CN111148599B - 研磨工具组合件及其使用方法和研磨工具致动器插入件 - Google Patents

Abstract

一种研磨工具组合件，其包含安装工具和插入于致动器与所述安装工具之间的插入件结构，其中所述插入件包含插入销，所述插入销与所述致动器反应性地耦合，使得每一插入销配置成从对应致动器接收平移力，并将所述力传输到所述安装工具的对应致动销。所述插入件可以包含零z轴移位挠曲件系统，和/或z轴去耦挠曲件系统和/或对准特征，以用于将所述致动力准确地传输到所述安装工具，同时抑制对所述安装工具的其它部分的影响。

Description

研磨工具组合件及其使用方法和研磨工具致动器插入件

技术领域

本发明的实施例通常可以涉及磁记录装置，且更特定来说，涉及控制长形条内的元件条高和楔角。

背景技术

硬盘驱动器(HDD)是非易失性存储装置，其容纳在保护性罩壳中，且将数字编码的数据存储在具有磁性表面的一个或多个圆盘上。当HDD在操作中时，每一磁记录盘都由主轴系统快速地旋转。使用由致动器定位在磁盘的特定位置上方的读写头从磁记录盘读取数据，并将数据写入到磁记录盘。读写头使用磁场以从磁记录盘的表面读取数据并将数据写入到所述表面。写头利用流过线圈的电力，其产生磁场。电脉冲以正负电流的不同模式发送到写头。写头的线圈中的电流跨越磁头与磁盘之间的间隙诱发磁场，所述磁场继而使记录介质上的较小区域磁化。

大批量磁性薄膜磁头滑块制造涉及在离散材料去除步骤中执行的高精度减材机械加工。滑块处理以由40,000或更多个装置组成的完整薄膜磁头晶片开始，且在所有装置被个体化且满足众多严格的规格时完成。每一个别装置最终都变成用于在自旋的磁盘上飞行的读写头(例如，垂直磁记录(PMR)头)。

增大面积密度(可以存储在磁盘表面的给定区域上的信息位数量的度量)是硬盘驱动器设计演进的一个始终存在的目标，且已带来减少记录一位信息所需的磁盘区域的各种手段的必要发展和实施。通常借助于机械加工和研磨来精确控制读头元件和写头元件的临界尺寸，并且这是制造的必要条件。继续重要的是磁头的读取和写入部分相对于彼此对准。为了获得最佳的产量、性能和稳定性，需要对读取器和/或写入器元件进行精确的尺寸控制。

例如，关于磁芯宽度(MCW)(以及磁擦除宽度(MEW)、磁写入宽度(MWW)、磁干扰宽度(MIW)和其它相关磁芯度量)的工艺改进将有益于面积密度，因为MCW有效地确定由写头记录的磁位宽度。此外，总体MCW西格玛(sigma)的单个最大贡献因素通常是“长形条内”西格玛。即使发展了制造工艺以产生具有尽可能接近系统所需MCW的MCW的读写头，但一些薄膜和其它制造工艺(例如，光刻、蚀刻、粗研磨、材料弹性等)经历的固有变化仍会使制造的每一读写头要实现所需MCW相当具有挑战性。

在这部分中描述的任何方法是可以实行的方法，但不一定在先前就已经想到或实行。因此，除非另外指示，否则不应假设在这部分中描述的任一方法仅凭借它们包含在这部分中就能够作为现有技术。

附图说明

在附图的图式中，借助于实例而非借助于限制示出实施例，且在附图中，相同附图标记指类似元件，且在附图中：

图1为示出根据实施例的硬盘驱动器(HDD)的平面图；

图2为示出根据实施例的处于各种处理阶段的磁头滑块晶片的分解透视图；

图2A为示出根据实施例的读写换能器的透视图；

图3为示出楔角研磨(WAL)过程的图式；

图4A、4B为示出刚性粘合剂WA研磨过程的图式；

图5为示出根据实施例的研磨工具的底侧透视图；

图6为示出根据实施例的图5的研磨工具的底部前透视图；

图7为示出根据实施例的图5到6的研磨工具的横截面侧视图；

图7A为示出根据实施例的图7的研磨工具的夹具的横截面侧视图；

图8为示出根据实施例的用于研磨磁头滑块的长形条的方法的流程图；

图9A、9B为示出根据实施例的“软性”粘合剂WA研磨过程的图式；

图10A为示出根据实施例的研磨安装工具的前侧透视图；

图10B为示出根据实施例的图10A的研磨安装工具的前顶部透视图；

图10C为示出根据实施例的图10A的研磨安装工具的底侧透视图；

图11为示出根据实施例的图10A到10C的研磨安装工具的横截面侧视图；

图12A为示出根据实施例的研磨工具组合件的一部分的分解顶侧透视图；

图12B为示出根据实施例的图12A的研磨工具组合件的一部分的顶侧透视图；

图13A为示出根据实施例的研磨工具组合件的一部分的分解前侧透视图；

图13B为示出根据实施例的图13A的研磨工具组合件的一部分的分解侧透视图；

图14为示出根据实施例的用于研磨磁头滑块的长形条的方法的流程图；

图15A为示出根据实施例的包含致动器倾斜插入件的研磨工具组合件的侧透视图；

图15B为示出根据实施例的图15A的研磨工具组合件的一部分的侧透视图；

图16为根据实施例的图15A的致动器倾斜插入件的横截面侧视图；

图17为根据实施例的图15A的研磨工具组合件的横截面侧视图；

图18为根据实施例的图15A的致动器倾斜插入件的预对准器的侧透视图；且

图19为示出根据实施例的用于将致动力施加到研磨安装工具以用于研磨磁传感器装置的长形条的方法的流程图。

具体实施方式

描述用以利用研磨工具组合件研磨磁传感器的长形条的方法。在以下描述中，出于解释的目的，阐述众多特定细节以便提供对本文中所描述的本发明的实施例的透彻理解。然而，很明显，本文中所描述的本发明的实施例可以在无这些特定细节的情况下进行实践。在其它情况下，以框图形式展示熟知结构和装置以免不必要地混淆本文中所描述的本发明的实施例。

说明性操作环境的物理描述

实施例可以在用于例如硬盘驱动器(HDD)的数字数据存储装置的读写头的背景中使用。因此，根据实施例，图1中展示示出HDD 100的平面图以示出示例性操作背景。

图1示出包含滑块110b的HDD 100的组件的功能布置，所述滑块包含磁性读写头110a。滑块110b和磁头110a可以统称为磁头滑块。HDD 100包含至少一个磁头万向架组合件(HGA)110，其包含磁头滑块、通常经由挠曲件附接到磁头滑块的引线悬架110c，和附接到引线悬架110c的负载杆110d。HDD 100还包含可旋转地安装在主轴124上的至少一个记录介质120，和用于旋转介质120的附接到主轴124的驱动电机(不可见)。也可以称为换能器的读写头110a包含分别用于写入和读取HDD 100的介质120上存储的信息的写入元件和读取元件。介质120或多个磁盘介质可以通过磁盘夹128附连到主轴124。

HDD 100进一步包含附接到HGA 110的臂132、托架134、包含电枢136和定子144的音圈电机(VCM)，所述电枢包含附接到托架134的音圈140，所述定子包含音圈磁体(不可见)。VCM的电枢136附接到托架134，且配置成移动臂132和HGA 110以存取介质120的各部分，所有组件都通过插入的枢转支承组合件152共同安装在枢转轴148上。在HDD具有多个磁盘的情况下，托架134可以被称为“E块”或梳状物，因为托架被布置成承载使其具有梳状外观的联动臂阵列。

包括包含耦合到磁头滑块的挠曲件的磁头万向架组合件(例如，HGA 110)、耦合到挠曲件的致动器臂(例如，臂132)和/或负载杆，和耦合到致动器臂的致动器(例如，VCM)的组合件可以被统称为磁头堆组合件(HSA)。然而，HSA可以包含比描述的那些多或少的组件。例如，HSA可以指进一步包含电互连组件的组合件。通常，HSA为配置成移动磁头滑块以存取介质120的各部分来进行读取和写入操作的组合件。

进一步参考图1，包括到磁头110a的写入信号和来自所述磁头110a的读取信号的电信号(例如，到VCM的音圈140的电流)由挠性电缆组合件(FCA)156(或“挠性电缆”)传输。挠性电缆156与磁头110a之间的互连可以包含臂电子装置(AE)模块160，此模块可以具有用于读取信号的机载预放大器，以及其它读取通道和写入通道电子组件。AE模块160可以附接到托架134，如所示。挠性电缆156可以耦合到电连接器块164，在一些配置中，其通过由HDD壳体168提供的电导孔提供电通信。HDD壳体168(或“罩壳底座”或简称为“底座”)结合HDD封盖为HDD 100的信息存储组件提供半密封式(或在一些配置中为气密密封式)保护性罩壳。

