CN111092023A - 封装基板及其制作方法 - Google Patents

封装基板及其制作方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111092023A
CN111092023A CN201811240361.8A CN201811240361A CN111092023A CN 111092023 A CN111092023 A CN 111092023A CN 201811240361 A CN201811240361 A CN 201811240361A CN 111092023 A CN111092023 A CN 111092023A
Authority
CN
China
Prior art keywords
layer
conductive
heat dissipation
conductive trace
dielectric layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201811240361.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111092023B (zh
Inventor
黄士辅
陈贻和
黄昱程
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Liding Semiconductor Technology Qinhuangdao Co ltd
Original Assignee
Qi Ding Technology Qinhuangdao Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Qi Ding Technology Qinhuangdao Co Ltd filed Critical Qi Ding Technology Qinhuangdao Co Ltd
Priority to CN201811240361.8A priority Critical patent/CN111092023B/zh
Publication of CN111092023A publication Critical patent/CN111092023A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111092023B publication Critical patent/CN111092023B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/12Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/367Cooling facilitated by shape of device
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/367Cooling facilitated by shape of device
    • H01L23/3677Wire-like or pin-like cooling fins or heat sinks
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/43Manufacturing methods

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

一种封装基板的制作方法,包括步骤:提高一承载基板,该承载基板包括一承载板及一形成在该承载板上的晶种层;在该晶种层的表面上形成一第一导电线路层;提供一介电层并将该介电层压合自该第一导电线路层上;通过激光制程在该介电层上开设至少一散热孔;通过电镀制程在该介电层上形成一第二导电线路层,该第二导电线路层填充在该散热孔内,形成了一散热垫,该散热垫电连接该第一导电线路层及该第二导电线路层,该散热垫的直径为100um~1000um;及去除该承载板。本发明还涉及一种封装基板。

