CN111289091A - 谐振频率确定装置、检查装置、谐振频率确定方法及检查方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种谐振频率确定装置、检查装置、谐振频率确定方法及检查方法，实现装置的小型化及提高谐振频率确定作业的作业效率。其能确定MEMS反光镜元件(100)的谐振频率(fm)，通过向MEMS反光镜元件(100)提供驱动用的交流信号(S1)来使反光镜转动从而使反射光的偏转角变化，谐振频率(fm)是偏转角达到最大时交流信号(S1)的频率，包括：信号输出部(11)，能一边改变频率一边输出交流信号(S1)；测定部(12)，在交流信号(S1)被提供给MEMS反光镜元件(100)的状态下，基于MEMS反光镜元件(100)输出的输出信号(S2)测定电阻值(R)；及处理部(16)，执行确定处理，基于随频率改变而变化的电阻值(R)达到极值时的频率，确定谐振频率(fm)。

Description

谐振频率确定装置、检查装置、谐振频率确定方法及检查方法

技术领域

本发明涉及对MEMS反光镜元件中反射光的偏转角达到最大时的驱动用交流信号的频率即谐振频率进行确定的谐振频率确定装置及谐振频率确定方法、以及基于谐振频率对MEMS反光镜元件进行检查的检查装置及检查方法。

背景技术

已知MEMS反光镜元件是通过向其提供驱动用交流信号，使反光镜以交流信号的频率进行转动，从而使反射光的偏转角发生变化的元件。在该MEMS反光镜元件中，在被施加了由反光镜和驱动反光镜的驱动系统的质量、弹性系数以及粘性系数等决定的MEMS反光镜元件固有谐振频率(机械谐振频率)的外力时，反光镜和驱动系统将发生谐振。因此，在该MEMS反光镜元件中，交流信号的频率达到谐振频率时，反光镜的转动量(即，反射光的偏转角)达到最大。

另一方面，检查对象的MEMS反光镜元件中的谐振频率被用于根据该谐振频率是否在基准范围内来检查MEMS反光镜元件是否合格，或者被用于在以谐振频率以外的频率的交流信号进行驱动的线性模式和以谐振频率的频率的交流信号进行驱动的非线性模式之间进行切换来驱动MEMS反光镜元件时对交流信号的频率进行控制。作为对该MEMS反光镜元件中的谐振频率进行测定的方法，已知有下述专利文献1中公开的测定方法。在该测定方法中，在入射到MEMS反光镜元件的激光束的反射光的偏转角范围内配置有多个受光元件，将交流信号的频率设定成某个值并且提供给MEMS反光镜元件来驱动MEMS反光镜元件，基于此时由各个受光元件检测到反射光的时间来对该频率下的反射光的偏转角进行计算。接着，一边改变交流信号的频率，一边重复执行上述处理，确定反射光的偏转角达到最大时的交流信号的频率为该MEMS反光镜元件中的谐振频率(机械谐振频率)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5027617号公报(第5-14页，图1)

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，上述现有的测定方法存在如下应当改善的问题。具体而言，现有的测定方法除了要有射出将射入MEMS反光镜元件的激光束用的光学系统、检测激光束的反射光的受光元件以外，还需要将它们配置在远离MEMS反光镜元件的位置上，因此存在测定装置大型化的问题。另外，现有的测定方法需要很长的待机时间以使激光束的输出稳定，因此还存在谐振频率确定作业的作业效率较差的问题。

本发明鉴于以上问题，其主要目的在于提供能够实现装置的小型化以及提高谐振频率确定作业的作业效率的谐振频率确定装置、检查装置、谐振频率确定方法以及检查方法。

解决技术问题所采用的技术方案

为了达成上述目的，本发明的谐振频率确定装置构成为能够确定MEMS反光镜元件中的谐振频率，通过向该MEMS反光镜元件提供驱动用的交流信号，使反光镜进行转动，从而使反射光的偏转角发生变化，所述谐振频率是该偏转角达到最大时所述交流信号的频率，该谐振频率确定装置包括：信号输出部，该信号输出部能够一边改变所述频率，一边输出所述交流信号；测定部，该测定部在所述交流信号被提供给所述MEMS反光镜元件的状态下，基于由该MEMS反光镜元件输出的输出信号，对预先决定的物理量进行测定；以及处理部，该处理部执行确定处理，基于随着所述频率的改变而发生变化的所述物理量达到极值时的该频率，来确定所述谐振频率。

