CN111112176A - 清洗机 - Google Patents
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Abstract
一种清洗机,适于清洗多个待清洗件,所述待清洗件形成有通气孔,所述通气孔具有大孔径部及连通于所述大孔径部的小孔径部。所述清洗机包括承载盘及清洗装置,所述承载盘用于承载所述待清洗件并使所述小孔径部朝上,所述清洗装置包括用于承托所述承载盘的承托架及喷头,所述喷头对所述待清洗件的所述小孔径部喷洒清洗液,以使所述清洗液由所述小孔径部朝所述大孔径部方向流动并由所述大孔径部排出。
Description
技术领域
本发明涉及一种清洗机,特别是涉及一种用于对具有通孔的待清洗件进行清洗的清洗机。
背景技术
现有电子组件与电路板的组装方式中,是通过吸嘴以真空吸附方式吸附电子组件并将其组装在电路板上,随后再将电子组件焊接于电路板上。
由于吸嘴吸附电子组件并将其组装至电路板的过程中易碰触到或者是吸附到焊锡、助焊剂等杂质,造成吸嘴外观肮脏或吸孔堵塞等问题,因此,常需要定期对吸嘴进行清洗的作业。
目前吸嘴常用的清洗方式是通过超声波清洗机进行清洗,待清洗完成后再通过人工手拿吹气枪进行吹干。然而,通过超声波清洗机清洗的方式不易将吸嘴的吸孔内的焊锡、助焊剂等杂质完全清除,使得吸孔内易残留有杂质。通过人工吹干的方式则会耗费大量人工成本且效率不佳。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能够克服背景技术的至少一个缺点的清洗机。
本发明的目的及解决背景技术问题是采用于下技术方案来实现的,依据本发明提出的清洗机,适于清洗多个待清洗件,所述待清洗件形成有通气孔,所述通气孔具有大孔径部及连通于所述大孔径部的小孔径部。
所述清洗机包括承载盘及清洗装置,所述承载盘用于承载所述待清洗件并使所述小孔径部朝上,所述清洗装置包括喷头以及用于承托所述承载盘的承托架,所述喷头对所述待清洗件的所述小孔径部喷洒清洗液,以使所述清洗液由所述小孔径部朝所述大孔径部方向流动并由所述大孔径部排出。
优选地,所述喷头具有多个分别与所述待清洗件的所述小孔径部对齐并用于喷洒所述清洗液的喷液孔。
优选地,所述承载盘形成有多个分别供所述待清洗件容置的容置孔,所述容置孔具有对齐所述喷头的第一孔部,所述第一孔部呈截头圆锥状且其孔径朝远离所述喷头的方向渐缩。
优选地,所述承载盘包括盘件及盖板,所述盘件形成有气体流道以及多个分别供所述待清洗件容置的容置孔,所述盖板可滑动地盖合于所述盘件并止挡所述待清洗件且面向所述气体流道,所述清洗装置还包括用于对所述承载盘及所述气体流道吹气的吹气干燥机构。
优选地,所述承托架具有平面及多个凸设于所述平面并用于承托所述承载盘的承托凸块,所述平面与所述承载盘之间形成空隙,所述承载盘形成气体流道,所述气体流道具有侧进气口及侧排气口,所述清洗装置还包括第一吹气单元及第二吹气单元,所述第一吹气单元用于对所述侧进气口及所述空隙吹气,所述第二吹气单元位于所述第一吹气单元上方并用于对所述承载盘相反于所述承托凸块的一侧吹气。
优选地,所述清洗机包括承载装置、翻转装置及移载装置,所述承载装置具有可被移载的所述承载盘,所述翻转装置用于带动所述承载盘在第一角度位置及第二角度位置之间旋转,在所述第一角度位置时,所述待清洗件的所述大孔径部朝上,在所述第二角度位置时,所述待清洗件的所述小孔径部朝上,所述移载装置用于移载位于所述承载装置处的所述承载盘至所述翻转装置,以使所述翻转装置能够将所述承载盘由所述第一角度位置旋转至所述第二角度位置,所述移载装置还用于将处于所述第二角度位置的所述承载盘移载至所述清洗装置的所述承托架。
优选地,所述承载装置包括用于承载所述承载盘的载台,所述翻转装置包括用于夹持或释放所述承载盘的第一夹持机构及与所述第一夹持机构连接的旋转驱动机构,所述旋转驱动机构通过所述第一夹持机构带动所述承载盘在所述第一角度位置及所述第二角度位置之间旋转,所述清洗装置还包括清洗腔室及用于对所述承载盘吹气的吹气干燥机构,所述喷头及所述吹气干燥机构设置于所述清洗腔室内,所述承托架具有用于承托所述承载盘的承托盘,所述承托架可在所述承托盘位于所述清洗腔室外的伸出位置和所述承托盘位于所述清洗腔室内的收合位置之间移动,所述移载装置包括用于夹持或放置所述承载盘的第二夹持机构,所述第二夹持机构可在第一取放位置、第二取放位置及第三取放位置之间移动,在所述第一取放位置时,所述第二夹持机构能够夹持所述载台所承载的所述承载盘,或是将所夹持的所述承载盘放置于所述载台上,在所述第二取放位置时,所述第一夹持机构能够夹持所述第二夹持机构所夹持的所述承载盘,或是所述第二夹持机构能够夹持所述第一夹持机构所夹持的所述承载盘,在所述第三取放位置时,所述第二夹持机构能够将夹持的所述承载盘放置于处在所述伸出位置的所述承托架的所述承托盘上,或是夹持处在所述伸出位置的所述承托架的所述承托盘上的所述承载盘。
