CN111120426A - 推力放大装置 - Google Patents

Abstract

提供推力放大装置，其目的在于容易更换输入侧致动器。在推力放大装置(1)的输入侧设置有与输入侧的各种致动器的杆径匹配的液压室(8)的贯通孔(41)，通过在该贯通孔(41)中插入气缸(100)的输入杆(101)等而使推力放大机构进行动作。推力放大装置(1)的输入侧致动器安装部构成为能够根据各种致动器的固定方法及杆形状来变更部件。另外，通过变更输入杆的截面积，能够自由变更推力放大率。另外，通过变更输入侧致动器的输入行程，能够变更输出侧杆的行程。根据推力放大装置(1)，通过从输入侧致动器分离并独立出来，能够容易安装廉价的各种市售致动器并进行更换。

Description

推力放大装置

技术领域

本发明涉及推力放大装置，详细来说涉及输出将所输入的压力增大后的推力的推力放大装置。

背景技术

使用了空气(气体)或油(液体)这样的流体的流体压力缸在工业领域中被广泛使用。

这些流体压力缸利用流体的压力使缸体内的活塞产生推力，由此，例如可以成为冲压或致动器的驱动等各种机械动作的原动力。

作为这样的流体压力缸，存在在缸体内部将气压转换为液压的气液缸(专利文献1)。

在该气液缸中，利用共同的缸体将气缸(输入侧)和对推力进行放大的液压缸(输出侧)一体化，在缸体内的输入侧配置由空气驱动的空气活塞，将以空气活塞的输出为输入而进行驱动的液压活塞和输出杆配置在输出侧。

但是，在专利文献1记载的气液缸中，由于输入侧的气缸部和输出侧的液压缸部(推力放大机构部)一体形成，所以气缸部的输出、气缸的大小、行程等是固定的。

因此，在需要变更不同的气缸部的行程等的情况下，不能容易地仅更换气缸部，因此实际上需要更换整个气液缸。

专利文献1：日本特许第4895342号公报

发明内容

本发明的目的在于，能够容易地对输入侧致动器进行固定、更换。

(1)技术方案1记载的发明提供推力放大装置，其通过在输入侧连接输入用致动器，对从所述输入用致动器输入的推力进行放大而输出，其特征在于，该推力放大装置具有：缸体；流体活塞，其具有活塞部和输出杆，该活塞部配置在所述缸体内，在所述缸体内沿推力方向移动，该输出杆与所述活塞部连接；输出侧盖部，其与所述缸体的一端侧连接，形成有供所述输出杆沿推力方向移动的贯通孔；输入侧盖部，其与所述缸体的另一端侧连接，形成有使来自所述输入用致动器的所述推力输入的输入部；流体供给单元，其向由所述缸体、所述活塞部和所述输入侧盖部分隔而成的流体室内供给流体；以及固定单元，其配置在所述缸体、所述输出侧盖部以及所述输入侧盖部中的至少1个部位，对所述输入用致动器进行固定。

(2)技术方案2记载的发明提供技术方案1记载的推力放大装置，其特征在于，所述输入侧盖部具有：输入侧盖，其固定于所述缸体，在中央形成有更换用输入部；以及盖用适配器，其在中央形成有所述输入部，该盖用适配器配置在所述输入侧盖的所述更换用输入部，并且以能够更换的方式固定。

(3)技术方案3记载的发明提供技术方案1或2记载的推力放大装置，其特征在于，所述固定单元具有形成于所述输入侧盖部的固定用的螺栓孔。

(4)技术方案4记载的发明提供技术方案1至3记载的任意一个技术方案记载的推力放大装置，其特征在于，所述固定单元具有在输入侧盖部和输出侧盖部的侧面上形成的固定用螺栓孔。

(5)技术方案5记载的发明提供技术方案1至4中的任意一个技术方案记载的推力放大装置，其特征在于，所述流体活塞具有有底的空腔部，该空腔部从所述活塞部起连续形成到所述输出杆的途中，形成所述流体室的一部分。

(6)技术方案6记载的发明提供技术方案1至5中的任意一个技术方案记载的推力放大装置，其特征在于，所述固定单元具有螺栓孔，该螺栓孔用于借助固定用适配器将所述输入用致动器固定，并且用于固定所述固定用适配器。

(7)技术方案7记载的发明提供技术方案6记载的推力放大装置，其特征在于，所述固定单元借助所述固定用适配器将所述输入用致动器固定在与所述输入侧盖分开规定距离的位置。

(8)技术方案8记载的发明提供技术方案7记载的推力放大装置，其特征在于，所述固定单元借助所述固定用适配器将在所述输入用致动器的输入杆的前端固定有适配器杆的输入用致动器固定在与所述输入侧盖分开规定距离的位置。

(9)技术方案9记载的发明提供技术方案8记载的推力放大装置，其特征在于，形成于所述输入侧盖部的输入部是与固定在所述输入用致动器的前端的所述适配器杆的剖面形状匹配的圆形形状。

(10)技术方案10记载的发明提供技术方案1至7中的任意一个技术方案记载的推力放大装置，其特征在于，形成于所述输入侧盖部的输入部是与所述输入用致动器的所述输入杆的剖面形状匹配的圆形形状。

(11)技术方案11记载的发明提供技术方案1至10中的任意一个技术方案记载的推力放大装置，其特征在于，由所述固定单元固定的所述输入用致动器是气缸或电动缸。

(12)技术方案12记载的发明提供技术方案11记载的推力放大装置，其特征在于，所述输入致动器的所述输入杆是外周面不存在台阶的截面为圆形的形状。

(13)技术方案13记载的发明提供技术方案1至12中的任意一个技术方案记载的推力放大装置，其特征在于，所述输出侧盖部具有止转部件，该止转部件抑制所述活塞相对于所述输出侧盖部的旋转。

(14)技术方案14记载的发明提供技术方案1至13中的任意一个技术方案记载的推力放大装置，其特征在于，该推力放大装置具有施力单元，该施力单元对所述流体活塞施加输入侧方向的力。

(15)技术方案15记载的发明提供技术方案1至14中的任意一个技术方案记载的推力放大装置，其特征在于，所述输出侧盖部具有：输出侧盖，其固定于所述缸体，在中央形成有更换用输出部；以及止动盖，其在中央形成有所述贯通孔，该止动盖配置在所述输出侧盖的所述更换用输出部，并且以能够更换的方式固定。

(16)技术方案16记载的发明提供技术方案15记载的推力放大装置，其特征在于，该推力放大装置具有输出用固定单元，该输出用固定单元配置在所述缸体、所述输出侧盖部以及所述输入侧盖部中的至少1个部位，对承受从所述输出杆输出的放大后的推力的输出配件进行固定。

(17)技术方案17记载的发明提供技术方案16记载的推力放大装置，其特征在于，所述推力放大装置具有能够更换与加工工序对应的加工工具的所述输出配件。

(18)技术方案18记载的发明提供技术方案16记载的推力放大装置，其特征在于，所述推力放大装置具有能够根据工件形状来更换把持工件的把持单元的所述输出配件。

(19)技术方案19记载的发明提供技术方案15至18中的任意一个技术方案记载的推力放大装置，其特征在于，该推力放大装置具有机器人用固定单元，该机器人用固定单元配置在所述缸体、所述输出侧盖部以及所述输入侧盖部中的至少1个部位，对安装机械臂的机器人用适配器进行固定。

(20)技术方案20记载的发明提供技术方案1至19中的任意一个技术方案记载的推力放大装置，其特征在于，所述固定单元以使向所述输入部输入推力的所述输入用致动器的输入杆的轴心相对于所述输出杆的轴心成为规定的倾斜角度的方式，将所述输入用致动器固定。

(21)技术方案21记载的发明提供技术方案20记载的推力放大装置，其特征在于，所述输入侧盖部以相对于所述输出侧盖部成为所述规定的倾斜角度的方式与所述缸体连接。

(22)技术方案22记载的发明提供技术方案20或21记载的推力放大装置，其特征在于，所述倾斜角度为90度。

(23)技术方案23记载的发明提供推力放大装置，其特征在于，该推力放大装置具有：输入用致动器，其具有圆柱形状的输入杆；缸体；流体活塞，其具有活塞部和输出杆，该活塞部配置在所述缸体内，在所述缸体内沿推力方向移动，该输出杆与所述活塞部连接；输出侧盖部，其与所述缸体的一端侧连接，形成有供所述输出杆沿推力方向移动的贯通孔；输入侧盖部，其与所述缸体的另一端侧连接，形成有使来自所述输入用致动器的所述推力输入的输入部；流体供给单元，其向由所述缸体、所述活塞部和所述输入侧盖部分隔而成的流体室内供给流体；以及固定单元，其配置在所述缸体、所述输出侧盖部以及所述输入侧盖部中的至少1个部位，对所述输入用致动器进行固定，通过将所述输入杆贯穿插入所述输入侧盖部中而将所述输入用致动器连接，对从所述输入用致动器输入的推力进行放大而输出。

