CN111206211A - 一种真空等离子镀膜平台 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及真空等离子镀膜技术领域，尤其涉及一种真空等离子镀膜平台，解决现有技术中存在的需要单独进行清洗烘干，而后再进行镀膜室的镀膜作业，增加了工作的步骤，降低了工作的效率的缺点，包括支撑柱及镀膜箱，所述支撑柱的顶端设有作业平台，且作业平台上设置有作业架，所述作业架的顶端焊接有承载板，且承载板上设置有蓄水池，所述蓄水池的底部设置有清洁喷淋头，所述承载板的一端焊接有安装板，本发明通过蓄水池及清洁喷淋头可直接在滤板上对基体进行清洁，同时可通过一侧的伺服电机进行烘干作业，镀膜的前处理方便简单，且清洁水可通过水泵进行重复利用，节省了能源。

Description

一种真空等离子镀膜平台
技术领域
本发明涉及真空等离子镀膜技术领域，尤其涉及一种真空等离子镀膜平台。
背景技术
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等。
在镀膜时，将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室，抽空后将膜料加热到高温，使蒸气达到约13.3Pa而使蒸气分子飞到基体表面，凝结而成薄膜。而如今的真空等离子镀膜，需要单独进行清洗烘干，而后再进行镀膜室的镀膜作业，增加了工作的步骤，降低了工作的效率。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的需要单独进行清洗烘干，而后再进行镀膜室的镀膜作业，增加了工作的步骤，降低了工作的效率的缺点，而提出的一种真空等离子镀膜平台。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
一种真空等离子镀膜平台，包括支撑柱及镀膜箱，所述支撑柱的顶端设有作业平台，且作业平台上设置有作业架，所述作业架的顶端焊接有承载板，且承载板上设置有蓄水池，所述蓄水池的底部设置有清洁喷淋头，所述承载板的一端焊接有安装板，且安装板上通过螺栓固定设置有伺服电机，伺服电机的输出端键连接有驱动轴，驱动轴的末端安装有扇叶，所述安装板的一侧焊接有防护板，所述作业架上设置有滤板，所述作业平台上设置有回收池，且回收池位于所述滤板的底部，作业平台的一侧设置有镀膜箱，所述作业平台上设有水泵，且水泵的一侧连通有进水管，水泵的另一侧连通有出水管，所述进水管的一端位于所述回收池的内部，所述出水管的一端位于所述蓄水池的内部。
优选的，所述清洁喷淋头的一端位于所述蓄水池的内部，且清洁喷淋头的另一端位于所述承载板的底部，清洁喷淋头的底部开设有3个喷淋口。
优选的，所述滤板位于所述清洁喷淋头的底部，且滤板上开设有滤孔。
优选的，所述进水管上设置有第一限位块，且第一限位块位于所述回收池的内部，所述出水管上设置有第二限位块，且第二限位块位于所述蓄水池的内部。
优选的，所述防护板为倾斜设置，且防护板的倾斜角度为30-45°。
优选的，所述作业架上开设有辅助槽孔，且所述进水管的一端穿过所述辅助槽孔延伸至所述回收池的内部。
本发明的有益效果是：
1、本发明在作业平台上设有作业架，作业架上设置有承载板，并在承载板上设有蓄水池，在工作时，可将基体放置在滤板上，而后通过蓄水池，进一步经过清洁喷淋头进行喷淋清洗，清洁水在滤板上清洁过后，会直接落入到回收池内，留待回收再次使用。
2、本发明在承载板的一侧设有安装板，其上设有伺服电机，伺服电机输出端设有扇叶，在清洁基体完毕后，可通过伺服电机带动扇叶进行干燥作业，且安装板的一侧设有防护板，避免伺服电机及扇叶被清洁喷淋头影响。
综上所述，通过蓄水池及清洁喷淋头可直接在滤板上对基体进行清洁，同时可通过一侧的伺服电机进行烘干作业，镀膜的前处理方便简单，且清洁水可通过水泵进行重复利用，节省了能源。
附图说明
图1为本发明提出的一种真空等离子镀膜平台的结构示意图；
图2为本发明提出的一种真空等离子镀膜平台的侧面结构示意图；
图3为本发明提出的一种真空等离子镀膜平台的A处的结构示意图。