优选地,所述清洗装置还包括用于对所述承载盘吹气的吹气干燥机构,所述清洗机还包括吹气装置,所述吹气装置用于对经由所述清洗装置清洗后的所述待清洗件的所述通气孔吹气。
优选地,所述清洗机还包括吹气装置,所述吹气装置用于对经由所述清洗装置清洗后的所述待清洗件的所述通气孔的所述大孔径部吹气。
本发明的目的及解决背景技术问题是采用于下技术方案来实现的,依据本发明提出的清洗机,适于清洗多个待清洗件,所述待清洗件形成有通气孔,所述通气孔具有大孔径部,及连通于所述大孔径部的小孔径部。
所述清洗机包括承载盘及清洗装置,所述承载盘用于承载所述待清洗件并使所述小孔径部朝上,所述承载盘形成气体流道,所述清洗装置包括喷头、吹气干燥机构以及用于承托所述承载盘的承托架,所述承托架与所述承载盘之间形成空隙,所述喷头对所述待清洗件的所述小孔径部喷洒清洗液,使所述清洗液由所述小孔径部朝所述大孔径部方向流动并由所述大孔径部排出,所述吹气干燥机构用于对所述承载盘、所述气体流道及所述空隙吹气。
本发明的有益效果在于:借由清洗装置的喷头对待清洗件的小孔径部喷洒清洗液,使得清洗液能顺利且彻底地冲洗掉通气孔内所残留的杂质。此外,借由吹气干燥机构的第一、第二吹气单元的设计,能快速且有效率地吹干待清洗件外部及承载盘。借由吹气装置对待清洗件的大孔径部吹气,能起到干燥通气孔的效果。
附图说明
图1是本发明清洗机的实施方式的立体图;
图2是所述实施方式的不完整俯视图;
图3是所述实施方式的不完整立体图;
图4是所述实施方式的承载装置的立体分解图;
图5是所述实施方式所欲清洗的待清洗件的立体图;
图6是所述实施方式的承载盘的立体分解图;
图7是沿图4中的VII-VII线所撷取的不完整剖视图,说明盖板在第一滑动位置;
图8是所述实施方式的所述承载盘的不完整剖视图,说明所述盖板在第二滑动位置,且所述待清洗件安装于容置孔内;
图9是所述实施方式的所述承载盘的不完整剖视图,说明所述盖板在所述第一滑动位置并止挡所述待清洗件;
图10是所述实施方式的翻转装置的后视图,说明两个第一夹爪在初始位置;
图11是所述实施方式的清洗装置的局部剖视图,说明承托架在伸出位置;
图12是所述实施方式的所述清洗装置的局部立体图;
图13是所述实施方式的不完整后视图;
图14是所述实施方式的侧视示意图,说明第二夹持机构在第一取放位置,两个第二夹爪在张开位置,以及所述承载盘在第一角度位置;
图15是所述实施方式的侧视示意图,说明所述第二夹爪在夹持位置;
图16是所述实施方式的侧视示意图,说明所述第二夹持机构在第二取放位置,以及两个第二夹爪在张开位置;
图17是所述实施方式的后视示意图,说明所述第二夹持机构在所述第二取放位置,以及所述第一夹爪在夹持位置;
图18是所述实施方式的侧视示意图,说明所述翻转装置带动所述承载盘转动到第二角度位置;
图19是所述实施方式的侧视示意图,说明所述第二夹持机构在所述第二取放位置,且所述第二夹爪夹持处在所述第二角度位置的所述承载盘;
图20是所述实施方式的所述清洗装置的局部剖视图,说明所述承托架在所述伸出位置,以及所述第二夹持机构在第三取放位置;
图21是所述实施方式的所述清洗装置的局部剖视图,说明所述承托架在收合位置;
图22是所述实施方式的所述承载盘与喷头的不完整剖视图;
图23是所述实施方式的所述承载盘与承托盘的后视图;
图24是所述实施方式的俯视示意图,说明吹气干燥机构对所述承载盘吹气;
图25是所述实施方式的所述承载盘的不完整剖视图;
图26是所述实施方式的所述承载装置的后视图;及
图27是所述实施方式的所述承载盘与喷嘴的不完整剖视图。
具体实施方式
下面结合附图及实施方式对本发明进行详细说明:
在本发明被详细描述前,要注意的是,在以下的说明内容中,类似的组件是以相同的编号来表示。
参阅图1及图2,是本发明清洗机200的一实施方式,适于清洗多个待清洗件1(如图5)。清洗机200包括机座2,以及设置于机座2顶面的两个承载装置3、翻转装置4、清洗装置5、移载装置6及吹气装置7。机座2具有前端21,及后端22。定义通过机座2的前端21与后端22的方向为前后方向X、垂直于前后方向X的左右方向Y,及垂直于前后方向X与左右方向Y的上下方向Z。