Description

封装基板及其制作方法
技术领域
本发明涉及一种封装基板及其制作方法。
背景技术
封装基板上一般贴合有电子元件,而电子元件在工作的时候,会发热,从而产生热量。现有技术中,采用小孔径散热孔进行散热。但这种散热方法的散热效果不好,且激光开孔较困难。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种散热效果好、易于激光开孔的封装基板及其制作方法。
一种封装基板的制作方法,包括步骤:提高一承载基板,该承载基板包括一承载板及一形成在该承载板上的晶种层;在该晶种层的表面上形成一第一导电线路层;提供一介电层并将该介电层压合自该第一导电线路层上;通过激光制程在该介电层上开设至少一散热孔;通过电镀制程在该介电层上形成一第二导电线路层,该第二导电线路层填充在该散热孔内,形成了一散热垫,该散热垫电连接该第一导电线路层及该第二导电线路层,该散热垫的直径为100um~1000um;及去除该承载板。
进一步地,该第一导电线路层是通过影像转移及电镀制程制作而成的。
进一步地,该第一导电线路层包括多条导电线路,该介电层填充在多条导电线路之间并覆盖该第一导电线路层。
进一步地,在“通过电镀制程在该介电层上形成一第二导电线路层”的步骤之前,还包括步骤:在该散热孔的内壁及该介电层的远离该第一导电线路层的表面上形成一化学镀铜层。
进一步地,在“去除该承载板”的步骤之后,还包括步骤:对该第一导电线路层及该第二导电线路层的外露表面进行表面处理。
进一步地,分别在该第一导电线路层及该第二导电线路层形成一第一防焊层及一第二防焊层,该第一防焊层包括至少一第一开口,部分该第一导电线路层从该第一开口内裸露出来,该第二防焊层包括至少一第二开口,部分该第二导电线路层从该第二开口内裸露出来。
进一步地,在“通过激光制程在该介电层上开设至少一散热孔”的同时,通过激光制程在该介电层上开设至少一贯通孔,该第二导电线路层填充在该贯通孔内,形成了一导电通孔。
一种封装基板,该封装基板包括一介电层及分别形成在该介电层相背两表面的一第一导电线路层及一第二导电线路层,该第一导电线路层包括多条导电线路,该介电层填充在多条导电线路之间并覆盖该第一导电线路层,该介电层包括至少一散热孔,该第二导电线路层填充在该散热孔内,形成了一散热垫,该散热垫电连接该第一导电线路层及该第二导电线路层,该散热垫的直径为100um~1000um。
进一步地,该散热孔的直径为100um~1000um。
进一步地,该封装基板还包括一第一防焊层及一第二防焊层,该第一防焊层形成在该第一导电线路层上,该第二防焊层形成在该第二导电线路层上,该第一防焊层包括至少一第一开口,部分该第一导电线路层从该第一开口内裸露出来,该第二防焊层包括至少一第二开口,部分该第二导电线路层从该第二开口内裸露出来。
本发明提供的封装基板及其制作方法,采用直径为100um~1000um的散热垫进行散热,散热效率更高。另外,由于散热垫的尺寸增大,因此,在采用激光制程形成散热孔时,较容易,从而可以提高激光产能。
附图说明
图1为本发明较佳实施例提供的一承载基板的剖视图。
图2是在图1所示的承载基板的表面上形成一第一导电线路层后的剖视图。
图3是在图2所示的第一导电线路层的表面压合一介电层后的剖视图。
图4是在图3所示的介电层上形成散热孔及功能孔后的剖视图。
图5是通过电镀方式在该散热孔及贯通孔内填充铜,以形成散热垫及导电通孔后的剖视图。
图6是去除承载板,形成封装基板中间体之后的剖视图。
图7是对图6所示的封装基板中间体进行表面处理并在其表面分别形成一第一防焊层及一第二防焊层之后的剖视图。
图8是在图7所述的第一防焊层及一第二防焊层上贴附IC元件之后的剖视图。
主要元件符号说明
Figure BDA0001839139700000031
Figure BDA0001839139700000041
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
为能进一步阐述本发明达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图1-8及较佳实施方式,对本发明提供的封装基板及其制作方法的具体实施方式、结构、特征及其功效,作出如下详细说明。
请参阅图1-8,本发明较佳实施例提供一种封装基板100的制作方法,包括如下步骤:
第一步,请参阅图1,提供一承载基板10,该承载基板10包括一承载板11及一形成在该承载板11上的晶种层12。