根据本发明，由于在缸体、输出侧盖部以及输入侧盖部中的至少1个部位具有对输入用致动器进行固定的固定单元，因此能够容易地将各种输入侧致动器固定并进行更换。

附图说明

图1是用于说明推力放大装置的剖视图和侧视图。

图2是推力放大装置的部件图。

图3是推力放大装置的第1使用例、第2使用例的说明图。

图4是推力放大装置的第3使用例的说明图。

图5是推力放大装置的第4使用例的说明图。

图6是推力放大装置的第5使用例的说明图。

图7是推力放大装置的第6使用例的说明图。

图8是对由推力放大装置输出的按压力的传递进行说明的说明图。

图9是基于推力放大装置的第6使用例的与凿紧、开孔、冲压相关的的动作说明图。

图10是推力放大装置的第7使用例的说明图。

图11是推力放大装置的第8使用例的说明图。

图12是对推力放大装置的第2实施方式进行说明的说明图。

图13是对推力放大装置的第3实施方式进行说明的说明图。

标号说明

1：推力放大装置；2：缸体；21：供油口；22：供油口栓；23、24：进排气孔；25、26：螺纹孔；3：输入侧盖；31、32：贯通孔；33：按压螺栓；34、35：螺纹孔；38：外周槽；39：O形环；4：盖用适配器；41：贯通孔；42：引导衬套；43：贯通孔；44：按压螺栓；45：螺纹孔；46：内周槽；47：O形环；48：外周槽；49：O形环；5：输出侧盖；50：贯通孔；51：引导衬套；52：螺纹孔；53：贯通孔；54：按压螺栓；55：孔；56：螺纹孔；57：螺旋弹簧；57a：孔；58：外周槽；59：O形环；6：止动盖；61、62：贯通孔；64：内周槽；65：防尘密封件；63：按压螺栓；7：液压活塞；71：活塞部；72：输出杆；72a：螺栓孔；73：空腔部；74：销孔；75：止转销；76：销孔；77：引导销；78：外周槽；79：O形环；8：液压室；9：气压室；100：气缸；101：输入杆；102：进排气孔；103：进排气孔；109：按压螺栓；110：延长适配器；111～113：按压螺栓；116：适配器杆；120：小型气缸；121：输入杆；129：按压螺栓；130：电动缸；131：输入杆；133：适配器；134：贯通孔；135：按压螺栓；136：按压螺栓；139：供电部；140：气缸；141：输入杆；142：延长适配器；143～145：按压螺栓；150：适配器杆；160：电动缸；161：输入杆；162：延长适配器；162a：台阶部；163～166：按压螺栓；169：供电部；200：多关节机械臂；300：输出配件；201：机器人用适配器；206：按压螺栓；202：定位销；300：输出配件；302：安装基部；303：臂部；304：输出接受部；306：按压螺栓；72A：凿紧工具；308A；凿紧工具；72B：开孔工具；308B；开孔工具；72C：冲压工具；308C：冲压工具；440：卡盘装置；400：卡盘用配件；451：膜片部；402：止动件；72E：开闭杆；452：爪；454：螺栓；2b1：缸体凹部；2b2：连通部；2b3：输入凹部；8a、8b、8c：液压室；WA、WB、WC、900：工件。

具体实施方式

(1)实施方式的概要

本实施方式的推力放大装置1是从具有输入功能和推力放大功能的所谓的气液缸中将构成推力放大功能的部分分离并独立出来而形成的，其中，该输入功能是指输入作为要输出的推力的基础的推力，该推力放大功能是指将所输入的推力以利用了帕斯卡原理的流体压力来进行放大并输出。

对于推力放大装置1而言，由于在本装置内没有输入，所以无法单独进行动作，为了得到作为放大对象的推力(输入)，将各种输入侧致动器直接或借助适配器来进行安装，从而能够进行动作。

具体来说，在推力放大装置1的输入侧设置有与输入侧的各种致动器的杆径匹配的流体室(液压室8)的输入口(贯通孔41)，通过将输入侧致动器的杆(输入杆101等)插入到该输入口中，使推力放大机构进行动作。

推力放大装置1的输入侧致动器安装部构成为能够根据各种致动器的固定方法及杆形状来变更部件。另外，通过变更输入杆截面积，能够自由变更推力放大率。另外，通过变更输入侧致动器的输入行程，能够变更输出侧杆的行程。

根据推力放大装置1，通过从输入侧致动器分离并独立出来，能够容易地安装并更换通常使用的各种缸体。

(2)实施方式的详细内容

图1示出了本实施方式的推力放大装置1的结构，(a)示出了推力方向(中心线的方向)的剖面，(b)示出了从左侧观察的侧面，(c)示出了从右侧观察的侧面。

图2示出了构成推力放大装置1的各部件。但是，图1所示的O形环在图2中没有示出。

另外，在所有附图中，从推力放大装置1输出的推力的朝向都记载为从附图的左侧向右侧方向输出。因此，将附图左侧记作输入侧，将右侧记作输出侧。

如图1、2所示，推力放大装置1具有形成液压室的一部分(周面)的缸体2。

在该缸体2的输入侧的端部固定有输入侧盖3，在输入侧盖3的中央安装有盖用适配器4，该盖用适配器4能够根据要使用的输入侧致动器来更换。该输入侧盖3和盖用适配器4作为输入侧盖部发挥功能。

另一方面，在缸体2的输出侧的端部固定有输出侧盖5，在该输出侧盖5的中央安装有止动盖6。

另外，在缸体2的内部配置有液压活塞7(流体活塞)，该液压活塞7构成液压室的一部分(推力方向的一端面)，并且输出所放大的推力。

构成本实施方式的推力放大装置1的部件(除了O形环和滑动辅助环等特定的部件之外)的材质是铝、不锈钢、铁等金属。

作为一例，推力放大装置1的大小是外径为70mm左右，输出杆72的行程长度为5mm左右，但也可以更大或更小。

以下，对缸体2、输入侧盖3、盖用适配器4、输出侧盖5、止动盖6、液压活塞7分别进行说明。

缸体2形成为两端面敞开的圆筒形状，在输出侧的敞开端形成有螺纹孔25，在输入侧的敞开端形成有螺纹孔26。

螺纹孔25是用于利用按压螺栓54将输出侧盖5固定的螺纹孔，在内侧刻有内螺纹。螺纹孔25与图1的(c)所示的按压螺栓54的位置对应，在同一圆周上形成于6处。

螺纹孔26是用于利用按压螺栓33将输入侧盖3固定的螺纹孔，在内侧刻有内螺纹。螺纹孔26与图1的(a)所示的按压螺栓33的位置对应，在同一圆周上形成于8处。

在缸体2的圆筒面贯通形成有供油口21和进排气孔23。

供油口21是用于向后述的液压室8内供给油的贯通孔，由供油口栓22堵住。在附图中示出了1个，但供油口21和供油口栓22在缸体2的同一圆周上分别设置有两个，从任意一方向液压室8内供给油，另一方作为排气用来使用。另外，也可以在任意一方的供油口21设置压力传感器，从而能够检测液压室8内的液压。

另外，进排气孔23是用于对后述的气压室9内的空气进行进气排气的贯通孔，在该进排气孔23连接有进排气口24。该气压室9、进排气孔23、进排气口24作为对流体活塞施加输入侧方向的力的施力单元来发挥功能。

输入侧盖3形成为具有大直径的凸缘部和小直径部的板状。输入侧盖3的小直径部被收纳在缸体2内，凸缘部的输出侧的端面与缸体2的敞开端抵接。

在输入侧盖3的凸缘部的8个部位形成有贯通孔32。而且，如图1的(b)所示，8个按压螺栓33贯穿插入该贯通孔32中并与缸体2的螺纹孔26螺合，由此输入侧盖3被固定于缸体2。

输入侧盖3的凸缘部如图1的(b)所示那样不是圆形，而形成为四个角呈同心圆状被切去的方形形状。由此，输入侧盖3的凸缘部的外周面的4个部位形成为平面状，对置的平面与平面之间的长度形成为比缸体2的直径大。该形状与后述的输出侧盖5的凸缘部相同。

由此，通过输入侧盖3和输出侧盖5的位于同一面上的两个面，能够将推力放大装置1稳定地载置在载置台等上。另外，如后述那样，在将延长适配器142、162固定于推力放大装置1的侧面的情况下，能够利用按压螺栓143、144、163、164稳定地螺栓固定在凸缘部的平面上(参照图5、6)。

另外，虽然未图示，但在输入侧盖3和输出侧盖5的凸缘部外周的平面部，沿径向形成有供固定延长适配器142、162的按压螺栓使用的螺纹孔(未图示)。

在输入侧盖3的中央形成有供盖用适配器4配置的贯通孔31(更换用输入部)(参照图2)。输入侧盖3的贯通孔31根据盖用适配器4的形状而形成为输入侧的内径比输出侧大，从而形成台阶部，在该台阶部，沿输出方向形成有螺纹孔34。

如图1的(b)所示，在输入侧盖3的靠输入侧的端面的4个部位形成有螺纹孔35。由于该螺纹孔35在图1的(a)、图2的剖面中未出现，所以在这些图中用虚线来表示。该螺纹孔35是用于将气缸等输入用缸体装置螺栓固定于推力放大装置1的螺纹孔。

另外，在输入侧盖3的收纳在缸体2内的小直径部的外周面，遍及整周地形成有外周槽38(参照图2)，在该外周槽38配置有O形环39(参照图1的(a))。O形环39对后述的液压室8内的油进行密封。

在输入侧盖3的贯通孔31中配置有盖用适配器4，盖用适配器4被按压螺栓44固定于输入侧盖3。

在盖用适配器4的中央形成有贯通孔41(输入部)。贯通孔41形成为输出侧的内径比输入侧的内径大。与该内径之差相同厚度的引导衬套42配置在输出侧。

引导衬套42的外径与贯通孔41的输出侧的内径相同，引导衬套42的内径与贯通孔41的输入侧的内径相同。但是，引导衬套42的外径形成为大出与被压入贯通孔41时的压入余量(尺寸公差范围)相当的量。另外，引导衬套42的内径比要插入的输入杆101的外径大，另外为了使输入杆101不与盖用适配器4接触，引导衬套42的内径形成为在尺寸公差的范围内比贯通孔41的输入侧的内径小。另外，引导衬套42的轴向的长度形成为，使输出侧的端面比到盖用适配器4的输出侧端面的长度短了相当于尺寸公差的量。

引导衬套42是引导部件，其利用内周面来承受安装于推力放大装置1的各种缸体的输入杆，并且对输入杆的前后方向(输入方向和输出方向)的移动进行引导。

在盖用适配器4的凸缘部中，在与图1的(b)所示的8个部位的按压螺栓44对应的8个部位形成有贯通孔43。通过将按压螺栓44贯穿插入该贯通孔43中并与输入侧盖3的螺纹孔34螺合，从而将盖用适配器4固定于输入侧盖3。

盖用适配器4根据配置在输入侧的缸体装置的尺寸(特别是贯穿插入贯通孔41中的输入杆的尺寸)来适当更换。根据缸体装置的输入杆径来选择要更换的盖用适配器4的贯通孔41和引导衬套42的内径以及后述的O形环47的尺寸。

盖用适配器4的更换是通过拆下按压螺栓44来进行的。

根据本实施方式，通过与输入侧盖3独立地设置与输入侧的缸体对应的盖用适配器4，能够在保持着在内部收纳有液压活塞7的状态下容易地更换为不同类型的输入侧的缸体。

另外，也可以不使输入侧盖3和盖用适配器4分体，而使用一体形成的输入侧盖3，将按压螺栓33拆下，更换为与缸体装置的输入杆径匹配的输入侧盖3。

虽然在图1、图2中未显示，但根据盖用适配器4，例如，如图3的(d)所示，形成有多个用于将缸体装置安装在推力放大装置1的输入侧的螺纹孔45。

在盖用适配器4的贯通孔41的输入侧的内周面，遍及整周地形成有内周槽46(参照图2)，在该内周槽46内配置有O形环47(参照图1的(a))。

另外，在盖用适配器4的小直径部的外周面，遍及整周地形成有外周槽48(参照图2)，在该外周槽48配置有O形环49(参照图1的(a))。

O形环47、O形环49均对后述的液压室内的油进行密封。

另一方面，在缸体2的输出侧配置有输出侧盖5。

输出侧盖5形成为具有小直径部和大直径的凸缘部的板状。输出侧盖5的小直径部收纳在缸体2内，凸缘部的输入侧的端面与缸体2的敞开端抵接。

在输出侧盖5的小直径部的外周面，遍及整周地形成有外周槽58(参照图2)，在该外周槽58配置有对气压室9内的空气进行密封的O形环59(参照图1的(a))。

在输出侧盖5的凸缘部的6个部位形成有贯通孔53。而且，如图1的(c)所示，6个按压螺栓54贯穿插入该贯通孔53中并与缸体2的螺纹孔25螺合，由此，输出侧盖5被固定于缸体2。

输出侧盖5的凸缘部与输入侧盖3同样，形成为四个角呈同心圆状地被切去的方形形状(参照图1的(b)、(c))。

如图2所示，在输出侧盖5的中央形成有供止动盖6配置的贯通孔50。在输出侧盖5的贯通孔50的内周面，从输入侧朝向输出侧形成有小内径部、中内径部、大内径部。

在由中内径部和大内径部形成的台阶部的6个部位形成有朝向输入方向的螺纹孔52。螺纹孔52是用于将后述的止动盖6固定于输出侧盖5的孔。

在输出侧盖5的贯通孔50的中内径部配置有与小内径部和中内径部之差相同厚度的引导衬套51。引导衬套51的轴向的长度与中内径部的轴向的长度相同。引导衬套51的外径、内径分别与贯通孔50的中内径部的内径、小内径部的内径相同。

但是，关于引导衬套51的外径和内径，与引导衬套42同样，外径在尺寸公差的范围内多形成出相当于压入量的尺寸，并且为了使插入的输出杆72不与引导衬套51以外的部件接触，使内径在尺寸公差的范围内形成得较小。另外，引导衬套51的轴向的长度也在尺寸公差的范围内形成得比中内径部短。

引导衬套51是引导部件，其利用内周面来承受配置在缸体2内的液压活塞7的输出杆72，并且对输入杆的前后方向(输入方向和输出方向)的移动进行引导。

在输出侧盖5的贯通孔50的中内径部的外侧的1个部位形成有孔55，在6个部位形成有孔57a，并且孔55和孔57a形成在互相不发生干涉的位置。另外，孔55、孔57的数量可以任意设定。

随着后述的液压活塞7的移动，止转销75在孔55的内部在输入输出方向上滑动。

向孔57a的内部插入螺旋弹簧57用的输出侧端部并进行固定。螺旋弹簧57(施力单元)的输入侧端部与活塞部71的输出侧端面抵接。

另外，如图1的(c)所示，在输出侧盖5的输出侧端面的6个部位形成有螺纹孔56。该螺纹孔56是用于将各种部件安装在推力放大装置1的输出侧的孔。

在输出侧盖5的贯通孔50的大内径部配置有止动盖6，该止动盖6用于对配置在中内径部的引导衬套51进行固定。

在止动盖6的中央形成有供输出杆72贯穿插入的贯通孔61。在该贯通孔61，遍及整周地形成有内周槽64(参照图2)，在该内周槽64配置有防尘密封件65(参照图1的(a))。

防尘密封件65防止在输出杆72滑动时附着在输出杆72上的来自外部的灰尘或异物等进入到推力放大装置1的内部。

在该贯通孔61的外侧的6个部位形成有贯通孔62。如图1的(c)所示，6个按压螺栓63贯穿插入该贯通孔62中并与输出侧盖5的螺纹孔52螺合，由此，止动盖6被固定于输出侧盖5。

液压活塞7具有活塞部71和从活塞部71的中央向输出方向延伸的输出杆72。活塞部71配置在缸体2内，输入侧的面与缸体2一起形成液压室8内的内壁的一部分，并且输出侧的面与缸体2一起形成气压室9的一部分。

在活塞部71的外周面，遍及整周地形成有外周槽78(参照图2)，在该外周槽78配置有对液压室8和气压室9之间进行密封的O形环79(参照图1的(a))。

在活塞部71的输出侧端面，在与输出侧盖5的孔55和孔57a对应的部位形成有销孔74和销孔76。

止转销75的一端侧通过压入而固定于销孔74，另一端侧以能够滑动的方式插入到输出侧盖5内。止转销75抑制活塞部71随着输入输出方向的移动而旋转。

引导销77的一端侧通过压入而固定于销孔76，比被压入的部分靠输出侧的部分插入到螺旋弹簧57内而对螺旋弹簧57的伸缩进行引导。另外，在本实施方式中，将6个螺旋弹簧57配置成圆周状，但螺旋弹簧也可以是1个。在该情况下，只要向螺旋弹簧的内径插入输出杆72，适当地借助定位槽等使螺旋弹簧的输入侧端部与活塞部71的输出侧端面抵接，使螺旋弹簧的输出侧端部与输出侧盖5的输入侧端面抵接即可。

止转销75和螺旋弹簧57是止转部件的一例。

在液压活塞7的中央形成有未从输入侧沿轴向贯通的有底的空腔部73。该空腔部73内也构成液压室8的一部分，与推力放大装置1连接的缸体的输入杆在空腔部73内出入。

在液压活塞7的输出杆72的输出侧，从其端面朝向输入方向形成有螺栓孔72a。该螺栓孔72a是用于安装例如在冲压加工等中使用的脱模用的冲头等各种工具的孔。

接着，对如以上那样构成的推力放大装置1的使用进行说明。

在使用本实施方式的推力放大装置1的情况下，在其输入侧安装各种输入用致动器来进行使用。

图3示出了在推力放大装置1安装有作为输入用致动器来发挥功能的气缸的第1使用例、第2使用例。另外，在图3中，为了对内部的状态进行说明，用剖面来表示推力放大装置1。

在图3的(a)的第1使用例中安装了气缸100，(b)示出了左侧面，(c)示出了基于气缸100的推力放大装置1的动作状态。

如图3的(a)所示，气缸100具有圆柱形状的输入杆101和进排气孔102、103。气缸100通过来自进排气孔102、103的空气供给和排气，使输入杆101的前端在输出方向和输入方向上移动。

另外，如图3的(b)所示，气缸100的主体部分的外形形状形成为方形，在主体部分的四个角形成有沿轴向贯通的贯通孔。

在对气缸100进行安装的情况下，在将输入杆101的前端贯穿插入到在推力放大装置1的输入侧盖3上形成的贯通孔41中的状态下，通过使穿过主体部分的贯通孔的4个按压螺栓109与输入侧盖3的螺纹孔35螺合，将气缸100固定于推力放大装置1。

在安装了气缸100之后，将供油口栓22从缸体2拆下，从供油口21供给油。

另外，在本实施方式的推力放大装置1中，作为在以增大后的流体压力(推力)进行输出的部分中使用的流体，使用了容易获得且作为非压缩性流体的工作油等的油。但是，作为所使用的流体，也可以使用具有流动性的气体、液体或凝胶状的物质。在该情况下，将相应的流体填充到液压室8中。

另外，在图3～图6中，为了容易理解填充了油的液压室8的状态，通过涂黑来表示填充了油的区域。

在使用安装有气缸100的推力放大装置1的情况下，在图3的(a)中，使推力放大装置1的进排气口24和气缸100的进排气孔103为敞开状态而将内部的空气排出。

在该状态下，如图3的(c)所示，通过从进排气孔102供给空气(粗箭头所示)，气缸100的输入杆101向输出方向移动，内部的空气从进排气口24和进排气孔103如粗箭头所示那样排出，输入杆101进入到液压室8内。

由此，位于输出杆72的空腔部73的油穿过输入杆101的外周侧而移动到输入侧盖3、盖用适配器4与活塞部71之间，活塞部71和输出杆72向输出侧移动相当于液压行程OS的量(参照图3的(a)、(c))。

然后，从输出杆72的前端输出通过液压对气缸100的推力(即，来自输入杆101的前端的推力Fi)进行增大后(放大后)的推力Fp1。

这里，当将输入杆101的前端面的面积设为S1、将活塞部71的面积(包含空腔部73的底面的面积，与缸体2的径向方向的截面积相同)设为S2时，活塞部71从液压室8的油受到的力即从输出杆72的前端输出的推力Fp如式(1)所示。

式(1) Fp1＝(Fi/S1)×S2＝Fi×(S2/S1)

根据本实施方式的推力放大装置1，由于处于S1＜S2的关系，所以能够从输出杆72输出对来自输入杆101的推力Fi进行放大后的推力Fp。

另外，能够容易地将气缸100安装于推力放大装置1。

另外，在从推力放大装置1输出放大后的推力的图3的(c)的状态恢复为图3的(a)所示的初始状态的情况下，如下所述。

即，通过使进排气孔102为敞开状态并从进排气孔103供给空气，使气缸100的输入杆101向输入侧后退。

由此，液压室8的与输入杆101所进入的体积相应的空间被复原，同时贯通孔41的空间也被复原。由于液压室8没有来自外部的流体的流出流入，所以液压室8内部的油向复原后的空间部分流入，在活塞部71产生向输入侧的负压力。由于在气压室9中施加有大气压，所以活塞部71向输入侧移动。此时，通过螺旋弹簧57的作用力来辅助向输入侧的移动。

这里，在更可靠地恢复为初始状态的情况下，也可以从进排气孔103供给空气，并且从处于敞开状态的推力放大装置1的进排气口24向气压室9供给空气。

另外，能够通过止转销75来抑制活塞部71在向输出方向的移动及向输入方向的移动过程中的旋转。另外，由于螺旋弹簧57沿着引导销77延伸收缩，所以能够沿轴向对活塞部71施力。

图3的(d)示出了第2使用例的动作状态(与图3的(c)对应)。

图3的(d)的第2使用例是安装了比第1使用例的气缸100小的小型气缸120的情况的例子。

该小型气缸120与气缸100相比，小型气缸120的主体的外形尺寸变小，输入杆121的直径也变细。

由于主体的外形尺寸小，所以用于将小型气缸120固定于推力放大装置1的按压螺栓129与形成于盖用适配器4的螺纹孔45螺合，而不是与输入侧盖3的螺纹孔35螺合。

另外，在首先将小型气缸120安装于推力放大装置1的情况下，使用与小型气缸120的输入杆121的直径匹配的贯通孔41和引导衬套42的盖用适配器4。

另一方面，如图3的(a)所示，在更换安装于推力放大装置1的气缸100的情况下，如以下那样进行。

即，在拆下供油口栓22并排出液压室8内的油之后拆下气缸100，接着拆下按压螺栓44并将盖用适配器4从输入侧盖3拆下。

之后，更换为小型气缸120用的盖用适配器4并利用按压螺栓44固定于输入侧盖3。之后，使按压螺栓129与螺纹孔45螺合而将小型气缸120固定于推力放大装置1。接着，在从缸体2的供油口21填充了油之后用供油口栓22堵住。

这样，在本实施方式的推力放大装置1中，通过更换盖用适配器4，能够容易地更换为输入杆的直径不同的其他缸体。

小型气缸120的行程比气缸100的输入杆101长了相当于SS的量。因此，输入杆121向输出杆72的空腔部73内多进入相当于SS的量，以能够与输入杆121对应的方式预先将空腔部73的长度确保为更长。因此，即使从气缸100变更为小型气缸120，也不需要更换输出杆72。

当将活塞部71的面积设为与上述相同的S2，将输入杆121的端面面积设为S3，将小型气缸120的推力(即，来自输入杆121的前端的推力)设为Fi2时，来自输出杆72的输出Fp2成为下面的式(2)。

式(2) Fp2＝(Fi2/S3)×S2＝Fi2×(S2/S3)

在式(2)和式(1)中，在Fi1＝Fi2的情况下，S1＞S3，因此，Fp2＞Fp1，针对同一推力的输入，能够得到被更大地增大的输出。

接着，对推力放大装置1的第3使用例进行说明。

图4示出了针对第3使用例的使用状态。

该第3使用例是安装了电动缸130来作为安装于推力放大装置1的缸体的情况的例子。

图4的(a)所示的电动缸130与在图3中说明的气缸100和小型气缸120不同，是不存在贯通主体的贯通孔的情况、螺纹孔35或螺纹孔45的位置不对合的情况的例子。

在该情况下，如图4的(a)所示，借助适配器133将电动缸130固定于推力放大装置1。

这里，在能够将电动缸130直接安装于输入侧盖3或盖用适配器4的情况下，也可以直接安装而不借助适配器133。另外，在图3中，在不将气缸直接安装于输入侧盖3或盖用适配器4的情况下，也可以设置相当于适配器133的适配器而向推力放大装置1固定。

适配器133在中央形成有供圆柱形状的输入杆131贯穿插入的贯通孔134，并且与输入侧盖3的螺纹孔35的位置对应地形成有贯通孔，并且还形成有用于固定于电动缸130的贯通孔。

使输入杆131穿过该适配器133的贯通孔134，利用按压螺栓135将电动缸130安装于适配器133。之后，通过将按压螺栓136与盖用适配器4的螺纹孔35螺合，借助适配器133将电动缸130固定于推力放大装置1。

另外，在图4的剖视图中，为了显示按压螺栓136而在途中变更了剖面，因此螺纹孔35的显示位置与图1不同，但实际的螺纹孔35的位置如图1的(b)所示那样形成在相同位置。

另外，在对主体部的外形比输入侧盖3大的缸体装置进行安装的情况下，使用直径比输入侧盖3大的适配器，在先将适配器螺栓固定于输入侧盖3(或盖用适配器4)之后，通过按压螺栓将缸体固定在适配器的比输入侧盖3靠外侧的位置。

电动缸130配置有供电部139，通过控制对内置的电动机的通电，使输入杆131进行出入。

使进排气口24为敞开的状态，对电动缸130进行驱动而使输入杆131向输出方向移动，由此，如图4的(b)所示，输入杆131进入空腔部73(液压室8)的内部，输出杆72前进了相当于液压行程OS的量，并从输出杆72的前端输出放大后的推力。

该情况下的从输出杆72的前端输出的推力可基于式(1)求出。推力放大的原理与气缸的情况相同。

这样，根据本实施方式的推力放大装置1，能够容易地安装电动缸130，因此，对于输入侧致动器，能够根据装置的使用环境选定空气驱动或电动驱动的最佳方式。

在本实施方式中，作为输入侧致动器，在图3中示出了空气驱动的致动器，在图4中示出了电动驱动的致动器，但只要是具有相当于输入杆131的部件的缸体类型的直动致动器，则任何结构都可以，只要能够安装于推力放大装置1，便能够对输入致动器的推力进行放大并输出。

另外，在从图4的(b)所示的输出状态恢复为图4的(a)所示的初始状态的情况下，对电动缸130进行驱动而使输入杆131向输入方向后退即可。

由此，活塞部71通过由于液压室8的油向输入侧移动而产生的负压力和螺旋弹簧57的作用力而向输入侧移动。

这里，在更可靠地恢复为初始状态的情况下，也可以从处于敞开状态的推力放大装置1的进排气口24向气压室9供给空气。

接着，对推力放大装置1的第4使用例、第5使用例进行说明。

在第1使用例～第3使用例中说明的各缸体装置的输入杆是圆柱形状，与此相对，第4使用例、第5使用例是安装于推力放大装置1的缸体装置的输入杆不是单一的圆柱形状的情况的例子。

通常的活塞杆的前端形状大多在杆前端形成有外螺纹或内螺纹，在输入杆外周面的1处或多处设置有平行的双面宽切口，在使用这些螺纹来组装部件时，该双面宽切口用于供作业工具(例如扳手)卡挂在输入杆上。在该双面宽切口或外螺纹部那样的不是圆筒形状的异形状的情况下，由于该部分所滑动的范围无法利用O形环等对液压室8内部的油进行密封，所以无法配置密封部。

另外，即使是圆筒形状，也存在直径从前端部分的途中变小的带台阶形状的输入杆的情况，这也同样不能在台阶部分滑动的范围内配置O形环。

可以使这些异形状部分进入到液压室8内部深处，在O形环部分中不滑动，但在该情况下需要使空腔部73变长，不仅会大型化，还需要根据情况来更换输出杆72。另外，在使异形状部分进入时，有可能损伤O形环，无法容易地进行组装。

因此，在以下的使用例中，对具有这些异形状部分的致动器以容易与推力放大装置1连结的方式构成的情况进行说明。

作为第4使用例，图5示出了将在输入杆前端部具有异形状部分的气缸140安装于推力放大装置1的状态。

图5的(a)所示的气缸140具有截面不是圆形(例如，双面宽切口部分以90°的相位形成于两处)的棱柱形状的输入杆141，在该气缸140的前端中央形成有安装用的螺纹孔。

由于该气缸140无法直接安装于推力放大装置1，所以通过适配器杆150和延长适配器142来进行安装。

适配器杆150在输入侧的端部形成有螺栓，该螺栓与输入杆141前端的螺纹孔螺合。适配器杆150的外形使用与推力放大装置1的盖用适配器4的内径相同的外形。

由于输入杆141的长度增加了与安装有适配器杆150的情况相当的量，所以在第4使用例中，通过延长适配器142将气缸140安装于推力放大装置1。

延长适配器142具有板状部142a和从板状部142a向直角方向延伸的延长部142b。

在延长部142b中，在与形成于推力放大装置1的输出侧盖5和输入侧盖3的螺纹孔对应的位置形成有用于供按压螺栓143、144固定的贯通孔。

另外，按压螺栓143用的贯通孔和输出侧盖5的螺纹孔形成在避免与图1的(c)所示的按压螺栓54发生干涉的外侧的两个部位。另外，按压螺栓144用的贯通孔和输入侧盖3的螺纹孔形成在避免与图1的(b)所示的按压螺栓33、33发生干涉的外侧的两个部位。

另一方面，在板状部142a的中央形成有用于供输入杆141贯穿插入的贯通孔，在其外侧的4处呈同心圆状地形成有贯通孔。

另外，适配器杆150具有气缸140的行程以上的单一圆柱形状的外周面，是配合输入杆141的形状而设计的。例如，如果输入杆141的前端是外螺纹，则适配器杆150由内螺纹形成。

在将气缸140安装于推力放大装置1的情况下，将适配器杆150安装于输入杆141，并且利用按压螺栓145将板状部142a安装于气缸140。在该状态下，将适配器杆150的前端贯穿插入到盖用适配器4的贯通孔内，并利用按压螺栓143、144将延长部142b固定于推力放大装置1。

之后的油向液压室8的填充与其他使用例相同。

另外，使安装有气缸140的推力放大装置1进行驱动动作，在图5的(b)的动作状态下从输出杆72输出放大后的推力的动作以及恢复为初始状态的动作与第1使用例相同。

作为第5使用例，图6示出了将电动缸160安装于推力放大装置1的状态。

图6的(a)所示的电动缸160具有供电部169，通过来自该供电部169的供电对内置电动机进行控制，从而使输入杆161进行出入。

电动缸160的输入杆161的截面不是圆形，而具有使双面宽切口部分以90°的相位形成于外周面的两处而成的棱柱形状的前端形状，在该输入杆161的前端中央形成有安装用的螺纹孔。

该电动缸160也与气缸140同样，无法直接安装于推力放大装置1，通过适配器杆150和延长适配器162来进行安装。适配器杆150与在第4使用例中使用的部件相同。

由于输入杆161的长度增加了与安装有适配器杆150的情况相当的量，所以在第5使用例中，通过延长适配器162将电动缸160安装于推力放大装置1。

延长适配器162形成为板状，如图6所示，形成有与推力放大装置1和电动缸160的径向的尺寸差对应的台阶部162a。在图6所示的例子中，由于推力放大装置1较大，因此比该台阶部162a靠输出侧的部分形成为比输入侧薄的薄壁状。

在比台阶部162a靠输出侧，在与形成于推力放大装置1的输出侧盖5和输入侧盖3的螺纹孔对应的位置形成有用于供按压螺栓163、164固定的贯通孔。另外，按压螺栓163、164用的贯通孔及输出侧盖5和输入侧盖3的螺纹孔分别形成在避免与图1的(c)、(b)所示的按压螺栓54、按压螺栓33发生干涉的外侧的两个部位。

另一方面，在比台阶部162a靠输入侧的位置形成有按压螺栓165、166用的贯通孔。

在将电动缸160安装于推力放大装置1的情况下，将适配器杆150安装于输入杆161，并且利用按压螺栓165、166将延长适配器162安装于电动缸160。在该状态下，将适配器杆150的前端贯穿插入盖用适配器4的贯通孔内，并利用按压螺栓163、164将延长适配器162固定于推力放大装置1。

之后的油向液压室8的填充与其他使用例相同。

另外，使安装有电动缸160的推力放大装置1进行驱动动作，在图6的(b)的动作状态下从输出杆72输出放大后的推力的动作以及恢复为初始状态的动作与第3使用例相同。

接着，对第6使用例进行说明。

作为第6使用例，图7示出了在推力放大装置1安装有气缸100、多关节机械臂200以及输出配件300的状态。

在图7中，(a)示出了从推力放大装置1的正面观察的状态，(b)示出了从上方观察的状态，(c)示出了从下方观察的状态，(d)示出了从侧面观察的状态，(e)示出了A-A剖面，(f)示出了B-B剖面。

另外，(a)和(b)示出了安装有多关节机械臂200的状态，其他附图示出了未安装的状态。

另外，在图7的(a)中，与在图3～6中说明的第1使用例～5使用例同样，对于推力放大装置1而言，为了说明内部的状态而用剖面来表示。

以下，在各使用例、各实施方式中，以多关节机器人的多关节机械臂200为例来进行说明，但也可以将推力放大装置1安装在仅沿直线方向动作的机器人、臂部进行旋转动作的标量型机器人等各种机器人中。

在该第6使用例中，示出了连接着气缸100的状态，但对于在输入侧连接的缸体没有特别限定，能够连接在第1使用例～第5使用例中说明的任意缸体。

另外，如图7的(d)所示，与第6使用例的推力放大装置1连接的气缸100在缸体2的外周面沿轴向配置有两条轨道，在其一方配置有输入侧传感器100A，在另一方配置有输出侧传感器100B。

该输入侧传感器100A和输出侧传感器100B是用于检测在与气缸100的输入杆101(参照图3)连接的活塞上配置的磁体(未图示)的位置的传感器。通过检测该气缸100的活塞位置，确认输入杆101在推力放大装置1的液压室8的内部插入了多少，并且能够确认输出杆72的移动量。

另外，输入侧传感器100A、输出侧传感器100B也可以配置于在其他使用例中说明的气缸上。

如图7所示，在将推力放大装置1安装于多关节机械臂200的情况下，在推力放大装置1的侧面组装机器人用适配器201，并经由该机器人用适配器201进行固定。

如图7的(a)和(b)所示，机器人用适配器201为长方形状，在其4个角形成有按压螺栓206用的螺栓孔。机器人用适配器201通过按压螺栓206固定于输入侧盖3和输出侧盖5。

另外，关于输入侧盖3和输出侧盖5的用于利用按压螺栓206将机器人用适配器201固定的螺栓孔，使用用于固定按压螺栓143、144、163、164的螺栓孔对在第4使用例、第5使用例中说明的延长适配器142、162进行固定。但是，将机器人用适配器201固定的按压螺栓206专用的螺栓孔也可以形成在输入侧盖3和输出侧盖5上。

在多关节机械臂200的前端形成有用于固定机器人用适配器201的定位用的凹部和固定用的螺栓孔(4处)。

而且，在机器人用适配器201的与推力放大装置1对置侧的相反侧的面上压入有定位销202，该定位销202用于对机器人用适配器201和多关节机械臂200进行定位。

如图7的(d)所示，机器人用适配器201形成为长方形状，在与定位销202同心的圆上的4个部位形成有用于利用螺栓204将多关节机械臂200固定的螺栓孔。

另外，在机器人用适配器201的4个角形成有用于利用按压螺栓206将机器人用适配器201固定在推力放大装置1的输入侧盖3和输出侧盖5上的螺栓孔。

在将推力放大装置1安装于多关节机械臂200的情况下，按照以下的步骤进行。

首先，使用定位销202在多关节机械臂200的前端安装机器人用适配器201，并利用4个螺栓204进行固定。

接着，使用4个按压螺栓206，利用输入侧盖3和输出侧盖5将推力放大装置1固定于机器人用适配器201。

另一方面，在推力放大装置1的输出侧安装有用于在冲压、凿紧等中使用的输出配件300。

如图7的(a)、(c)所示，该输出配件300具有：安装基部302，其固定于推力放大装置1的输出侧盖5；以及臂部303和输出接受部304，它们与该安装基部302一体形成。

安装基部302形成为平板状，在其中央形成有供推力放大装置1的输出杆72贯穿插入的贯通孔。在该贯通孔的外周侧的6个部位形成有用于将安装基部302安装于输出侧盖5的贯通孔，通过按压螺栓306来进行固定。

另外，用于固定安装基部302的按压螺栓306被固定在形成于输出侧盖5的螺栓孔的螺纹孔56(参照图1、图2)中。

臂部303是棱柱形状，在安装基部302的中央的贯通孔的外侧的位置，沿与安装基部302正交的方向延伸设置。而且，在臂部303的前端侧进一步沿正交方向以与配置在安装基部302的中央的推力放大装置1的输出杆72对置的方式一体形成有输出接受部304。

与形成于输出杆72的前端的用于安装各种工具的螺栓孔72a同样，在输出接受部304的对置位置同样形成有各种工具安装用的螺栓孔。

在图7所示的例子的输出配件300中，凿紧用的凿紧工具72A和凿紧工具308A分别被安装于输出杆72和输出接受部304。

接着，在本第6使用例中，对从推力放大装置1输出的按压力的传递进行说明。

图8是在利用安装于多关节机械臂200的推力放大装置1进行工件WA的凿紧处理的情况下输出的按压力的传递的说明图，(a)示出了未将输出配件300安装在输出侧的情况，(b)示出了将输出配件300安装于输出侧盖5的情况。图8的(b)中用剖面来表示比虚线M靠输出侧的部分。

另外，工件WA与后述的图9的工件WA相同。

如图8的(a)所示，在安装于承受台309的凿紧工具308A上配置工件WA，从输出杆72(所安装的凿紧工具72A)输出增大后的按压力P1。

另外，从输出杆72输出增大后的按压力P1(＝推力Fp)的动作如在图3的(a)、(b)中说明的那样。

从推力放大装置1的输出杆72(凿紧工具72A)施加给工件WA的载荷(＝按压力P1)作为按压力P2传递到承受台309，并传递到承受台309的接地面。

另一方面，输出杆72从工件WA承受与对工件WA输出的按压力P1相等的反作用力P3。该反作用力P3作为反作用力P4传递到推力放大装置1的主体(缸体2和输入侧盖3、输出侧盖5)，进而，反作用力P5经由机器人用适配器201传递到多关节机械臂200。