参阅图3及图4,两个承载装置3沿前后方向X相间隔排列。由于两个承载装置3的结构及作用相同,因此,下文中只针对其中一个承载装置3做说明。承载装置3包括导轨31、载台32、驱动气缸33、两个顶推单元34及承载盘35。导轨31设置于机座2顶面并呈长形且其长向沿左右方向Y延伸。载台32可滑动地连接于导轨31顶端并具有用于承载承载盘35的承载面321及两个凸设于承载面321的定位柱322。驱动气缸33为无杆式气缸并包括两个固定架331、缸筒332及滑块333。两个固定架331设置于机座2顶面且沿左右方向Y相间隔。缸筒332设置于两固定架331上且轴向沿左右方向Y延伸。滑块333可滑动地套设于缸筒332并通过螺丝锁固于载台32底端。滑块333用于驱动载台32沿左右方向Y滑动,使得载台32能带动承载盘35在靠近机座2的侧边23且如图3所示的第一位置和远离机座2的侧边23的第二位置之间移动。两顶推单元34设置于机座2顶面并靠近侧边23且沿左右方向Y相间隔,各顶推单元34位于驱动气缸33后侧且作用稍后再说明。承载盘35用于承载多个待清洗件1(如图5)。
参阅图5,本实施方式的待清洗件1是以用于吸附电子组件的吸嘴为例,其具有管体11及由管体11外周面中段位置处径向朝外凸伸的凸缘12。管体11形成有通气孔111,通气孔111具有大孔径部112及连通于大孔径部112底端的小孔径部113。凸缘12外周缘向内凹陷形成定位凹槽121。
参阅图5、图6及图7,图7是沿图4中的VII-VII线所撷取的不完整剖视图。承载盘35包括盘件351、盖板352、多个螺丝353及两个弹簧354。盘件351具有盘体355、两个定位块356及两个螺丝357(图6只显示其中一个)。盘体355具有迭置于载台32的承载面321(如图4)上的底面358及顶面359。盘体355形成有多个贯穿延伸于底面358与顶面359之间且分别供所述待清洗件1容置的容置孔360。各容置孔360为阶级孔并具有形成于底面358的第一孔部361、形成于顶面359的第二孔部362及连通于第一孔部361与第二孔部362之间的连通孔部363。第一孔部361呈截头圆锥状且其孔径由底面358朝顶面359方向渐缩。第二孔部362孔径大于连通孔部363孔径,第二孔部362用于供待清洗件1的凸缘12容置。连通孔部363用于供凸缘12下方的管体11穿设。肩面364界定于第二孔部362与连通孔部363之间用于承载凸缘12。肩面364上凸设有用于卡掣于待清洗件1的定位凹槽121内的定位凸部365。
参阅图6及图7,盘体355的顶面359向下凹陷形成气体流道366,气体流道366延伸于盘体355的朝向前方的第一侧367及朝向后方的第二侧368之间。气体流道366具有位于第一侧367的侧进气口369、位于第二侧368的侧排气口370及连通于侧进气口369与侧排气口370之间的流道部371。流道部371呈圆形状并且围绕在所述容置孔360外周围。
盘体355还形成有两个贯穿延伸于底面358与顶面359之间的第一定位孔372,各第一定位孔372用于供载台32的对应定位柱322(如图4)卡掣并且能与其分离。当载台32的各定位柱322卡掣于盘体355的对应第一定位孔372内时,能防止盘体355相对于载台32旋转,使盘体355稳固地定位在载台32上。各定位块356穿设于盘体355并通过螺丝锁固于其上,各定位块356凸伸出盘体355的顶面359并形成第二定位孔373。两螺丝357锁固于盘体355的底面358且沿左右方向Y相间隔并靠近第一侧367。
盖板352具有板体374及两个弯折片375(图6只显示其中一个)。板体374可滑动地盖合于盘体355的顶面359并面向气体流道366。板体374形成有多个长形导孔376,各长形导孔376的长向沿前后方向X延伸。各螺丝353穿设于对应的长形导孔376且螺锁于盘体355并止挡于板体374的顶面377,以防止板体374脱离盘体355。借由各螺丝353与对应的长形导孔376相配合,使得盖板352只能沿前后方向X相对于盘体355在如图7所示的第一滑动位置和如图8所示的第二滑动位置之间滑动。
板体374还形成有两个分别供两个定位块356穿设的开孔378及多个分别与所述容置孔360位置相对应的穿孔379。各穿孔379具有呈圆形的圆孔部380及连通于圆孔部380前缘的凹孔部381。圆孔部380孔径略大于容置孔360的第二孔部362孔径以及待清洗件1的凸缘12(如图5)外径。凹孔部381小于第二孔部362孔径且略大于待清洗件1的管体11外径,可供管体11容置于内。
两个弯折片375凸设于板体374的前端382且沿左右方向Y相间隔,各弯折片375呈L型。各弹簧354为拉伸弹簧,其两端分别钩于对应的螺丝357及对应的弯折片375的穿孔384。各弹簧354用于对盖板352朝第一滑动位置方向偏压,使得盖板352能保持在第一滑动位置。当盖板352在第一滑动位置时,各穿孔379的凹孔部381对齐于容置孔360的第二孔部362及连通孔部363,而圆孔部380的圆心未与第二孔部362的圆心对齐,使得板体374遮蔽住第二孔部362的一部分。
