CN111204702B - 一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法 - Google Patents

一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111204702B
CN111204702B CN201910627855.XA CN201910627855A CN111204702B CN 111204702 B CN111204702 B CN 111204702B CN 201910627855 A CN201910627855 A CN 201910627855A CN 111204702 B CN111204702 B CN 111204702B
Authority
CN
China
Prior art keywords
copper sheet
selectively
silver
nano
photoresist
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201910627855.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN111204702A (zh
Inventor
王建均
何志伟
梁立军
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhejiang Jingzhu Environmental Protection Technology Co ltd
Original Assignee
Zhejiang Jingzhu Environmental Protection Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zhejiang Jingzhu Environmental Protection Technology Co ltd filed Critical Zhejiang Jingzhu Environmental Protection Technology Co ltd
Priority to CN201910627855.XA priority Critical patent/CN111204702B/zh
Publication of CN111204702A publication Critical patent/CN111204702A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111204702B publication Critical patent/CN111204702B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • B81C1/00015Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
    • B81C1/00023Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems without movable or flexible elements
    • B81C1/00031Regular or irregular arrays of nanoscale structures, e.g. etch mask layer
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • B81C1/00349Creating layers of material on a substrate
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y40/00Manufacture or treatment of nanostructures

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Abstract

本发明提供一种简易、降低成本的铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法,本发明将利用简易法来实现在铜片表面不同区域选择性可控制备纳米银结构,即前期用于制备纳米银的模板将利用惰性气体保护的情况下高温碳化来实现。这种方法打破了昂贵仪器的使用,在一般实验室都能够实现。

