CN111129222B - 一种太阳能多晶硅片的生产装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种太阳能多晶硅片的生产装置，属于机械技术领域。它解决了现有烘干装置和快速烧结装置的使用效果不好等技术问题。本太阳能多晶硅片的生产装置，包括底座，其特征在于，底座上设置有烘干机构、传送带和快速烧结机构，烘干机构和快速烧结结构位于传送带的一侧，底座上固定有推杆电机，推杆电机位于传送带的另一侧，推杆电机的推杆上设置有用于推送太阳能多晶硅片的推板一，传送带上还设置有挡板，所述烘干机构包括输送槽一、上料结构、烘干箱体和清洁结构，所述快速烧结机构包括输送槽二、吹扫结构、烧结箱体和冷却结构，烘干箱体和烧结箱体之间具有用于热交换的换热结构。本发明具有使用效果好的优点。
Description
技术领域
本发明属于机械技术领域，涉及一种生产装置，特别是一种太阳能多晶硅片的生产装置。
背景技术
太阳能电池片的生产工艺流程分为硅片检测、表面制绒及酸洗、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀及酸洗、镀减反射膜、丝网印刷、低温烘干、快速烧结等。
经过丝网印刷后的太阳能电池片上沾染有浆料，需要通过低温烘干步骤进行烘干，烘干完成后还需要经烧结炉快速烧结，将有机树脂粘合剂燃烧掉，剩下几乎纯粹的、由于玻璃质作用而密合在硅片上的银电极。当银电极和晶体硅在温度达到共晶温度时，晶体硅原子以一定的比例融入到熔融的银电极材料中去，从而形成上下电极的欧姆接触，提高电池片的开路电压和填充因子两个关键参数，使其具有电阻特性，以提高电池片的转换效率。烧结炉分为烧结、降温冷却两个阶段。烧结阶段中烧结体内完成各种物理化学反应，形成电阻膜结构，使其真正具有电阻特性，该阶段温度达到峰值；降温冷却阶段，玻璃冷却硬化并凝固，使电阻膜结构固定地粘附于基片上。
在现有产品中，烘干装置和快速烧结装置的使用效果不好，无法达到要求，因此，设计出一种太阳能多晶硅片的生产装置是很有必要的。
发明内容
本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种太阳能多晶硅片的生产装置，具有使用效果好的优点。
本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种太阳能多晶硅片的生产装置，包括底座，其特征在于，底座上设置有烘干机构、传送带和快速烧结机构，烘干机构和快速烧结结构位于传送带的一侧，底座上固定有推杆电机，推杆电机位于传送带的另一侧，推杆电机的推杆上设置有用于推送太阳能多晶硅片的推板一，传送带上还设置有挡板，所述烘干机构包括输送槽一、上料结构、烘干箱体和清洁结构，上料结构、烘干箱体和清洁结构依次设置在底座上，输送槽一固定在烘干箱体上，且输送槽一穿过清洁结构并与传送带相抵靠，所述快速烧结机构包括输送槽二、吹扫结构、烧结箱体和冷却结构，吹扫结构、烧结箱体和冷却结构依次设置在底座上，输送槽二固定在烧结箱体上，且输送槽二穿过吹扫结构并与传送带相抵靠，烘干箱体和烧结箱体之间具有用于热交换的换热结构。
采用以上结构，太阳能多晶硅片通过上料结构在输送槽一移动，烘干箱体将太阳能多晶硅片上的浆料进行烘干，然后进入清洁结构对其进行清洁，清洁完成后太阳能多晶硅片通过传送带和推杆电机进入输送槽二，吹扫结构对太阳能多晶硅片表面进行吹扫，吹扫完成后进入烧结箱体进行快速烧结，烧结完成后进入冷却结构进行冷却下料。