参阅4、图8及图9,欲将各待清洗件1组装于承载盘35时,各顶推单元34会先通过顶推件341顶推板体374的一后端383,使盖板352沿前移方向F向前滑动至图8所示的第二滑动位置。此时,各弹簧354被弯折片375拉伸变形并蓄积复位弹力;各穿孔379的凹孔部381未对齐于容置孔360的第二孔部362及连通孔部363,而圆孔部380的圆心与第二孔部362的圆心对齐,使得板体374不会遮蔽住第二孔部362,且第二孔部362通过圆孔部380完全显露出来。
接着,将待清洗件1的大孔径部112朝向上方,并沿下移方向D将待清洗件1经由盖板352的圆孔部380穿设于盘体355的容置孔360内,使管体11及凸缘12分别穿设于连通孔部363及第二孔部362,以及定位凸部365(如图7)卡掣于定位凹槽121(如图5)内。待凸缘12被肩面364止挡时,待清洗件1便无法继续下移。之后,各顶推单元34的顶推件341会复位并移离板体374的后端383,使得各弹簧354借由蓄积的复位弹力带动盖板352沿后移方向B向后滑动。当盖板352的各长形导孔376前端被对应螺丝353止挡时,盖板352即无法再向后滑动而定位在图9所示的第一滑动位置。此时,管体11容置于凹孔部381内且部分凸伸出板体374的顶面377,而板体374则止挡在凸缘12上方,以防止凸缘12上移而脱离第二孔部362。
参阅3及图10,翻转装置4位于承载装置3后方并包括两个支架41、旋转驱动机构42及第一夹持机构43。两支架41设置于机座2顶面且沿左右方向Y相间隔。旋转驱动机构42包括两个枢接架421、传动轴422、旋转气缸423、两个第一皮带轮组424及第二皮带轮组425。各枢接架421具有位于对应支架41内侧的架体426及可转动地枢接于对应支架41且邻近其顶端的枢轴427,枢轴427部分凸伸出支架41外侧。传动轴422可转动地枢接于两支架41并位于枢接架421下方,传动轴422两端分别凸伸出两支架41外侧。各第一皮带轮组424设置于对应枢接架421的枢轴427及传动轴422的其中一端之间。旋转气缸423设置于其中一个支架41上并具有驱动轴428。第二皮带轮组425设置于传动轴422的其中一端与旋转气缸423的驱动轴428之间。驱动轴428转动时通过第二皮带轮组425带动传动轴422转动,传动轴422转动过程中则通过两个第一皮带轮组424分别带动两枢接架421旋转。
第一夹持机构43包括两个气缸431及两个第一夹爪432。各气缸431通过螺丝锁固于对应枢接架421的架体426内侧。各第一夹爪432通过螺丝锁固于对应气缸431内侧。各气缸431用于带动对应第一夹爪432在如图10所示的初始位置和夹持位置之间移动。借此,第一夹持机构43能通过两个第一夹爪432夹持或释放承载盘35。此外,借由旋转驱动机构42的驱动,使得两个第一夹爪432能够带动所夹持的承载盘35在第一角度位置和第二角度位置之间旋转。
参阅11及图12,清洗装置5包括外罩51、清洗箱52、导轨53、承托架54、驱动气缸55、清洗液喷洒机构56及吹气干燥机构57。外罩51设置于机座2顶面并形成有朝向前方的开口511。清洗箱52设置于机座2顶面并且被外罩51所包覆,清洗箱52形成有清洗腔室521,清洗腔室521具有与开口511相连通的开口522。导轨53设置于清洗腔室521内,导轨53呈长形且其长向沿前后方向X延伸。承托架54包括一滑动架体541及承托盘542。滑动架体541具有可滑动地连接于导轨53的滑动板543及设置于滑动板543前端用于封闭住开口511、522的盖板544。承托盘542通过螺丝锁固于滑动板543顶面用于承托承载盘35,承托盘542具有平面545、多个凸设于平面545的承托凸块546及两个凸设于平面545的定位柱547。各承托凸块546用于承托承载盘35的盖板352的顶面377(如图9)。各定位柱547用于卡掣于承载盘35的对应第二定位孔373(如图6)内。承托盘542形成有多个由顶面377向下凹陷的收容孔548,各收容孔548用于供对应的待清洗件1的管体11(如图9)凸伸出盖板352的顶面377的部位穿设于内。
驱动气缸55设置于清洗腔室521内并与滑动架体541的滑动板543连接,用于驱动承托架54在收合位置和如图11所示的伸出位置之间移动。当承托架54在收合位置时,承托盘542位于清洗腔室521内,且盖板544封闭住开口511、522。当承托架54在伸出位置时,盖板544移离开口511、522,且承托盘542位于清洗腔室521外且外露出外罩51及清洗箱52外部。
清洗液喷洒机构56设置于清洗腔室521内且位于承托架54的滑动架体541上方并包括喷头561,喷头561形成有多个喷液孔562。所述喷液孔562能与承载盘35的所述容置孔360的第一孔部361(如图9)位置相对应,借此,各喷液孔562能经由对应的容置孔360的第一孔部361对待清洗件1的小孔径部113(如图9)喷洒清洗液。在本实施方式中,清洗液是以高压水为例。
