DE102021132127A1 - Vorrichtung und Verfahren zur Nassreinigung eines Gasstromes - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1), bevorzugt in Form eines Nasswäschers, zur Reinigung eines Gasstroms von gasförmigen, flüssigen und festen Verunreinigungen, welche einen Gaseinlass (3) mindestens eine erste Waschstrecke (6) zur Reinigung des Gasstroms mit einer Waschflüssigkeit, einen Gasauslass (5) und Gaszuführungsleitungen aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (1) weiterhin mehrere Gaseinlässe (3) für verschiedene Gasströme aufweist, wobei die an die Gaseinlässe (3) angeschlossenen Zuführungsleitungen ein durchgehendes Gefälle zur Vorrichtung (1) und vor den Gaseinlässen (3) bevorzugt eine Flüssigkeitsfalle (14) aufweisen, und die Vorrichtung (1) eine Vorwaschkammer (16) mit mindestens einer Sprühdüse (10) und einer textilen Packung (9) und zwischen einer ersten Waschstrecke (6) und einer zweiten Waschstrecke (7) in der Verbindungsleitung oder nach der Waschstrecke (6) mindestens eine textile Packung (9) und bevorzugt eine Sprühdüse (10) aufweist und ein Verfahren zur Abgasreinigung unter Verwendung der Vorrichtung.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Nassreinigung eines Gasstromes, wobei feste, flüssige und gasförmige Verunreinigungen aus einem Gasstrom entfernt werden.
  • In der Halbleiterindustrie, speziell in der Mikroelektronikfertigung, werden Prozesse eingesetzt, bei denen Wafer mit einer Sequenz verschiedener flüssiger Chemikalien gereinigt werden. Die Abgase aus diesen Prozessen werden mit Nasswäschern in der Nähe der Prozessanlagen behandelt, um unerwünschte Reaktionen durch Vermischung verschiedener Abluftströme in den Abluftleitungen zu vermeiden. Jedoch können auch schon in der Prozessanlage oder am Beginn der Abluftleitungen feste Partikel oder Nebel feinster Flüssigkeitstropfen gebildet werden. Da diese Partikel aus der Gasphase gebildet werden, haben sie typischerweise Durchmesser von <1 µm.
  • Zur Abscheidung kleiner Partikel aus einem Gasstrom werden im Stand der Technik verschiedene Verfahren und Vorrichtungen vorgeschlagen.
  • So beschreibt die US 2008/0271603 A1 ein Luftreinigungssystem, welches unter anderem eine Reinigungskammer mit einer wässrigen Lösung eines Reaktionsmediums aufweist, das in der Lage ist, verunreinigende Partikel und/oder gasförmige Schadstoffe aus einem Gasstrom zu entfernen. Ferner umfasst dieses System zur Partikelentfernung Einlass- und Auslassfilter, welche Partikel mit Größen zwischen 3-100µ und 0,3-3µ aus einem Gasstrom abscheiden können.
  • Die DE 10 2018 127 371 A1 bezieht sich auf einen kompakt gebauten Nasswäscher zur Reinigung z.B. eines Abgasstromes in der Halbleiterindustrie von festen, flüssigen und gasförmigen Verunreinigungen, wobei der Wäscher innerhalb des Gehäuses einen Bypass-Kanal zum Überbrücken des Gasströmungsweges durch die wenigstens eine vorhandene Waschstrecke aufweist.
  • Weiterhin werden im Stand der Technik zur Partikelabscheidung aus Gasen Venturi-Abscheider (Wasserstrahl- oder Spaltventuri), welche einen hohen Energiebedarf aufweisen, und auch Elektrofilter beschrieben, welche mit Hochspannung arbeiten. Letztere sind oft nicht akzeptabel, da im Kontext der Gasreinigung Zündquellen vermieden werden sollen.
  • Somit besteht weiterhin ein Bedarf an leistungsfähigen und kompakten Gaswäschern, welche auch zur Abscheidung von feinsten in der Abluft enthaltenen Partikeln geeignet sind.
  • Diese Aufgabe wird durch die nachfolgend beschriebene Vorrichtung und durch ein Verfahren unter Einsatz einer solchen Vorrichtung erfindungsgemäß gelöst.