另外，本发明的谐振频率确定装置包括存储修正值的存储部，该修正值基于所述MEMS反光镜元件中的所述偏转角的实际测量值达到最大时的所述频率和所述物理量达到极值时的所述频率而预先规定，所述处理部在所述确定处理中，利用所述修正值对所述物理量达到极值时的所述频率进行修正，并且确定该修正后的频率作为所述谐振频率。

另外，本发明的检查装置包括：所述谐振频率确定装置；以及检查部，该检查部基于由该谐振频率确定装置所确定的所述谐振频率，对所述MEMS反光镜元件是否合格进行检查。

另外，本发明的谐振频率确定方法确定MEMS反光镜元件中的谐振频率，通过向该MEMS反光镜元件提供驱动用的交流信号，使反光镜进行转动，从而使反射光的偏转角发生变化，所述谐振频率是该偏转角达到最大时该交流信号的频率，在一边改变所述频率一边将所述交流信号提供给了所述MEMS反光镜元件的状态下，基于由该MEMS反光镜元件输出的输出信号，对预先决定的物理量进行测定，并且执行确定处理，基于随着所述频率的改变而发生变化的所述物理量达到极值时的该频率，来确定所述谐振频率。

另外，本发明的谐振频率确定方法在所述确定处理中，利用基于所述MEMS反光镜元件中的所述偏转角的实际测量值达到最大时的所述频率和所述物理量达到极值时的所述频率而预先规定的修正值，对该物理量达到极值时的该频率进行修正，并且确定该修正后的频率作为所述谐振频率。

另外，本发明的检查方法基于由上述谐振频率确定方法确定的所述谐振频率，对所述MEMS反光镜元件是否合格进行检查。

发明效果

在本发明的谐振频率确定装置、本发明的检查装置、本发明的谐振频率确定方法、以及本发明的检查方法中，一边改变频率一边将交流信号提供给MEMS反光镜元件的状态下，基于由MEMS反光镜元件输出的输出信号对预先决定的物理量进行测定，并且执行确定处理，基于随着频率的改变而发生变化的物理量达到极值时的频率，来确定谐振频率。因此，根据该谐振频率确定装置、检查装置、谐振频率确定方法以及检查方法，无需使用具备输出入射光的光源、对反射光进行检测的检测部的大型装置来对反射光的偏转角进行实际测量的复杂作业，而是利用在提供了交流信号的状态下基于由MEMS反光镜元件输出的输出信号来对电阻值进行测定的简单结构来确定电学上的谐振频率，能够容易地基于该电学上的谐振频率对机械谐振频率进行确定。另外，在该谐振频率确定装置、检查装置、谐振频率确定方法以及检查方法中，由于不使用光源，因此无需为了稳定来自光源的入射光输出而待机，能够充分地缩短确定谐振频率的处理时间。由此，根据该谐振频率确定装置、检查装置、谐振频率确定方法以及检查方法，能够可靠地实现装置的小型化以及提高确定谐振频率作业的作业效率。

另外，根据本发明的谐振频率确定装置、本发明的检查装置、本发明的谐振频率确定方法、以及本发明的检查方法，在确定处理中，利用基于MEMS反光镜元件中的偏转角的实际测量值达到最大时的频率(机械谐振频率)和电阻值达到极值时的频率(电学上的谐振频率)而预先规定的修正值，对电阻值达到极值时的频率进行修正，并确定修正后的频率作为谐振频率，从而能够更加准确地确定谐振频率。

附图说明

图1是表示检查装置1的结构的结构图。

图2是说明MEMS反光镜元件100的结构以及动作的说明图。

图3是表示交流信号S1的频率f和电阻值R之间关系的第1关系图。

图4是确定处理50的流程图。

图5是表示交流信号S1的频率f和电阻值R之间关系的第2关系图。

具体实施方式

以下，针对谐振频率确定装置、检查装置、谐振频率确定方法以及检查方法的实施方式，参照附图进行说明。

首先，针对作为检查装置的一个示例的图1中示出的检查装置1的结构进行说明。检查装置1构成为能够对MEMS反光镜元件(例如，图1、2中示出的MEMS反光镜元件100)是否合格进行检查。