Description

一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法
技术领域
本发明涉及一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法。
背景技术
在铜片表面生长纳米银可以通过将铜片置于在不同浓度的硝酸银溶液中得到,然而在铜片表面不同区域选择性可控制备纳米银结构具有一定挑战性。目前为止,此类研究较少。在2015年,发明人在博士期间,在CrystEngComm期刊(He et al.,CrystEngComm,2015,17(38),7262-7269)发表过纳米银在铜片表面不同区域的选择性生长。这种方法需要用到比较先进的仪器设备如化学辅助离子束刻蚀(CAIBE,chemically assisted ion beametching),成本比较高,一般不容易实现。
首先,铜片表面进行光刻胶的旋涂,利用特定的光刻模板,制备想要的微米结构;其次,利用氩气离子束进行刻蚀,获得想要的前期模板来可控制备纳米银结构。氩气离子束刻蚀的目的就是把光刻胶碳化,使其成为一层炭,来保护铜表面,实现纳米银在铜片不同区域的选择性生长。
这种方法的缺点就是需要使用昂贵的化学辅助离子束刻蚀(CAIBE,chemicallyassisted ion beam etching)来制备实现纳米银生长的前期模板。
发明内容
本发明的目的在于为了解决在铜片表面不同区域选择性可控制备纳米银结构需要使用昂贵的化学辅助离子束刻蚀来制备实现纳米银生长的前期模板的缺陷而提供一种简易、降低成本的铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法。
为了实现上述目的,本发明采用以下技术方案:
一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法,在铜片表面旋涂光刻胶后曝光,然后在惰性气体保护下进行碳化,碳化后的铜片浸入硝酸银溶液中使得纳米银在铜片表面选择性生长。
本发明关键点在于不需要使用昂贵的化学辅助离子束刻蚀设备来实现实现微纳米结构银在铜片不同区域的选择性生长。欲保护点是利用惰性气体保护实现铜片上面的碳化层,通过改变惰性气体流量和不同的碳化温度来实现(200-1000度)。这种结构的微纳米银能够起到一定的杀菌作用和疏水作用(水在此表面的接触角为135度左右)。
作为优选,所述惰性气体为氩气。
作为优选,惰性气体的流量为20-200sccm。
作为优选,光刻胶的旋涂速度为1000-6000rpm,光刻胶厚度为5-15微米。
作为优选,碳化的温度为200-1000℃。
作为优选,硝酸银溶液的浓度为0.01-0.05mol/L。
作为优选,浸入硝酸银溶液的时间为5-300s。
本发明的有益效果是本发明将利用简易法来实现在铜片表面不同区域选择性可控制备纳米银结构,即前期用于制备纳米银的模板将利用惰性气体保护的情况下高温碳化来实现。这种方法打破了昂贵仪器的使用,在一般实验室都能够实现。
附图说明
图1是本发明的流程图。
图2是铜片在硝酸银溶液中反应时间为5秒到1分钟之间的SEM表征图。
图3是铜片在硝酸银溶液中反应时间为0.5-2分钟之间的SEM表征图。
图4是铜片在硝酸银溶液中反应时间为1-5分钟之间的EDS表征图。
图5是图4中A处的EDS表征图。
具体实施方式
以下结合具体实施例与附图,对本发明做进一步的解释:
实施例1
参照图1,一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法,在铜片表面旋涂光刻胶后曝光,光刻胶的旋涂速度为1000rpm,光刻胶厚度为5微米,曝光时间由光刻胶厚度决定;曝光后,铜片表面形成了微米结构的光刻胶;然后在流量为20sccm的氩气保护下进行碳化,碳化的温度为1000℃;此时,铜片表面形成微米结构炭层;碳化后的铜片浸入硝酸银溶液中使得纳米银在铜片表面选择性生长;硝酸银溶液的浓度为0.05mol/L,浸入硝酸银溶液的时间为5-300s。
参见图2、图3、图4与图5,其中图5中Cu区域的微纳米结构银通过EDS(X射线能谱分析)表征,证实铜片表面被一层炭给保护起来,没有被炭保护的铜片表面能和硝酸银溶液起反应,实现微纳米结构银在铜片不同区域的选择性生长。
此外,这种结构的微纳米银能够起到一定的杀菌作用和疏水作用(水在此表面的接触角为135度左右)。本发明将利用简易法来实现在铜片表面不同区域选择性可控制备纳米银结构,即前期用于制备纳米银的模板将利用惰性气体保护的情况下高温碳化来实现。这种方法打破了昂贵仪器的使用,在一般实验室都能够实现。
实施例2
参照图1,一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法,在铜片表面旋涂光刻胶后曝光,光刻胶的旋涂速度为4000rpm,光刻胶厚度为10微米,曝光时间由光刻胶厚度决定;曝光后,铜片表面形成了微米结构的光刻胶;然后在流量为120sccm的氩气保护下进行碳化,碳化的温度为800℃;此时,铜片表面形成微米结构炭层;碳化后的铜片浸入硝酸银溶液中使得纳米银在铜片表面选择性生长;硝酸银溶液的浓度为0.02mol/L,浸入硝酸银溶液的时间为5-300s。
实施例3
参照图1,一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法,在铜片表面旋涂光刻胶后曝光,光刻胶的旋涂速度为6000rpm,光刻胶厚度为15微米,曝光时间由光刻胶厚度决定;曝光后,铜片表面形成了微米结构的光刻胶;然后在流量为200sccm的氩气保护下进行碳化,碳化的温度为200℃;此时,铜片表面形成微米结构炭层;碳化后的铜片浸入硝酸银溶液中使得纳米银在铜片表面选择性生长;硝酸银溶液的浓度为0.01mol/L,浸入硝酸银溶液的时间为5-300s。

Claims (7)

1.一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法,其特征在于,在铜片表面旋涂光刻胶后曝光,然后在惰性气体保护下进行碳化,碳化后的铜片浸入硝酸银溶液中使得纳米银在铜片表面选择性生长。
2.根据权利要求1所述的一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法,其特征在于,所述惰性气体为氩气。
3.根据权利要求1或2所述的一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法,其特征在于,惰性气体的流量为20-200sccm。
4.根据权利要求1所述的一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法,其特征在于,光刻胶的旋涂速度为1000-6000rpm,光刻胶厚度为5-15微米。
5.根据权利要求1所述的一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法,其特征在于,碳化的温度为200-1000℃。
6.根据权利要求1所述的一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法,其特征在于,硝酸银溶液的浓度为0.01-0.05mol/L。
7.根据权利要求1所述的一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法,其特征在于,浸入硝酸银溶液的时间为5-300s。
CN201910627855.XA 2019-07-11 2019-07-11 一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法 Active CN111204702B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910627855.XA CN111204702B (zh) 2019-07-11 2019-07-11 一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910627855.XA CN111204702B (zh) 2019-07-11 2019-07-11 一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111204702A CN111204702A (zh) 2020-05-29
CN111204702B true CN111204702B (zh) 2023-03-28