所述上料结构包括安装架、丝杆一、滑块一、步进电机一、固定板和若干推板二，安装架固定在底座上，步进电机一固定在安装架上，步进电机一的输出轴水平设置，丝杆一的一端和步进电机一的输出轴相连接，丝杆一的另一端转动设置在安装架上，安装架上还固定有和丝杆一相平行的滑轨一，滑块一通过螺母一设置在丝杆一上，且滑块一套设在滑轨一上，滑块一上固定有气缸和若干滑柱，气缸的活塞杆竖直设置，固定板安装在气缸的活塞杆上，固定板和滑柱滑动设置，推板二固定在固定板上，输送槽一上还开设有供推板二操作的若干操作口。
采用以上结构，气缸推动固定板和推板二向上运动，推板二穿过操作口和太阳能多晶硅片相抵靠，步进电机一驱动丝杆，在丝杆一和滑轨一的作用下，螺母一和滑块一实现水平运动，从而通过推板二推动太阳能多晶硅片，实现太阳能多晶硅片的上料功能。
所述清洁结构包括清洁箱体、转动电机、转动轴、转动盘和若干清洁筒，清洁箱体固定在底座上，且清洁箱体和烘干箱体相连通，转动电机固定在清洁箱体上，转动电机的输出轴水平设置，转动轴的一端和转动电机的输出轴相连接，转动轴的另一端转动设置在清洁箱体上，转动盘固定在转动轴上，清洁筒通过固定杆转动设置在转动盘上，清洁筒上设置有刷毛，清洁筒的两端均设置有扭簧，扭簧的一端和转动盘相连接，扭簧的另一端和清洁筒相连接。
采用以上结构，转动电机带动转动轴以及转动盘转动，在固定杆和扭簧的作用下，清洁筒实现周转和往复性自转，刷毛对太阳能多晶硅片进行刷洗。
所述吹扫结构包括吹扫箱体、步进电机二、丝杆二、滑块二和喷头，吹扫箱体固定在底座上，且吹扫箱体和烧结箱体相连通，吹扫箱体的两侧分别开设有出风口，步进电机二固定在吹扫箱体上，步进电机二的输出轴水平设置，丝杆二的一端和步进电机二的输出轴相连接，丝杆二的另一端转动设置在吹扫箱体上，吹扫箱体上还固定有和丝杆二相平行的滑轨二，滑块二通过螺母二设置在丝杆二上，且滑块二套设在滑轨二上，喷头固定在滑块二上，喷头与一惰性气体输送管一相连通，且喷头上固定有若干喷嘴。
采用以上结构，步进电机二带动丝杆二转动，在滑轨二和丝杆二的作用力下，螺母二和滑块二实现往复运动，喷头固定在滑块二上，从而实现喷嘴循环对太阳能多晶硅片进行吹扫。
所述换热结构包括热交换管一、热交换管二、出油管、进油管、储油箱和油泵，热交换管一固定在烘干箱体内，热交换管二固定在烧结箱体内，出油管的一端和热交换管一相连通，出油管的另一端和热交换管二相连通，进油管的一端和热交换管一相连通，进油管的另一端和热交换管二相连通，储油箱设置在进油管上，油泵设置在出油管上。
采用以上结构，热交换管二吸收烧结箱体内的热量，通过出油管和油泵输送至热交换管一内，热交换管一在烘干箱体内放出热量后进入储油箱内，储油箱内的油再次进入热交换管二进行热量吸收，实现烧结箱体和烘干箱体的热交换。
所述冷却结构包括冷却箱体、吸气罩、惰性气体输送盘、吹风盘、支架和若干输送滚筒，冷却箱体固定在底座上，且冷却箱体和烧结箱体相连通，冷却箱体上开设有进料口和出料口，进料口和输送槽二相连通，输送滚筒转动设置在冷却箱体上，支架通过转动调节杆设置在冷却箱体上，且支架位于输送滚筒上方，惰性气体输送盘固定在支架的一端，吹风盘固定在支架的另一端，惰性气体输送盘与一惰性气体输送管二相连通，吹风盘与一送风管相连通，吸气罩固定在冷却箱体上，且吸气罩位于输送滚筒下方。
采用以上结构，太阳能多晶硅片通过输送槽二进入进料口，通过输送滚筒进行输送，惰性气体输送盘对太阳能多晶硅片吹送惰性气体进行初步冷却，吹风盘对太阳能多晶硅片吹风进行进一步冷却，吸气罩吸收多余的气体，且支架可以通过转动调节杆调节角度。
所述冷却箱体上还固定有离心风机和负压风机，离心风机和送风管相连通，负压风机和吸气罩相连通，冷却箱体上还固定有用于负压风机防尘的防尘罩。