在此，MEMS反光镜元件100是MEMS(Micro Electro Mechanical Systems:微机电系统)元件的一种形式，如图2所示，通过精细加工技术在基板103上设置反光镜101、驱动反光镜的致动器102、以及未图示的控制致动器的控制电路等来形成。在该情况下，MEMS反光镜元件100如该图示意性地所示，具有通过向其提供驱动用的交流信号(从后文阐述的信号输出部11输出的交流信号S1)使反光镜101转动，从而使射入的入射光L1(例如，激光)的反射光L2的偏转角θ发生变化的功能，例如用于将反射光L2照射到屏幕等上从而在屏幕上显示图像的显示装置等。

另一方面，如图1所示，检查装置1由信号输出部11、测定部12、操作部13、存储部14、显示部15以及处理部16构成。在该情况下，谐振频率确定装置由除了信号输出部11、测定部12、以及处理部16中执行后文阐述的检查处理功能之外的部分构成，利用该谐振频率确定装置将MEMS反光镜元件100中偏转角θ达到最大时的交流信号S1的频率f确定作为谐振频率(后文阐述的机械谐振频率fm)。

信号输出部11在处理部16的控制下，输出驱动用的交流信号S1(例如，交流恒定电流)。在该情况下，信号输出部11构成为能够一边改变交流信号S1的频率f(参照图3)一边进行输出。

测定部12在从信号输出部11输出的交流信号S1被提供给MEMS反光镜元件100的状态下，对从MEMS反光镜元件100输出的输出信号S2(交流电压)的电压值V(电压有效值)进行检测，基于交流信号S1的电流值I(电流有效值)、电压值V、以及交流信号S1和输出信号S2间的相位差来求出阻抗，接着，根据求得的阻抗的绝对值来求出(测定)电阻值R(预先决定的物理量的一个示例)。在该情况下，每当从信号输出部11输出的交流信号S1的频率f发生变化时，测定部12便对电阻值R进行测定(参照图3)。另外，在该检查装置1中，如图1所示，使与信号输出部11相连接的探针21a,21b、以及与测定部12相连接的探针22a,22b与MEMS反光镜元件100的2个端子相接触，从而根据四端子法对电阻值R进行测定。

操作部13包括各种的按钮、按键，在对这些按钮、按键进行操作时输出操作信号。

存储部14对由处理部16执行的确定处理50中所使用的修正值fc进行存储。在此，修正值fc是基于一边改变提供给合格品的MEMS反光镜元件100的交流信号S1的频率f一边实际测量得到的反射光L2的偏转角θ的实际测量值达到最大时的频率f(即机械谐振频率，以下也将该频率f称为“谐振频率fm”)和电阻值R达到极值(极小值或极大值)时的频率f(电学上的谐振频率，以下也将频率f称为“谐振频率fe”)而预先规定的。在该情况下，在该示例中，将谐振频率fm和谐振频率fe的差分值规定为修正值fc。另外，存储部14对确定处理50中确定的谐振频率fm进行存储。另外，存储部14对由处理部16执行的检查处理中所使用的基准范围fa进行存储。

显示部15在处理部16的控制下，对由处理部16执行的确定处理50中所确定的谐振频率fm、由处理部16执行的检查处理的结果进行显示。

处理部16根据从操作部13输出的操作信号来对信号输出部11、测定部12、存储部14以及显示部15进行控制的同时执行各种处理。具体而言，处理部16执行确定处理50(参照图4)，基于由测定部12测定的电阻值R确定谐振频率fm，该谐振频率fm是射入到MEMS反光镜元件100的反光镜101的入射光L1的反射光L2的偏转角θ达到最大时的交流信号S1的频率f。在该情况下，处理部16在确定处理50中，基于随着提供给MEMS反光镜元件100的交流信号S1的频率f的改变而发生变化的电阻值R达到极值(极小值或极大值)时的频率f，对谐振频率fm进行确定。另外，处理部16起到检查部的作用，执行检查处理，基于由确定处理50确定的谐振频率fm，检查MEMS反光镜元件100是否合格。

接着，参照附图，针对使用检查装置1来确定MEMS反光镜元件100的谐振频率fm的谐振频率确定方法、以及基于所确定的谐振频率fm对MEMS反光镜元件100是否合格进行检查的检查方法进行说明。