包含磁盘控制器和包含数字信号处理器(DSP)的伺服电子装置的其它电子组件将电信号提供到驱动电机、VCM的音圈140和HGA 110的磁头110a。提供到驱动电机的电信号使得驱动电机能够自旋，从而向主轴124提供扭矩，所述扭矩又被传输到附连到主轴124的介质120。结果，介质120在方向172上自旋。自旋的介质120产生充当空气支承的气垫，滑块110b的空气支承表面(ABS)在气垫上运动，从而使得滑块110b在介质120的表面上方飞行，而不会接触其中记录信息的薄磁记录层。类似地，在利用比空气轻的气体(例如对于非限制性实例，氦气)的HDD中，自旋的介质120产生气垫，其充当滑块110b在上面运动的气体或流体支承。

提供到VCM的音圈140的电信号使得HGA 110的磁头110a能够存取上面记录有信息的磁道176。因此，VCM的电枢136通过弧线180摆动，这使得HGA 110的磁头110a能够存取介质120上的各种磁道。信息被存储在介质120上的多个径向嵌套的磁道中，所述磁道以例如扇区184的扇区布置在介质120上。对应地，每一磁道由例如扇区磁道部分188的多个扇区磁道部分(或“磁道扇区”)构成。每一扇区磁道部分188可以包含记录的信息，以及含有错误校正码信息和为识别磁道176的信息的伺服突发信号模式的标头，所述信号模式例如ABCD伺服突发信号模式。在存取磁道176时，HGA 110的磁头110a的读取元件读取伺服突发信号模式，所述信号模式向控制提供到VCM的音圈140的电信号的伺服电子装置提供位置错误信号(PES)，借此使得磁头110a能够跟随磁道176。在发现磁道176并识别出特定扇区磁道部分188后，磁头110a取决于由磁盘控制器从外部代理(例如，计算机系统的微处理器)接收的指令，从磁道176读取信息或将信息写入到磁道176。

HDD的电子架构包括用于执行其相应功能以操作HDD的众多电子组件，例如硬盘控制器(“HDC”)、接口控制器、臂电子装置模块、数据通道、电机驱动器、伺服处理器、缓冲存储器等。两个或更多个这样的组件可以在称为“片上系统”(“SOC”)的单个集成电路板上组合。若干(如果不是全部)这样的电子组件通常布置在印刷电路板上，所述印刷电路板耦合到HDD的底侧，例如耦合到HDD壳体168。

本文中对例如参考图1示出和描述的HDD 100的硬盘驱动器的参考可以涵盖有时被称为“混合驱动器”的信息存储装置。混合驱动器通常是指具有传统HDD(例如，参见HDD100)组合固态存储装置(SSD)的功能性的存储装置，所述固态存储装置使用电可擦除且可编程的非易失性存储器，例如闪存或其它固态(例如，集成电路)存储器。由于不同类型的存储介质的操作、管理和控制通常不同，因此混合驱动器的固态部分可以包含其自身的对应控制器功能性，所述功能性可以连同HDD功能性一起集成到单个控制器中。混合驱动器可以被构造和配置成以数个方式操作和利用固态部分，例如对于非限制性实例，通过将固态存储器用作高速缓冲存储器，用于存储频繁存取的数据，用于存储I/O密集型数据等。此外，混合驱动器可以被构造和基本上配置成在单个罩壳中的两个存储装置，即传统HDD和SSD，其中具有一个或多个接口以用于主机连接。

介绍

术语“基本上”将被理解为描述很大程度上或几乎被结构化、配置、设定尺寸等的特征，但在实践中，其制造公差等可能导致结构、配置、尺寸等并非总是或必定精确地如所述的情况。例如，将结构描述为“基本上竖直”将赋予所述术语其简单的含义，使得侧壁出于所有实际目的是竖直的，但可能并不精确地成90度。

如所提到，总体磁芯宽度(MCW)西格玛的最大贡献因素通常是“长形条内”西格玛，且即使发展了制造工艺来产生具有尽可能接近目标MCW的MCW的读写头，但一些薄膜工艺经历的固有变化仍会使制造的每一磁头要实现目标MCW始终为一个挑战。

此外，大批量磁性薄膜磁头滑块制造涉及在离散材料去除步骤中执行的高精度减材机械加工。滑块处理以由40,000或更多个装置组成的完整薄膜磁头晶片开始，且在所有装置被个体化且满足众多严格的规格时完成。个别装置最终变成容纳读写头的磁头滑块。因此，对读取器尺寸和读取器与写入器相对于彼此的对准的精确控制是读写头制造过程的关键组成部分，以便实现最佳的产量、性能和稳定性。为了实现每一个别读写头的理想尺寸，可以选择个别地处理每一磁头滑块。然而，从实际可制造性的角度来看，所述方法几乎是不可行的，因为例如其带来明显更复杂、低效且昂贵的磁头滑块制造过程。

图2为示出根据实施例的处于各种处理阶段的磁头滑块晶片的分解透视图，且图2A为示出根据实施例的读写换能器的透视图。图2描绘晶片202，其包括具有未完成的读写换能器(例如，参见图2A)的未完成的磁头滑块矩阵，所述矩阵沉积在通常使用AlTiC的衬底203上。滑块矩阵通常是成批处理的，即按晶片的子集，历史上称为“四元组”，且现在有时称为“组块”或“块”处理。一块未完成的磁头滑块——块204包括多排206a至206n(或“长形条”)未完成的磁头滑块，其中n表示每块204的长形条数量，所述数量可以随实施方案而变化。每一排206a至206n包括多个磁头滑块208a至208m，其中m表示每排206a至206n的磁头滑块数量，所述数量可以随实施方案而变化。

参考图2A，读写换能器210包括写入器元件212(或简称为“写入器”212)和对应线圈216。写头利用流过例如线圈216的线圈的电力以产生磁场。电脉冲以正负电流的不同模式发送到写头，其中写头的线圈中的电流跨越磁头与磁盘之间的间隙诱发磁场，所述磁场继而使记录介质上的较小区域磁化。例如写入器212的写入器具有对应喇叭口端点213，其为(a)写入器的主极的末端(即，极尖220的末端)与(b)极尖220向下张开到其最小横截面处的点221之间的距离。喇叭口端点213通常被视为与例如写入器212的磁性写入器相关联的临界尺寸。

继续图2A，读写换能器210进一步包括具有对应条高215的读取器元件214(或简称为“读取器”214)，所述条高也被视为与例如读取器214的磁性读取器相关联的临界尺寸。在制造时通常通过(但不限于)被称为楔角研磨(“WAL”)的“粗研磨”过程来控制写入器212的喇叭口端点213和读取器214的条高215，所述过程在本文中(例如参考图3)更详细地描述。

例如换能器210的读写换能器进一步与读取器写入器偏移217(或“读写偏移”或“RWO”)相关联，所述偏移是读取器214的某一点或表面与写入器212的某一点或表面之间在描绘为y方向上的距离。RWO 217被设计到读写换能器210中。然而，在晶片202的制造期间，在写入器212与读取器214之间可能发生不可控制的(和不当的)偏移，这会带来可能沿着在描绘为x方向上的排的线性和/或角度偏移。任何这样的偏移很大程度上是由于写入器212和读取器214沉积在不同的薄膜层中的事实，且因此，是由于制造工艺的限制。例如，在纳米尺度制造工艺中，由于与在不同沉积层处暴露具有不同模式的不同掩模相关联的挑战，写入器212和读取器214可能无法始终相对于空气支承表面和/或相对于彼此精确地对齐。

因此，在晶片级制造的RWO可能不是精确的目标RWO。因此，通常采用前述WAL(或“RWO角度”)过程来使长形条RWO更紧密地对准目标RWO。然而，前述粗研磨WAL过程通常可能仅达到5nm左右的校正水平，并且通常以“每长形条”而非“每滑块”的方式施加。因此，更精细、更精确的研磨程序可以被视为有用的。

磁头滑块的一般制造工艺

典型的磁头滑块制造工艺流程可以包含以下内容：晶片(例如，图2的晶片202)制造工艺，其包含沉积读取器和写入器元件(例如，图2A的读取器214和写入器212)，随后进行块(或“四元组”)切分以从晶片去除一块未完成的滑块(例如，图2的块204)。接着，可以对来自块的外排(例如，图2的排206a)滑块(例如，图2的磁头滑块208a至208m)进行粗研磨(例如，楔角研磨)，以便制造成接近于所需的读取器和写入器尺寸(例如，图2A的喇叭口端点213和条高215)，且接着从块(例如，块204)切分粗研磨后的外排(例如，排206a)。从那里开始，可以对所述排进一步进行研磨，例如“后研磨”以形成与空气支承表面(ABS)相对的挠性侧表面，和“细研磨”(或“最终研磨”)以进一步细化ABS表面。接着，这步骤会带来对ABS表面的外涂布和轨道蚀刻等，以形成最终的空气支承或飞行表面，此时可以从所述排分割或分开每一磁头滑块(例如，磁头滑块208a至208m)，以个体化每一完成的磁头滑块，由此接着可以将其与挠曲件耦合、组装成磁头万向架组合件(HGA)等等。

