CN111128656A - 一种宽带束束流二维检测的方法与装置 - Google Patents

Abstract

本发明阐述了一种宽带束束流二维检测的方法与装置，装置包括移动法拉第(1)，通道选择板(27)，信号转换板(28)，上位机(29)，电机1、2及传动装置(30)。移动法拉第(1)包含法拉第杯(2)，(3)，(4)，(5)，(6)，(7)，(8)，(9)，(10)，(11)，(12)，(13)，(14)，(15)，(16)，(17)，(18)，(19)，(20)，(21)，(22)，(23)，(24)，(25)，(26)。通道选择板(27)包含通道选择芯片(31)，(32)，(33)，(34)。本发明特征：上位机(29)指令通过总线(35)控制通道选择板(27)的通道选择芯片(31)，(32)，(33)，(34)的状态，选择输出束流信号，信号经过信号转换板(28)的处理，通过总线(35)传送至上位机。利用这些装置，通过电机1、2及传动装置(30)驱动移动法拉第(1)两方向移动，检测出宽带束二维束流大小。

Description

一种宽带束束流二维检测的方法与装置

技术领域

本发明涉及离子注入机的宽带束束流二维检测。通过束流二维检测，得到束流二维数据。

背景技术

超大集成电路的设计和生产工艺几乎按着“摩尔定律”不断地加大半导体器件的集成度，而超大型芯片在“线宽”上也以倍数的形式进行着细微化。自2000年起集成电路的线宽也从“微米级”进入了“纳米级”。2010年起我国先进的半导体生产工艺也从45nm延伸至28nm以及更小的线宽。超大规模集成电路的生产工艺，从“微米级”到“纳米级”发生了许多根本的变化。离子注入机是45～22nm工艺装备中的关键装备，高品质的束流是研发离子注入机的目标，这就对量测系统提出了更高的要求。

发明内容

为了精确检测宽带束束流品质，本发明设计并开发了二维束流检测系统。

二维移动法拉第由25个法拉杯子组成的法拉第阵列和运动部分及束流采集部分组成。具体结构如图1所示，法拉第阵列在电机丝杠传动下，沿水平和竖直两个方向运动，运动垂直于束流。将每个法拉第杯子采集到的束流与其所处的实时位置对应起来，即可得到束流在所测位置处的束剖面的形状及流强密度分布。

二维移动法拉第在移动过程中，采集指定位置的束流值。位置用X表示，束流值用Y表示，束流信息为(X，Y)。本发明图2中的2～26为25路信号输入通道，输入通道的信息是束流的电流值，图1中的27通道选择板上的31、32、33、34为输出通道选择开关，图1中的28为信号转换板，其作用是将束流的电流值高精度的转换为电压值。31通道的采集束流信息为(X1，Y1)，32通道的采集束流信息为(X2，Y2)，33通道的采集束流信息为(X3，Y3)，34通道的采集束流信息为(X4，Y4)。通过移动8次二维移动法拉第，切换通道选择开关，可以采集一遍全部束流信息。

本发明通过以下技术方案实现：

1.一种宽带束束流二维检测的方法与装置其特征在于：移动法拉第(1)上共用了25个法拉第杯(2)，(3)，(4)，(5)，(6)，(7)，(8)，(9)，(10)，(11)，(12)，(13)，(14)，(15)，(16)，(17)，(18)，(19)，(20)，(21)，(22)，(23)，(24)，(25)，(26)。

2.一种宽带束束流二维检测的方法与装置其特征在于：此束流检测是采用了运动控制器的位置触发采集数据的方式。

3.一种宽带束束流二维检测的方法与装置其特征在于：采集的25路信号通过通道选择芯片(31)，(32)，(33)，(34)选择输出。

4.一种宽带束束流二维检测的方法与装置其特征在于：移动法拉第(1)移动八次即可采集出宽带束二维束流数据。

本发明具有如下显著优点：

1.检测精度高。

2.多通道复用，成本低。

3.结构简单，拆装维护方便。

附图说明

图1宽带束二维束流检测装置总装图

图2束流检测系统结构图

具体实施方式

下面结合附图1、附图2对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。

二维移动法拉第在移动过程中，采集指定位置的束流值。位置用X表示，束流值用Y表示，束流信息为(X，Y)。本发明图2中的2～26为25路信号输入通道，输入通道的信息是束流的电流值，图2中的27通道选择板上的31、32、33、34为输出通道选择开关，图2中的28为信号转换板，其作用是将束流的电流值高精度的转换为电压值。31通道的采集束流信息为(X1，Y1)，32通道的采集束流信息为(X2，Y2)，33通道的采集束流信息为(X3，Y3)，34通道的采集束流信息为(X4，Y4)。通过移动8次二维移动法拉第，切换通道选择开关，可以采集一遍全部束流信息。

本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。

Claims (4)

1.一种宽带束束流二维检测的方法与装置其特征在于：移动法拉第(1)上共用了25个法拉第杯(2)，(3)，(4)，(5)，(6)，(7)，(8)，(9)，(10)，(11)，(12)，(13)，(14)，(15)，(16)，(17)，(18)，(19)，(20)，(21)，(22)，(23)，(24)，(25)，(26)。

2.一种宽带束束流二维检测的方法与装置其特征在于：此束流检测是采用了运动控制器的位置触发采集数据的方式。

3.一种宽带束束流二维检测的方法与装置其特征在于：采集的25路信号通过通道选择芯片(31)，(32)，(33)，(34)选择输出。

4.一种宽带束束流二维检测的方法与装置其特征在于：移动法拉第(1)移动八次即可采集出宽带束二维束流数据。

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