首先，使用检查装置1来确定检查对象的MEMS反光镜元件100的谐振频率fm(机械谐振频率)。具体而言，如图1所示，使MEMS反光镜元件100的2个端子分别与连接至信号输出部11的探针21a，21b、以及连接至测定部12的探针22a，22b相接触。接着，对操作部13进行操作并且指示执行确定处理。

接着，处理部16根据从操作部13输出的操作信号来执行图4中示出的确定处理50。该确定处理50中，处理部16指示信号输出部11开始输出交流信号S1，并且指示测定部12开始测定电阻值R(步骤51)。信号输出部11据此开始输出交流信号S1。在该情况下，信号输出部11将交流信号S1的频率f设定为预先决定的初始值，开始输出交流信号S1，并且一边以预先决定的时间间隔使频率f每次改变(例如增大)预先决定的值，一边持续输出交流信号S1。

另外，根据处理部16的指示，测定部12开始进行电阻值R的测定。在该情况下，测定部12与信号输出部11改变交流信号S1的频率f相连动地(以信号输出部11改变频率f的时间间隔)重复执行以下处理：检测随着向MEMS反光镜元件100提供交流信号S1(交流恒定电流)而从MEMS反光镜元件100输出的输出信号S2(交流电压)的电压值V(电压实际测量值)，并且基于交流信号S1的电流值I(电流实际测量值)、电压值V、以及交流信号S1和输出信号S2间的相位差来求出阻抗，然后根据求出的阻抗的绝对值对电阻值R进行测定。

接着，处理部16将由测定部12测定到的电阻值R与频率f相关联地存储至存储部14(步骤52)。接着，处理部16在预先决定的交流信号S1的频率f达到了预先决定的频率的时刻，对信号输出部11指示停止输出交流信号S1，并且对测定部12指示结束电阻值R的测定(步骤53)。信号输出部11据此停止输出交流信号S1，并且测定部12据此结束电阻值R的测定。

接着，处理部16从存储部14读取由测定部12测定的每个频率f的电阻值R，接着，根据针对频率f变化的电阻值R变化，来确定电阻值R达到极值(极大值或极小值)时的频率f(步骤54)。

在该情况下，在构成MEMS反光镜元件100的致动器102以及控制电路等构成RLC串联谐振电路时，如图3所示，向MEMS反光镜元件100提供的交流信号S1的频率f为谐振频率(电学上的谐振频率fe)时，电阻值R达到极小值。由此，在该情况下，能够将电阻值R达到极小值时的频率f确定为MEMS反光镜元件100的电学上的谐振频率fe。另外，在构成MEMS反光镜元件100的致动器102以及控制电路等构成RLC并联谐振电路时，如图5所示，向MEMS反光镜元件100提供的交流信号S1的频率f为谐振频率(电学上的谐振频率fe)时，电阻值R达到极大值。由此，在该情况下，能够将电阻值R达到极大值时的频率f确定为MEMS反光镜元件100的电学上的谐振频率fe。

接着，处理部16从存储部14读取修正值fc(步骤55)。在该示例中，修正值fc被规定为一边改变提供给合格品的MEMS反光镜元件100的交流信号S1的频率f一边实际测量到的反射光L2的偏转角θ的实际测量值达到最大时的频率f即机械谐振频率fm和电阻值R达到极值(极小值或极大值)时的频率f即电学上的谐振频率fe的差分值(例如，fe-fm)。

接着，处理部16将从谐振频率fe减去修正值fc得到的修正后的频率f(fe-fc)确定为谐振频率fm(步骤56)。接着，处理部16将所确定的谐振频率fm存储于存储部14并且显示在显示部15(步骤57)，从而结束确定处理50。由此，谐振频率fm的确定结束。

在此，发明人员发现，一边改变提供给MEMS反光镜元件100的交流信号S1的频率f一边对反射光L2的偏转角θ进行实际测量，来确定反射光L2的偏转角θ达到最大时的频率f即谐振频率fm(机械谐振频率),并且一边改变提供给MEMS反光镜元件100的交流信号S1的频率f一边对MEMS反光镜元件100的电阻值R进行测定，来确定电阻值R达到极值时的频率f即谐振频率fe(电学上的谐振频率),对谐振频率fm与谐振频率fe进行比较的验证实验的结果是谐振频率fm和谐振频率fe基本一致。为此，发明人员关注到这一点，开发了基于电学上的谐振频率fe(直接使用谐振频率fe，或者对谐振频率fe进行修正)来确定谐振频率fm的上述谐振频率确定装置以及谐振频率确定方法。