该承载板11的材质为任何一种绝缘的具有承载作用的材料。在本实施例中,该承载板11的材质为聚酰亚胺(polyimide,PI)。在其他实施例中,该承载板11的材质还可以为聚对苯二甲酸乙二醇酯(Polyethylene Terephthalate,PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(Polyethylene Naphthalate,PEN)或其他树脂硬质材料。
该晶种层12可以为化学镀铜层,也可以为原铜层。该晶种层12包括一第一表面121,该第一表面121远离该承载板11。
其中,该承载板11及该晶种层12之间还可以形成有一离型膜层(图未示),以便于去除该承载板11。
第二步,请参阅图2,在该晶种层12的该第一表面121上形成一第一导电线路层20。
其中,该第一导电线路层20是通过影像转移及电镀制程制作而成的。
其中,该第一导电线路层20包括多条导电线路21。
第三步,请参阅图3,提供一介电层30并将该介电层30压合至该第一导电线路层20上。
其中,该介电层30填充在多条导电线路21之间并覆盖该第一导电线路层20。
第四步,请参阅图4,通过激光制程在该介电层30上开设至少一散热孔31及至少一贯通孔32,并通过化学镀铜制程在该介电层30的远离该第一导电线路层20的表面、该散热孔31内壁及该贯通孔32的内壁上形成一化学镀铜层33。
其中,该散热孔31及该贯通孔32均贯穿该介电层30。
其中,该散热孔31的孔径为100um~1000um。优选地,该散热孔31的孔径为200um~500um。
第五步,请参阅图5,通过电镀制程在该化学镀铜层33的表面形成一第二导电线路层40。其中,该第二导电线路层40填充在该散热孔31及该贯通孔32内,分别形成了一散热垫41及一导电通孔42。
其中,该散热垫41及该导电通孔42均电连接该第一导电线路层20及该第二导电线路层40。
其中,该散热垫41的直径为100um~1000um。优选地,该散热垫41的直径为200um~500um。
第六步,请参阅图6,去除该承载基板10,形成一封装基板中间体110。
其中,该封装基板中间体110包括一第一导电线路层20、一介电层30及一第二导电线路层40,该第一导电线路层20及该第二导电线路层40分别形成在该介电层30的表面。其中,该第一导电线路层20包括多条导电线路,该介电层30填充在多条导电线路21之间并覆盖该第一导电线路层20。该介电层30包括至少一散热孔31及至少一贯通孔32。该第二导电线路层40填充在该散热孔31及该贯通孔32内,分别形成了一散热垫41及一导电通孔42。该散热垫41及该导电通孔42均电连接该第一导电线路层20及该第二导电线路层40。其中,该散热垫41的直径为100um~1000um。优选地,该散热垫41的直径为200um~500um。
第七步,请参阅图7,对该封装基板中间体110进行表面处理,并分别在该封装基板中间体110的外表面上形成一第一防焊层50及一第二防焊层60,以形成一封装基板100。其中,该第一防焊层50形成在该第一导电线路层20上,该第二防焊层60形成在该第二导电线路层40上。
其中,该第一防焊层50及该第二防焊层60通过防焊制程制成。在本实施例中,该第一防焊层50及该第二防焊层60为防焊油墨。
其中,该第一防焊层50包括至少一第一开口51,部分该第一导电线路层20从该第一开口51内裸露出来。
其中,该第二防焊层60包括至少一第二开口61,部分该第二导电线路层40从该第二开口61内裸露出来。
第八步,请参阅图8,在第一开口51及第二开口61处贴上集成电路(integratedcircuit,IC)元件71,72。
其中,该封装基板100包括一封装基板中间体110及分别形成在该封装基板中间体110的外表面上形成一第一防焊层50及一第二防焊层60。其中,该封装基板中间体110包括一第一导电线路层20、一介电层30及一第二导电线路层40,该第一导电线路层20及该第二导电线路层40分别形成在该介电层30的表面。其中,该第一导电线路层20包括多条导电线路,该介电层30填充在多条导电线路21之间并覆盖该第一导电线路层20。该介电层30包括至少一散热孔31及至少一贯通孔32。该第二导电线路层40填充在该散热孔31及该贯通孔32内,分别形成了一散热垫41及一导电通孔42。该散热垫41及该导电通孔42均电连接该第一导电线路层20及该第二导电线路层40。其中,该散热垫41的直径为100um~1000um。优选地,该散热垫41的直径为200um~500um。该第一防焊层50包括至少一第一开口51,部分该第一导电线路层20从该第一开口51内裸露出来。其中,该第二防焊层60包括至少一第二开口61,部分该第二导电线路层40从该第二开口61内裸露出来。
该封装基板100还包括两个IC元件71及72。其中,IC元件71位于第一开口51处且与该第一导电线路层20电性连接,IC元件72位于第二开口61处且与该散热垫41电性连接。