本发明的工作原理如下：气缸推动固定板和推板二向上运动，推板二穿过操作口和太阳能多晶硅片相抵靠，步进电机一驱动丝杆，在丝杆一和滑轨一的作用下，螺母一和滑块一实现水平运动，从而通过推板二推动太阳能多晶硅片，实现太阳能多晶硅片的上料；太阳能多晶硅片在输送槽一移动，烘干箱体将太阳能多晶硅片上的浆料进行烘干，然后进入清洁箱体，转动电机带动转动轴以及转动盘转动，在固定杆和扭簧的作用下，清洁筒实现周转和往复性自转，刷毛对太阳能多晶硅片进行刷洗；清洁完成后太阳能多晶硅片通过传送带和推杆电机进入输送槽二，太阳能多晶硅片通过输送槽二进入吹扫箱体，步进电机二带动丝杆二转动，在滑轨二和丝杆二的作用力下，螺母二和滑块二实现往复运动，喷头固定在滑块二上，从而实现喷嘴循环对太阳能多晶硅片进行吹扫，吹扫完成后太阳能多晶硅片进入烧结箱体进行快速烧结，烧结完成后太阳能多晶硅片通过输送槽二进入进料口，通过输送滚筒进行输送，惰性气体输送盘对太阳能多晶硅片吹送惰性气体进行初步冷却，吹风盘对太阳能多晶硅片吹风进行进一步冷却，冷却完成后太阳能多晶硅片通过出料口进行下料。
与现有技术相比，本发明具有以下优点：气缸推动固定板和推板二向上运动，推板二穿过操作口和太阳能多晶硅片相抵靠，步进电机一驱动丝杆，在丝杆一和滑轨一的作用下，螺母一和滑块一实现水平运动，从而通过推板二推动太阳能多晶硅片，实现太阳能多晶硅片的上料；太阳能多晶硅片在输送槽一移动，烘干箱体将太阳能多晶硅片上的浆料进行烘干，然后进入清洁箱体，转动电机带动转动轴以及转动盘转动，在固定杆和扭簧的作用下，清洁筒实现周转和往复性自转，刷毛对太阳能多晶硅片进行刷洗；清洁完成后太阳能多晶硅片通过传送带和推杆电机进入输送槽二，太阳能多晶硅片通过输送槽二进入吹扫箱体，步进电机二带动丝杆二转动，在滑轨二和丝杆二的作用力下，螺母二和滑块二实现往复运动，喷头固定在滑块二上，从而实现喷嘴循环对太阳能多晶硅片进行吹扫，吹扫完成后太阳能多晶硅片进入烧结箱体进行快速烧结，烧结完成后太阳能多晶硅片通过输送槽二进入进料口，通过输送滚筒进行输送，惰性气体输送盘对太阳能多晶硅片吹送惰性气体进行初步冷却，吹风盘对太阳能多晶硅片吹风进行进一步冷却，冷却完成后太阳能多晶硅片通过出料口进行下料，具有使用效果好的优点。
附图说明
图1是本发明的平面结构示意图。
图2是本发明的上料结构的部分剖面结构示意图。
图3是本发明的换热结构的立体结构示意图。
图4是本发明的清洁结构的剖面结构示意图。
图5是本发明的吹扫结构的剖面结构示意图。
图6是本发明的冷却结构的剖面结构示意图。
图中，1、底座；2、烧结箱体；3、烘干箱体；4、输送槽一；4a、操作口；5、输送槽二；6、推杆电机；7、推板一；8、挡板；9、螺母一；10、丝杆一；11、滑块一；12、步进电机一；13、固定板；14、推板二；15、安装架；16、滑轨一；17、气缸；18、滑柱；19、清洁箱体；20、转动电机；21、转动轴；22、转动盘；23、清洁筒；24、传送带；25、固定杆；26、刷毛；27、扭簧；28、吹扫箱体；28a、出风口；29、步进电机二；30、丝杆二；31、滑块二；32、喷头；33、滑轨二；34、螺母二；35、惰性气体输送管一；36、喷嘴；37、热交换管一；38、热交换管二；39、出油管；40、进油管；41、储油箱；42、油泵；43、冷却箱体；43a、进料口；43b、出料口；44、吸气罩；45、惰性气体输送盘；46、吹风盘；47、支架；48、输送滚筒；49、转动调节杆；50、惰性气体输送管二；51、送风管；52、离心风机；53、负压风机；54、防尘罩。
具体实施方式
以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。