图中：1支撑柱、2作业平台、3作业架、4蓄水池、5清洁喷淋头、6承载板、7滤板、8回收池、9镀膜箱、10水泵、101进水管、102出水管、11防护板、12安装板、121伺服电机、122驱动轴、123扇叶。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-3，一种真空等离子镀膜平台，包括支撑柱1及镀膜箱9，支撑柱1的顶端焊接有作业平台2，且作业平台2上通过螺丝固定有作业架3，作业架3的顶端焊接有承载板6，且承载板6上设置有蓄水池4，蓄水池4的底部设置有清洁喷淋头5，承载板6的一端焊接有安装板12，且安装板12上通过螺栓固定设置有伺服电机121，伺服电机121的输出端键连接有驱动轴122，驱动轴122的末端安装有扇叶123，安装板12的一侧焊接有防护板11，作业架3上设置有滤板7，作业平台2上设置有回收池8，且回收池8位于滤板7的底部，作业平台2的一侧设置有镀膜箱9，作业平台2上设有水泵10，且水泵10的一侧连通有进水管101，水泵10的另一侧连通有出水管102，进水管101的一端位于回收池8的内部，出水管102的一端位于蓄水池4的内部。
本实施例中，清洁喷淋头5的一端位于蓄水池4的内部，且清洁喷淋头5的另一端位于承载板6的底部，清洁喷淋头5的底部开设有3个喷淋口，滤板7位于清洁喷淋头5的底部，且滤板7上开设有滤孔，进水管101上设置有第一限位块，且第一限位块位于回收池8的内部，出水管102上设置有第二限位块，且第二限位块位于蓄水池4的内部，防护板11为倾斜设置，且防护板11的倾斜角度为30-45°，作业架3上开设有辅助槽孔，且进水管101的一端穿过辅助槽孔延伸至回收池8的内部。
本实施例中，在作业平台2上设有作业架3，作业架3上设置有承载板6，并在承载板6上设有蓄水池4，在工作时，可将基体放置在滤板7上，而后通过蓄水池4，进一步经过清洁喷淋头5进行喷淋清洗，清洁水在滤板7上清洁过后，会直接落入到回收池8内，留待回收再次使用。
此外，在承载板6的一侧设有安装板12，其上设有伺服电机121，伺服电机121输出端设有扇叶123，在清洁基体完毕后，可通过伺服电机121带动扇叶123进行干燥作业，且安装板12的一侧设有防护板11，避免伺服电机121及扇叶123被清洁喷淋头影响。
进一步的，伺服电机121及水泵10均通过外接电源进行供电，且通过水泵10可将回收池8内的水资源通入蓄水池4内，进行水资源的循环利用，待基体在作业平台2上进行清洁预处理后，可将基体置入镀膜箱9内进行镀膜作业。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种真空等离子镀膜平台，包括支撑柱(1)及镀膜箱(9)，其特征在于，所述支撑柱(1)的顶端设有作业平台(2)，且作业平台(2)上设置有作业架(3)，所述作业架(3)的顶端焊接有承载板(6)，且承载板(6)上设置有蓄水池(4)，所述蓄水池(4)的底部设置有清洁喷淋头(5)，所述承载板(6)的一端焊接有安装板(12)，且安装板(12)上通过螺栓固定设置有伺服电机(121)，伺服电机(121)的输出端键连接有驱动轴(122)，驱动轴(122)的末端安装有扇叶(123)，所述安装板(12)的一侧焊接有防护板(11)，所述作业架(3)上设置有滤板(7)，所述作业平台(2)上设置有回收池(8)，且回收池(8)位于所述滤板(7)的底部，作业平台(2)的一侧设置有镀膜箱(9)，所述作业平台(2)上设有水泵(10)，且水泵(10)的一侧连通有进水管(101)，水泵(10)的另一侧连通有出水管(102)，所述进水管(101)的一端位于所述回收池(8)的内部，所述出水管(102)的一端位于所述蓄水池(4)的内部。
2.根据权利要求1所述的一种真空等离子镀膜平台，其特征在于，所述清洁喷淋头(5)的一端位于所述蓄水池(4)的内部，且清洁喷淋头(5)的另一端位于所述承载板(6)的底部，清洁喷淋头(5)的底部开设有3个喷淋口。
3.根据权利要求1所述的一种真空等离子镀膜平台，其特征在于，所述滤板(7)位于所述清洁喷淋头(5)的底部，且滤板(7)上开设有滤孔。
4.根据权利要求1所述的一种真空等离子镀膜平台，其特征在于，所述进水管(101)上设置有第一限位块，且第一限位块位于所述回收池(8)的内部，所述出水管(102)上设置有第二限位块，且第二限位块位于所述蓄水池(4)的内部。
5.根据权利要求1所述的一种真空等离子镀膜平台，其特征在于，所述防护板(11)为倾斜设置，且防护板(11)的倾斜角度为30-45°。
6.根据权利要求1所述的一种真空等离子镀膜平台，其特征在于，所述作业架(3)上开设有辅助槽孔，且所述进水管(101)的一端穿过所述辅助槽孔延伸至所述回收池(8)的内部。
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