本发明提供的封装基板及其制作方法,采用直径为100um~1000um的散热垫41进行散热,散热效率更高。另外,由于散热垫41的尺寸增大,因此,在采用激光制程形成散热孔31时,较容易,从而可以提高激光产能。
以上所述,仅是本发明的较佳实施方式而已,并非对本发明任何形式上的限制,虽然本发明已是较佳实施方式揭露如上,并非用以限定本发明,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本发明技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施方式,但凡是未脱离本发明技术方案内容,依据本发明的技术实质对以上实施方式所做的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种封装基板的制作方法,包括步骤:
提高一承载基板,该承载基板包括一承载板及一形成在该承载板上的晶种层;
在该晶种层的表面上形成一第一导电线路层;
提供一介电层并将该介电层压合自该第一导电线路层上;
通过激光制程在该介电层上开设至少一散热孔;
通过电镀制程在该介电层上形成一第二导电线路层,该第二导电线路层填充在该散热孔内,形成了一散热垫,该散热垫电连接该第一导电线路层及该第二导电线路层,该散热垫的直径为100um~1000um;及
去除该承载板。
2.如权利要求1所述的封装基板的制作方法,其特征在于,该第一导电线路层是通过影像转移及电镀制程制作而成的。
3.如权利要求1所述的封装基板的制作方法,其特征在于,该第一导电线路层包括多条导电线路,该介电层填充在多条导电线路之间并覆盖该第一导电线路层。
4.如权利要求1所述的封装基板的制作方法,其特征在于,在“通过电镀制程在该介电层上形成一第二导电线路层”的步骤之前,还包括步骤:
在该散热孔的内壁及该介电层的远离该第一导电线路层的表面上形成一化学镀铜层。
5.如权利要求1所述的封装基板的制作方法,其特征在于,在“去除该承载板”的步骤之后,还包括步骤:
对该第一导电线路层及该第二导电线路层的外露表面进行表面处理。
6.如权利要求5所述的封装基板的制作方法,其特征在于,分别在该第一导电线路层及该第二导电线路层形成一第一防焊层及一第二防焊层,该第一防焊层包括至少一第一开口,部分该第一导电线路层从该第一开口内裸露出来,该第二防焊层包括至少一第二开口,部分该第二导电线路层从该第二开口内裸露出来。
7.如权利要求1所述的封装基板的制作方法,其特征在于,在“通过激光制程在该介电层上开设至少一散热孔”的同时,通过激光制程在该介电层上开设至少一贯通孔,该第二导电线路层填充在该贯通孔内,形成了一导电通孔。
8.一种封装基板,该封装基板包括一介电层及分别形成在该介电层相背两表面的一第一导电线路层及一第二导电线路层,该第一导电线路层包括多条导电线路,该介电层填充在多条导电线路之间并覆盖该第一导电线路层,该介电层包括至少一散热孔,该第二导电线路层填充在该散热孔内,形成了一散热垫,该散热垫电连接该第一导电线路层及该第二导电线路层,该散热垫的直径为100um~1000um。
9.如权利要求8所述的封装基板,其特征在于,该散热孔的直径为100um~1000um。
10.如权利要求8所述的封装基板,其特征在于,该封装基板还包括一第一防焊层及一第二防焊层,该第一防焊层形成在该第一导电线路层上,该第二防焊层形成在该第二导电线路层上,该第一防焊层包括至少一第一开口,部分该第一导电线路层从该第一开口内裸露出来,该第二防焊层包括至少一第二开口,部分该第二导电线路层从该第二开口内裸露出来。
CN201811240361.8A 2018-10-23 2018-10-23 封装基板及其制作方法 Active CN111092023B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811240361.8A CN111092023B (zh) 2018-10-23 2018-10-23 封装基板及其制作方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811240361.8A CN111092023B (zh) 2018-10-23 2018-10-23 封装基板及其制作方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111092023A true CN111092023A (zh) 2020-05-01
CN111092023B CN111092023B (zh) 2021-10-19