吹气干燥机构57设置于清洗腔室521内且位于清洗液喷洒机构56后方并包括固定支架571、第一吹气单元572及第二吹气单元573。固定支架571具有立架体574及连接于立架体574前侧且邻近底端处的横架体575。第一吹气单元572具有多个设置于横架体575底端且沿左右方向Y相间隔排列的第一喷嘴576,各第一喷嘴576可沿一水平吹气方向朝前吹气。第二吹气单元573具有多个设置于横架体575顶端的第二喷嘴577,各第二喷嘴577同样可沿水平吹气方向朝前吹气。
参阅图3,移载装置6包括移动机构61、升降机构62及第二夹持机构63。移动机构61设置于机座2顶面且靠近侧边23并包括导轨611、可滑动地连接于导轨611的滑动件612及驱动单元613。导轨611呈长形且其长向沿前后方向X延伸。驱动单元613与滑动件612连接用于驱动滑动件612沿前后方向X移动。升降机构62包括固定于滑动件612的气缸621及与气缸621连接的托架622,气缸621用于驱动托架622沿上下方向Z移动。第二夹持机构63包括设置于托架622上的伸缩气缸631及两个与伸缩气缸631连接且沿前后方向X相间隔的第二夹爪632(图3只显示其中一个)。伸缩气缸631用于驱动两第二夹爪632沿前后方向X在相互靠近的夹持位置和一相互远离的张开位置之间移动,使两第二夹爪632能够夹持或释放承载盘35。
第二夹持机构63可通过移动机构61及升降机构62的带动而在第一取放位置、第二取放位置及第三取放位置之间移动。在第一取放位置时,第二夹持机构63的两个第二夹爪632能夹持承载装置3的载台32上的承载盘35,或是将所夹持的承载盘35放置于载台32上。在第二取放位置时,第一夹持机构43的两第一夹爪432能夹持第二夹持机构63的两第二夹爪632所夹持的承载盘35,或是两个第二夹爪632能夹持两个第一夹爪432所夹持的承载盘35。在第三取放位置时,第二夹持机构63的两第二夹爪632能将夹持的承载盘35放置于处在伸出位置的承托架54的承托盘542上,或是夹持处在伸出位置的承托架54的承托盘542上的承载盘35。
参阅图1及图13,吹气装置7包括三轴移动机构71及检测吹气机构72。三轴移动机构71包括设置于机座2顶面的第一移动总成711、设置于第一移动总成711的第二移动总成712及设置于第二移动总成712的第三移动总成713。检测吹气机构72设置于第三移动总成713并包括喷嘴721,喷嘴721用于对待清洗件1的大孔径部112(如图9)吹气,以检测通过通气孔111(如图9)的气体流量。第一移动总成711用于带动第二、第三移动总成712、713及检测吹气机构72沿前后方向X移动。第二移动总成712用于带动第三移动总成713及检测吹气机构72沿左右方向Y移动。第三移动总成713用于带动检测吹气机构72沿上下方向Z移动。
以下将针对清洗机200的作动方式进行详细说明:
参阅图3、图14及图15,清洗机200在运作时,首先,移动机构61及升降机构62会先带动第二夹持机构63移动至图14所示的第一取放位置,随后,伸缩气缸631驱动两第二夹爪632由图14所示的张开位置移动至图15所示的夹持位置,使两第二夹爪632夹持于承载盘35前后两侧。接着,升降机构62会带动两第二夹爪632往上移动一段距离,以使承载盘35的第一定位孔372(如图6)与载台2的定位柱322(如图4)分离。
参阅图3、图16及图17,移动机构61带动第二夹持机构63向后移动一段行程后,升降机构62再带动第二夹持机构63向下移动至如图17所示位在两个第一夹持机构43的第一夹爪432之间的第二取放位置。随后,第一夹持机构43各气缸431驱动第一夹爪432由初始位置移动至图17所示的夹持位置,使两个第一夹爪432分别夹持于承载盘35左右两侧。接着,伸缩气缸631驱动两第二夹爪632回复至张开位置并释放承载盘35,而后升降机构62会带动第二夹持机构63向上移动并移离第二取放位置。
参阅图3及图18,旋转气缸423的驱动轴428通过第二皮带轮组425带动传动轴422沿第一旋转方向R1转动,传动轴422通过两个第一皮带轮组424分别带动两枢接架421沿第一旋转方向R1旋转,使得两枢接架421带动两个第一夹爪432及其所夹持的承载盘35沿第一旋转方向R1旋转。当承载盘35由图16所示的第一角度位置旋转180度至图18所示的第二角度位置时,旋转气缸423停止作动,通过两个第一夹爪432的夹持,使得承载盘35定位在第二角度位置,此时,承载盘35的底面358朝向上方。
参阅图3及图19及图20,升降机构62先带动第二夹持机构63向下移动至图19所示的第二取放位置,接着伸缩气缸631驱动两第二夹爪632移动至夹持位置以夹持处在第二角度位置的承载盘35。当两第二夹爪632夹持住承载盘35后,两个第一夹持机构43的第一夹爪432即复位至图10所示的初始位置。随后,移动机构61及升降机构62会带动第二夹持机构63移动到图20所示的第三取放位置,使两个第二夹爪632将所夹持的承载盘35放置于处在伸出位置的承托架54的承托盘542上。借由承托盘542的各定位柱547(如图12)卡掣于承载盘35的对应第二定位孔373(如图6)内,能够防止承载盘35相对于承托盘542旋转,使承载盘35能稳固地定位在承托盘542上。接着,伸缩气缸631驱动两个第二夹爪632回复至张开位置并释放承载盘35,而后升降机构62带动第二夹持机构63向上移动并移离第三取放位置。
参阅图21及图22,驱动气缸55会沿后移方向B带动承托架54向后移动至图21所示的收合位置,此时,承托盘542及其所承托的承载盘35位于清洗腔室521内,而盖板544则封闭住开口511、522。同时,承载盘35会对齐在喷头561下方,且承载盘35的所述容置孔360的第一孔部361会分别与喷头561的所述喷液孔562对齐。接着,各喷液孔562会向下喷洒清洗液至对应的第一孔部361内,借由第一孔部361呈截头圆锥状的设计,能起到汇流较多清洗液并将其向下导流的效果。
经由第一孔部361向下流动的清洗液的其中一部分会先流入小孔径部113后再往下流动至大孔径部112内,最后再经由大孔径部112排出,借以达到清洗通气孔111的效果。由于流道由小变大的关系,因此,清洗液冲洗小孔径部113内所残留的杂质后能更为顺畅地带动杂质往下流动至大孔径部112内,并且连带地冲洗大孔径部112内所残留的杂质,并且一并经由大孔径部112排出。借此,能防止清洗液在冲洗通气孔111的过程中因杂质堵塞通气孔111而导致无法顺畅流动的情形产生。此外,清洗液的另一部分则会经由连通孔部363往下流动至第二孔部362,最后再经由穿孔379排出,清洗液在前述流道流动的过程中会清洗待清洗件1的外部,借以达到清洗待清洗件1外部的效果。
参阅图21、图23及图24,由于承托盘542是通过承托凸块546承托盖板352的顶面377,而承载盘35通过定位块356抵接在承托盘542的平面545上,因此,承托盘542的平面545与盖板352的顶面377之间会形成空隙G。此外,由于承载盘35是在第二角度位置,因此,气体流道366的侧进气口369会朝向吹气干燥机构57。
参阅图21、图24及图25,前述清洗作业完成后,吹气干燥机构57便会开始进行吹气的作业。各第一喷嘴576沿水平吹气方向所吹出的气体的一部分会经由侧进气口369流入流道部371内并经由侧排气口370排出,另一部分则会流入空隙G内。由于气体流道366的设计减少了盘体355的顶面359与盖板352的板体374之间的接触面积,并能容许第一喷嘴576所吹出的气体流入,借此,使得气体在气体流道366内流动的过程中能较快速地干燥残留于顶面359与板体374之间的清洗液。通过前述干燥顶面359与板体374之间的清洗液的方式,能避免盖板352因清洗液黏附在顶面359而造成后续顶推单元34(如图4)无法推动盖板352滑动的情形产生。此外,气体流入空隙G后能将待清洗件1的外部的清洗液带走以起干燥待清洗件1外部的效果。另一方面,各第二喷嘴577沿水平吹气方向所吹出的气体会沿着承载盘35的底面358流动,气体流动的过程中部分的气体会流入第一孔部361内,以起干燥待清洗件1的效果。
参阅图3及图20,待前述干燥作业完成后,驱动气缸55沿前移方向F带动承托架54向前移动至图20所示的伸出位置,使承托盘542及其所承托的承载盘35位于清洗腔室521外且外露出外罩51及清洗箱52外部。接着,移动机构61及升降机构62会带动第二夹持机构63移动至图20所示的第三取放位置,使两个第二夹爪632夹持承载盘35。随后,移动机构61及升降机构62会带动第二夹持机构63移动至图19所示的第二取放位置,使第一夹持机构43的两第一夹爪432夹持两第二夹爪632所夹持的承载盘35。
参阅图3、图18及图19,伸缩气缸631驱动两第二夹爪632释放承载盘35,而后升降机构62会带动第二夹持机构63向上移动并移离第二取放位置。旋转气缸423的驱动轴428会通过第二皮带轮组425带动传动轴422沿一相反于第一旋转方向R1的第二旋转方向R2转动,通过传动轴422、两第一皮带轮组424及两枢接架421的带动,使得两第一夹爪432能带动所夹持的承载盘35沿第二旋转方向R2旋转180度并回复至由图16所示的第一角度位置。
参阅图3、图16及图26,随后升降机构62带动第二夹持机构63向下移动至第二取放位置,使两个第二夹爪632夹持承载盘35。接着,移动机构61及升降机构62会带动第二夹持机构63移动至图14所示的第一取放位置,以将承载盘35放置回载台32上。之后,驱动气缸33的滑块333驱动载台32沿左移方向L滑动,使载台32带动承载盘35移动至图26所示的第二位置。