楔角研磨

如所论述，在制造时通常通过(但不限于)被称为楔角研磨(“WAL”)的粗研磨过程来控制写入器212(图2A)的喇叭口端点213(图2A)和读取器214(图2A)的条高215(图2A)。在“被动WAL控制”的情况下，常常基于离线电测试测量结果，将长形条研磨到预定的楔角(“WA”)，由此通过研磨到物理目标角度来控制WA。替代地，在“主动WAL控制”的情况下，基于(例如，通过使用与读取器和/或写入器元件相关联的电子研磨引导件或“ELG”)基于电阻的反馈，长形条被伺服或控制到所需RWO。在这两种情况下，平均或中间WA均以整个长形条为目标，而无需个别的控制长形条内的磁头滑块。

图3为示出楔角研磨(WAL)过程，例如在粗研磨阶段的图式。图3的左侧图式描绘在空气支承表面(“ABS”)粗研磨之前的磁头滑块302。描绘了读取器214和对应所需条高215，如先前所提到，其研磨通常经由基于电阻的反馈机构来控制，并且还描绘了写入器212和对应所得喇叭口端点213。虚线示出所需最终ABS，其是通过以楔角303研磨磁头滑块302的ABS侧实现的。

因此，参考图3的右侧图式，可以使用以简化形式描绘的研磨夹具304和研磨板材306(例如，通常是金刚石包覆的和/或附有金刚石浆料)对磁头滑块302执行ABS研磨。夹具304被设定成使得研磨板材306进行操作以楔角303研磨磁头滑块302，直到最终达到目标读取器214和写入器212尺寸为止，借此对于磁头滑块制造工艺的这个特定部分，实现至少具有所需条高215的读写头。

通常以某一预定楔角对整个滑块长形条，例如排206a到206n中的任一个(图2)执行楔角研磨。因此，给定排内的滑块208a到208m中的每一个(图2)是以例如楔角303(图3)的相同楔角被粗研磨。然而，如先前所提到，在晶片202(图2)的制造期间，在写入器212(图2A)与读取器214(图2A)之间可能会发生不当的偏移，这会带来在一个或多个方向上的线性和/或角度偏移。此外，对应于写入器212和读取器214的这种偏移可能沿着磁头滑块的任何给定排(例如，排206a)的长度(x方向)，或跨越来自块(例如，图2的块204)的多排(例如，排206a到206n)都不恒定。同样，这是可能认为需要个别地处理磁头滑块(如果实际上可行的话)的理由。

图4A、4B为示出可以适用于如图3中所描绘的背景的刚性粘合剂WA研磨过程的图式。图4A描绘粗研磨WAL过程的一系列“快照”(每一快照由竖直虚线分离)，其中未完成的磁头滑块402使用刚性粘结剂403暂时粘合到刚性工装夹具404。在图4A的顶部部分中，应了解，使用研磨板材406以第一楔角α逐渐地研磨磁头滑块402，从而因此制造出描绘为具有第一四边多边形形状的磁头滑块402-1。以楔角α进行研磨的目的可以是实现用于读取器的特定目标条高(例如用于图2A的读取器214的条高215)。参考图4B，应了解，在恒定楔角α下，随着通过WAL过程的研磨进程到达磁头滑块402-1，磁头滑块402的材料去除进程是均匀的(即，以恒定的角度)。

在图4A、4B的底部部分中，应了解，继续使用研磨板材406以第二楔角β逐渐地研磨磁头滑块402-1，从而因此制造出描绘为具有第二四边多边形形状的磁头滑块402-2。随着通过WAL过程的研磨进程到达磁头滑块402-2，以恒定楔角β进行的这种研磨类似地是均匀的。值得注意的是，在目前的实践中，楔角的调整通常仅可以在图4A、4B中描绘的粗研磨WAL过程期间进行一或两次。此外，即使调整了一或两次，使用恒定的楔角仍可能会在磁头滑块中产生(多个)刻面(磁头滑块402-1中最佳地描绘)。再者，值得注意的是，这种粗研磨WAL过程通常是通过针对读取器元件条高(例如用于图3的读取器214的条高215)，并经由读取器或写入器ELG获得研磨反馈而采用的，而写入器元件喇叭口端点(例如，用于图3的写入器212的喇叭口端点213)和RWO 217(图2)是相对不受控制的。

用于排内楔角研磨的研磨工具

图5为示出根据实施例的研磨工具的底侧透视图，且图6为示出根据实施例的图5的研磨工具的底部前透视图。研磨工具500包括箱体结构502，根据实施例，所述结构是可旋转和/或挠曲的。箱体结构502包含容纳通常可在z方向上平移的多个力销505的前侧504，和后壁506。

研磨工具500进一步包括用于固持磁性读写头滑块的长形条206的夹具508，使得多个力销505中的每一个被定位成将力施加到长形条206的对应磁头滑块。研磨工具500进一步包括距箱体结构502的后壁506某一距离的第二后壁510，和将箱体结构502的后壁506与第二后壁510互连的至少两个挠性楔角(WA)挠曲件512a、512b(连同WA挠曲件512c共描绘三个挠曲件)。值得注意的是，WA挠曲件512a、512b、512c“虚拟地”相交在绕与长形条206相关联的x轴的旋转轴线处，且因此限定所述旋转轴线(参考图7、7A更详细地描绘和描述)。因此，响应于致动且基于WA挠曲件512a、512b、512c的虚拟相交点，每一力销505绕由WA挠曲件512a、512b、512c的虚拟相交点限定的旋转轴线，将扭矩施加到其对应磁头滑块。

基于研磨工具500的前述相互作用的结构，可以针对长形条206的每一磁头滑块(例如，图2的磁头滑块208a到208m)设定独立且可变的楔角(相对于y轴方向)，以用于将滑块研磨到相应目标楔角。实际上，响应于致动，多个力销505共同地扭曲长形条206，以将用于同时研磨的长形条206的每一磁头滑块同时设定到其相应目标楔角。

根据实施例，研磨工具500进一步包括在每一力销505与长形条206的其对应磁头滑块(例如，图2的磁头滑块208a到208m)之间的柔性弹性体516，以将对应于扭矩的y方向压力梯度(例如，图9A的压力梯度904a)自力销505传送到对应磁头滑块208a到208m。因而，与每一磁头滑块208a到208m相关联的由于研磨的材料去除对应于施加到每一相应磁头滑块208a到208m的压力梯度904a。

根据实施例，弹性体516的材料具有在10到90硬度的范围中的肖氏A级硬度，发现所述硬度适于其预期目的。例如，使用柔性弹性体516(而非例如图4A的刚性粘结剂403的刚性粘合剂)，对于非限制性实例，使用硅或聚胺酯橡胶(例如，0.05到1.5mm厚，发现所述范围适于其预期目的)有效地消除了磁头滑块从研磨板材提起的动作，和在图4A的刚性粘合剂情况下可能出现的磁头滑块的相关联刻面。此外，弹性体516越厚，其在力销505与磁头滑块208a到208m(图2)之间提供的缓冲垫越软，且因此，实现了对跨越每一磁头滑块208a到208m的压力梯度904a的更精细控制。亦即，有效地减弱了对应于力销505的致动的响应和其对磁头滑块208a到208m的影响。同样，弹性体516越硬，对应于力销505的致动的响应和其对磁头滑块208a到208m的影响就越快(即，响应受到的减弱较小，且应提供更精细的致动控制以实现更渐进的变化)。因此，基于对用于柔性弹性体516的材料的选择，跨越每一磁头滑块的压力梯度904a的有效分辨率可以随实施方案而变化。

研磨工具500进一步包括将箱体结构502的前侧504与后壁506互连的至少两个挠性条高(SH)挠曲件514a、514b。鉴于由SH挠曲件514a、514b向总体箱体结构502提供的结构支撑，每一力销505可以向长形条206的其对应磁头滑块(例如，图2的磁头滑块208a到208m)施加z方向上的力，以用于将滑块研磨到相应读取器目标条高(例如用于图2A的读取器214的条高215)。因此，基于研磨工具500的前述相互作用的结构，可以针对长形条206的每一磁头滑块设定独立的读取器目标条高(相对于z轴)，以用于将滑块研磨到其相应目标条高。

研磨工具楔角挠曲件

图7为示出根据实施例的图5到6的研磨工具的横截面侧视图，且图7A为示出根据实施例的图7的研磨工具的夹具的横截面侧视图。参考图7和7A更详细地描述WA挠曲件512a、512b、512c(图5到6)。