Family

ID=70391467

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811240361.8A Active CN111092023B (zh) 2018-10-23 2018-10-23 封装基板及其制作方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111092023B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114828383A (zh) * 2021-01-21 2022-07-29 欣兴电子股份有限公司 电路板结构及其制作方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020066949A1 (en) * 1997-08-12 2002-06-06 Eun Chul Ahn BGA package and method of manufacturing the same
JP2007324330A (ja) * 2006-05-31 2007-12-13 Sanyo Electric Co Ltd 回路基板
CN101159254A (zh) * 2006-10-03 2008-04-09 罗姆股份有限公司 半导体装置
CN101989592A (zh) * 2009-07-30 2011-03-23 全懋精密科技股份有限公司 封装基板与其制法及基材
CN106356355A (zh) * 2015-07-15 2017-01-25 恒劲科技股份有限公司 基板结构及其制作方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020066949A1 (en) * 1997-08-12 2002-06-06 Eun Chul Ahn BGA package and method of manufacturing the same
JP2007324330A (ja) * 2006-05-31 2007-12-13 Sanyo Electric Co Ltd 回路基板
CN101159254A (zh) * 2006-10-03 2008-04-09 罗姆股份有限公司 半导体装置
CN101989592A (zh) * 2009-07-30 2011-03-23 全懋精密科技股份有限公司 封装基板与其制法及基材
CN106356355A (zh) * 2015-07-15 2017-01-25 恒劲科技股份有限公司 基板结构及其制作方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114828383A (zh) * 2021-01-21 2022-07-29 欣兴电子股份有限公司 电路板结构及其制作方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN111092023B (zh) 2021-10-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5572684B2 (ja) パッケージキャリア及びその製造方法
TWI420635B (zh) 低分佈剖面倒裝功率模組及製造方法
TWI460834B (zh) 嵌埋穿孔晶片之封裝結構及其製法
US9693458B2 (en) Printed wiring board, method for manufacturing printed wiring board and package-on-package
JP6221221B2 (ja) 電子部品内蔵基板及びその製造方法
US20120120609A1 (en) Package structure having a semiconductor component embedded therein and method of fabricating the same
US20140159222A1 (en) Chip-embedded printed circuit board and semiconductor package using the pcb, and manufacturing method of the pcb
US9635763B2 (en) Component built-in board mounting body and method of manufacturing the same, and component built-in board
US9247654B2 (en) Carrier substrate and manufacturing method thereof
KR101516072B1 (ko) 반도체 패키지 및 그 제조 방법
TWI465171B (zh) 承載電路板、承載電路板的製作方法及封裝結構
JP2016225620A (ja) プリント回路基板、プリント回路基板の製造方法及びこれを含む半導体パッケージ
KR20090117237A (ko) 전자소자 내장 인쇄회로기판 및 그 제조방법
US10573614B2 (en) Process for fabricating a circuit substrate
US20150319842A1 (en) Circuit board and method for manufacturing the same
KR20150064976A (ko) 인쇄회로기판 및 그 제조방법
US20120028459A1 (en) Manufacturing process of circuit substrate
TWI553787B (zh) Ic載板、具有該ic載板的半導體器件及其製造方法
CN111092023B (zh) 封装基板及其制作方法
US20150156882A1 (en) Printed circuit board, manufacturing method thereof, and semiconductor package
US20150155250A1 (en) Semiconductor package and fabrication method thereof
TW201530728A (zh) 具有嵌設元件的積體電路封裝系統及製造該積體電路封裝系統的方法
TWI511628B (zh) 承載電路板、承載電路板的製作方法及封裝結構
US20160021749A1 (en) Package board, method of manufacturing the same and stack type package using the same
JP5981368B2 (ja) 配線基板、これを用いた実装構造体および配線基板の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20220728

Address after: 066004 No. 18-2, Tengfei Road, Qinhuangdao Economic and Technological Development Zone, Hebei Province

Patentee after: Liding semiconductor technology Qinhuangdao Co.,Ltd.

Patentee after: Qi Ding Technology Qinhuangdao Co.,Ltd.

Address before: No.18, Tengfei Road, Qinhuangdao Economic and Technological Development Zone, Hebei Province 066004

Patentee before: Qi Ding Technology Qinhuangdao Co.,Ltd.

TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20240205

Address after: 066004 No. 18-2, Tengfei Road, Qinhuangdao Economic and Technological Development Zone, Hebei Province

Patentee after: Liding semiconductor technology Qinhuangdao Co.,Ltd.

Country or region after: China

Address before: 066004 No. 18-2, Tengfei Road, Qinhuangdao Economic and Technological Development Zone, Hebei Province

Patentee before: Liding semiconductor technology Qinhuangdao Co.,Ltd.

Country or region before: China

Patentee before: Qi Ding Technology Qinhuangdao Co.,Ltd.