这样，由于未在推力放大装置1安装输出配件300便进行冲压、凿紧、开孔(冲裁)等处理，因此会传递到多关节机械臂200。例如，在从推力放大装置1输出10kN的推力的情况下，多关节机械臂200需要有承受所传递的10kN的反作用力的能力(可搬运重量＞传递的反作用力P5+推力放大装置1的重量等)。

但是，可搬运重量为10kN以上的多关节机械臂200是大型的，从设备成本和设置空间的观点来看，不适合对小工件进行加工的情况。

接着，对在第6使用例中说明的推力放大装置1上安装输出配件300来进行冲压等的情况的按压力的传递进行说明。

如图8的(b)所示，从推力放大装置1的输出杆72(凿紧工具72A)施加给工件WA的载荷(＝按压力Q1＝P1)作为按压力Q2从输出配件300的输出接受部304传递到臂部303，接着传递到安装基部302(＝Q3)。

另一方面，输出杆72从工件WA承受与对工件WA输出的按压力Q1相等的反作用力Q4，该反作用力Q4从推力放大装置1的主体(缸体2和输入侧盖3、输出侧盖5)传递到安装基部302(＝Q5)。

然后，如图8的(b)所示，由于传递到输出配件300的安装基部302的按压力Q3和反作用力Q5的大小相等且方向相反，因此在输出配件300(以及推力放大装置1)内部互相抵消。

这样，即使在从推力放大装置1的输出杆72输出较大的推力的情况下，其按压力也在包含输出配件300的内部抵消，反作用力不会传递到多关节机械臂200。

因此，与未安装输出配件300的图8的(a)的情况不同，多关节机器人仅考虑要搭载的单元的重量即可，例如即使是可搬运重量为4kg左右的多关节机器人(其中，包含推力放大装置1在内的搭载单元的重量小于4kg)，也能够从推力放大装置1输出10kN以上的推力来进行冲压、凿紧、开孔等加工处理。

以往，在主要为金属加工的情况下，加工装置由于需要较大的加工推力而变重、变大，无法容易地移动，因此将加工装置固定地进行使用。因此，需要将工件移动至加工装置并进行加工，在加工后复原。

与此相对，根据使用了在第6使用例中说明的推力放大装置1的加工装置，由于与输出相比是小型轻量的，所以能够固定在多关节机械臂200上，利用多关节机器人使其移动来进行凿紧、开孔等各种加工处理。另外，多关节机器人也可以使用可搬运重量小的小型机器人。因此，不用使设置在生产线上的工件移动，利用多关节机械臂200将使用了输出配件300和推力放大装置1的加工装置移动到工件的设置场所，能够在此处进行开孔、凿紧等加工。

这样，根据第6使用例，能够令使用了输出配件300和推力放大装置1的加工装置侧移动而对生产线上的工件进行加工，不用使工件从生产线移动，特别是在工件为大型的情况下，能够减小作业空间，效果很好。

接着，对使用了能够将输出的推力在内部抵消的输出配件300的各种加工处理进行说明。

图9是基于推力放大装置1的第6使用例的与凿紧、开孔、冲压相关的各加工处理的动作说明的剖视图。

在凿紧、开孔、冲压中，使用了在图7、8中说明的输出配件300。而且，关于安装在输出杆72的前端和输出接受部304上的工具，根据加工内容来更换凿紧工具72A、308A、开孔工具72B、308B、冲压工具72C、308C来进行使用。

图9的(a)～(c)是用剖面来表示针对凿紧加工的动作说明的图。

在凿紧加工中，如图9的(a)的左侧所示那样，将形成有贯通孔的凿紧对象即第1工件WA1和第2工件WA2重叠起来，并且如箭头所示那样将凿紧件WA3插入到贯通孔中，从而准备好工件WA。使该工件WA移动到凿紧工具72A、308A之间。

另外，也可以如在第6使用例中说明的那样，借助机器人用适配器201将推力放大装置1安装于多关节机械臂200，通过多关节机械臂200的移动将凿紧工具27A、308A配置在工件WA位置。后述的开孔、冲压也同样如此。

之后，如图9的(b)所示，对安装在推力放大装置1的输入侧的气缸100(未图示)如在图3的(a)和(c)中说明的那样进行驱动，使输出杆72向工件WA方向前进，并且对抵接的工件WA施加增大后的按压力Q1，由此进行工件WA的凿紧加工。

在凿紧加工结束之后，通过气缸100的操作使推力放大装置1恢复为初始状态，如图9的(c)所示那样将工件WA取出而结束。

图9的(d)～(f)是针对开孔加工的动作说明图。

如图9的(d)所示，根据要开孔的孔的尺寸、形状，在开孔工具72B形成有凸部，在开孔工具308B形成有凹部。

另外，为了在开孔时使工件WB不产生偏移，配置有工件按压件72X。工件按压件72X形成为在中央形成有供开孔工具72B的凸部通过的贯通孔的有底的圆筒形状。

另外，工件按压件72X进一步使外周面的直径形成得较细，从而供螺旋弹簧72Z插入，相对于输出杆72，向输出方向对工件按压件72X施力。由此，如图9的(d)所示，在工件按压件72X与工件WB抵接前的状态下，形成于开孔工具72B的凸部的前端面位于比工件按压件72X的外侧面(前端面)靠内侧的位置。

在工件按压件72X的主体部沿轴向形成有贯通槽，通过压入于输出杆72的止动件72Y，使被螺旋弹簧72Z施力的工件按压件72X不会从输出杆72脱离。

在开孔加工时，如图9的(d)的箭头所示，使准备好的工件WB移动到开孔工具72B、308B之间。

之后，如图9的(e)所示，对安装于推力放大装置1的气缸100(未图示)进行驱动，使输出杆72向工件WB方向前进。在输出杆72前进的途中与工件按压件72X抵接，进而通过输出杆72的前进，利用螺旋弹簧72Z的作用力使工件WB被工件按压件72X按压。

接着，在输出杆72前进的同时，开孔工具72B的前端与工件WB抵接并进一步贯通，从而在工件WB形成期望的孔。

在开孔加工结束之后，通过气缸100的操作使推力放大装置1恢复为初始状态(工件按压件72X也通过螺旋弹簧的作用力而回到原始的位置)，如图9的(f)所示那样将工件WB取出而结束。

如以上说明那样，通过对输出配件300进行各种变更，能够使用共同的推力放大装置1来进行各种加工。

图9的(g)～(i)是针对冲压加工的动作说明图。

如图9的(g)所示，根据通过冲压加工而形成的形状，在冲压工具72C形成有凸部，在冲压工具308C形成有凹部。

在冲压加工时，如箭头所示，使准备好的工件WC移动到冲压工具72C、308C之间。

之后，如图9的(h)所示，对安装在推力放大装置1的输入侧的气缸100(未图示)进行驱动，使输出杆72向工件WC方向前进，并且对所抵接的工件WC施加增大后的按压力Q1，从而进行工件WC的冲压加工。

在冲压加工结束之后，通过气缸100的操作使推力放大装置1恢复为初始状态，如图9的(i)所示那样将工件WC取出而结束。

接着，对推力放大装置1的第7使用例进行说明。

在第6使用例中，对将输出配件300安装于推力放大装置1并且将推力放大装置1借助机器人用适配器201安装于多关节机械臂200的情况进行了说明。在该第6使用例中，需要分别进行将推力放大装置1安装于多关节机械臂200的操作和将输出配件300安装于推力放大装置1的操作。

因此，在第7使用例中，使用了具有机器人用适配器201的功能和输出配件300的功能这两者的输出配件350。

图10是推力放大装置1的第7使用例的说明图。

在图10中，对与第6使用例的输出配件300、机器人用适配器201相同的部分标注相同的标号并适当省略其说明。

如图10所示，输出配件350具有臂部303，在一侧的端部一体形成有与第6使用例相同的输出接受部304。

臂部303的另一端侧不是安装基部302，而与形状与第6使用例相同的机器人用适配器351一体形成。

机器人用适配器351和臂部303除了为了使两者一体形成而使彼此的轴向的长度形成得稍微长些之外，其他部分与第6使用例的机器人用适配器201和臂部303相同。

另外，安装在输出接受部304或输出杆72上的工具(凿紧工具72A、308A、开孔工具72B、308B、冲压工具72C、308C)与第6使用例相同。

在该第7使用例中，在将推力放大装置1安装于多关节机械臂200的情况下，通过如下步骤进行。

首先，使用定位销202在多关节机械臂200的前端安装输出配件350的机器人用适配器351，并利用4个螺栓204进行固定。

接着，使用4个按压螺栓206，利用输入侧盖3和输出侧盖5将推力放大装置1固定于输出配件350的机器人用适配器351。

这样，在第7使用例中，机器人用适配器351作为输出配件350的一部分而一体形成，因此仅通过将输出配件350安装在多关节机械臂200上的作业即可完成。

以上，如所说明的那样，本发明的输出配件构成为能够与要加工的工件的形状和各种加工工序相对应地更换凿紧工具308A、开孔工具308B、冲压工具308C等加工工具，因此能够应对各种加工。

接着，对第8使用例进行说明。

在该第8使用例中，在推力放大装置1的输入侧安装有气缸100，在输出侧(输出用盖5)安装有基于膜片的卡盘装置440。

图11是在推力放大装置1安装有卡盘装置440的第8使用例的说明图。图11的(a)示出了利用推力放大装置1将卡盘装置440打开后的状态，(b)示出了关闭后的状态。在图11的(a)、(b)中，为了容易理解推力放大装置1的内部的状态，用剖面来表示比波浪线靠输出侧的部分。