如图1-6所示，本太阳能多晶硅片的生产装置，包括底座1，在本实施例中，底座1上设置有烘干机构、传送带24和快速烧结机构，烘干机构和快速烧结结构位于传送带24的一侧，底座1上固定有推杆电机6，推杆电机6位于传送带24的另一侧，推杆电机6的推杆上设置有用于推送太阳能多晶硅片的推板一7，传送带24上还设置有挡板8，烘干机构包括输送槽一4、上料结构、烘干箱体3和清洁结构，上料结构、烘干箱体3和清洁结构依次设置在底座1上，在本实施例中，烘干箱体3采用市场上能够买到的现有产品，输送槽一4固定在烘干箱体3上，且输送槽一4穿过清洁结构并与传送带24相抵靠，快速烧结机构包括输送槽二5、吹扫结构、烧结箱体2和冷却结构，在本实施例中，烧结箱体2采用市场上能够买到的现有产品，吹扫结构、烧结箱体2和冷却结构依次设置在底座1上，输送槽二5固定在烧结箱体2上，且输送槽二5穿过吹扫结构并与传送带24相抵靠，烘干箱体3和烧结箱体2之间具有用于热交换的换热结构。
采用以上结构，太阳能多晶硅片通过上料结构在输送槽一4移动，烘干箱体3将太阳能多晶硅片上的浆料进行烘干，然后进入清洁结构对其进行清洁，清洁完成后太阳能多晶硅片通过传送带24和推杆电机6进入输送槽二5，吹扫结构对太阳能多晶硅片表面进行吹扫，吹扫完成后进入烧结箱体2进行快速烧结，烧结完成后进入冷却结构进行冷却下料。
上料结构包括安装架15、丝杆一10、滑块一11、步进电机一12、固定板13和若干推板二14，在本实施例中，推板二14的数量为两个，安装架15固定在底座1上，步进电机一12固定在安装架15上，步进电机一12的输出轴水平设置，丝杆一10的一端和步进电机一12的输出轴相连接，丝杆一10的另一端转动设置在安装架15上，安装架15上还固定有和丝杆一10相平行的滑轨一16，滑块一11通过螺母一9设置在丝杆一10上，且滑块一11套设在滑轨一16上，滑块一11上固定有气缸17和若干滑柱18，在本实施例中，滑柱18的数量为两个，气缸17的活塞杆竖直设置，固定板13安装在气缸17的活塞杆上，固定板13和滑柱18滑动设置，推板二14固定在固定板13上，输送槽一4上还开设有供推板二14操作的若干操作口4a，在本实施例中，操作口4a的数量为两个。
采用以上结构，气缸17推动固定板13和推板二14向上运动，推板二14穿过操作口4a和太阳能多晶硅片相抵靠，步进电机一12驱动丝杆，在丝杆一10和滑轨一16的作用下，螺母一9和滑块一11实现水平运动，从而通过推板二14推动太阳能多晶硅片，实现太阳能多晶硅片的上料功能。
清洁结构包括清洁箱体19、转动电机20、转动轴21、转动盘22和若干清洁筒23，在本实施例中，清洁筒23的数量为四个，清洁箱体19固定在底座1上，且清洁箱体19和烘干箱体3相连通，转动电机20固定在清洁箱体19上，转动电机20的输出轴水平设置，转动轴21的一端和转动电机20的输出轴相连接，转动轴21的另一端转动设置在清洁箱体19上，转动盘22固定在转动轴21上，清洁筒23通过固定杆25转动设置在转动盘22上，清洁筒23上设置有刷毛26，清洁筒23的两端均设置有扭簧27，扭簧27的一端和转动盘22相连接，扭簧27的另一端和清洁筒23相连接。
采用以上结构，转动电机20带动转动轴21以及转动盘22转动，在固定杆25和扭簧27的作用下，清洁筒23实现周转和往复性自转，刷毛26对太阳能多晶硅片进行刷洗。
吹扫结构包括吹扫箱体28、步进电机二29、丝杆二30、滑块二31和喷头32，吹扫箱体28固定在底座1上，且吹扫箱体28和烧结箱体2相连通，吹扫箱体28的两侧分别开设有出风口28a，步进电机二29固定在吹扫箱体28上，步进电机二29的输出轴水平设置，丝杆二30的一端和步进电机二29的输出轴相连接，丝杆二30的另一端转动设置在吹扫箱体28上，吹扫箱体28上还固定有和丝杆二30相平行的滑轨二33，滑块二31通过螺母二34设置在丝杆二30上，且滑块二31套设在滑轨二33上，喷头32固定在滑块二31上，喷头32与一惰性气体输送管一35相连通，且喷头32上固定有若干喷嘴36，在本实施例中，喷嘴36的数量为两个。
采用以上结构，步进电机二29带动丝杆二30转动，在滑轨二33和丝杆二30的作用力下，螺母二34和滑块二31实现往复运动，喷头32固定在滑块二31上，从而实现喷嘴36循环对太阳能多晶硅片进行吹扫。
换热结构包括热交换管一37、热交换管二38、出油管39、进油管40、储油箱41和油泵42，热交换管一37固定在烘干箱体3内，热交换管二38固定在烧结箱体2内，出油管39的一端和热交换管一37相连通，出油管39的另一端和热交换管二38相连通，进油管40的一端和热交换管一37相连通，进油管40的另一端和热交换管二38相连通，储油箱41设置在进油管40上，油泵42设置在出油管39上。
采用以上结构，热交换管二38吸收烧结箱体2内的热量，通过出油管39和油泵42输送至热交换管一37内，热交换管一37在烘干箱体3内放出热量后进入储油箱41内，储油箱41内的油再次进入热交换管二38进行热量吸收，实现烧结箱体2和烘干箱体3的热交换。
冷却结构包括冷却箱体43、吸气罩44、惰性气体输送盘45、吹风盘46、支架47和若干输送滚筒48，在本实施例中，输送滚筒48的数量为十六个，冷却箱体43固定在底座1上，且冷却箱体43和烧结箱体2相连通，冷却箱体43上开设有进料口43a和出料口43b，进料口43a和输送槽二5相连通，输送滚筒48转动设置在冷却箱体43上，支架47通过转动调节杆49设置在冷却箱体43上，且支架47位于输送滚筒48上方，惰性气体输送盘45固定在支架47的一端，吹风盘46固定在支架47的另一端，惰性气体输送盘45与一惰性气体输送管二50相连通，吹风盘46与一送风管51相连通，吸气罩44固定在冷却箱体43上，且吸气罩44位于输送滚筒48下方。
采用以上结构，太阳能多晶硅片通过输送槽二5进入进料口43a，通过输送滚筒48进行输送，惰性气体输送盘45对太阳能多晶硅片吹送惰性气体进行初步冷却，吹风盘46对太阳能多晶硅片吹风进行进一步冷却，吸气罩44吸收多余的气体，且支架47可以通过转动调节杆49调节角度。
冷却箱体43上还固定有离心风机52和负压风机53，离心风机52和送风管51相连通，负压风机53和吸气罩44相连通，冷却箱体43上还固定有用于负压风机53防尘的防尘罩54。
本发明的工作原理如下：气缸17推动固定板13和推板二14向上运动，推板二14穿过操作口4a和太阳能多晶硅片相抵靠，步进电机一12驱动丝杆，在丝杆一10和滑轨一16的作用下，螺母一9和滑块一11实现水平运动，从而通过推板二14推动太阳能多晶硅片，实现太阳能多晶硅片的上料；太阳能多晶硅片在输送槽一4移动，烘干箱体3将太阳能多晶硅片上的浆料进行烘干，然后进入清洁箱体19，转动电机20带动转动轴21以及转动盘22转动，在固定杆25和扭簧27的作用下，清洁筒23实现周转和往复性自转，刷毛26对太阳能多晶硅片进行刷洗；清洁完成后太阳能多晶硅片通过传送带24和推杆电机6进入输送槽二5，太阳能多晶硅片通过输送槽二5进入吹扫箱体28，步进电机二29带动丝杆二30转动，在滑轨二33和丝杆二30的作用力下，螺母二34和滑块二31实现往复运动，喷头32固定在滑块二31上，从而实现喷嘴36循环对太阳能多晶硅片进行吹扫，吹扫完成后太阳能多晶硅片进入烧结箱体2进行快速烧结，烧结完成后太阳能多晶硅片通过输送槽二5进入进料口43a，通过输送滚筒48进行输送，惰性气体输送盘45对太阳能多晶硅片吹送惰性气体进行初步冷却，吹风盘46对太阳能多晶硅片吹风进行进一步冷却，冷却完成后太阳能多晶硅片通过出料口43b进行下料。
本文中所描述的具体实施例仅仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
Claims (5)
1.一种太阳能多晶硅片的生产装置，包括底座，其特征在于，底座上设置有烘干机构、传送带和快速烧结机构，烘干机构和快速烧结结构位于传送带的一侧，底座上固定有推杆电机，推杆电机位于传送带的另一侧，推杆电机的推杆上设置有用于推送太阳能多晶硅片的推板一，传送带上还设置有挡板，所述烘干机构包括输送槽一、上料结构、烘干箱体和清洁结构，上料结构、烘干箱体和清洁结构依次设置在底座上，输送槽一固定在烘干箱体上，且输送槽一穿过清洁结构并与传送带相抵靠，所述快速烧结机构包括输送槽二、吹扫结构、烧结箱体和冷却结构，吹扫结构、烧结箱体和冷却结构依次设置在底座上，输送槽二固定在烧结箱体上，且输送槽二穿过吹扫结构并与传送带相抵靠，烘干箱体和烧结箱体之间具有用于热交换的换热结构；所述的上料结构包括安装架、丝杆一、滑块一、步进电机一、固定板和若干推板二，安装架固定在底座上，步进电机一固定在安装架上，步进电机一的输出轴水平设置，丝杆一的一端和步进电机一的输出轴相连接，丝杆一的另一端转动设置在安装架上，安装架上还固定有和丝杆一相平行的滑轨一，滑块一通过螺母一设置在丝杆一上，且滑块一套设在滑轨一上，滑块一上固定有气缸和若干滑柱，气缸的活塞杆竖直设置，固定板安装在气缸的活塞杆上，固定板和滑柱滑动设置，推板二固定在固定板上，输送槽一上还开设有供推板二操作的若干操作口；所述的清洁结构包括清洁箱体、转动电机、转动轴、转动盘和若干清洁筒，清洁箱体固定在底座上，且清洁箱体和烘干箱体相连通，转动电机固定在清洁箱体上，转动电机的输出轴水平设置，转动轴的一端和转动电机的输出轴相连接，转动轴的另一端转动设置在清洁箱体上，转动盘固定在转动轴上，清洁筒通过固定杆转动设置在转动盘上，清洁筒上设置有刷毛，清洁筒的两端均设置有扭簧，扭簧的一端和转动盘相连接，扭簧的另一端和清洁筒相连接。
2.根据权利要求1所述的太阳能多晶硅片的生产装置，其特征在于，所述的吹扫结构包括吹扫箱体、步进电机二、丝杆二、滑块二和喷头，吹扫箱体固定在底座上，且吹扫箱体和烧结箱体相连通，吹扫箱体的两侧分别开设有出风口，步进电机二固定在吹扫箱体上，步进电机二的输出轴水平设置，丝杆二的一端和步进电机二的输出轴相连接，丝杆二的另一端转动设置在吹扫箱体上，吹扫箱体上还固定有和丝杆二相平行的滑轨二，滑块二通过螺母二设置在丝杆二上，且滑块二套设在滑轨二上，喷头固定在滑块二上，喷头与一惰性气体输送管一相连通，且喷头上固定有若干喷嘴。
3.根据权利要求1所述的太阳能多晶硅片的生产装置，其特征在于，所述的换热结构包括热交换管一、热交换管二、出油管、进油管、储油箱和油泵，热交换管一固定在烘干箱体内，热交换管二固定在烧结箱体内，出油管的一端和热交换管一相连通，出油管的另一端和热交换管二相连通，进油管的一端和热交换管一相连通，进油管的另一端和热交换管二相连通，储油箱设置在进油管上，油泵设置在出油管上。
4.根据权利要求1所述的太阳能多晶硅片的生产装置，其特征在于，所述的冷却结构包括冷却箱体、吸气罩、惰性气体输送盘、吹风盘、支架和若干输送滚筒，冷却箱体固定在底座上，且冷却箱体和烧结箱体相连通，冷却箱体上开设有进料口和出料口，进料口和输送槽二相连通，输送滚筒转动设置在冷却箱体上，支架通过转动调节杆设置在冷却箱体上，且支架位于输送滚筒上方，惰性气体输送盘固定在支架的一端，吹风盘固定在支架的另一端，惰性气体输送盘与一惰性气体输送管二相连通，吹风盘与一送风管相连通，吸气罩固定在冷却箱体上，且吸气罩位于输送滚筒下方。
5.根据权利要求4所述的太阳能多晶硅片的生产装置，其特征在于，所述的冷却箱体上还固定有离心风机和负压风机，离心风机和送风管相连通，负压风机和吸气罩相连通，冷却箱体上还固定有用于负压风机防尘的防尘罩。
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