  • Gattungsgemäße Nasswäscher weisen bevorzugt zwei nebeneinander angeordnete und im Gegenstromprinzip arbeitende Waschstufen auf. Da der Übergang des Gases in die Flüssigphase von der effektiven Oberfläche der Flüssigkeit abhängt, werden diese Waschstufen in der Regel als gepackte Säulen konstruiert. Die gepackte Säule wird in der Regel durch eine Schüttung von geeigneten Füllkörpern auf einen Siebboden realisiert oder auch durch eine sogenannte strukturierte Packung, bei der in die Säule große Blöcke eines strukturierten Materials eingebaut werden.
  • Speziell beim Einsatz in der Halbleiterindustrie sind Bypass-Leitungen bekannt, die außerhalb eines Nasswäschers installiert werden. Diese Bypass-Leitungen erlauben den Gasstrom um den Nasswäscher herum zu führen, um die Abluftströmung nicht zu unterbrechen, wenn der Nasswäscher zu Wartungszwecken geöffnet werden muss.
  • Für eine gute Abscheidung von Gasen in Nasswäschern sind eine große Oberfläche der Waschflüssigkeit und eine lange Verweildauer des Gases in Kontakt mit der Flüssigkeit vorteilhaft. Für die Abscheidung von sehr feinen Partikeln kann auch eine längere Verweilzeit oder Kontaktzeit von Gas und Flüssigkeit die Abscheidung durch Diffusion der Partikel verbessern. Dies ist insbesondere in der Halbleiterproduktion wegen der Größenbeschränkungen der Nasswäscher durch die erforderliche Nähe zur Produktionseinheit oft nicht möglich.
  • Erfindungsgemäß wird eine Erhöhung der Relativgeschwindigkeit zwischen Partikel und Oberfläche und eine Verringerung des Abstandes zwischen den in der Gasphase getragenen Partikeln und der Oberfläche des Packungsmaterials zur Verbesserung der Partikelabscheidung genutzt. Dazu kann ein Abschnitt im Wäscher mit engerem Querschnitt zur Erhöhung der Strömungsgeschwindigkeit vorgesehen sein und bevorzugt mit einer textilen Packung ausgerüstet werden. Diese Packung wird mit Waschflüssigkeit bespült. Die erhöhte Strömungsgeschwindigkeit verstärkt die Abscheidung größerer Partikel aufgrund der Trägheit. Je kleiner die Porengröße der Packung, desto enger und wirkungsvoller der Kontakt von feinen Partikeln mit der Flüssigkeitsoberfläche aufgrund des Sperreffektes. Es ist deshalb vorgesehen, dass die Porengröße dieser bevorzugt textilen Packung feiner/kleiner ist als die der Füllkörperpackungen in den Gaswaschsäulen. In den Gaswaschsäulen werden Füllkörperschüttungen eingesetzt mit einem freien Volumen von bevorzugt mindestens 90% und einer spezifischen Oberfläche von bevorzugt mindestens 150m2/m3. Die bevorzugten textilen Packungen zur Verbesserung der Partikelabscheidung werden dagegen als Kissen aus Fasern oder Draht, also als Gewirr, Vlies, Gewebe oder vorzugsweise Gestrick, ausgeführt. Diese Packungen haben ein freies Volumen von bevorzugt mindestens 85% und eine spezifische Oberfläche von bevorzugt mindestens 400m2/m3.
  • Die spezifische Oberfläche wird definiert als die geometrische Oberfläche der Füllkörper, bzw. die Oberfläche der Fasern oder Drähte in dem Volumen der Schüttung oder Packung. Wenn AF die Oberfläche der Füllkörper oder die Oberfläche der Fasern ist und Vs das Volumen der Schüttung oder Packung, dann ist die spezifische Oberfläche AF/VS. Das freie Volumen ist definiert als der von den Füllkörpern oder Fasern nicht ausgefüllte Anteil des Volumens der Schüttung oder Packung. Wenn VF das Volumen der Füllkörper und Vs das Volumen der gesamten Schüttung ist, dann ist das freie Volumen definiert als (VS-VF)/VS. Analog gilt das auch für Fasern oder Drähte. Als Referenz für die Verwendung dieser Parameter (specific area, void fraction) siehe die Definitionen z.B. in H.T. El-Dessouky et al: Chemical Engineering and Processing 39 (2000) 129-139.