Family

ID=70780343

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910627855.XA Active CN111204702B (zh) 2019-07-11 2019-07-11 一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111204702B (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103406248A (zh) * 2013-08-26 2013-11-27 武汉理工大学 铜基超疏水表面结构的制备方法
CN103448316A (zh) * 2013-08-07 2013-12-18 许昌学院 一种具有低摩擦系数的铜基超疏水复合薄膜及其制备方法
CN105084306A (zh) * 2015-07-30 2015-11-25 西北大学 一种大面积片状微纳复合结构的可控制备方法
CN105758907A (zh) * 2014-12-18 2016-07-13 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种用于重金属离子检测的碳纳米线微阵列电极制备方法
KR20170126413A (ko) * 2016-05-09 2017-11-17 서울대학교산학협력단 은 입자를 포함하는 구리-탄소 나노섬유, 그 제조 방법 및 그를 포함하는 투명전극

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107973268B (zh) * 2017-12-15 2018-11-06 广东工业大学 一种纳米及微米孔的加工方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103448316A (zh) * 2013-08-07 2013-12-18 许昌学院 一种具有低摩擦系数的铜基超疏水复合薄膜及其制备方法
CN103406248A (zh) * 2013-08-26 2013-11-27 武汉理工大学 铜基超疏水表面结构的制备方法
CN105758907A (zh) * 2014-12-18 2016-07-13 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种用于重金属离子检测的碳纳米线微阵列电极制备方法
CN105084306A (zh) * 2015-07-30 2015-11-25 西北大学 一种大面积片状微纳复合结构的可控制备方法
KR20170126413A (ko) * 2016-05-09 2017-11-17 서울대학교산학협력단 은 입자를 포함하는 구리-탄소 나노섬유, 그 제조 방법 및 그를 포함하는 투명전극

Also Published As

Publication number Publication date
CN111204702A (zh) 2020-05-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5424638B2 (ja) SiO2中のナノ結晶ケイ素および独立ケイ素ナノ粒子の調製方法
WO2010138635A3 (en) Thin films for photovoltaic cells
CN109824046B (zh) 一种制备Janus结构的悬空石墨烯支撑膜的方法
US9850571B2 (en) Method for preparing graphene
Lin et al. Photoluminescence origins of the porous silicon nanowire arrays
KR101067085B1 (ko) 무촉매 그래핀 성장 방법
Li et al. CuO‐In2O3Core‐Shell Nanowire Based Chemical Gas Sensors
CN104176734A (zh) 掺氮石墨烯的制备方法
US20200101424A1 (en) Method for perforating carbon nanomaterial, and method for producing filter molded article
CN111204702B (zh) 一种铜片表面选择性可控制备纳米银结构的方法
CN109811328B (zh) 一种掺硼金刚石薄膜的制备方法
CN101956178A (zh) 一种硼掺杂纳米金刚石薄膜及制备方法
CN102676975B (zh) 一种纳米氧化锌薄膜及氧化锌/氧化铜半导体材料的制备方法
Yasseri et al. Growth and use of metal nanocrystal assemblies on high-density silicon nanowires formed by chemical vapor deposition
Kalia et al. Low energy Ag ion irradiation-induced surface modification studies of Au-graphene oxide nanocomposite thin films
WO2019105152A1 (zh) 一种高效cis/cigs太阳能电池的制备方法
Yamada et al. Effect of epitaxial growth of gold nanoparticles on Si substrates on adhesion of electrolessly deposited metal films
TWI682897B (zh) 過濾器成形體的製造方法
Raji et al. Novel chemical texturizing process in Boron–doped As-cut multi-crystalline silicon wafer for increasing the optical properties
Šiller et al. Gold nitride: preparation and properties
CN101819999A (zh) 一种用于横向诱导晶化低温多晶硅薄膜的多层膜结构
CN116854024B (zh) 一种基于硅片的单个或多个纳米级孔道的制备方法
CN111965158A (zh) 多孔硅-金枝晶复合结构的单步快速制备方法
Zhang Effects of post-annealing treatment on the structure and photoluminescence properties of CdS/PS nanocomposites prepared by sol-gel method
Imaizumi et al. Oxygen-induced reduction of the graphitization temperature of SiC surface

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant