CN111117753B - 金电极芯片用划片液 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种金电极芯片用划片液,是选用无泡两性表面活性剂、乙二胺乙氧基丙氧基化物、聚乙二醇10000与水复配而成,不仅动态润湿能力强,可快速润湿刀片和切割道,而且泡沫极低且消泡快,同时因乙二胺乙氧基丙氧基化物具有丰富的支链结构,在溶液中形成局部短程的空间位阻,可填充在聚乙二醇搭建的基础框架中,显著提高溶液的空间位阻密度,增强切割粉末的悬浮分散能力,避免切割粉末在芯片上黏附,保证了切片质量。
Description
技术领域
本发明属于半导体器件制造领域,尤其涉及一种泡沫少且易消失、粉末悬浮性好的金电极芯片用划片液。
背景技术
半导体器件是经过集成电路设计、芯片制造和封装等主要环节而制成。芯片制造是在晶圆上同时批量制造多个结构相同的独立单元,并在封装前用刀片切割,使独立单元彼此分开,进而封装功能化的个体。刀片切割芯片时需要匹配划片液,其目的之一是在刀片和芯片摩擦时润滑和冷却界面,降低刀片磨损、减少生成热及加速热量传导;另一目的是分散切割粉末,避免粉末在芯片上黏附。
现有划片液有的采用有机硅或磷酸酯类表面活性剂等制成,但此类表面活性剂泡沫丰富,泡沫的持续积累会减少后续表面活性剂在刀片和切割道上的吸附量,使得切割粉末产生速率迅速提高,难以保证切割质量;同时泡沫积累易溢出槽体,污染机台和超净生产场所。有的划片液采用聚乙烯醇或聚乙二醇提供悬浮分散功能,但是因聚乙烯醇和聚乙二醇为直链结构,溶液中无规则的随机分布使其只能搭建空间网络结构的基础框架,空间位阻密度小,切割粉末在短程局部的聚集导致悬浮分散能力不足,有时会出现粉末在芯片上黏附的现象。
发明内容
本发明为了解决现有技术所存在的上述技术问题,提供一种泡沫少且易消失、粉末悬浮性好的金电极芯片用划片液。
本发明的技术解决方案是:一种金电极芯片用划片液,其特征是由以下质量百分比的原料组成:无泡两性表面活性剂1~6%、乙二胺乙氧基丙氧基化物3~6%、聚乙二醇100000.5~1%及去离子水余量,所述乙二胺乙氧基丙氧基化物结构式如下:
其中k和n为非零的整数。
本发明选用无泡两性表面活性剂、乙二胺乙氧基丙氧基化物、聚乙二醇10000与水复配而成,不仅动态润湿能力强,可快速润湿刀片和切割道,而且泡沫极低且消泡快,同时因乙二胺乙氧基丙氧基化物具有丰富的支链结构,在溶液中形成局部短程的空间位阻,可填充在聚乙二醇搭建的基础框架中,显著提高溶液的空间位阻密度,增强切割粉末的悬浮分散能力,避免切割粉末在芯片上黏附,保证了切片质量。
具体实施方式
实施例1:
室温下,去离子水中添加1%无泡两性表面活性剂(上海发凯化工有限公司FC-39)和1%聚乙二醇10000,搅拌10min,再添加3%乙二胺乙氧基丙氧基化物(科莱恩PN30)搅拌20min即可。
实施例2:
室温下,去离子水中添加5%无泡两性表面活性剂(上海发凯化工有限公司FC-39)和0.5%聚乙二醇10000,搅拌10min,再添加5%乙二胺乙氧基丙氧基化物(科莱恩PN30)搅拌20min即可。
实施例3:
室温下,去离子水中添加6%无泡两性表面活性剂(上海发凯化工有限公司FC-39)和1%聚乙二醇10000,搅拌10min,再添加6%乙二胺乙氧基丙氧基化物(科莱恩PN30)搅拌20min即可。
采用市售划片液(对比例)和本发明实施例1、2、3分别用去离子水稀释5000倍作为金电极芯片用划片液使用,效果如表1所示。
表1
实施例 | 切割粉末滞留情况 | 泡沫状态 |
1 | 粉末易清洗,未见黏附 | 泡沫少,20秒消失 |
2 | 粉末易清洗,未见黏附 | 泡沫少,35秒消失 |
3 | 粉末易清洗,未见黏附 | 泡沫少,40秒消失 |
对比例 | 粉末难清洗,少量粘附 | 泡沫多,600秒后未消失 |
通过对比可以看出,本发明的金电极芯片用划片液具有泡沫少,极易消失,切割粉末悬浮分散好,易于清洗,无粘附的特点。
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