  • Mit verringerter Porengröße steigt auch der Druckverlust über die Packung und das Risiko des Einstauens von Flüssigkeiten in der Packung. Daher ist die beschriebene Maßnahme besser geeignet für einen Abschnitt im Wäscher, in dem Gas und Waschflüssigkeit in die gleiche Richtung (nach unten) strömen.
  • Wenn die Emission von Partikeln in die Umgebungsluft vermieden werden soll, ist es günstig, zunächst bereits die Bildung der Partikel zu vermeiden. Dazu ist es vorteilhaft, die Gase aus den verschiedenen Quellen des Produktionsprozesses dem Wäscher getrennt zuzuführen und in Kontakt mit der Waschflüssigkeit kommen zu lassen, bevor die verschiedenen Gasströme sich vermischen und miteinander zu partikelbildenden Substanzen reagieren.
  • Der erfindungsgemäße Wäscher wird deshalb bevorzugt mit einer modularen Frontplatte oder Front-Kasten ausgerüstet, die leicht auf die individuelle Situation, d.h. die Anzahl und Größe der anzuschließenden Abgasleitungen, in der jeweiligen Produktionsstätte angepasst werden kann. Diese Frontplatte wird an den Korpus des Wäschers montiert und bildet den Anschluss an eine Vorwaschkammer. An der Frontplatte sitzen die Gaseinlässe mit den Anschlüssen für die Zuführungen für die Abgase. Diese Gaseinlässe sind vorzugsweise mit einem Gefälle in den Wäscher hinein vorgesehen, um Flüssigkeit, die in die Leitungen gespritzt wird, wieder in den Wäscher zurücklaufen zu lassen. Es können im Bereich der Gaseinlässe Sprühdüsen vorgesehen sein, die so angeordnet sind, dass Waschflüssigkeit in die Gaseinlässe hineingesprüht wird. Damit werden die Konzentrationen wasserlöslicher Gase bereits vor der Vermischung der Gasströme aus den verschiedenen Zuführungen abgesenkt.
  • Da die vorgeschalteten Prozesse, insbesondere in der Halbleiterproduktion, häufig Nassprozesse sind, ist es möglich, dass in den Gaszuführungsleitungen von der Prozessanlage zum Wäscher Flüssigkeiten an den Wänden kondensieren oder sogar, dass von der Prozessanlage aus Flüssigkeiten durch die Gaszuführungsleitungen abgeleitet werden, z.B. kann auch gezielt Wasser in die Leitungen gespült werden, um feste Ablagerungen auszuspülen. Deshalb sollen bevorzugt die Leitungen von den Prozessanlagen zum Wäscher mit einem durchgehenden Gefälle ohne „Sackstellen“ ausgeführt werden. Um zu verhindern, dass diese Flüssigkeiten, die auch reaktive Chemikalien enthalten können, in den Wäscher und in die Waschflüssigkeit gelangen und die Wirkung des Wäschers beeinträchtigen, können an den Zuführungen bzw. den Leitungen kurz vor den Gaseinlässen Flüssigkeitsfallen vorgesehen sein. Diese sind z.B. als Vertiefung in der Leitung, z.B. in Form eines Trichters oder eines zylindrischen Topfes, zum Sammeln der Flüssigkeit ausgeführt. Damit die durch die Zuführung herabfließende Flüssigkeit nicht über die Vertiefung der Falle hinausschießt, kann vor oder nach der Vertiefung ein Vorsprung in der Rohrwand eingearbeitet sein, der die Flüssigkeit abbremst oder zurückhält. Die Fallen können einen Ablauf am unteren Ende haben, der über eine Gassperre (Traps) in einen geeigneten Sammelbehälter oder ein System zur Sammlung flüssiger Abfälle führt. Mit solchen Flüssigkeitsfallen kann auch verhindert werden, dass Flüssigkeit in die Vorwaschkammer läuft, wenn diese gerade nicht in Betrieb ist, z.B. wenn ein Bypass um den Wäscher genutzt wird und die Verbindung zum Wäscher verschlossen ist. Ebenso wird damit verhindert, dass während einer Abschaltung des Wäschers oder während einer Wartung des Wäschers der Flüssigkeitsstand über den maximal zulässigen Pegel steigt und den Durchgang für Gas und damit die Besaugung des Prozesstools blockiert.
  • Es ist möglich, dass während des Betriebes des Wäschers Packungen oder Tropfenabscheider im Wäscher durch gebildete Feststoffe oder auch durch biologischen Bewuchs verblockt werden. In diesen Fällen müssen diese Komponenten gereinigt werden. Dazu ist es vorteilhaft, wenn ein Bypass um den Wäscher geschaltet werden kann, so dass die Prozessanlagen weiter betrieben werden können oder zumindest weiter durch die Abgasleitungen besaugt werden, wenn das Gas nicht mehr ungehindert durch den Wäscher strömen kann, oder während der Wäscher für eine Wartung geöffnet werden muss.
  • Die Umschaltung zwischen dem Bypass und dem Weg durch den Wäscher kann wie in DE 10 2018 127 371 A1 beschrieben mit einer Klappe realisiert werden. Bei der Nutzung einer modularen Frontplatte mit mehreren Zuführungen an der Vorwaschkammer ist es vorteilhaft, eine Ausführung mit zwei Bypass-Klappen zu wählen. Dabei sitzt eine Bypass-Klappe unterhalb der Vorwaschkammer und eine zweite Klappe oberhalb der Vorwaschkammer. Beide Klappen sind bevorzugt mit einem gemeinsamen Antrieb verbunden, um synchrones Umschalten zu garantieren. Die Umschaltung mit zwei separaten Klappen erlaubt eine stabilere Regelung des Druckes in der Vorwaschkammer während der Zeit der Umschaltung.
  • Zur Regelung des Druckes am Eingang des Wäschers ist in einer bevorzugten Ausführungsform außerdem in der Bypass-Leitung ein geregelter Lüfter oder eine geregelte Drosselklappe angeordnet.
  • Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher beschrieben, ohne dadurch beschränkt zu werden. Die vorangehend und nachfolgend beschriebenen Merkmale der erfindungsgemäßen Vorrichtung und des erfindungsgemäßen Verfahrens sind - einzeln oder zu mehreren Merkmalen - frei kombinierbar, ohne an eine bestimmte Ausführungsform gebunden zu sein.
  • Erfindungsgemäß wird das Gehäuse des Wäschers bevorzugt aus Edelstahl gefertigt, welches zusätzlich eine Korrosionsschutzschicht auf der Innenseite aufweist. Die Vorteile dieser Ausführungsform sind: die erhöhte mechanische Stabilität, geringe Beschädigungsgefahr bei Transporten, insbesondere bei niedrigen Außentemperaturen, im Gegensatz zu Kunststoffen, kein Funktionsrisiko durch Lasteintrag bei Anschluss der Gaszuführungsleitungen, keine Temperaturempfindlichkeit bei Wärmeeintrag durch heißes Prozessabgas oder durch im Wäscher entstehende Reaktionswärme.
  • Der erfindungsgemäße Wäscher weist eine Bypass-Leitung auf, mit der die Besaugung der vorgeschalteten Prozessanlage auch im Wartungs- oder im Störfall des Wäschers gewährleistet ist. Weiterhin ist die folgende Ausführungsform erfindungsgemäß bevorzugt:
    • Die Verbindungsleitung zwischen den beiden Waschstufen führt vom oberen Ende der ersten Waschstufe abwärts zum unteren Ende der zweiten Waschstufe. Der Querschnitt dieser Verbindungsleitung ist geringer als der Querschnitt der Säulen der Waschstufen, so dass sich eine höhere Strömungsgeschwindigkeit ergibt. In diese Verbindungsleitung wird eine Packung eingebracht (z.B. Füllkörper, strukturierte Packung, Gewebe).
  • Mit Sprühdüsen, die oberhalb dieser Packung sitzen, wird Waschflüssigkeit zur Benetzung der Packung zugeführt. Da Gas und Waschflüssigkeit in der gleichen Richtung strömen, kann es nicht zum Einstauen der Waschflüssigkeit in der Packung kommen. Daher sind kleinere Porengrößen als in den Waschstufen möglich. Für die Abscheidung von Gasen ist die gleichgerichtete Strömung etwas weniger effizient, aber für die bevorzugte Abscheidung von Partikeln ist die höhere Geschwindigkeit des Gases und die Umlenkung in der Packung sehr vorteilhaft. Daher ist eine kleine Porengröße bzw. eine dichte Packung bevorzugt und die abwärts gerichtete Leitung kann trotz ihres kleinen Volumens und der kurzen Aufenthaltsdauer des Gases in der Packung zur Verbesserung der Partikelabscheidung genutzt werden.
  • Die 1 bis 4 zeigen schematisch verschiedene Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung. Gleiche oder gleichwirkende Bauteile werden in diesen Figuren mit gleichen Bezugszeichen versehen.
  • Die erfindungsgemäße Anlage 1 hat mehrere getrennte Einlässe 3 für Abgase, um Vermischung der Abgase aus unterschiedlichen Prozesskammern und daraus folgende Reaktionen mit Partikelbildung zu vermeiden. Von der vorgeschalteten Prozessanlage 25 führen Gaszuführungsleitungen 24 mit einem durchgehenden Gefälle zu den Gaseinlässen 3 der Vorrichtung 1. Die Gaszuführungsleitungen 24 können eine Flüssigkeitsfalle 14 vor den Gaseinlässen 3 aufweisen. In den Einlässen 3 oder in der Vorwaschkammer 16 direkt nach Einmündung der Einlässe sind Sprühdüsen 10 vorgesehen, um die Konzentrationen der wasserlöslichen Anteile in den Abgasen schnell zu senken. Damit wird die Geschwindigkeit der Partikelbildung reduziert. Am unteren Ende der Vorwaschkammer 16 kann ebenfalls eine Packung 9 angeordnet werden, die durch die Waschflüssigkeit aus den Sprühdüsen 10 in der Vorwaschkammer 16 benetzt wird. Diese wirkt ähnlich wie die Packung in der Verbindungsleitung zwischen den Waschstufen 6 und 7 oder nach der Waschstufe hauptsächlich zur Abscheidung von Partikeln.
  • Durch die feinen Packungen 9 zur Partikelabscheidung ist ein etwas größerer Druckverlust über die Anlage zu erwarten. In den feineren Packungen 9 können auch schneller Ablagerungen zur Verblockung der Anlage führen, so dass auch die Überwachung der Druckdifferenz über die Waschstufen und die Packungen zur Partikelabscheidung für die Zuverlässigkeit der Anlage sehr wichtig wird. Daher ist bevorzugt eine Differenzdruckmessung 17 zwischen der Vorwaschkammer 16 und dem Ausgang der zweiten Waschstufe 5 vorgesehen.
  • Bei hoher Partikellast aus den vorgeschalteten Prozessen bzw. bei hohen Konzentrationen von reaktiven Gasen kann es zum Verblocken des Messanschlusses für die Druckmessung in der Vorwaschkammer kommen. Dabei können sich Partikel in die Messöffnung setzen und die Druckmessung verfälschen. Die Messanschlüsse können deshalb mit einem Spülgasanschluss (22) ausgestattet sein, durch den beispielsweise trockene Luft oder Stickstoff zugeführt werden, um Partikel aus den Anschlüssen fernzuhalten. Dadurch ist es aber auch möglich, dass salzhaltige Waschlösung an den Anschlüssen eintrocknet und die Druckmessung behindert. Deshalb muss die Messleitung gelegentlich gereinigt werden. Um eine Reinigung ohne Unterbrechung des vorgeschalteten Prozesses zu ermöglichen, werden zwei Anschlüsse 18 zur Druckmessung vorgesehen, die alternativ genutzt werden können. Dazu wird die Verbindungsleitung zwischen dem Druckmessgerät 19 und den Anschlüssen 18 verzweigt und mit zwei Absperrventilen 20 versehen. Zur Reinigung eines Messanschlusses kann dann der entsprechende Zweig der Messleitung abgesperrt und entfernt werden, ohne die Druckmessung zu stören, die über den zweiten Anschluss weiterläuft.
  • Um den Druckverlust über die Waschstufen und die Packungen zur Partikelabscheidung zu kompensieren, kann die Anlage mit einem integrierten Lüfter 21 nach den Waschstufen und nach einem Tropfenabscheider (Demister) 23 ausgestattet sein. Der Druck am Eingang der Anlage kann zur Regelung der Leistung des Lüfters 21 genutzt werden, um einen konstanten Druck am Eingang zu erhalten. Der geregelte Lüfter 21 verbraucht bei hoher Leistung mehr Energie als bei geringer Leistung. Der Druckverlust über die Anlage ist auch von der Bespülung der Packungen 8, 9, insbesondere der feineren Packungen 9 zur Partikelabscheidung, abhängig. Um den Energieverbrauch des Lüfters 21 zu verringern, kann die Bespülung der feinen Packungen 9 so geregelt werden, dass sie minimiert wird, wenn die vorgeschalteten Prozesse keine Partikel generieren.
  • Dazu kann die Entsorgungs-Anlage von der vorgeschalteten Prozessanlage Signale empfangen. Diese Signale können Informationen über den Zustand der Prozessanlage bzw. die Zustände der einzelnen Prozesskammern geben. Die Entsorgungsanlage entscheidet aufgrund dieser Signale, ob eine verbesserte Partikelabscheidung benötigt wird. Alternativ können die Signale eine Anforderung für die Partikelabscheidung geben. Diese Signale können beispielsweise über Schaltkontakte oder übliche serielle Schnittstellen, wie z.B. Ethernet oder RS485, übermittelt werden.
  • Derartige Signale können auch genutzt werden, um eine Information zu übermitteln, dass in einer bestimmten Zeit keine Entsorgung von Gas und Partikel benötigt wird. Aufgrund dieser Information kann die Anlage dann die Abgase über den Bypass leiten und damit Energie für Pumpen und Lüfter einsparen. Ebenfalls können Signale genutzt werden, um den Druck am Eingang der Entsorgungsanlage zu verändern und an variable Anforderungen der Prozessanlage anzupassen.
  • Zur Sicherheit ist es üblich, dass Entsorgungsanlagen auch in ähnlicher Weise Signale an die Prozessanlage zurück übermitteln, die den Anlagenzustand angeben, z.B. dass die Anlage voll funktionsfähig in Betrieb ist, oder dass sie in Wartung ist, oder dass eine Warnung oder ein Alarm ausgegeben wird, wenn überwachte Parameter außerhalb des spezifizierten Bereichs liegen.
  • Die vorliegende Erfindung umfasst somit eine Vorrichtung, bevorzugt in der Ausgestaltung als Nasswäscher, zur Reinigung eines Gasstroms von gasförmigen, flüssigen und festen Verunreinigungen, wie dieser in der vorangehenden Beschreibung und in den nachfolgenden Patentansprüchen wiedergegeben ist.
  • Ferner umfasst die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Reinigung eines Gasstroms von gasförmigen, flüssigen und festen Verunreinigungen, bei dem die erfindungsgemäße Vorrichtung verwendet wird, und schließlich die Verwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung in dem genannten Verfahren bzw. zur Reinigung eines Gasstroms von gasförmigen, flüssigen und festen Verunreinigungen.
  • Bezugszeichenliste
    • 1
    Vorrichtung/Nasswäscher
    2
    Frontplatte
    3
    Gaseinlass (mit Gefälle zum Wäscher)
    4
    Bypass-Leitung
    5
    Gasauslass
    6
    Erste Waschstrecke/Waschstufe
    7
    Zweite Waschstrecke/Waschstufe
    8
    Füllkörperpackung in den Waschstrecken
    9
    textile Packung in den Gasstrom- bzw. Verbindungsleitungen
    10
    Sprühdüsen
    11
    Leitelement
    12
    Auffangtank für erste Waschflüssigkeit
    13
    Auffangtank für zweite Waschflüssigkeit
    14
    Flüssigkeitsfalle
    15
    Ablauf der Flüssigkeitsfalle
    16
    Vorwaschkammer
    17
    Anordnung für Differenzdruckmessung
    18
    Anschlüsse zur Differenzdruckmessung
    19
    Druckmessgerät
    20
    Absperrventile
    21
    Lüfter
    22
    Spülgasanschluss für Druckmessanschlüsse
    23
    Tropfenabscheider
    24
    Gaszuführungsleitungen
    25
    Prozessanlage
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • US 2008/0271603 A1 [0004]
    • DE 102018127371 A1 [0005, 0019]

Claims (12)

  1. Vorrichtung (1), bevorzugt in Form eines Nasswäschers, zur Reinigung eines Gasstroms von gasförmigen, flüssigen und festen Verunreinigungen, welche einen Gaseinlass (3), mindestens eine erste Waschstrecke (6) zur Reinigung des Gasstroms mit einer Waschflüssigkeit, einen Gasauslass (5) und Gaszuführungsleitungen (24) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (1) weiterhin mehrere Gaseinlässe (3) für verschiedene Gasströme aufweist, wobei die an die Gaseinlässe (3) angeschlossenen Zuführungsleitungen (24) ein durchgehendes Gefälle zur Vorrichtung (1) und bevorzugt vor den Gaseinlässen (3) eine Flüssigkeitsfalle (14) aufweisen, und die Vorrichtung (1) eine Vorwaschkammer (16) mit mindestens einer Sprühdüse (10) und zwischen einer ersten Waschstrecke (6) und einer zweiten Waschstrecke (7) in der Verbindungsleitung oder nach der Waschstrecke (6) mindestens eine Packung (9) mit einer spezifischen Oberfläche von mindestens 400 m2/m3, bevorzugt in Form einer textilen Packung, und bevorzugt eine Sprühdüse (10) aufweist.
  2. Vorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasstrom vom oberen Ende der ersten Waschstrecke (6) über die bevorzugt textile Packung (9) in der Verbindungsleitung abwärts zum unteren Ende der zweiten Waschstrecke (7) oder zum Gasauslass (5) geführt wird.
  3. Vorrichtung (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (1) eine auswechselbare Frontplatte (2) aufweist, welche mit den Gaseinlässen (3) versehen ist.
  4. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Porengröße der bevorzugt textilen Packung (9) in den Verbindungsleitungen kleiner ist als die Porengröße der Füllkörperpackung (8) in der Waschstrecke (6) oder in den Waschstrecken (6) und (7).
  5. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Flüssigkeitsfalle (14) mit einem Ablauf (15) versehen ist.
  6. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (1) mit einem integrierten Lüfter nach den Waschstrecken (6), (7) und einem Tropfenabscheider ausgestattet ist.
  7. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass diese zwischen der Vorwaschkammer (16) und dem Ausgang der letzten Waschstrecke (7) eine Anordnung zur Differenzdruckmessung (17) aufweist.
  8. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorwaschkammer (16) zwei Anschlüsse (18) zur Differenzdruckmessung (17) aufweist, die alternativ benutzbar sind.
  9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass diese in der Vorwaschkammer (16) ebenfalls eine Packung (9) aufweist, bevorzugt in Form einer textilen Packung, welche eine spezifische Oberfläche von mindestens 400 m2/m3 aufweist.
  10. Verfahren zur Reinigung eines Gasstroms von gasförmigen, flüssigen und festen Verunreinigungen, dadurch gekennzeichnet, dass eine Reinigungsvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 9 benutzt wird.
  11. Verwendung einer Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 9 in einem Verfahren nach Anspruch 10.
  12. Verwendung einer Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 9 zur Reinigung eines Gasstroms von gasförmigen, flüssigen und festen Verunreinigungen.
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DAS ENVIRONMENTAL EXPERT GMBH, SALIX Gaswäscher zur Abgasreinigung, 2020

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