图7示出根据参考图5到6描述的实施例的研磨工具500和构成组件。图7和7A进一步示出，将箱体结构502的后壁506与第二后壁510互连的至少两个楔角(WA)挠曲件512a、512b(和任选的512c)被定位和配置成使得WA挠曲件512a、512b(和512c)“虚拟地”相交在绕与长形条206相关联的x轴的旋转轴线处，且因此限定所述旋转轴线。换句话说，WA挠曲件512a、512b(和512c)被定位成使得如果其延伸穿过且超出箱体结构502的后壁506和前侧504，则其将都在限定旋转轴线(在x方向上)的点处相交。扭矩是借助于致动对应力销505绕这个旋转轴线施加到磁头滑块(例如，图2的208a到208m)，且因此箱体结构502绕这个旋转轴线有效地旋转。回想到在通过柔性弹性体516传送扭矩时，扭矩表现为跨越对应磁头滑块的长度(y方向)施加的压力梯度904a。因此，正是这种独立且可变地施加的压力梯度904a为每一相应磁头滑块提供了绕共同旋转轴线的WA研磨控制(如方框箭头702所描绘)。根据实施例，因为旋转轴线被设计成在长形条206的质心处或附近和研磨界面/底面处，所以精确、独立且动态可变的(即，通过变化力销505的致动)楔角控制被提供到长形条206的每一磁头滑块。

图7和7A进一步示出条高(SH)研磨控制(如方框箭头704所描绘)，参考图8中的长形条研磨方法描述其使用。

用于研磨磁性读写头滑块的长形条的方法

图8为示出根据实施例的用于研磨磁头滑块的长形条的方法的流程图。参考图8描述的各种实施例可以各自使用本文中在别处描述的研磨工具500(图5到7)来执行。作为背景并且如所描述的，每一长形条具有沿着排的方向的x轴和沿着与长形条中的磁头滑块相关联的读取器写入器偏移的方向的y轴，且每一磁头滑块包括读取器元件和写入器元件。

在方框802处，将磁性读写头滑块的长形条固定到研磨工具夹具。例如，将长形条206(图5、6、7A)例如经由弹性体516(图5、6、7A)附连到研磨工具500(图5到7)的夹具508(图5到7A)。弹性体516的材料的粘性对弹性体516将长形条206固持在夹具508上的适当位置的能力具有影响。因此，弹性体516的粘性可以随实施方案而变化。

在方框804处，致动研磨工具的多个力销中的每一个，以将长形条的每一磁头滑块设定成研磨到相应目标楔角。例如，致动(对于非限制性实例，气动地、液压地、机械地、电地等)每一力销505，以将长形条206的每一磁头滑块208a到208m(图2)设定到相应目标楔角303(图3)，其为相对于沿着y轴的y平面的角度。设定每一相应目标楔角的方式与本文中参考图5到7A所描述的一致。

因此，在方框806处，根据每一相应对应目标楔角，同时研磨每一磁头滑块。例如，根据每一对应目标楔角303研磨长形条206的每一磁头滑块208a到208m。回想图3知道，可以使用研磨夹具304和研磨板材306(例如，通常是金刚石包覆的和/或附有金刚石浆料)对磁头滑块或磁头滑块的长形条执行研磨。

图9A、9B为示出根据实施例的“软性”粘合剂WA研磨过程的图式。进一步参考图4A、4B，以用于比较图9A、9B的软性粘合剂WA研磨过程与图4A、4B的刚性粘合剂WA研磨过程。图9A描绘“细研磨”(或“最终研磨”)WAL过程的一系列“快照”(每一快照由竖直虚线分离)，其中未完成的磁头滑块902借助于柔性弹性体516暂时粘合到刚性工装夹具508。在第一快照处，应了解，确定用于施加到磁头滑块902以至少开始实现目标楔角的适当压力梯度904a。对于滑块902，致动对应力销505(图5到6)以将扭矩施加到研磨工具夹具508并通过弹性体516施加到磁头滑块902，以跨越磁头滑块902的长度产生所需压力梯度904a。应注意，图9A的图式是简化的，因为弹性体516在其与磁头滑块902的界面处呈现出尖锐的线条，例如好像弹性体516的一部分被切掉了。然而，应了解，弹性体516将响应于扭矩而压缩(而非切掉)，由此扭矩将相对于在扭矩的方向上远离旋转轴线(或扭矩中心)的距离，在弹性体516内产生更大的压缩。同样，扭矩将相对于在与扭矩方向相反的方向上远离旋转轴线(或扭矩中心)的距离，在弹性体516内产生较小的压缩。因此，压力梯度904a被描绘为在从左到右的方向上从小到大。因此，随着跨越磁头滑块902的长度逐渐地向滑块施加更大的点压力(由于压力梯度904a)，且鉴于磁头滑块与刚性研磨板材406相接，根据压力梯度904a(即，从左到右)从滑块去除更多的材料。

参考图9B，应了解，在将压力梯度904a施加到磁头滑块902的情况下，磁头滑块902的材料去除进程并不随着通过WAL过程的研磨进程处于恒定角度。因为跨越滑块的整个长度存在一定的压力，所以尽管根据压力梯度904a变化压力，材料去除进程仍不同于如图4B中所描绘的在刚性粘合剂和恒定研磨角度情况下的进程。在施加压力梯度904a的情况下，研磨角度随着从磁头滑块902的面逐渐地去除材料而发生变化，如图9B中所描绘。

在第二(中间)快照处，描绘了例如借助于在接近目标楔角时进行伺服控制变化，将略微不同的压力梯度904b施加到磁头滑块902以继续实现目标楔角。因此，如本文中所描述的研磨系统和方法提供了通过受控反馈系统(例如，ELG反馈系统)来动态地改变每磁头滑块的楔角。可以通过在研磨过程期间改变力销505的致动轮廓来动态地改变楔角，由此动态地伺服研磨系统以实现所需结果。值得注意的是，由于使用弹性体施加压力梯度而使用逐渐变化的楔角，而非使用恒定的刚性楔角，在磁头滑块中产生刻面的可能性要小得多。

返回到图8的流程图，在任选的方框808处，致动多个力销中的每一个，以将长形条的每一磁头滑块设定成研磨到相应读取器目标条高。例如，伺服或离散地致动(对于非限制性实例，气动地、液压地、机械地、电地等)每一力销505，以将长形条206的每一磁头滑块208a到208m(图2)设定到相应读取器目标条高215(图2A、3)。

继续，在任选的方框810处，根据每一相应对应目标条高，同时研磨每一磁头滑块。例如，根据每一对应读取器214目标条高215(其可是基于读取器ELG和/或写入器ELG条高)研磨长形条206的每一磁头滑块208a到208m。返回到图9A，在第三快照处，描绘了跨越磁头滑块的扭矩和合压力梯度904a(和904b)被中断(例如，已达到目标楔角)，且现在跨越磁头滑块902的长度施加相对(或“基本上”)恒定的压力904c，以现在研磨到目标读取器214条高215。

因此，根据实施例且如本文中在别处所描述，与图4A、4B中描绘的刚性粘合剂(粗)研磨过程对比，这种软性(细)研磨WAL过程首先研磨到目标楔角，且接着研磨到目标读取器或写入器条高，借此提供多度控制，包含对RWO(例如图2的RWO 217)的控制。首先朝向目标条高研磨，且接着研磨到目标楔角的过程补偿也涵盖且处于本文中描述的实施例的范围内。

用于排内条高/喇叭口端点和楔角研磨的研磨安装工具

图10A为示出根据实施例的研磨安装工具的前侧透视图，图10B为示出根据实施例的图10A的研磨工具的前顶部透视图，且图10C为示出根据实施例的图10A的研磨工具的底侧透视图。除非另外指出，否则在研磨工具500的背景中描述的许多功能性和操作概念同样适用于图10A到10C的研磨安装工具1000。

研磨安装工具1000包括第一结构部件1002，根据实施例，所述部件是可旋转和/或挠曲的。第一结构部件1002容纳多个角度致动销1005，所述销中的每一个在顶部处包括至少部分用于致动目的的V形凹口(“V-凹口”)或叉形物1003(对于非限制性实例，两齿叉形物)。应注意，根据实施例，第一结构部件1002的第一和最后“销”结构在结构上不同于内部角度致动销1005且描绘为较宽，并且主要用以保护内部较易碎的角度致动销1005。然而，在第一结构部件1002的第一和最后“销”被排除在工具外时，研磨安装工具1000仍将可操作用于其预期目的，这是由于所述销并不打算与对应磁头滑块相互作用，角度致动销1005的块体也是如此。根据实施例且如所描绘，邻近叉形物1003(例如，梳状叉形物)可以在z方向上交替地交错，在这种空间受限的环境中，这种交错有助于致动机构与对应叉形物1003之间的接合。然而，根据实施例，一组叉形物1003可以配置成直线而非如所描绘的交错。第一结构部件1002包括用于固持磁性读写头滑块的长形条(例如，图2的排206a到206n；通常称为“长形条206”)的夹具1008，使得多个角度致动销1005中的每一个被定位成响应于致动(例如，“第二致动”)，将角度研磨力施加到长形条206的对应磁头滑块。