另外，图11的(c)是从输出侧观察第8使用例的卡盘装置440的状态的图，用(a)、(b)来表示该(c)所示的C-C剖面。

另外，图11的(d)是第8使用例的卡盘装置的分解图。

如图11所示，在推力放大装置1的输入侧也安装有在其他使用例中说明的气缸100，但也可以安装电动缸130等。

另一方面，在推力放大装置1的输出侧借助卡盘用配件400安装有卡盘装置440。

卡盘用配件400在其外周的6处形成有螺栓孔，通过螺栓401固定在推力放大装置1的输出侧盖5上。卡盘用配件400是输出配件的一例。

如图11的(d)所示，卡盘用配件400在中央部形成有贯通孔。该贯通孔由输入侧的内径比输出杆72的外径稍大的小内径部400a、输出侧与膜片部451的外径为相同尺寸的大内径部400c、以及具有小内径部400a与大内径部400c之间的内径的中内径部400b构成。

在卡盘用配件400的中内径部400b的底面(与小内径部400a之间的台阶部分)，通过螺栓403固定有用于限制输出杆72的移动量的止动件402。在大内径部400c内配置有膜片部451，通过螺栓454固定于卡盘用配件400。

另外，膜片部451具有能够在厚度方向上弹性变形的薄板状态的膜片和在该膜片的外周形成的厚壁部。膜片部451在该厚壁部利用螺栓403与后述的爪452一起固定于卡盘用配件400。

另一方面，在卡盘用配件400的小内径部400a内贯穿插入有输出杆72和与输出杆72的前端螺合的开闭杆72E。

开闭杆72形成有刻有外螺纹的前端侧的螺纹部72E1、外径比螺纹部72E1大的细径部72E2、以及外径比细径部72E2大的凸缘部72E3，细径部72E2贯穿插入止动件402。

在止动件402的中央形成有内径比开闭杆72E的细径部72E2的外径大且比凸缘部72E3的外径小的贯通孔。

卡盘机构部450具有：膜片部451，其具有能够在厚度方向上弹性变形的膜片和外周的厚壁部；以及6个爪452，它们在膜片部451的表面，沿周向等间隔地呈放射状固定。爪452通过螺栓453固定在膜片部451的厚壁部。

膜片部451的膜片形成为大致圆板状，并且具有在中央贯通的中央孔。

如上述那样，膜片部451通过螺栓454将其外周的厚壁部固定于卡盘用配件400。由此，随着固定在输出杆72的前端的开闭杆72E的输出方向的移动，沿厚度方向按压中央孔附近，使膜片部451的形成为薄壁的膜片弹性变形，从而使卡盘打开。在关闭时，输出杆72后退，通过除去对膜片的按压力而使膜片的弹性变形复原，从而关闭。

而且，通过该弹性变形，能够使固定于膜片部451的爪452在相对于中心轴开闭的方向上移动。

图11的(a)示出了通过按压膜片而将爪452打开从而能够插入作为卡盘对象的工件900的状态，(b)示出了通过将膜片拉回而使爪452关闭从而将插入的工件900卡住的状态。

即，如在图3中说明的那样，对气缸100进行驱动而使输入杆101在液压室8内前进。由此，液压室8的压力增大，活塞部71(参照图3)和输出杆72也前进，从输出杆72的前端的开闭杆72E向按压膜片的方向施加增大后的推力，由此爪452打开。

另一方面，在将工件900插入到爪452之间之后，通过使气缸100的输入杆101回到输入侧，液压室8的压力也下降，由此开闭杆72E也被拉回到输入侧，膜片的弹性变形复原，工件900被卡住。

通常，膜片式的卡盘装置的外径越小，则打开所需的按压力越大，因此难以打开。此外，安装小的卡盘装置的情况下，使其开闭的驱动缸体也一起变小，推力不足，更难以打开。

与此相对，根据本实施方式的推力放大装置1和第8使用例，即使在使用了小型的卡盘装置440(外径为2英寸左右)的情况下，由于来自输出杆72的可输出的推力大，因此打开量极大，大到φ0.8mm，卡盘的把持力能够输出1.4kN。

另外，由于卡盘用配件400构成为能够根据工件形状来更换作为把持工件的把持单元的膜片部451，因此容易应对大小不同的工件。

接着，对第2实施方式的推力放大装置进行说明。

在图1～图10所说明的推力放大装置1(以下，称为第1实施方式)中，对以安装在输入侧的气缸100的输入杆101的轴心与活塞部71和输出杆72的轴心一致的方式安装气缸100等的情况进行了说明。

但是，在该第1实施方式的推力放大装置1中，在连接有气缸100的状态下装置整体在轴向上变长。

因此，在第2实施方式、第3实施方式的推力放大装置1b、1c中，以配置在输入侧的输入杆101的轴心相对于活塞部71和输出杆72的轴心成为直角方向的方式将气缸100等安装于推力放大装置1b、1c。另外，在实施方式中，对两轴心正交的方向的情况进行说明，但也可以以沿斜向(倾斜方向)安装的方式配置各部分。

图12示出了第2实施方式的推力放大装置1b的剖面。另外，在图12的推力放大装置1b中，与第1实施方式的第1使用例(图3的(a)～(c))同样，示出了在输入侧连接有气缸100的情况。

另外，对与第1实施方式的推力放大装置1相同的部分标注相同的标号并适当省略其说明，以不同的部分为中心来进行说明。

如图12所示，推力放大装置1b的缸体2b形成为长方体形状，具有：圆筒状的缸体凹部2b1，其形成于1个端面；圆筒状的输入凹部2b3，其形成于与形成有缸体凹部2b1的端面正交的端面；以及连通部2b2，其将缸体凹部2b1与输入凹部2b3连接。

与第1实施方式同样地，在缸体凹部2b1中配置有比第2实施方式的输入侧盖3和盖用适配器4靠输出侧的各部件，即活塞部71、输出杆72、输出侧盖5、止动盖6、引导销77、止转销75等。缸体凹部2b1的内周面和内设的活塞部71、输出杆72的空腔部73形成了液压室8a。

与第1实施方式同样地，在缸体凹部2b1的敞开端侧配置有输出侧盖5和止动盖6。

另一方面，在输入凹部2b3的敞开端侧，通过按压螺栓33固定有与第1实施方式相同的输入侧盖3，在该输入侧盖3，通过按压螺栓44固定有盖用适配器4。

在盖用适配器4，通过按压螺栓109固定有气缸100。

输入凹部2b3的长度(凹部的深度)形成为比所连接的气缸100的输入杆101的最大工作范围深。

输入凹部2b3形成液压室8c。

连通部2b2通过连结缸体凹部2b1和输入凹部2b3而形成液压室8b。

在缸体2b形成有与连结部2b2相连的油供给用的供油口，在向液压室8a～8c内供给油之后由供油口栓22堵住。

另外，向液压室8a～8c供油的供油口形成在与连结部2b2相连的其他位置，另外，也可以形成在与缸体凹部2b1、输入凹部2b3相连的位置。

图12所示的对第2实施方式的推力放大装置1b进行驱动的情况下的动作与将同一气缸连接在输入侧的第1实施方式的第1使用例(图3的(a)～(c))同样。

当在气缸100的进排气孔103敞开的状态下从进排气孔102供给空气时，输入杆101进入到液压室8c内。

通过输入杆101进入到液压室8c内，对液压室整体(8a～8c)的油进行按压，由此，活塞部71和输出杆72向输出方向(附图下方向)移动相当于液压行程OS(参照图3的(a)、(c))的量。然后，从输出杆72的前端输出被液压增大后的推力。

从输出放大后的推力的状态到推力放大装置1b恢复初始状态的情况与第1实施方式的第1使用例同样。

接着，对第3实施方式的推力放大装置1c进行说明。

图13示出了第3实施方式的推力放大装置1c的剖面。另外，在图13的推力放大装置1c中，与第1实施方式的第3使用例(图4)同样，示出了在输入侧连接有电动缸130的情况。

另外，对与第1实施方式的推力放大装置1相同的部分标注相同的标号并适当省略其说明，以不同的部分为中心来进行说明。

在图12所说明的第2实施方式的推力放大装置1b中构成为，将连通部2b2的直径形成得较细，将所连接的气缸100的输入杆101的轴心配置在比连通部2b2的轴心靠输出杆72的输出侧。由此，在第2实施方式的推力放大装置1b中，使推力放大装置1b整体的高度(输出杆72的输出方向的长度)进一步减小。

与此相对，在第3实施方式的推力放大装置1c中，如图13所示，使连通部2b2的轴心与所连接的缸体的输入杆的轴心一致，并使连通部2b2的内径形成为能够供与输入侧连接的缸体的输入杆进入的尺寸。

根据该第3实施方式的推力放大装置1c，由于能够使连通部2b2成为输入杆的可动区域，因此与第2实施方式的推力放大装置1b相比，能够缩短推力放大装置1c整体的横向(与输出杆72的输出方向正交并且配置有输入侧盖3的方向)的长度。

如图13所示，在推力放大装置1c中，在长方体形状的缸体2c内，将成为液压室8b的连通部2b2形成为能够供电动缸130的输入杆131插入的内径，即，形成为比输入杆131的直径稍大的内径。

而且，在配置电动缸130的一侧的输入侧盖3或盖用适配器4的中心与连通部2b2的轴心一致的位置形成有输入凹部2b3。

另外，在本实施方式中，如图13所示，在输入凹部2b3形成有液压室8c，但由于输入杆131的可动区域存在于连通部2b2内，所以也可以去掉液压室8c。在该情况下，利用按压螺栓33将与输入凹部2b3的底面抵接的状态的输入侧盖3固定于缸体2c。