参阅图13及图27,三轴移动机构71会带动检测吹气机构72的喷嘴721移动并接触其中一个待清洗件1的管体11,随后,喷嘴721会对待清洗件1的大孔径部112吹气,以检测通过待清洗件1的通气孔111的流量,并且同时将通气孔111内的残留清洗液带走以起到干燥通气孔111的效果。之后,喷嘴721会依序地对承载盘35上剩余的每一个待清洗件1进行吹气,以完成每一个待清洗件1的流量检测及干燥的作业。
参阅图8及图26,当所有待清洗件1皆检测及干燥完成后,驱动气缸33的滑块333驱动载台32向右滑动以带动承载盘35回复至第一位置。最后,通过顶推单元34的顶推件341(如图4)顶推盖板352使其滑动至第二滑动位置,此时即可将清洗完成的待清洗件1由承载盘35中取出。
归纳上述,本实施方式的清洗机200,借由清洗液喷洒机构56的喷头561的各喷液孔562对待清洗件1的小孔径部113喷洒清洗液,使得清洗液能顺利且彻底地冲洗掉通气孔111内所残留的杂质。此外,借由吹气干燥机构57的第一、第二吹气单元572、573的设计,能快速且有效率地吹干待清洗件1外部及承载盘35。借由检测吹气机构72的喷嘴721对待清洗件1的大孔径部112吹气,能在检测通气孔111流量的同时起到干燥通气孔111的效果。借此,能省略人工干燥时所需的成本,并能大幅提升干燥的速度及效率,确实能达到本发明所要求的目的。
Claims (10)
1.一种清洗机,适于清洗多个待清洗件,所述待清洗件形成有通气孔,所述通气孔具有大孔径部及连通于所述大孔径部的小孔径部;其特征在于,
所述清洗机包括承载盘及清洗装置,所述承载盘用于承载所述待清洗件并使所述小孔径部朝上,所述清洗装置包括喷头以及用于承托所述承载盘的承托架,所述喷头对所述待清洗件的所述小孔径部喷洒清洗液,以使所述清洗液由所述小孔径部朝所述大孔径部方向流动并由所述大孔径部排出。
2.如权利要求1所述的清洗机,其特征在于,所述喷头具有多个分别与所述待清洗件的所述小孔径部对齐并用于喷洒所述清洗液的喷液孔。
3.如权利要求1所述的清洗机,其特征在于,所述承载盘形成有多个分别供所述待清洗件容置的容置孔,所述容置孔具有对齐所述喷头的第一孔部,所述第一孔部呈截头圆锥状且其孔径朝远离所述喷头的方向渐缩。
4.如权利要求1所述的清洗机,其特征在于,所述承载盘包括盘件及盖板,所述盘件形成有气体流道以及多个分别供所述待清洗件容置的容置孔,所述盖板可滑动地盖合于所述盘件并止挡所述待清洗件且面向所述气体流道,所述清洗装置还包括用于对所述承载盘及所述气体流道吹气的吹气干燥机构。
5.如权利要求1所述的清洗机,其特征在于,所述承托架具有平面及多个凸设于所述平面并用于承托所述承载盘的承托凸块,所述平面与所述承载盘之间形成空隙,所述承载盘形成气体流道,所述气体流道具有侧进气口及侧排气口,所述清洗装置还包括第一吹气单元及第二吹气单元,所述第一吹气单元用于对所述侧进气口及所述空隙吹气,所述第二吹气单元位于所述第一吹气单元上方并用于对所述承载盘相反于所述承托凸块的一侧吹气。
6.如权利要求1所述的清洗机,其特征在于,所述清洗机包括承载装置、翻转装置及移载装置,所述承载装置具有可被移载的所述承载盘,所述翻转装置用于带动所述承载盘在第一角度位置及第二角度位置之间旋转,在所述第一角度位置时,所述待清洗件的所述大孔径部朝上,在所述第二角度位置时,所述待清洗件的所述小孔径部朝上,所述移载装置用于移载位于所述承载装置处的所述承载盘至所述翻转装置,以使所述翻转装置能够将所述承载盘由所述第一角度位置旋转至所述第二角度位置,所述移载装置还用于将处于所述第二角度位置的所述承载盘移载至所述清洗装置的所述承托架。
7.如权利要求6所述的清洗机,其特征在于,所述承载装置包括用于承载所述承载盘的载台,所述翻转装置包括用于夹持或释放所述承载盘的第一夹持机构及与所述第一夹持机构连接的旋转驱动机构,所述旋转驱动机构通过所述第一夹持机构带动所述承载盘在所述第一角度位置及所述第二角度位置之间旋转,所述清洗装置还包括清洗腔室及用于对所述承载盘吹气的吹气干燥机构,所述喷头及所述吹气干燥机构设置于所述清洗腔室内,所述承托架具有用于承托所述承载盘的承托盘,所述承托架可在所述承托盘位于所述清洗腔室外的伸出位置和所述承托盘位于所述清洗腔室内的收合位置之间移动,所述移载装置包括用于夹持或放置所述承载盘的第二夹持机构,所述第二夹持机构可在第一取放位置、第二取放位置及第三取放位置之间移动,在所述第一取放位置时,所述第二夹持机构能够夹持所述载台所承载的所述承载盘,或是将所夹持的所述承载盘放置于所述载台上,在所述第二取放位置时,所述第一夹持机构能够夹持所述第二夹持机构所夹持的所述承载盘,或是所述第二夹持机构能够夹持所述第一夹持机构所夹持的所述承载盘,在所述第三取放位置时,所述第二夹持机构能够将夹持的所述承载盘放置于处在所述伸出位置的所述承托架的所述承托盘上,或是夹持处在所述伸出位置的所述承托架的所述承托盘上的所述承载盘。