该情况下，在该谐振频率确定装置以及谐振频率确定方法中，无需使用包括输出入射光L1的光源、对反射光L2进行检测的检测部的大型装置来对反射光L2的偏转角θ进行实际测量的复杂作业，而是在提供了交流信号S1的状态下，基于由MEMS反光镜元件100输出的输出信号S2，测定电阻值R，利用这样简单的结构来确定电学上的谐振频率fe，并且基于该谐振频率fe能够容易地对机械谐振频率fm进行确定。另外，在该谐振频率确定装置以及谐振频率确定方法中，由于不使用光源，因此无需为了稳定来自光源的入射光L1的输出而进行待机，能够充分地缩短确定谐振频率fm的处理时间。

另外，在该谐振频率确定装置以及谐振频率确定方法中，利用基于对偏转角θ进行实际测量而获得的机械谐振频率fm和对MEMS反光镜元件100的电阻值R进行测定获得的电学上的谐振频率fe而预先规定的修正值fc，对谐振频率fe进行修正，能够更准确地确定谐振频率fm。

接着，对操作部13进行操作，发出执行检查的指示。据此，处理部16执行检查处理。在该检查处理中，处理部16从存储部14读取在确定处理50中所确定的检查对象的MEMS反光镜元件100的谐振频率fm，并且从存储部14读取用于判定MEMS反光镜元件100是否合格的基准范围fa。接着，处理部16判别谐振频率fm是否在基准范围fa内。在该情况下，当谐振频率fm在基准范围fa内时，判定MEMS反光镜元件100为合格品，当谐振频率fm在基准范围fa以外时，判定MEMS反光镜元件100为不合格品。

另外，所确定的谐振频率fm也能够用于上述的MEMS反光镜元件100检查以外的用途。具体而言，MEMS反光镜元件100能够在以谐振频率fm以外的频率f的交流信号S1进行驱动的线性模式、以及以谐振频率fm进行驱动的非线性模式下使用。为此，所确定的谐振频率fm也能够用于在这2个模式之间进行切换来驱动MEMS反光镜元件100驱动时对交流信号S1的频率f进行控制的情况。

由此，在该谐振频率确定装置、检查装置1、谐振频率确定方法以及检查方法中，一边改变频率f一边将交流信号S1提供给MEMS反光镜元件100的状态下，基于由MEMS反光镜元件100输出的输出信号S2来测定电阻值R，并且执行确定处理，基于随着频率f的改变而发生变化的电阻值R达到极值时的频率f，来确定谐振频率fm。为此，根据该谐振频率确定装置、检查装置1、谐振频率确定方法以及检查方法，无需使用包括输出入射光L1的光源、对反射光L2进行检测的检测部的大型装置来对反射光L2的偏转角θ进行实际测量的复杂作业，而是在提供了交流信号S1的状态下，基于由MEMS反光镜元件100输出的输出信号S2来测定电阻值R，利用这样简单的结构来确定电学上的谐振频率fe，并且基于该谐振频率fe能够容易地确定机械谐振频率fm。另外，在该谐振频率确定装置、检查装置1、谐振频率确定方法以及检查方法中，由于不使用光源，因此无需为了稳定来自光源的入射光L1的输出而待机，从而能够充分地缩短确定谐振频率fm的处理时间。由此，根据该谐振频率确定装置、检查装置1、谐振频率确定方法以及检查方法，能够可靠地实现装置的小型化以及提高确定谐振频率fm的作业的作业效率。

另外，根据本发明的谐振频率确定装置、检查装置1、谐振频率确定方法以及检查方法，在确定处理中，利用基于MEMS反光镜元件100中的偏转角θ的实际测量值达到最大时的频率f(机械谐振频率fm)和电阻值R达到极值时的频率f(电学上的谐振频率fe)而预先规定的修正值fc，对电阻值R达到极值时的频率f进行修正，并将修正后的频率f确定作为谐振频率fm，从而能够更加准确地确定谐振频率fm。

另外，谐振频率确定装置、检查装置、谐振频率确定方法以及检查方法不限于上述的结构以及方法。例如，上述是使用电阻值R作为预先决定的物理量的示例，但是也能够采用使用由测定部12检测到的输出信号S2的电压值V作为预先决定的物理量，并且基于随着频率f的改变而发生变化的电压值V达到极值时的频率f，来确定谐振频率fm的结构以及方法。

