CN111135697A - 用于气流的湿式清洁的设备和方法 - Google Patents

用于气流的湿式清洁的设备和方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111135697A
CN111135697A CN201911059403.2A CN201911059403A CN111135697A CN 111135697 A CN111135697 A CN 111135697A CN 201911059403 A CN201911059403 A CN 201911059403A CN 111135697 A CN111135697 A CN 111135697A
Authority
CN
China
Prior art keywords
washing
gas
flow path
flow
bypass channel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201911059403.2A
Other languages
English (en)
Inventor
H·毛赫
T·坦内贝格尔
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
DAS ENVIRONMENTAL EXPERT GmbH
Original Assignee
DAS ENVIRONMENTAL EXPERT GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by DAS ENVIRONMENTAL EXPERT GmbH filed Critical DAS ENVIRONMENTAL EXPERT GmbH
Publication of CN111135697A publication Critical patent/CN111135697A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/77—Liquid phase processes
    • B01D53/78—Liquid phase processes with gas-liquid contact
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/77—Liquid phase processes
    • B01D53/79—Injecting reactants
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/06—Spray cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/12—Washers with plural different washing sections
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/14—Packed scrubbers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/14—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by absorption
    • B01D53/1456—Removing acid components
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/14—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by absorption
    • B01D53/1487—Removing organic compounds
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/14—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by absorption
    • B01D53/18—Absorbing units; Liquid distributors therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/46—Removing components of defined structure
    • B01D53/54—Nitrogen compounds
    • B01D53/58—Ammonia
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/46—Removing components of defined structure
    • B01D53/68—Halogens or halogen compounds
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/46—Removing components of defined structure
    • B01D53/72—Organic compounds not provided for in groups B01D53/48 - B01D53/70, e.g. hydrocarbons
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/75—Multi-step processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2221/00—Applications of separation devices
    • B01D2221/14—Separation devices for workshops, car or semiconductor industry, e.g. for separating chips and other machining residues
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2247/00—Details relating to the separation of dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D2247/06—Separation units provided with means for cleaning and maintenance
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2247/00—Details relating to the separation of dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D2247/10—Means for removing the washing fluid dispersed in the gas or vapours
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2247/00—Details relating to the separation of dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D2247/10—Means for removing the washing fluid dispersed in the gas or vapours
    • B01D2247/106—Means for removing the washing fluid dispersed in the gas or vapours using a structured demister, e.g. tortuous channels
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2247/00—Details relating to the separation of dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D2247/14—Fan arrangements for providing induced draft
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/20—Halogens or halogen compounds
    • B01D2257/204—Inorganic halogen compounds
    • B01D2257/2047—Hydrofluoric acid
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/40—Nitrogen compounds
    • B01D2257/406—Ammonia
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/55—Compounds of silicon, phosphorus, germanium or arsenic
    • B01D2257/553—Compounds comprising hydrogen, e.g. silanes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/55—Compounds of silicon, phosphorus, germanium or arsenic
    • B01D2257/556—Organic compounds
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/70—Organic compounds not provided for in groups B01D2257/00 - B01D2257/602
    • B01D2257/704—Solvents not covered by groups B01D2257/702 - B01D2257/7027
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/70—Organic compounds not provided for in groups B01D2257/00 - B01D2257/602
    • B01D2257/708—Volatile organic compounds V.O.C.'s
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/93—Toxic compounds not provided for in groups B01D2257/00 - B01D2257/708
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2258/00—Sources of waste gases
    • B01D2258/02—Other waste gases
    • B01D2258/0216—Other waste gases from CVD treatment or semi-conductor manufacturing
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Gas Separation By Absorption (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)

Abstract

本发明涉及一种用于气流的湿式清洁的设备和方法，所述设备包括具有气体入口和气体出口的壳体，其中，在壳体中设置有布置在气流的流动路径中的至少一个第一洗涤段以用于通过洗涤液体清洁气流。在设备的壳体内部设置有至少一个风扇以调节在气流的流动路径上的空气压力。在壳体内部布置有用于桥接经由所述至少一个洗涤段的流动路径的旁路通道和布置在旁路通道中的调节装置以导出经由旁路通道引导的气流。