8.如权利要求1所述的清洗机,其特征在于,所述清洗装置还包括用于对所述承载盘吹气的吹气干燥机构,所述清洗机还包括吹气装置,所述吹气装置用于对经由所述清洗装置清洗后的所述待清洗件的所述通气孔吹气。
9.如权利要求1所述的清洗机,其特征在于,所述清洗机还包括吹气装置,所述吹气装置用于对经由所述清洗装置清洗后的所述待清洗件的所述通气孔的所述大孔径部吹气。
10.一种清洗机,适于清洗多个待清洗件,所述待清洗件形成有通气孔,所述通气孔具有大孔径部,及连通于所述大孔径部的小孔径部;其特征在于,
所述清洗机包括承载盘及清洗装置,所述承载盘用于承载所述待清洗件并使所述小孔径部朝上,所述承载盘形成气体流道,所述清洗装置包括喷头、吹气干燥机构以及用于承托所述承载盘的承托架,所述承托架与所述承载盘之间形成空隙,所述喷头对所述待清洗件的所述小孔径部喷洒清洗液,使所述清洗液由所述小孔径部朝所述大孔径部方向流动并由所述大孔径部排出,所述吹气干燥机构用于对所述承载盘、所述气体流道及所述空隙吹气。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04336429A (ja) * | 1991-05-13 | 1992-11-24 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
CN101524689A (zh) * | 2009-04-03 | 2009-09-09 | 大连现代辅机开发制造有限公司 | 曲轴油道闷孔清洗、吹干方法及专用装置 |
US20110168211A1 (en) * | 2002-11-11 | 2011-07-14 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor wafer cleaning system and method |
CN104028488A (zh) * | 2013-03-04 | 2014-09-10 | 松下电器产业株式会社 | 吸嘴清洗装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9044794B2 (en) * | 2009-12-31 | 2015-06-02 | Lam Research Ag | Ultrasonic cleaning fluid, method and apparatus |
CN202010665U (zh) * | 2010-11-25 | 2011-10-19 | 佛山市顺德区顺达电脑厂有限公司 | 吸嘴清洗装置 |
EP3135390B1 (en) * | 2014-04-22 | 2020-12-30 | FUJI Corporation | Nozzle cleaning device and nozzle drying method |
KR101865648B1 (ko) * | 2017-09-05 | 2018-06-08 | 주식회사 디케이티 | 표면실장용 노즐의 세척검사장치 |
-
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- 2018-10-30 CN CN201811278190.8A patent/CN111112176B/zh active Active
-
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04336429A (ja) * | 1991-05-13 | 1992-11-24 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
US20110168211A1 (en) * | 2002-11-11 | 2011-07-14 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor wafer cleaning system and method |
CN101524689A (zh) * | 2009-04-03 | 2009-09-09 | 大连现代辅机开发制造有限公司 | 曲轴油道闷孔清洗、吹干方法及专用装置 |
CN104028488A (zh) * | 2013-03-04 | 2014-09-10 | 松下电器产业株式会社 | 吸嘴清洗装置 |
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