断参数的进给量为100m/min。
本实施例所述切断方法没有发生粘刀问题，得到的保持环产品具有良好的平面度和平行度，达到了保持环产品的质量要求；其中，经三坐标测量机检测，所得保持环产品的平面度和平行度为0.05mm；此外，本实施例所述切断方法，具有较高的稳定性，避免了待切断保持环锭材的浪费，节约了材料成本。
实施例3
本实施例提供了一种保持环切断方法，所述切断方法包括如下步骤：
(1)将厚度为3mm的切断刀具固定在进给装置上，所述进给装置将所述切断刀具定位在起始切断位置上；
其中，所述切断刀具为圆形刀具，且直径为150mm；
所述切断刀具的内孔直径为25.4mm；
所述切断刀具的锯齿个数为120个；
所述切断刀具的材料为钨钢；
(2)按照预设切断参数进行切断操作，直至切断得到完整保持环；
其中，所述切断参数的切削转速为1600m/min；
所述切断参数的进给量为120m/min。
本实施例所述切断方法没有发生粘刀问题，得到的保持环产品具有良好的平面度和平行度，达到了保持环产品的质量要求；其中，经三坐标测量机检测，所得保持环产品的平面度和平行度为0.08mm；此外，本实施例所述切断方法，具有较高的稳定性，避免了待切断保持环锭材的浪费，节约了材料成本。
对比例1
本对比例提供了一种保持环切断方法，所述切断方法除了将切断刀具的厚度替换为了0.3mm，其他条件和实施例1完全相同。
本对比例所述切断方法在切断过程中，刀具在接触到待切断保持环锭材的瞬间即发生了断裂，进而无法保证保持环产品在平面度和平行度方面的质量要求。
对比例2
本对比例提供了一种保持环切断方法，所述切断方法除了将切断刀具的厚度替换为了3.5mm，其他条件和实施例1完全相同。
利用本对比例所述切断方法，所得保持环产品在平面度和平行度方面无法达到质量要求；其中，经三坐标测量机检测，所得保持环产品的平面度和平行度为0.1mm；此外，本对比例所述切断方法对待切断保持环锭材造成了较大浪费，增大了材料成本。
通过上述实施例和对比例可以看出，本发明所述切断方法通过切断刀具和切断参数的协同设计，避免了切断过程中待切断保持环锭材的粘刀问题，保证了保持环产品的平面度和平行度，从而减小保持环产品的报废率，保证了保持环产品的质量；其中，保持环产品的平面度和平行度可以达到0.01-0.08mm；此外，所述切断方法不仅具有较高的稳定性，还可以避免待切断保持环锭材的浪费，从而节约了材料成本。
申请人声明，本发明通过上述实施例来说明本发明的详细结构特征，但本发明并不局限于上述详细结构特征，即不意味着本发明必须依赖上述详细结构特征才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明所选用部件的等效替换以及辅助部件的增加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。
以上详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。
另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。
此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。

Claims (9)

1.一种保持环切断方法，其特征在于，所述切断方法包括如下步骤：
(1)将厚度为0.5-3mm的切断刀具固定在进给装置上，所述进给装置将所述切断刀具定位在起始切断位置上；
(2)按照预设切断参数进行切断操作，直至切断得到完整保持环。
2.根据权利要求1所述的切断方法，其特征在于，步骤(1)所述切断刀具为圆形刀具。
3.根据权利要求2所述的切断方法，其特征在于，步骤(1)所述切断刀具的直径为100-150mm。
4.根据权利要求1-3任一项所述的切断方法，其特征在于，步骤(1)所述切断刀具的内孔直径为10-50mm。
5.根据权利要求1-4任一项所述的切断方法，其特征在于，步骤(1)所述切断刀具的锯齿个数为60-120个。
6.根据权利要求1-5任一项所述的切断方法，其特征在于，步骤(1)所述切断刀具的材料为钨钢。
7.根据权利要求1-6任一项所述的切断方法，其特征在于，步骤(2)所述切断参数的切削转速为1500-1600m/min。
8.根据权利要求1-7任一项所述的切断方法，其特征在于，步骤(2)所述切断参数的进给量为100-120m/min。
9.根据权利要求1-8任一项所述的切断方法，其特征在于，所述切断方法包括如下步骤：
(1)将厚度为0.5-3mm的切断刀具固定在进给装置上，所述进给装置将所述切断刀具定位在起始切断位置上；
其中，所述切断刀具为圆形刀具，且直径为100-150mm；
所述切断刀具的内孔直径为10-50mm；
所述切断刀具的锯齿个数为60-120个；
所述切断刀具的材料为钨钢；
(2)按照预设切断参数进行切断操作，直至切断得到完整保持环；
其中，所述切断参数的切削转速为1500-1600m/min；
所述切断参数的进给量为100-120m/min。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2630276A1 (de) * 1976-07-06 1978-01-12 Gewerk Eisenhuette Westfalia Meisselanordnung fuer schraem- und bohrmaschinen u.dgl.
CN202045392U (zh) * 2011-01-26 2011-11-23 浙江瑞亨精密工具有限公司 一种用于分割印制线路板的铣刀
KR200458011Y1 (ko) * 2009-06-15 2012-01-17 시너스(주) 화학기계적 연마장치용 리테이너 링 구조물
CN204431346U (zh) * 2014-12-15 2015-07-01 宁国市日格美橡塑制品有限公司 一种塑料管切割装置
CN207451933U (zh) * 2017-10-13 2018-06-05 嘉兴沃尔德金刚石工具有限公司 具有不同切割刃的刀轮

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2630276A1 (de) * 1976-07-06 1978-01-12 Gewerk Eisenhuette Westfalia Meisselanordnung fuer schraem- und bohrmaschinen u.dgl.
KR200458011Y1 (ko) * 2009-06-15 2012-01-17 시너스(주) 화학기계적 연마장치용 리테이너 링 구조물
CN202045392U (zh) * 2011-01-26 2011-11-23 浙江瑞亨精密工具有限公司 一种用于分割印制线路板的铣刀
CN204431346U (zh) * 2014-12-15 2015-07-01 宁国市日格美橡塑制品有限公司 一种塑料管切割装置
CN207451933U (zh) * 2017-10-13 2018-06-05 嘉兴沃尔德金刚石工具有限公司 具有不同切割刃的刀轮

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
李长河等: "高速切削的工业应用", 《汽车工艺与材料》 *
杨鸣波等: "《塑料成型工艺学》", 1 June 2014, 中国轻工业出版社 *

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