Description

用于气流的湿式清洁的设备和方法
技术领域
本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分所述的用于气流的湿式清洁的设备以及一种根据权利要求12的前序部分所述的用于气流的湿式清洁的方法。
背景技术
在半导体工业中，在清洁晶片时通常使用所谓的湿式清洗台，在所述湿式清洗台中将装载有多个晶片的载体箱沉入到并排布置的液体池中。在每个液体池中的排气被分别引导到排气系统中，其中，区别在于包含酸性的、碱性的、挥发性的有机化合物(“volatileorganic compounds，VOC”)的排气和普通的排气。
此外，已知所谓的单晶片湿式清洁系统，所述系统由多个过程腔组成，以便同时分开地处理多个晶片或者以便在不同腔中实施用于清洁单个晶片的不同过程步骤。在清洁过程期间，晶片相继地以不同的液态化学试剂喷射，所述化学试剂随后通过晶片的旋转又被移除。除了纯净水之外，典型的洗涤液体也是氨溶液、硫酸、过氧化氢、臭氧处理水、氢氟酸或异丙醇。在喷射和旋转晶片时，液体蒸发或者所述液体以小微滴的形式进入到排气通道中。
当蒸汽或微滴相互接触时，包含氨、氢氟酸或硫酸的排气流会由于盐晶的形成而在排气通道中产生问题。
通过这种类型的用于气流的湿式清洁的设备、即所谓的湿式洗涤机可以解决这些问题。原则上，湿式洗涤机良好地适用于将可溶于水的气体从排气流中移除。酸性的和碱性的气体可以通过借助碱性的或酸性的洗涤液体的化学吸收减少到小的程度。
湿式洗涤机用于从气体中移除固态、液态或气态的污物，其中，污物结合到引入气流中的洗涤液体上并且与该洗涤液体一起分离。
这种类型的湿式洗涤机或者说湿式分离器的作用方式基于将气体或颗粒从载有气体或颗粒的气流中运送到液体中。为此，形成在气体和液体之间的相应的相界面并且产生在这两个相之间的相对运动。在气体和液体尽可能强烈地混合的情况下实现相界面的措施是一个相到另一个相中的弥散。即例如在液体中产生气泡群或在气体中产生微滴簇，或者产生以下系统，在所述系统中液体或多或少地作为分散射束存在。使气体和液体相互接触的另外的原则上的可能性是使环流润湿的坯体
Figure BDA0002257484030000021
因此，湿式洗涤机是排气清洁或废气清洁的简单措施，其中，待清洁的气体在顺流或逆流中与细微分布的水滴或另外的洗涤液体接触，从而出现负载气流的清洁。
气体洗涤机通过液相和气相的伴随着相平衡的形成的重复混合和分离过程起作用。这种类型已知的是，液相和气相可以在顺流、叉流或逆流中受引导，如由德国工程师协会VDI 3679第2分册：2014年7月，Nassabscheider；Abgasreinigung durch Absorption
Figure BDA0002257484030000022
保伊斯出版社，第29页得知。
在用于使颗粒从气流中分离的湿式洗涤机中，所产生的微滴通常大于待分离的颗粒并且因此能够相对简单地借助于微滴或液体分离器分离。
湿式洗涤机可以直接在产生待清洁气体的地方使用。出于该原因，湿式洗涤机通常必须符合关于支承面积和高度方面的限制，即尽可能紧凑地构型。
这种类型的湿式洗涤机具有两个并排布置的并且以逆流原理工作的洗涤阶段。因为气体到液相中的过渡与液体的有效表面有关，所以该洗涤阶段通常设计为填料柱。填料柱通常通过将合适的填料倾倒在筛底上来实现或者也通过所谓的结构化封装部实现，在该封装部中将大块的结构化材料装入到所述柱中。
特别地，在半导体工业中的应用中已知旁通管路，所述旁通管路安装在湿式洗涤机外部。这些旁通管路允许围绕湿式洗涤机引导气流，以便当出于维护原因必须打开湿式洗涤机时不中断排气流动。
这类设施的缺点是几何尺寸，因为有时由于其尺寸而难以运输至确定地点或安装地点和/或在那里装配。所提到的旁通管路需要附加的结构空间并且提升了安装费用。
发明内容
由前面所述的缺点出发，基于本发明的任务在于，提供在关于尺寸、效率和压力降方面的特定限制进行优化的设备以及用于气流的湿式清洁的方法。
该任务通过根据权利要求1的用于气流的湿式清洁的设备以及通过根据权利要求12的用于气流的湿式清洁的方法来解决。
根据本发明，设置用于气流的湿式清洁的设备，所述设备包括具有气体入口和气体出口的壳体。在壳体中设置有在气流的流动路径中布置的至少一个第一洗涤段以用于通过洗涤液体清洁气流。在所述设备的壳体内部设置有至少一个风扇以用于调节气流的流动路径上的空气压力。
根据本发明，在壳体内部布置有用于桥接经由洗涤段的流动路径的旁路通道和在旁路通道中布置的调节装置以用于导出经由旁路通道引导的气流。
为了提升湿式洗涤机的紧凑性，旁路通道布置在壳体内部。以该方式，相对于具有布置在壳体外部的旁路通道的设备而言，可以明显减小所述设备的总高度。由此例如可以将已知设施中的约2.60m的总高度通过根据本发明的设备减小为总共约1.70m。
旁路通道可以这样布置在壳体内部，使得所述旁路通道位于设置用于洗涤液体的收集箱旁边的下部区域中。
通过在两个洗涤段下方的旁路通道的引导，排气可以从下向上地导入到调节装置中并且由此与排气引导并行地在两个洗涤段之后汇合到系统的上端部处的接口中。
通过该构造既能够实现通过旁路通道的空气引导，也能够实现通过在非常紧凑的壳体内部的洗涤段的空气引导。换言之，壳体以有利的方式包含洗涤段和旁路通道以及用于洗涤段和旁路通道的风扇和调节装置。不再需要如已知的湿式洗涤机中的外部附件。由此除了位置需求外也减小安装时间。
从所述设备中引导出来的排气管路可以节省位置地直接连接在所述设备的壳体的上侧上。由于所述设备中的不同的空气质量(在洗涤段之后的清洁气流和在旁路通道中的未清洁气流)，能够有利地连接两个不同的排气系统。但也可以考虑两个路径的共同引导，例如通过Y形件。
用于调节气流通过洗涤段的流动路径上的空气压力的所述至少一个风扇可以构型为轴流式风扇或径流式风扇。尤其可以设置为，空气通过在底板中的开口从下方居中地引导到水平的风扇叶轮上，风扇位于该底板上。风扇叶轮使气体远离轴线向外加速，如在径流式风扇中那样。由此可以比在轴流式风扇中达到更高的压力。然后空气平行于驱动轴线向上地在围绕风扇马达的整个周向上导出。
此外可以设置为，在其中安装有风扇叶轮的通道不构造成圆形，而是构造成矩形。由此实现在设施壳体中可供使用的空间的优化利用。
为了实现冗余，可以使用两个风扇。如果在经由洗涤段的流动路径上的风扇失效，那么可以在经由旁路通道的流动路径上借助于第二风扇保持在前置的过程设施中的经调节的流动。由于在洗涤段和旁路通道中的不同压力损失，对于经过所述设备的这两个路径尤其可以使用不同的风扇。
如上面所述的那样，用于所述至少一个洗涤段的风扇可以是径流式风扇，但在该径流式风扇中入口可以在轴线中位于下方并且出口可以位于上方。用于导出经由旁路通道引导的气流的调节装置可以是轴流式风扇。通过这两个风扇的结构形式能够实现特别紧凑的结构方式，即能够减小放置面积和结构空间。
根据本发明的有利的第一构型，调节装置构型为旁路泵或可自动调整的、尤其可调节的节气门。通过使用调节装置，在气体入口处即使在压力流改变的情况下也得到恒定的压力。当在连接到旁路通道上的排气管路处存在足够高的负压时，优选使用节气门。当在排气系统中不再能使用必需的抽吸管路时，可以使用旁路泵。
根据本发明的另外的有利构型，设置有用于在经由旁路通道的流动路径和经由所述至少一个洗涤段的流动路径之间进行气体引导的切换的导向元件。导向元件例如可以借助于驱动装置来运动、尤其是摆动。此外，导向元件可以布置在气体入口附近。排气流的供应可以在侧面、在第一填料封装部下方进行。通过导向元件的切换，在进入侧上要么关闭用于洗涤段的流动路径，要么关闭用于旁路通道的流动路径。以该方式，可以通过仅一个单个的导向元件开启用于气流的不同流动路径。
导向元件可以定位在第一洗涤段下方，使得洗涤液体从上面经由所述至少一个洗涤段流到导向元件上并且在此通过导向元件与该导向元件的位态无关地转向到用于洗涤液体的第一收集箱中。
而在已知的设备中，例如首先将排气引导到腔中，所述排气随后从该腔要么通过所述腔的上端部引导到旁路中要么通过下端部引导到湿式洗涤机中。为此必须在上端部和下端部上定位有阀门。这两个阀门必须同步地工作，因此通过杆相互连接。该缺点可以通过根据本发明的单个导向元件来避免。
在本发明的扩展方案中，在流动路径中优选相继地布置有至少两个洗涤段。如在两阶段的湿式洗涤机中通常的那样，这两个洗涤段可以分别与用于洗涤液体的收集箱连接，洗涤液体可以从所述收集箱借助于泵引导回到相应的洗涤段上。通过两阶段的实施方案可以比具有单独洗涤段的实施方案达到针对可溶解气体的明显更高的分离效率。
根据另外的构型，旁路通道基本上在洗涤段下方走向。通过旁路通道的这种布置，以有利的方式仅需要单个导向元件来切换空气流。在已知的设备中，总是需要多个阀门对气流进行导向。此外，旁路通道在所述设备的下部分中、在收集箱的高度上的引导允许在上方的用于排气经由洗涤段的流动路径的更大的位置。
在本发明的另外的变型方案中，导向元件构造成与所述导向元件的位态无关地将第一洗涤段的洗涤液体导向到收集箱中。此外，导向元件防止洗涤液体流到旁路通道中。如提到的那样，导向元件可以布置在第一洗涤段下方，使得第一洗涤段中的洗涤液体通过导向元件导向到收集箱中。在导向元件下方可以设置用于液体的贯通部，所述贯通部这样布置，使得与导向元件的位态无关地产生从第一洗涤段至收集箱的连接部。这些贯通部可以如此深地终止在收集箱中的液位下方，使得防止经由贯通部的气体流动。通过该布置，当气流被导向通过旁路通道时也可以使洗涤液体从第一洗涤段自由地流到收集箱中。
根据有利的扩展方案，所述至少两个洗涤段以气流流动方向相反的方式在侧面并排地布置在壳体中。通过具有气流的相反流动方向的布置，即首先以洗涤液体的逆流向上，然后以顺流向下，气流可以从第一洗涤段的上端部直接引导到第二洗涤段的上端部中。由此，相对于具有在两个洗涤段中从下向上的相同指向的流动方向的布置而言，取消连接通道和附加的转向装置和由此引起的压力损失。这两个洗涤段可以没有间隔地并排构建。因此，所述设备比气流在两个洗涤段中具有相同指向的流动方向的情况需要更小的结构空间。
在另外的有利变型方案中，在每个洗涤段下游设置有至少一个液体分离器或微滴分离器。所述液体分离器可以设置在经由洗涤段的流动路径的转向装置的区域中。在第一洗涤段之后，气流流经液体分离器，以便防止带走洗涤液体。在第二洗涤段中通常以另外的洗涤液体进行洗涤。因此，在第一洗涤段中未反应的有害气体的成分可以在第二洗涤段中更好地被吸收。
在本发明的另外的有利构型中，洗涤段构型为封装填料塔。为此可以在洗涤段的内室中设置有筛底，将填料倾倒到该筛底上，所述填料借助于喷嘴从上方以洗涤液体冲刷。
在本发明的有利扩展方案中，在第一和第二洗涤段之间设置有在所述设备上的可松脱的连接部，以便将装配的设备拆成至少两个模块。以该方式，所述设备能够以拆成模块的方式被运输并且也以狭窄的接触路径带入到周围环境中。
根据本发明的自主的思想，设置用于气体的湿式清洁的方法，其中，将待反应的气流导入到用于气体的湿式清洁的设备中，其中，气流流经至少一个第一洗涤段和第二洗涤段并且在此通过至少一个含水的洗涤液体清洁，其中，设置有用于桥接经由洗涤段的流动路径的旁路通道，并且气流可选地流经通过洗涤段的流动路径或通过旁路通道的流动路径。
根据本发明的方法的有利构型设置为，在两个流动路径中独立地调节压力损失，使得在两个路径之间切换时可以使在气体入口处的压力波动最小化。
所述方法的有利变型方案设置为，液体从气流中分离出，所述气流优选以用于降低其废气浓度的液体加载。
附图说明
本发明的其他目标、优点、特征和应用可行性方案参照附图由下面对实施例的说明得出。在此，所有描述的和/或以图像示出的特征本身或以任意有意义的组合形成本发明的主题，而与它们在权利要求中的组合或引用关系无关。
在此，部分示意性地示出：
图1用于气流的湿式清洁的设备，具有两个洗涤段和一个旁路通道，
图2气流经过洗涤段的第一流动路径的示图，和
图3气流经过旁路通道的第二流动路径的示图。
相同的或相同作用的构件参照实施方式在下面示出的附图中设有附图标记，以便改善可读性。
具体实施方式
由图1得知一种用于气流的湿式清洁的设备10、即所谓的湿式洗涤机。在此，涉及用于来自湿化学过程的、例如在半导体工业中的排气清洁的设施。在此，应该清除在制造设施上的异丙醇(IPA)、氨和氟化氢。
待清洁的排气通过布置在设备10的壳体1中的气体入口2导入到设备10的清洁段中，以便借助于化学吸收将有害气体从排气中除去并且通过同样布置在壳体1中的气体出口3导出。
设备10可以通过在气体入口2上的合适的适配器构型有用于输入管路的最多十二个分离的接口。在用于处理处于1.000和4.500m3/h之间的气流的设计方案中，所述设备的底面积在当前实施例中仅为2.5m2，高度约为1.7m。
具有有害气体的气流可以首先被导入到预洗器中并且借助于喷嘴9进行预洗。
然后气流达到布置在气流的流动路径15中的第一洗涤段4中以用于通过洗涤液体清洁气流。在当前实施例中，第一洗涤段4具有填料封装部或者说填料塔23，其中，气流从下向上流经洗涤段4。通过在填料封装部23上方布置的另外的喷嘴21可以给洗涤段4供应以第一洗涤液体。
根据图1，第一洗涤液体从上向下缓缓流经填料封装部23。填料封装部23可以通过将合适的填料倾倒在筛底上来实现。气流从下方被引导经过第一洗涤段4。以该方式，通过填料的大的表面积和逆流原理确保气流中的有害气体的优化吸收。
在穿过第一洗涤段4之后，气流流经微滴或液体分离器17，该微滴或液体分离器在第一洗涤段4下游布置在第一转向区域19中，以便防止带走洗涤液体。
然后气流达到第二洗涤段5中并且通常通过另外的洗涤液体进行洗涤。替代地，可以设置与第一洗涤段4中相同的洗涤液体。因此，有害气体的在第一洗涤段4中没有发生反应的成分可以在第二洗涤段5中更好地被吸收。在当前实施例中，第二洗涤段5同样具有填料封装部24或者说填料塔，其借助于用于第二洗涤液体的另外的喷嘴22来喷射。气流以与洗涤液体相同的方向从上向下穿过第二洗涤段5。
在穿过第二洗涤段5之后，气流被导入到第二液体分离器18中，该第二液体分离器在第二洗涤段5下游布置在设备10的第二转向区域20中。
在当前实施例中，两个洗涤段4、5相继地布置在流动路径15中，如由图1至3中得知。此外，洗涤段4、5以气流流动方向相反的方式在侧面并排地布置在壳体1中。
在当前实施例中，为了确保设备10的紧凑结构方式，气流的方向在第一洗涤段4中与洗涤液体逆向地向上走向并且在第二洗涤段5中沿着与液体相同的方向向下走向。以该方式，相对于已知设备省略转向装置并且两个洗涤阶段4、5可以紧凑地并排布置。
如由图1还得知，设备10具有至少一个风扇6以用于调节在设备10的壳体1内部的气流的流动路径15上的空气压力。以该方式，系统压力通过风扇6来控制和保持恒定。通过优选调频的风扇6可以实现在整个清洁过程期间的+/-10Pa的压力稳定性。
用于至少一个洗涤段4的风扇6可以是径流式风扇，但在该径流式风扇中入口可以位于下方并且出口可以位于上方、即在一轴线上。尤其可以设置为，气流经由在底板中的开口从下方居中地引导到水平的风扇叶轮上，风扇位于该底板上。风扇叶轮使气体远离轴线向外加速，所述气体从那里向上导出。风扇的驱动装置居中地布置在流动通道中并且由气流围绕。此外可以设置为，风扇叶轮所装入的流动通道不构造成圆形、而是构造成矩形。
此外，在壳体1内部布置有用于桥接通过洗涤段4、5的流动路径15的旁路通道7和布置在旁路通道7中的、用于导出经由旁路通道7引导的气流的调节装置8。通过流动路径16在旁路通道7中流动的气流经由旁路通道7的气体出口14从设备10中导出。
调节装置8可以构造为可自动调节的节气门。在当前实施例中，调节装置构型为旁路泵8。
用于导出通过旁路通道7引导的气流的旁路泵8例如可以是轴流式风扇。通过旁路泵8以及风扇6的结构形式能够实现设备10的特别紧凑的构造类型。
通过旁路通道7，例如即使在维修工作期间或在设备10停止运行的情况下仍可以保持在气体入口侧的压力，使得几乎排除由于设备10停止运转而出现的在前置的过程设施中的污染。在维修或故障情况中，气流可以借助于旁路通道7在两个洗涤阶段4、5旁边经过。
在当前实施例中，旁路通道7基本上在洗涤段4、5下方走向，从而更进一步提升设备10的紧凑性。
在根据图1的实施例中，用于洗涤段4、5的气体出口3和旁路通道7的气体出口14并排地布置在壳体1中，尤其是，风扇6和旁路泵8布置在设备10的并排放置的通道中。
替代地，这些通道也可以相继地布置在所述设备中，如由图2和3得知。
如图1至3进一步示出，为了在气流通过旁路通道7的流动路径16和通过至少一个洗涤段4的流动路径15之间的气体引导的转换而设置有导向元件11。
此外，导向元件11可以布置在气体入口2附近。气流的供应可以在侧面在第一填料封装部23下方进行。
导向元件11构造成与其位态无关地将第一洗涤段4的洗涤液体引导到用于第一洗涤液体的收集箱12中。此外，可以设置有用于第二洗涤液体的第二收集箱13。也可以考虑，将第一和第二洗涤液体引导到单个收集箱12、13中。
导向元件11可以借助于未示出的驱动装置在旁路位态和用于洗涤段4、5的位态之间运动。
图1以实线示出处于以下位态中的导向元件11：在该位态中气流被导向通过洗涤段4、5。图1中的导向元件11的点划线表明导向元件11的旁路通道位态。
在图2中借助于箭头表明气流通过洗涤段4、5的流动路径。导向元件11位于以下位态中：在所述位态中所述导向元件将经由气体入口2流入的气流导向到第一洗涤段4中。如前面已经描述的那样，气流随后流经布置在第一转向区域19中的液体分离器17并且进入到第二洗涤段5中。然后所述气流流经第二液体分离器18并且通过风扇6经由气体出口3从设备10引导出。
旁路通道7在根据图2的设备10的示图中未示出，因为所述旁路通道会遮盖具有气体出口3的出口通道和两个收集箱12、13。
气流通过旁路通道7的流动路径16通过在图3中的箭头标明。在这种情况中，气流也经由气体入口2进入到设备10中并且随后由于导向元件11的位态不导向到第一洗涤段4中，而是导向到旁路通道7中，即围绕洗涤段4、5流动。所述气流随后由旁路通道7的气体出口14从设备10中导出。调节装置8提供用于气流通过旁路通道7的流动所需的压力。
在图3中不能看出收集箱12、13、风扇6和气体出口3，因为它们布置在旁路通道7后面。
在第一洗涤段4和第二洗涤段5之间可以设置有在设备10上的可松脱的连接部，以便将安装的设备10拆解成至少两个模块。以该方式，能够实现构件的预安装并且因此能够实现设备10的简单的输送以及在安装地点处的迅速安装。
基于该设备能够在紧凑的壳体1内部实现既通过旁路通道7也通过洗涤段4、5的空气引导。不再需要如在用于气流的湿式清洁的已知设备中的外部结构。除了位置需求之外，由此也减小安装时间。
附图标记列表
1 壳体
2 气体入口
3 气体出口
4 第一洗涤段
5 第二洗涤段
6 风扇
7 旁路通道
8 调节装置
9 喷嘴
10 设备
11 导向元件
12 用于第一洗涤液体的收集箱
13 用于第二洗涤液体的收集箱
14 气体出口旁路通道
15 流动路径洗涤段
16 流动路径旁路通道
17 液体分离器
18 液体分离器
19 转向区域
20 转向区域
21 用于第一洗涤液体的喷嘴
22 用于第二洗涤液体的喷嘴
23 填料封装部
24 填料封装部

Claims (14)

1.用于气流的湿式清洁的设备(10)，所述设备包括具有气体入口(2)和气体出口(3)的壳体(1)，其中，在所述壳体(1)中设置有布置在气流的流动路径(15)中的、用于借助洗涤液体来清洁所述气流的至少一个第一洗涤段(4)并且设置有至少一个风扇(6)以用于调节在所述设备(10)的所述壳体(1)内部的所述气流的所述流动路径(15)上的空气压力，其特征在于，在所述壳体(1)内部布置有用于桥接经由至少一个洗涤段(4)的所述流动路径(15)的旁路通道(7)和布置在所述旁路通道(7)中的、用于导出经由所述旁路通道(7)引导的气流的调节装置(8)。
2.根据权利要求1所述的设备(10)，其特征在于，所述调节装置(8)构型为旁路泵。
3.根据权利要求1或2所述的设备(10)，其特征在于，设置有导向元件(11)以用于在经由所述旁路通道(7)的流动路径(16)和经由所述至少一个洗涤段(4)的流动路径(15)之间进行气体引导的切换。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的设备(10)，其特征在于，在所述流动路径(15)中优选相继地布置有至少两个洗涤段(4、5)。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的设备(10)，其特征在于，所述旁路通道(7)基本上在所述洗涤段(4、5)下方延伸。
6.根据权利要求3至5中任一项所述的设备(10)，其特征在于，所述导向元件(11)构造成与该导向元件的位态无关地将所述第一洗涤段(4)的洗涤液体导向到收集箱(12)中。
7.根据权利要求4至6中任一项所述的设备(10)，其特征在于，所述至少两个洗涤段(4、5)以气流流动方向相反的方式侧面并排地布置在所述壳体(1)中。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的设备(10)，其特征在于，在每个洗涤段(4、5)下游设置有至少一个液体分离器(17、18)。
9.根据权利要求8所述的设备(10)，其特征在于，所述液体分离器(17、18)设置在经由所述洗涤段(4、5)的所述流动路径(15)的转向装置(19、20)的区域中。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的设备(10)，其特征在于，所述洗涤段(4、5)分别具有一个封装填料塔(23、24)。
11.根据权利要求3至9中任一项所述的设备(10)，其特征在于，在所述第一洗涤段(4)和所述第二洗涤段(5)之间设置有能松脱的连接，以便将装配的设备(10)拆成至少两个模块。
12.用于气流的湿式清洁的方法，其中，将待清洁的气流导入到尤其根据前述权利要求中任一项所述的用于气体的湿式清洁的设备(10)中，其中，所述气流流经至少一个第一洗涤段(4)和第二洗涤段(5)并且在此通过至少一种含水的洗涤液体清洁，并且，其中，设置有用于桥接经由所述洗涤段(4、5)的流动路径(15)的所述旁路通道(7)，并且所述气流能选择式地流经通过所述洗涤段(4、5)的流动路径(15)或通过所述旁路通道(7)的流动路径(16)。
13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，在流动路径(15、16)中独立地调节压力损失，使得在流动路径(15、16)之间进行气流流动的切换时使在所述气体入口(2)处的压力波动最小化。
14.根据权利要求12或13所述的方法，其特征在于，使液体从加载有用于降低气流废气浓度的液体的气流中分离。
CN201911059403.2A 2018-11-02 2019-11-01 用于气流的湿式清洁的设备和方法 Pending CN111135697A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102018127371.1A DE102018127371B4 (de) 2018-11-02 2018-11-02 Vorrichtung und Verfahren zur Nassreinigung eines Gasstromes
DE102018127371.1 2018-11-02