对这样构成的第3实施方式的推力放大装置1c进行驱动的动作与第2实施方式的推力放大装置1b同样。

另外，与第1实施方式同样，通过使用各种适配器，能够将第1使用例～第8使用例应用于第2实施方式、第3实施方式的推力放大装置1b、1c。

另外，在图12、图13所示的推力放大装置1b、1c中，在活塞部71和输出杆72形成有空腔部73，但与第1实施方式的推力放大装置1不同，气缸100的输入杆101等不会进入到空腔部73，因此也可以不形成空腔部73。

另外，在实施方式2中使用了气缸作为输入侧致动器(图12)，在实施方式3中使用了电动缸作为输入侧致动器(图13)，但也可以针对各推力放大装置1b、1c替换输入侧致动器。

在以上说明的第2实施方式、第3实施方式的推力放大装置1b、1c中，输入侧盖3的配置面和输出侧盖5的配置面与长方体形状的缸体2b、2c正交。在第1实施方式中，由于输入侧盖3的配置面和输出侧盖5的配置面是平行的，所以组装机器人用适配器201的输入侧盖3和输出侧盖5的各侧面也是平行的，但在第2实施方式、第3实施方式中输入侧盖3和输出侧盖5的各侧面是正交的。在第2实施方式、第3实施方式中，在组装机器人用适配器201的情况下，也可以根据正交的输入侧盖3和输出侧盖5的各侧面的位置来配置螺栓孔，并利用按压螺栓206进行固定。另外，只要能够充分确保机器人用适配器201的组装强度，则在第1实施方式到第3实施方式中，也可以仅在输入侧盖3和输出侧盖5的任意一方进行组装。

另外，在第1实施方式～第3实施方式的推力放大装置1、1b、1c中，也可以将机器人用适配器201直接固定于缸体2、2b、2c。

即，对输入用致动器(气缸100、电动缸130等)进行固定的固定单元、对输出配件(输出配件300、卡盘用配件400等)进行固定的输出用固定单元、对安装多关节机械臂200的机器人用适配器201进行固定的机器人用固定单元，可以配置在缸体、输出侧盖部、输入侧盖部中的至少1个部位。

如以上说明的那样，根据本实施方式的推力放大装置1，通过从输入侧致动器分离并独立出来，能够容易地安装并更换各种各样的致动器，另外不需要专用或一体的致动器，能够容易地安装并更换廉价的各种市售致动器。

不仅是气缸，还可将电动类型的缸体、具有其他驱动源的各种致动器安装于推力放大装置1，由此，能够容易地进行各种致动器的推力放大。

另外，能够之后容易地变更输入侧致动器的各种尺寸、输出，并且能够容易地变更输出杆的最终性能，能够提高便利性。

另外，根据第2实施方式、第3实施方式的推力放大装置1b、1c，以在输入侧连接的各种缸体的输入杆的轴心相对于输出杆72的轴心成为倾斜的角度方向优选为直角方向的方式配置缸体的安装适配器(盖用适配器4等)。而且，对活塞部71和输出杆72施加液压力的液压室8a和承受来自输入侧的缸体的输入杆的压力的液压室8c通过液压室8b相连通。

由此，能够减小推力放大装置1b、1c的输出杆72的输出方向的长度。因此，能够提高在第6使用例～第8使用例中说明的借助机器人用适配器201将小型化的推力放大装置1b、1c安装于多关节机械臂200的情况的操作性。

Claims (23)

1.一种推力放大装置，其通过在输入侧连接输入用致动器，对从所述输入用致动器输入的推力进行放大而输出，其特征在于，

该推力放大装置具有：

缸体；

流体活塞，其具有活塞部和输出杆，该活塞部配置在所述缸体内，在所述缸体内沿推力方向移动，该输出杆与所述活塞部连接；

输出侧盖部，其与所述缸体的一端侧连接，形成有供所述输出杆沿推力方向移动的贯通孔；

输入侧盖部，其与所述缸体的另一端侧连接，形成有输入部，来自所述输入用致动器的所述推力输入到该输入部；

流体供给单元，其向由所述缸体、所述活塞部和所述输入侧盖部分隔而成的流体室内供给流体；以及

固定单元，其配置在所述缸体、所述输出侧盖部以及所述输入侧盖部中的至少1个部位，对所述输入用致动器进行固定。

2.根据权利要求1所述的推力放大装置，其特征在于，

所述输入侧盖部具有：

输入侧盖，其固定于所述缸体，在中央形成有更换用输入部；以及

盖用适配器，其在中央形成有所述输入部，该盖用适配器配置在所述输入侧盖的所述更换用输入部，并且以能够更换的方式被固定。

3.根据权利要求1或2所述的推力放大装置，其特征在于，

所述固定单元具有形成于所述输入侧盖部的固定用的螺栓孔。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的推力放大装置，其特征在于，

所述固定单元具有在输入侧盖部和输出侧盖部的侧面上形成的固定用螺栓孔。

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的推力放大装置，其特征在于，

所述流体活塞具有有底的空腔部，该空腔部从所述活塞部起连续形成到所述输出杆的途中，形成所述流体室的一部分。

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的推力放大装置，其特征在于，

所述固定单元具有螺栓孔，该螺栓孔用于借助固定用适配器将所述输入用致动器固定，并且用于固定所述固定用适配器。

7.根据权利要求6所述的推力放大装置，其特征在于，

所述固定单元借助所述固定用适配器将所述输入用致动器固定在与所述输入侧盖分开规定距离的位置。

8.根据权利要求7所述的推力放大装置，其特征在于，

所述固定单元借助所述固定用适配器将在所述输入用致动器的输入杆的前端固定有适配器杆的输入用致动器固定在与所述输入侧盖分开规定距离的位置。

9.根据权利要求8所述的推力放大装置，其特征在于，

形成于所述输入侧盖部的输入部是与固定在所述输入用致动器的前端的所述适配器杆的剖面形状匹配的圆形形状。

10.根据权利要求1至7中的任意一项所述的推力放大装置，其特征在于，

形成于所述输入侧盖部的输入部是与所述输入用致动器的所述输入杆的剖面形状匹配的圆形形状。

11.根据权利要求1至10中的任意一项所述的推力放大装置，其特征在于，

由所述固定单元固定的所述输入用致动器是气缸或电动缸。

12.根据权利要求11所述的推力放大装置，其特征在于，

所述输入致动器的所述输入杆是在外周面不存在台阶的截面为圆形的形状。

13.根据权利要求1至12中的任意一项所述的推力放大装置，其特征在于，

所述输出侧盖部具有止转部件，该止转部件抑制所述活塞相对于所述输出侧盖部的旋转。

14.根据权利要求1至13中的任意一项所述的推力放大装置，其特征在于，

所述推力放大装置具有施力单元，该施力单元对所述流体活塞施加输入侧方向的力。

15.根据权利要求1至14中的任意一项所述的推力放大装置，其特征在于，

所述输出侧盖部具有：

输出侧盖，其固定于所述缸体，在中央形成有更换用输出部；以及

止动盖，其在中央形成有所述贯通孔，该止动盖配置在所述输出侧盖的所述更换用输出部，并且以能够更换的方式被固定。

16.根据权利要求15所述的推力放大装置，其特征在于，

所述推力放大装置具有输出用固定单元，该输出用固定单元配置在所述缸体、所述输出侧盖部以及所述输入侧盖部中的至少1个部位，对承受从所述输出杆输出的放大后的推力的输出配件进行固定。

17.根据权利要求16所述的推力放大装置，其特征在于，

所述推力放大装置具有能够更换与加工工序对应的加工工具的所述输出配件。

18.根据权利要求16所述的推力放大装置，其特征在于，

所述推力放大装置具有能够根据工件形状来更换把持工件的把持单元的所述输出配件。

19.根据权利要求15至18中的任意一项所述的推力放大装置，其特征在于，

所述推力放大装置具有机器人用固定单元，该机器人用固定单元配置在所述缸体、所述输出侧盖部以及所述输入侧盖部中的至少1个部位，对安装机械臂的机器人用适配器进行固定。

20.根据权利要求1至19中的任意一项所述的推力放大装置，其特征在于，

所述固定单元以使向所述输入部输入推力的所述输入用致动器的输入杆的轴心相对于所述输出杆的轴心成为规定的倾斜角度的方式，将所述输入用致动器固定。

21.根据权利要求20所述的推力放大装置，其特征在于，

所述输入侧盖部以相对于所述输出侧盖部成为所述规定的倾斜角度的方式与所述缸体连接。

22.根据权利要求20或21所述的推力放大装置，其特征在于，

所述倾斜角度为90度。

23.一种推力放大装置，其特征在于，该推力放大装置具有：

输入用致动器，其具有圆柱形状的输入杆；

缸体；

流体活塞，其具有活塞部和输出杆，该活塞部配置在所述缸体内，在所述缸体内沿推力方向移动，该输出杆与所述活塞部连接；

输出侧盖部，其与所述缸体的一端侧连接，形成有供所述输出杆沿推力方向移动的贯通孔；

输入侧盖部，其与所述缸体的另一端侧连接，形成有输入部，来自所述输入用致动器的所述推力输入到该输入部；

流体供给单元，其向由所述缸体、所述活塞部和所述输入侧盖部分隔而成的流体室内供给流体；以及

固定单元，其配置在所述缸体、所述输出侧盖部以及所述输入侧盖部中的至少1个部位，对所述输入用致动器进行固定，

通过将所述输入杆贯穿插入所述输入侧盖部中而将所述输入用致动器连接，对从所述输入用致动器输入的推力进行放大而输出。

Images