研磨工具1000进一步包括第二结构部件1006，其与第一结构部件1002移位，且经由或借助于第一挠性楔角(WA)挠曲件1012a(“第一挠曲件”)和第二挠性楔角(WA)挠曲件1012b(“第二挠曲件”)与第一结构部件耦合。第二结构部件1006容纳多个条高(SH)致动销1007，每一销被定位成将研磨力施加到长形条206的对应磁头滑块。根据实施例，类似于第一结构部件1002的外部「销」结构，第二结构部件1006的第一和最后“销”结构在结构上不同于内部SH致动销1007且描绘为较宽，并且主要用以保护内部较易碎的SH致动销1007。然而，在第二结构部件1006的第一和最后“销”结构被排除在工具外时，研磨安装工具1000仍将可操作用于其预期目的，这是由于所述销并不打算与对应磁头滑块相互作用，SH致动销1007的块体也是如此。根据实施例，响应于致动(例如，“第一致动”)，每一SH致动销1007将基本上为z方向的力(例如，参见图11的线性研磨力1105)施加到对应磁头滑块，借此将滑块研磨到相应目标条高。根据实施例，可以致动每一SH致动销1007，以研磨到用于读写头的读取器元件的相应目标条高，或用于读写头的写入器元件的相应目标条高(也称为图2A的“喇叭口端点213”)。

研磨工具1000进一步包括第三结构部件1010，其经由或借助于第三挠性的挠曲件1014a(“第三挠曲件”)和第四挠性的挠曲件1014b(“第四挠曲件”)与第二结构部件1006耦合。

值得注意的是，第一挠曲件1012a和第二挠曲件1012b“虚拟地”相交在绕与长形条206相关联的x轴的旋转轴线处，且因此限定所述旋转轴线(参考图11更详细地描绘和描述)。因此，响应于致动(例如，“第二致动”)，且基于第一挠曲件1012a和第二挠曲件1012b的虚拟相交点，每一角度致动销1005绕由第一挠曲件1012a和第二挠曲件1012b的虚拟相交点限定的旋转轴线，将角度研磨力(例如，扭矩)施加到其对应磁头滑块。

基于研磨安装工具1000的前述相互作用的结构，可以针对长形条206的每一读写头设定独立且可变的条高(在z轴方向上)，以用于借助于致动条高致动销1007将读写头研磨到相应读取器或写入器目标条高(对于写入器元件，有时被称为“喇叭口端点”)。同样，可以针对长形条206的每一磁头滑块(例如，图2的磁头滑块208a到208m)设定独立且可变的楔角(相对于y轴方向)，以用于借助于致动角度致动销1005且根据第一挠曲件1012a和第二挠曲件1012b的虚拟相交点的影响，将滑块研磨到相应目标楔角。实际上，响应于致动，多个角度致动销1005共同地扭曲长形条206，以将用于同时研磨的长形条206的每一磁头滑块同时设定到其相应目标楔角。

根据实施例，研磨工具1000可以进一步包括粘附到第一结构部件1002的夹具1008和长形条206的柔性弹性体(例如图5的弹性体516)，以将对应于角度研磨力的y方向压力梯度(例如，图9A的压力梯度904a)从每一角度致动销1005传送到对应磁头滑块208a到208m。因而，与每一磁头滑块208a到208m相关联的由于研磨的材料去除对应于施加到每一相应磁头滑块208a到208m的压力梯度904a。

关于用以将长形条206附接/粘附到研磨安装工具1000的角度致动销1005的柔性弹性体516，来自相邻角度致动销1005的角度变化会诱发弹性体516与角度致动销1005分离，这在研磨期间会继而诱发长形条206与弹性体516分离。根据实施例，弹性体516在面向夹具1008的侧上具有第一表面粗糙度水平，且对于面向长形条206的相对侧具有第二表面粗糙度水平，其中第二表面粗糙度水平高于第一表面粗糙度水平。因此，对于长形条206侧上的较高表面粗糙度(即，通过减少有效接触面积)，有效粘合力较小，由此提供更稳定的长形条206去除过程(例如，更少的长形条在研磨之后从弹性体516去除时可能会破裂)。对比来说，弹性体516的相对夹具1008侧制成为具有相对平滑的表面粗糙度水平，这使安装工具的销1005、1007的有效接触面积达到最大以实现相对高的粘合水平。

研磨安装工具的楔角挠曲件

图11为示出根据实施例的图10A到10C的研磨工具的横截面侧视图。参考图11(对于类似的功能性，也参考图7A)以更详细地描述第一挠曲件1012a和第二挠曲件1012b的操作。

图11示出根据参考图10A到10C描述的实施例的研磨工具1000和构成组件的截面侧视图。图11示出，将可旋转第一结构部件1002与第二结构部件1006互连的第一挠曲件1012a和第二挠曲件1012b被定位且配置成使得第一挠曲件1012a和第二挠曲件1012b“虚拟地”相交在绕与长形条206相关联的x轴的旋转轴线处，且因此限定所述旋转轴线。角度研磨力1103是借助于致动1102对应角度致动销1005绕这个旋转轴线施加到磁头滑块(例如，图2的208a到208m)，且因此第一结构部件1102(例如，充当杆)和相关联夹具1008绕这个旋转轴线有效地旋转。回想到在角度研磨力1103(或扭矩)通过柔性弹性体516传送时，角度研磨力表现为跨越对应磁头滑块的长度(y方向)施加的压力梯度904a(图9)。因此，正是这种独立且可变地施加的压力梯度904a为每一相应磁头滑块提供了绕共同旋转轴线的WA研磨控制(例如，如研磨力1103的方框箭头所描绘)。根据实施例，因为旋转轴线被设计成在长形条206的质心处或附近和研磨界面/底面处，所以精确、独立且动态可变的(即，通过变化角度致动销1005的致动1102)楔角控制被提供到构成长形条206的每一磁头滑块。

图11进一步示出，条高致动销1007被定位且配置成使得线性研磨力1105(例如，如线性力1105的方框箭头所描绘)借助于致动1104对应条高致动销1007被施加到磁头滑块(例如，图2的208a到208m)。因此，精确、独立且动态可变的(即，通过变化角度致动销1007的致动1104)条高/喇叭口端点控制被提供到构成长形条206的每一磁头滑块。

防跌落冲击特征

由于可以将研磨安装工具1000实施为用于处置研磨安装工具1000的使用/操作，例如在制造地点周围并且可能在不同的工具当中移动(例如，由操作员或机器人机器)所述工具，因此要考虑到跌落冲击/撞击对研磨安装工具1000的影响，从而要记住各种致动销1005、1007可能是相对薄且易碎的组件。因此，返回参考图11且根据实施例，可以将用以限制移位的一个或多个间隙控制措施并入研磨安装工具1000的配置中，以在研磨安装工具1000的组件之间提供一定的结构空间公差。根据实施例，间隙1107提供在第二结构部件1006的条高致动销1007的终端部分与朝向第一结构部件1002的远侧定位的凹口1106的表面1106a之间。根据实施例，间隙1108提供在第二结构部件1006的附接第二挠曲件1112b的远侧终端部分与第三结构部件1010的相对近侧表面1010a之间，和/或间隙1109提供在第二结构部件1006的远侧终端部分与第三结构部件1010的相对近侧表面1010b之间。实施的跌落冲击间隙的数量可以随实施方案而变化，这是由于可以实施间隙1107、1108、1109中的任何一个或更多个以向研磨安装工具1000提供跌落冲击保护。特定来说，前述多向间隙措施主要能够减少冲击/撞击事件在y方向(例如，间隙1108、1109)以及z方向上(例如，间隙1107)对研磨安装工具1000的影响。

此外，至少部分由于第一结构部件1002(包含角度致动销1005)、条高致动销1007和第二结构部件1006的用于条高致动销1007的主要支撑结构的总质量，在y方向上的跌落测试展示一种趋势，所述趋势诱发将第二结构部件1006与第三结构部件1010互连的第三挠曲件1014a和第四挠曲件1014b发生屈曲。因此，根据实施例，第三挠曲件1014a和第四挠曲件1014b可以被实施为弯曲挠性杆(沿着y方向弯曲，例如图11中所描绘)，以通过有效地减少或松弛冲击/撞击事件施加给第三挠曲件1014a和第四挠曲件1014b的最大应力来抑制或防止这些挠曲件的屈曲模式。这种弯曲挠性杆的利用可以与前述间隙措施一起实施且可以进一步结合所述措施起作用。

如所论述，可以将研磨安装工具1000实施为用于处置研磨安装工具1000的使用/操作，例如在制造地点周围并且可能在不同的工具当中输送所述工具，因此要考虑到跌落冲击/撞击对研磨安装工具1000的影响。更特定来说，根据实施例，研磨安装工具1000与一个或多个结构壳体互连件结合，以容纳研磨安装工具1000以及将安装工具1000互连到其它组件、更高级别的研磨工具和/或夹具，从而因此提供可以在制造地点周围以及可能在不同的工具当中处置和输送的研磨工具组合件。

图12A为示出研磨工具组合件的一部分的分解顶侧透视图，且图12B为示出根据实施例的图12A的研磨工具组合件的一部分的顶侧透视图。研磨工具组合件1200包括与组合件底座部件1202(“组合件底座1202”)结合或耦合的研磨安装工具1000。组合件底座1202包括多个互锁销1202a(例如，“梳状物”)。当与研磨安装工具1000接合时，每一邻近互锁销1202a定位在与一组邻近条高致动销1007相关联的对应凹入部1007a内(例如，参见图12B的虚线圆)。因此，组合件底座1202的销1202a与研磨安装工具1000的接合借此用以限制条高致动销1007的移位和材料应力，所述移位和材料应力主要在x方向上(如由图12A的箭头1203所描绘)，且还因凹入部1007a的结构配置和形状而处在z方向上。因此，在研磨工具组合件1200通常在箭头1203的方向上跌落和/或经历具有在箭头1203的方向上的分力的跌落冲击/撞击后，条高致动销1007可以被保护免受损坏(这可能影响安装工具的准确性和性能)。

图13A为示出研磨工具组合件的一部分的分解前侧透视图，且图13B为示出根据实施例的图13A的研磨工具组合件的一部分的分解侧透视图。研磨工具组合件1300包括与安装板部件1302(“安装板1302”)结合或耦合的研磨安装工具1000，根据实施例，PCB可以安装到所述安装板。安装板1302包括多个下部互锁销1302a(或“下部梳状物”)。当与研磨安装工具1000接合时，每一邻近下部互锁销1302a定位在与一组邻近角度致动销1005相关联的对应凹入部1005a内。根据实施例，安装板1302进一步包括多个上部互锁销1302b(或“上部梳状物”)，其中当与研磨安装工具1000接合时，每一邻近上部互锁销1302b定位于构成角度致动销1005的对应邻近叉形物1003或对应组叉形物1003之间。因此，安装板1302的下部互锁销1302a和上部互锁销1302b与研磨安装工具1000的接合借此用以限制角度致动销1005的移位和材料应力，所述移位和材料应力主要在x方向上(如由图12A的箭头1303所描绘)，且还因凹入部1005a的结构配置和形状，以及上部互锁销1302a、1302b与叉形物1003的对应梳状物的互锁而处在z方向上，以及用以在上部互锁销1302a、1302b与叉形物1003的对应梳状物互锁的情况下确保与致动机构适当对准。因此，在研磨工具组合件1300通常在箭头1303的方向上跌落和/或经历具有在箭头1303的方向上的分力的跌落冲击/撞击后，角度致动销1005可以被保护免受损坏(这可能影响安装工具的准确性和性能)。

虽然安装板1302的下部销1302a和/或上部销1302b可以独立于组合件底座1202(图12A、12B)的销1202a(图12A、12B)实施，但应注意，组合件底座1202(图12A、12B)的销1202a(图12A、12B)可以结合安装板1302的下部销1302a和/或上部销1302b实施，以向研磨安装工具1000的致动销1007和角度致动销1005提供跌落冲击/撞击损坏保护。还应注意，在跌落冲击或其它撞击事件的情况下，通过对应销1302a、1302b、1202a支衬致动销1005、1007可以进一步在y方向上提供支撑和损坏保护。

用于研磨磁性读写头滑块的长形条的方法

图14为示出根据实施例的用于研磨磁头滑块的长形条的方法的流程图。参考图14描述的各种实施例可以各自使用本文中在别处描述的研磨安装工具1000(图10A到11)来执行。作为背景并且如所描述的，每一长形条具有沿着排的方向的x轴和沿着与长形条中的磁头滑块相关联的读取器写入器偏移的方向的y轴，且每一磁头滑块包括读取器元件和写入器元件。

在方框1402处，将磁性读写头滑块的长形条附连到研磨安装工具夹具。例如，将长形条206(图5、6、7A)例如经由弹性体516(图5、6、7A)附连到研磨工具1000(图10A到11)的第一结构部件1002(图10A到10C)的夹具1008(图10A到11)，且电连接到安装到安装板1302(图13A、13B)上的PCB。

在方框1404处，致动研磨安装工具的多个第一致动销中的每一个，借此将长形条的每一磁头滑块设定成研磨到相应目标条高(对于写入器元件，条高有时可以被称为喇叭口端点)。例如，(对于非限制性实例，气动地、液压地、机械地、电地等)致动1104(图11)每一条高致动销1007(图10A到11)，以将长形条206的每一磁头滑块208a到208m(图2)设定成研磨到相应目标读取器条高215(图2A)，其为相对于z轴方向的尺寸。设定每一相应目标条高的方式与本文中参考图10A到11所描述的一致。

因此，在方框1406处，根据每一相应对应目标条高，同时研磨每一磁头滑块。例如，根据每一对应目标条高215，响应于相应线性研磨力1105(图11)来研磨长形条206的每一磁头滑块208a到208m。回想图3知道，可以使用研磨夹具304和研磨板材306(例如，通常是金刚石包覆的和/或附有金刚石浆料)对磁头滑块或磁头滑块的长形条执行研磨。

如果适用或期望，则继续进行楔角研磨，在方框1408处，致动研磨安装工具的多个第二致动销中的每一个，借此将长形条的每一磁头滑块设定成研磨到相应目标楔角。例如，(对于非限制性实例，气动地、液压地、机械地、电地等)致动1102(图11)每一角度致动销1005(图10A到11)，以将长形条206的每一磁头滑块208a到208m设定成研磨到相应目标楔角303(图3)，目标楔角303为相对于y轴方向的角度。设定每一相应目标楔角的方式与本文中参考图10A到11所描述的一致。回想到每一角度致动销1005容纳于研磨安装工具1000的第一结构部件1002(图10A到10C)内，且所述工具基于将第一结构部件1002与第二结构部件1006互连的第一挠曲件1012a(图10A、10C、11)和第二挠曲件1012b(图10A、10C、11)的虚拟相交点，其中这个虚拟相交点限定绕x轴的角度致动销1005(且因此长形条206)的旋转轴线，通过每一角度致动销1005绕所限定旋转轴线将角度研磨力1103(图11)施加到对应磁头滑块208a到208m。

因此，在方框1410处，根据每一相应对应目标楔角同时研磨每一磁头滑块。例如，根据每一对应目标楔角303研磨长形条206的每一磁头滑块208a到208m。回想图3知道，可以使用研磨夹具304和研磨板材306(例如，通常是金刚石包覆的和/或附有金刚石浆料)对磁头滑块或磁头滑块的长形条执行研磨。根据实施例，在方框1408处致动1102第二致动销是在方框1404处致动1104第一致动销之后执行的。然而，这种活动顺序可以随实施方案而变化，且因此在需要时可以颠倒顺序。

具有倾斜插入件的研磨工具组合件

图15A为示出包含倾斜插入件的研磨工具组合件的侧透视图，且图15B为示出根据实施例的图15A的研磨工具组合件的一部分的侧透视图。图16为图15A的倾斜插入件的横截面侧视图，且图17为根据实施例的图15A的研磨工具组合件的横截面侧视图。研磨工具组合件1500为包括研磨安装工具1000(参见图10A到11)、用于致动安装工具1000的角度致动销1005的多个致动器1510(对于非限制性实例，空气轴承致动器)，和插入于致动器1510与安装工具1000之间的致动插入件1502(“插入件1502”)的组合件。

插入件1502的结构包括第一元件，第一元件包括多个插入件结构1504(“插入销1504”或统称为“第一元件1504”)，每一插入件结构与对应致动器1510反应性地耦合。每一插入销1504配置成从对应致动器1510接收用于传输或施加到安装工具1000的对应角度致动销1005的相应平移力1511。插入件1502进一步包括第二元件——T形结构1506(“T结构1506”)，其(a)经由第一挠曲件1505a和第二挠曲件1505b耦合到第一元件1504，且(b)经由第三挠曲件1507a和第四挠曲件1507b耦合到固定框架或壳体1508。参考图16以用于示出前述挠曲件系统(图15A中未示出挠曲件以维持清晰性)，所述系统的特征可以是零z轴(竖直)移位挠曲件系统。

鉴于第一元件1504通过挠性的第一挠曲件1505a和第二挠曲件1505b“悬挂”在T结构1506上，当在水平(y轴)方向上被致动时，第一元件1504具有例如通过第一挠曲件1505a和第二挠曲件1505b的弯曲而以逆时针方向朝上摆动或成弧形的固有趋势。第一元件1504的任何朝上运动(z轴)是不当的，因为优选第一元件1504在y方向上进行简单的线性平移，以便适当地接合并平移基本上垂直于安装工具1000的接收角度致动销1005的致动力。因此，根据实施例，第一挠曲件1505a、第二挠曲件1505b、第三挠曲件1507a和第四挠曲件1507b被配置成(例如，如图16中所描绘)使得第一元件以逆时针方向朝上摆动的趋势被T结构1506通过第三挠曲件1507a和第四挠曲件1507b的弯曲以顺时针方向朝下摆动所抵消。因此，构成第一元件的插入销1504被允许或被迫基本上仅在y方向上线性地平移。

参考图16，根据实施例，第一元件1504进一步包括安装工具插入件z轴去耦器或去耦挠曲件系统，其中插入件1502的第一元件的每一插入销1504包括(a)邻近于致动器1510的近端1504a，(b)包含可与安装工具1000的对应角度致动销1505接合的尖端1504e的远端1504c，以及(c)在近端1504a与远端1504c之间的中间结构1504b，远端1504c从所述中间结构延伸。体现在第一元件1504中的z轴去耦挠曲件系统进一步包括一组一个或多个第一去耦器挠曲件1504f和一组一个或多个第二去耦器挠曲件1504f，所述挠曲件将近端1504a耦合到中间结构1504b。第一和第二去耦器挠曲件1504f的结构配置可以随实施方案而变化。对于非限制性实例，第一和第二去耦器挠曲件1504f中的每一个可以包括对应于每一插入销1504且跨越在近端1504a到中间结构1504b之间的单个挠曲件1504f，或各自可以包括跨越近端1504a到中间结构1504b的整体式挠曲件1504f。

第一和第二挠曲件1504f的实施方案为第一元件1504的这个部分提供了减小的或相对低的抗弯刚度，借此允许每一远端1504c跟随安装工具1000的对应接合的角度致动销1005，同时基本上消除来自每一远端1504c的力对安装工具1000的影响。更特定来说，回想到安装工具1000的角度致动销1005和条高致动销1007(其在z轴方向上移动以用于研磨)经由安装工具1000(例如，参见图10A、10C、11)的第一挠曲件1012a和第二挠曲件1012b耦合，且因此，一种类型的致动销的移动会影响另一类型的致动销。然而，前述z轴去耦器挠曲件系统用于基本上消除y轴方向接合力从插入销1504(例如，由于每一插入销1504的相应尖端1504e与角度致动销1005直接接合)到条高致动销1007的施加，借此抑制或减少或消除这种y轴力在z轴方向上对条高致动销1007造成的影响。

图18为根据实施例的图15A的致动器倾斜插入件的预对准器的侧透视图。现在参考图16和图18，根据实施例，每一插入销1504被描绘为包括对准凸块结构/特征1504d(“对准凸块1504d”)，其有助于插入销1504的对应远端1504c与安装工具1000的对应角度致动销1005对准。换句话说，当插入销1504与角度致动销1005接合时，每一对准凸块1504d使插入销1504的对应远端尖端1504e在对应角度致动销1005的叉形物1003内基本上居中。

参考图15A、15B、17和18，研磨工具组合件1500进一步包括在某一z轴(竖直)公差范围内定位每一插入销1504的预对准器梳状物1512。也就是说，预对准器梳状物1512用于在z轴方向上约束插入销1504。此外，一旦插入销1504适当且安全地与安装工具1000的对应角度动作销1005接合，插入销1504的每一对准凸块1504d就定位于预对准器梳状物1512与插入销1504的远端尖端1504e之间。因此，一旦每一对准凸块1504d定位于预对准器梳状物1512外部，每一插入销1504就连同安装工具1000的相应已接合角度致动销1005一起在z轴方向上自由移动。

用于将致动力施加到研磨安装工具以用于研磨磁传感器装置的长形条的方法

图19为示出根据实施例的用于将致动力施加到研磨安装工具以用于研磨磁传感器装置的长形条的方法的流程图，其中长形条具有沿着排的方向的x轴，和沿着长形条的宽度方向的y轴。磁传感器装置通常可以包含例如无数形式的磁性读写头，或单独的磁性读取器，或其它类型的磁传感器中的任一种。

在方框1902处，将长形条附连到研磨安装工具夹具。例如，将长形条206(图5、6、7A)例如经由弹性体516(图5、6、7A)附连到研磨工具1000(图10A到11)的第一结构部件1002(图10A到10C)的夹具1008(图10A到11)。

在方框1904处，致动多个致动器中的每一个，以将相应平移力从每一致动器施加到插入件结构的对应插入销。例如，致动致动器组合件1500(图15A、15B、16、17)的致动器1510(图15A、17)中的每一个，以将相应平移力1511(图15A、17)施加到插入件结构1502(图15A、16、17)的对应插入销1504(图15A、16、17)。

在方框1906处，操作零z轴移位挠曲件系统，其中这个挠曲件系统包括(a)将插入件结构的插入销与可旋转T结构互连的一组第一挠曲件，和(b)将T结构与固定框架互连的一组第二挠曲件，使得插入销在致动后由于第一挠曲件的弯曲而逆时针朝上摆动的趋势被T结构由于第二挠曲件的弯曲而顺时针朝下摆动所抵消，使得插入销基本上仅在y方向上平移。例如，操作插入件结构1502(图16)的机制，其中这个机制包括(a)一组第一挠曲件1507a将插入件结构1502的插入销1504与可旋转T结构1506(图15A、16、17)互连，和(b)一组第二挠曲件1507b将T结构1506与固定框架1508(图15A、16、17)互连，使得插入销1504在致动后由于第一挠曲件1507a的弯曲而逆时针朝上摆动的趋势被T结构1506由于第二挠曲件1507b的弯曲而顺时针朝下摆动所抵消，使得插入销1504基本上仅在y方向上平移。

根据实施例，在任选的方框1908处，操作安装工具插入件z轴去耦挠曲件系统，其中这个挠曲件系统包括将插入销的每一近端耦合到中间结构的一组一个或多个第一去耦挠曲件和一组一个或多个第二去耦挠曲件，使得在z轴方向上基本上消除y方向力从插入销到研磨安装工具的施加。例如，操作安装工具插入件z轴去耦挠曲件系统，其中这个挠曲件系统包括将插入销1504的每一近端1504a(图16)耦合到中间结构1504b(图16)的一组一个或多个第一去耦挠曲件1504f(图16)和一组一个或多个第二去耦挠曲件1504f(图16)，使得在z轴方向上基本上消除y方向力从插入销1504到研磨安装工具1000的施加。

根据实施例，在任选的方框1910处，在插入销与致动销接合的情况中，允许靠近每一插入销的远端的相应对准凸块使插入销的远端尖端在研磨安装工具的对应致动销的V形凹口内基本上居中。例如，在插入销1504与角度致动销1005接合的情况中，允许靠近每一插入销1504的远端1504c(图16)的相应对准凸块1504d(图16、18)使插入销的远端尖端1504e(图16、18)在研磨安装工具1000的对应角度致动销1005(图10A到10C、15A、15B、17、18)的叉形物1003(图10A到10C、18)内基本上居中。

根据实施例，在任选的方框1912处，允许预对准梳状物在z轴公差范围内定位每一插入销，其中插入销的每一对准凸块定位于预对准梳状物与插入销的远端尖端之间，使得插入销与研磨安装工具的相应已接合致动销在z轴公差范围内在z轴方向上自由移动。例如，允许预对准梳状物1512(图15A、15B、17、18)在z轴公差范围内定位每一插入销1504，其中插入销1504的每一对准凸块1504d定位于预对准梳状物1512与插入销1504的远端尖端1504e之间，使得插入销1504与研磨安装工具1000的相应已接合角度致动销1005在z轴公差范围内在z轴方向上自由移动。

扩展和替代例

在前述说明书中，本发明的实施例已参考可以随实施方案而变化的许多特定细节进行描述。因此，可以在不脱离实施例的较宽广的精神和范围的情况下，对其进行各种修改和变化。因此，本发明以及申请人认为是本发明的内容的唯一且专门的指示是从本申请确定的一组权利要求，所述权利要求是这类权利要求公布的特定形式，包含任何后续修正。本文中针对这类权利要求中所含的术语明确地阐述的任何定义将决定这类术语在权利要求中使用的含义。因此，未在权利要求中明确引用的限制、元素、性质、特征、优点或属性不应当以任何方式限制这类权利要求的范围。因此，应在说明性意义上而非限制性意义上看待说明书和图式。

另外，在本说明书中，某些处理步骤可以以特定顺序阐述，并且字母和字母数字标记可以用于识别某些步骤。除非在说明书中特别陈述，否则实施例不必限于执行这些步骤的任何特定顺序。特定来说，标记仅用于方便地识别步骤，而不旨在指定或需要执行这些步骤的特定顺序。

Claims (15)

1.一种研磨工具组合件，其包括：

安装工具，其包括：

可旋转第一结构部件，其容纳多个角度致动销，每一销定位成将角度研磨力施加到磁性读写头滑块的长形条的对应磁头滑块，所述第一结构部件包括用于固持所述长形条的夹具，以及

第二结构部件，其经由第一挠曲件和第二挠曲件与所述第一结构部件耦合，所述第二结构部件容纳多个条高致动销，每一销定位成将研磨力施加到所述长形条的对应磁头滑块；以及

插入件结构，其插入于多个致动器与所述安装工具之间，所述插入件包括：

第一元件，其包括与所述多个致动器反应性地耦合的多个插入销，使得每一所述插入销配置成从对应的所述致动器接收相应平移力，以用于将所述相应平移力传输到所述安装工具的对应的所述角度致动销，以及

第二元件，其经由第三挠曲件和第四挠曲件耦合到所述第一元件，且经由第五挠曲件和第六挠曲件耦合到固定壳体。

2.根据权利要求1所述的研磨工具组合件，其中所述第三、第四、第五和第六挠曲件配置成使得：

在所述第一元件从所述致动器接收y方向上的所述平移力后，所述第一元件由于所述第三和第四挠曲件的弯曲而逆时针朝上摆动的固有趋势被所述第二元件由于所述第五和第六挠曲件的弯曲而顺时针朝下摆动所抵消，使得所述第一元件基本上仅在所述y方向上线性地平移。

3.根据权利要求1所述的研磨工具组合件，其中：

所述多个条高致动销在致动时基本上在z方向上平移；

所述插入件结构的所述第一元件的所述插入销各自包括邻近于所述致动器的近端、包含能与所述安装工具的所述对应角度致动销接合的远端尖端的远端，以及在所述近端与所述远端之间且所述远端从中延伸的中间结构；且

所述第一元件进一步包括去耦器挠曲件系统，其包括将所述插入销的所述近端耦合到所述中间结构的一组一个或多个第一去耦器挠曲件和一组一个或多个第二去耦器挠曲件，以基本上消除y方向接合力从所述插入销到所述条高致动销的施加，以免在所述z方向上影响所述安装工具的所述条高致动销。

4.根据权利要求1所述的研磨工具组合件，其中：

所述插入件结构的所述第一元件的所述插入销各自包括邻近于所述致动器的近端、能与所述安装工具的所述对应角度致动销接合的远端尖端，以及在所述近端与所述远端尖端之间且所述远端尖端从中延伸的中间结构；且

每一所述插入销的所述远端尖端包括对准凸块，当所述插入销与所述角度致动销接合时，所述对准凸块使所述插入销的所述远端尖端在所述对应角度致动销的v形凹口内基本上居中。

5.根据权利要求4所述的研磨工具组合件，其进一步包括：

预对准器梳状物，其在竖直公差范围内定位每一插入销；

其中所述插入销的每一所述对准凸块定位于所述预对准器梳状物与所述插入销的所述远端尖端之间，使得所述插入销与所述安装工具的所述相应已接合角度致动销在z方向上自由移动。

6.一种研磨工具致动插入件，其包括：

第一元件，其包括与多个致动器反应性地耦合的多个插入销，使得每一所述插入销配置成从对应的所述致动器接收相应平移力，以用于将所述相应平移力传输到对应研磨安装工具的角度致动销；以及

第二元件，其经由第一挠曲件和第二挠曲件耦合到所述第一元件，且经由第三挠曲件和第四挠曲件耦合到固定框架。

7.根据权利要求6所述的致动插入件，其中所述第一、第二、第三和第四挠曲件在静止状态中基本上平行且配置成使得：

在所述第一元件从所述致动器接收y方向上的所述平移力后，所述第一元件由于所述第一和第二挠曲件的弯曲而逆时针朝上摆动的固有趋势被所述第二元件由于所述第三和第四挠曲件的弯曲而顺时针朝下摆动所抵消，使得所述第一元件基本上仅在所述y方向上线性地平移。

8.根据权利要求6所述的致动插入件，其中：

所述研磨安装工具进一步包括多个条高致动销，所述条高致动销在致动时基本上在z方向上平移，且所述条高致动销机械地耦合到所述角度致动销，使得在所述第一元件将y方向上的所述平移力传输到所述角度致动销后，所述角度致动销旋转且倾向于在所述z方向上影响所述条高致动销；

所述第一元件的所述插入销各自包括邻近于所述致动器的近端、包含能与所述研磨安装工具的所述对应角度致动销接合的远端尖端的远端，以及定位于所述近端与所述远端之间且所述远端从中延伸的中间结构；且

所述第一元件进一步包括去耦器挠曲件系统，其包括将所述插入销的所述近端耦合到所述中间结构的一组一个或多个第一去耦器挠曲件和一组一个或多个第二去耦器挠曲件，以基本上消除y方向接合力从所述插入销到所述条高致动销的施加，以免在所述z方向上影响所述研磨安装工具的所述条高致动销。

9.根据权利要求6所述的致动插入件，其中：

所述第一元件的所述插入销各自包括邻近于所述致动器的近端、包含能与所述研磨安装工具的所述对应角度致动销接合的远端尖端的远端，以及在所述近端与所述远端之间且所述远端从中延伸的中间结构；且

每一所述插入销的所述远端包括对准凸块，当所述插入销与所述角度致动销接合时，所述对准凸块将所述插入销在z方向上与所述对应角度致动销的叉形物对准。

10.一种用于将致动力施加到研磨安装工具以用于研磨磁传感器装置的长形条的方法，其中所述长形条具有沿着所述长形条的方向的x轴和沿着所述长形条的宽度方向的y轴，所述方法包括：

将所述长形条附连到研磨安装工具夹具；

致动多个致动器中的每一个以将相应平移力从每一所述致动器施加到插入件结构的对应插入销；

操作零z轴移位挠曲件系统，其包括将所述插入件结构的所述插入销与可旋转T结构互连的一组第一挠曲件，和将所述T结构与固定框架互连的一组第二挠曲件，使得所述插入销在致动后由于所述第一挠曲件的弯曲而逆时针朝上摆动的趋势被所述T结构由于所述第二挠曲件的弯曲而顺时针朝下摆动所抵消，使得所述插入销基本上仅在所述y轴方向上平移。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述插入销各自包括邻近于所述致动器的近端、包含能与研磨安装工具的对应角度致动销接合的远端尖端的远端，以及在所述近端与所述远端之间且所述远端从中延伸的中间结构，所述方法进一步包括：

操作研磨安装工具插入件z轴去耦挠曲件系统，其包括将所述插入销的所述近端耦合到所述中间结构的一组一个或多个第一去耦挠曲件和一组一个或多个第二去耦挠曲件，使得在所述z轴方向上基本上消除y轴方向力从所述插入销到所述研磨安装工具的施加。

12.根据权利要求10所述的方法，其中所述插入销各自包括邻近于所述致动器的近端、包含能与研磨安装工具的对应角度致动销接合的远端尖端的远端，以及在所述近端与所述远端之间且所述远端从中延伸的中间结构，所述方法进一步包括：

当所述插入销与所述致动销接合时，允许靠近每一所述插入销的所述远端的相应对准凸块使所述插入销的所述远端尖端在所述研磨安装工具的对应致动销的v形凹口内基本上居中。

13.根据权利要求12所述的方法，其进一步包括：

允许预对准梳状物在z轴公差范围内定位每一插入销；

其中所述插入销的每一所述对准凸块定位于所述预对准梳状物与所述插入销的所述远端尖端之间，使得所述插入销与所述研磨安装工具的所述相应已接合致动销在所述z轴公差范围内在所述z轴方向上自由移动。

14.一种致动器与研磨工具之间的插入件，其包括：

用于施加零z轴移位的构件，使得容纳于所述插入件内的插入销在y轴致动后逆时针朝上摆动的趋势被容纳于所述插入件内的T结构顺时针朝下摆动所抵消，使得所述插入销基本上仅在y轴方向上平移。

15.根据权利要求14所述的致动器与研磨工具之间的插入件，其进一步包括：

用于施加z轴去耦机制的构件，使得在所述z轴方向上基本上消除y轴方向力从所述插入销到研磨安装工具的施加。

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