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN111135697A true CN111135697A (zh) 2020-05-12

Family

ID=70458334

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201911059403.2A Pending CN111135697A (zh) 2018-11-02 2019-11-01 用于气流的湿式清洁的设备和方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11504670B2 (zh)
KR (1) KR102383963B1 (zh)
CN (1) CN111135697A (zh)
DE (1) DE102018127371B4 (zh)
TW (1) TWI708635B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3749895A4 (en) * 2018-02-09 2021-11-10 Nano Silver Manufacturing SDN BHD EXHAUST SMOKE CLEANER
DE102021132127A1 (de) 2021-12-07 2023-06-07 Das Environmental Expert Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Nassreinigung eines Gasstromes
DE102022105258A1 (de) 2022-03-07 2023-09-07 Das Environmental Expert Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Reinigung eines Gasstromes

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201371039Y (zh) * 2009-01-08 2009-12-30 成都华西工业气体有限公司 一种用于烟气脱硫的多功能吸收塔
CN101745305A (zh) * 2010-01-24 2010-06-23 华北电力大学（保定） 一种脱除烟气中气态多种污染物的方法
WO2010131234A1 (en) * 2009-05-15 2010-11-18 Bioenergia S.R.L. Process for the biologic treatment of organic wastes and plant therefor
CN102600706A (zh) * 2012-03-16 2012-07-25 上海申欣环保实业有限公司 燃煤机组脱硫系统中增压风机的运行方法及其系统
CN204447740U (zh) * 2015-02-28 2015-07-08 唐山三友热电有限责任公司 电石渣浆和碱渣浆液联合脱硫装置
CN206008426U (zh) * 2016-06-06 2017-03-15 山东白云环保机械有限公司 玻璃窑炉烟气除尘脱硫系统
US20170165608A1 (en) * 2015-12-15 2017-06-15 General Electric Company System and methods for co2 separation
CN107829804A (zh) * 2017-11-24 2018-03-23 江苏科技大学 一种基于scr的船舶脱硝系统的尾气循环处理系统

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3818683A (en) * 1970-06-08 1974-06-25 Automatic Incinerator Correcti Wet scrubber
US4470830A (en) * 1983-06-20 1984-09-11 At&T Technologies, Inc. Treating gases with liquids
US4734108A (en) * 1985-05-31 1988-03-29 Cox James P Gas scrubbing apparatus and process
EP0316377B1 (de) * 1987-05-20 1992-04-08 Epal Ag Thun Anlage für die mehrstufige, nasse reinigung von abgasen
US4948402A (en) * 1988-12-09 1990-08-14 Davis Water & Waste Industries, Inc. Modular air scrubber system
IL96555A0 (en) * 1989-12-08 1991-09-16 Union Carbide Chem Plastic Process and apparatus for de-polluting circulated air
US6174498B1 (en) * 1991-10-28 2001-01-16 Us Filter/Rj Environmental, Inc. Odor control system
CA2122352A1 (en) * 1991-10-28 1993-05-13 Roop C. Jain Emergency scrubbing system and method of using same
DE29518530U1 (de) 1995-05-03 1996-01-18 Scheel Arnold Dipl Ing Univ Vorrichtung zur Behandlung von Abluft
FI103388B1 (fi) * 1997-08-29 1999-06-30 Outokumpu Oy Menetelmä kaasujen pesemiseksi useammassa eri vaiheessa ja tätä varten tarkoitettu monivaihepesuri
JP4154219B2 (ja) * 2001-12-25 2008-09-24 キヤノン株式会社 湿式ガス処理方法
US6726748B2 (en) * 2002-07-16 2004-04-27 The Babcock & Wilcox Company Method of converting a downflow/upflow wet flue gas desulfurization (WFGD) system to an upflow single-loop WFGD system
US20060185517A1 (en) * 2005-02-22 2006-08-24 Nagel Daniel J Multi-stage odor scrubber
US20080271603A1 (en) 2007-05-04 2008-11-06 The Dial Corporation Air purification system and method of purifying air
DE102009026175A1 (de) 2009-02-24 2010-08-26 Hipp, Thomas Verfahren und Vorrichtung zur Abgasreinigung und Vorrichtung zum Wärmeaustausch
KR100901300B1 (ko) * 2009-03-09 2009-06-08 (주)여진 습건식 복합 탈취장치
KR20130033876A (ko) * 2011-09-27 2013-04-04 현대제철 주식회사 산성 가스 중화 장치 및 산성 가스 중화 방법
KR101236782B1 (ko) * 2011-12-19 2013-02-28 에스코 주식회사 매연탈질장치
CN203598643U (zh) * 2013-11-29 2014-05-21 郑昌武 多级渗流串联旋转犁清污pm2.5级烟气除尘装置
CN105214421A (zh) * 2014-06-27 2016-01-06 沈阳铝镁设计研究院有限公司 一种焙烧烟气的治理方法
EP3015432A1 (de) * 2014-10-30 2016-05-04 Eliquo Stulz GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von organischer Masse mit Faulschlamm-Rückführung
DE102015101728A1 (de) * 2015-02-06 2016-08-11 Das Environmental Expert Gmbh Verfahren zum Entfernen von Fluor aus fluorhaltigen Abgasen
CN204469527U (zh) * 2015-03-03 2015-07-15 长沙宏福环保技术有限公司 串联双塔湿法脱硫装置
KR200480334Y1 (ko) * 2015-04-02 2016-05-12 (주)에프테크 이동식 스크러버를 사용한 공기 오염 지역 정화 장치
KR101832849B1 (ko) * 2015-11-30 2018-02-27 선문대학교 산학협력단 반도체 생산현장의 ｖｏｃ 가스 제거 기능을 갖는 공기 정화장치
KR101895937B1 (ko) * 2018-01-25 2018-10-24 (주)풍천엔지니어링 압입송풍형 대향류냉각탑