另外，上述是构成为能够输出作为交流信号S1的交流恒定电流的信号输出部11的示例，但是也可由输出作为交流信号S1的交流电流(不是交流恒定电流，而是通常的交流电流)的电流输出部、以及测定该交流电流的电流值I的电流测定部来构成信号输出部11。

另外，上述是将合格品的MEMS反光镜元件100的谐振频率fm和谐振频率fe的差分值(fe-fm)规定为修正值fc，并且将从谐振频率fe减去修正值fc后得到的修正后的频率f(fe-fc)确定为谐振频率fm的示例，但也能够采用将谐振频率fm和谐振频率fe的比例(fm/fe)规定为修正值值fc，并且将谐振频率fe与修正值fc相乘后得到的修正后的频率f(fe×fc)确定为谐振频率fm的结构以及方法。

另外，上述是利用修正值fc对谐振频率fe进行修正，并且将修正后的频率f确定为谐振频率fm的结构以及方法，但是在对已知谐振频率fm和谐振频率fe之差很小的MEMS反光镜元件100的谐振频率fm进行确定时，也可以采用省略修正处理而直接将谐振频率fe确定为谐振频率fm的结构以及方法。

标号说明

1 检查装置

11 信号输出部

12 测定部

14 存储部

16 处理部

100 MEMS反光镜元件

101 反光镜

f 频率

fc 修正值

fe 谐振频率

fm 谐振频率

L2 反射光

R 电阻值

S1 交流信号

S2 输出信号

V 电压值

θ 偏转角。

Claims (6)

1.一种谐振频率确定装置，构成为能够确定MEMS反光镜元件中的谐振频率，通过向该MEMS反光镜元件提供驱动用的交流信号，使反光镜进行转动，从而使反射光的偏转角发生变化，所述谐振频率是该偏转角达到最大时的该交流信号的频率，

所述谐振频率确定装置的特征在于，包括：

信号输出部，该信号输出部能够一边改变所述频率一边输出所述交流信号；

测定部，该测定部在所述交流信号被提供给所述MEMS反光镜元件的状态下，基于由该MEMS反光镜元件输出的输出信号，来测定预先决定的物理量；以及

处理部，该处理部执行确定处理，基于随着所述频率的改变而发生变化的所述物理量达到极值时的该频率，对所述谐振频率进行确定。

2.如权利要求1所述的谐振频率确定装置，其特征在于，

还包括存储修正值的存储部，该修正值基于所述MEMS反光镜元件中的所述偏转角的实际测量值达到最大时的所述频率和所述物理量达到极值时的所述频率而预先规定，

所述处理部在所述确定处理中，利用所述修正值对所述物理量达到极值时的所述频率进行修正，并且将该修正后的频率确定为所述谐振频率。

3.一种检查装置，其特征在于，包括：

如权利要求1或2所述的谐振频率确定装置；以及

检查部，该检查部基于由该谐振频率确定装置所确定的所述谐振频率，对所述MEMS反光镜元件是否合格进行检查。

4.一种谐振频率确定方法，确定MEMS反光镜元件中的谐振频率，通过向所述MEMS反光镜元件提供驱动用的交流信号,使反光镜进行转动，从而使反射光的偏转角发生变化，所述谐振频率是该偏转角达到最大时的该交流信号的频率，

所述谐振频率确定方法的特征在于，

在一边改变所述频率一边将所述交流信号提供给所述MEMS反光镜元件的状态下，基于由该MEMS反光镜元件输出的输出信号来测定预先决定的物理量，并且执行确定处理，基于随着所述频率的改变而发生变化的所述物理量达到极值时的该频率，对所述谐振频率进行确定。

5.如权利要求4所述的谐振频率确定方法，其特征在于，

在所述确定处理中，利用基于所述MEMS反光镜元件中的所述偏转角的实际测量值达到最大时的所述频率和所述物理量达到极值时的所述频率而预先规定的修正值，对该物理量达到极值时的该频率进行修正，并且将该修正后的频率确定为所述谐振频率。

6.一种检查方法，其特征在于，

基于由权利要求4或5所述的谐振频率确定方法所确定的所述谐振频率，对所述MEMS反光镜元件是否合格进行检查。

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