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201371039Y (zh) * 2009-01-08 2009-12-30 成都华西工业气体有限公司 一种用于烟气脱硫的多功能吸收塔
WO2010131234A1 (en) * 2009-05-15 2010-11-18 Bioenergia S.R.L. Process for the biologic treatment of organic wastes and plant therefor
CN101745305A (zh) * 2010-01-24 2010-06-23 华北电力大学（保定） 一种脱除烟气中气态多种污染物的方法
CN102600706A (zh) * 2012-03-16 2012-07-25 上海申欣环保实业有限公司 燃煤机组脱硫系统中增压风机的运行方法及其系统
CN204447740U (zh) * 2015-02-28 2015-07-08 唐山三友热电有限责任公司 电石渣浆和碱渣浆液联合脱硫装置
US20170165608A1 (en) * 2015-12-15 2017-06-15 General Electric Company System and methods for co2 separation
CN206008426U (zh) * 2016-06-06 2017-03-15 山东白云环保机械有限公司 玻璃窑炉烟气除尘脱硫系统
CN107829804A (zh) * 2017-11-24 2018-03-23 江苏科技大学 一种基于scr的船舶脱硝系统的尾气循环处理系统

Also Published As

Publication number Publication date
TW202021660A (zh) 2020-06-16
US11504670B2 (en) 2022-11-22
KR20200051492A (ko) 2020-05-13
TWI708635B (zh) 2020-11-01
KR102383963B1 (ko) 2022-04-06
US20200139301A1 (en) 2020-05-07
DE102018127371B4 (de) 2021-12-30
DE102018127371A1 (de) 2020-05-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111135697A (zh) 用于气流的湿式清洁的设备和方法
CA2818271C (en) Compact air quality control system compartment for aluminium production plant
US9375675B2 (en) Device and a method of cleaning an effluent gas from an aluminium production electrolytic cell
US10446388B2 (en) Substrate processing device
US20060185517A1 (en) Multi-stage odor scrubber
FI87541C (fi) Flergastvaettare
RU2530108C2 (ru) Объединенная система сухой очистки
KR100484563B1 (ko) 유해가스 및 미세분진을 동시에 처리할 수 있는 배출가스정화용 스크러버 장치
KR20090039870A (ko) 일체형 에어드라이어시스템
US20230364550A1 (en) Tool exhaust system and treatment method
KR20150086352A (ko) 가스 세정 장치
US6001313A (en) Stack device capable of removing dust particles, sulfur oxides and nitrogen oxides
US7101425B2 (en) Washer and method for purifying gases
CN208678671U (zh) 一种湿式无填料粉尘处理装置
KR100917908B1 (ko) 혼합식 가스처리장치
US6488269B1 (en) Wet scrubber
KR20220142153A (ko) 용해성 유해 가스 분리 장치
JP2022034133A (ja) 不活性ガス発生器付きオイルタンク
HU182620B (hu) Szabadalmi leírás szolgálati találmány

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination