CN111070445A - 一种硅片圆片切刀更换工艺 - Google Patents
一种硅片圆片切刀更换工艺 Download PDFInfo
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Abstract
本发明涉及芯片切割行业,具体涉及一种硅片圆片切刀更换工艺,包括如下步骤:检查并确认刀片种类、规格是否正确,否则按F5进入,再按F10键,进入刀片库中选出正确的规格,硬刀选用27HECC,软刀选用SOFTBLADE再退回“刀片更换”界面,此时界面已经更换了新的种类及规格,或者手动输入刀片的各项参数,将光标移到“新/旧”拦,按F1键,选择新刀或旧刀再按“ENTER”键确认刀片已更换,装上前喷水盖,关上防水盖。按“SYS INIT”键,机器执行初始化,按“EXIT”键,界面将返回“刀片维护”界面,再按“EXIT”键,界面将返回主菜单界面。本发明的一种硅片圆片切刀更换工艺,有效保证更换切刀后切割位置的准确性,确保切割原片工作的连续性,操作简单快捷。
Description
技术领域
本发明涉及芯片切割行业,具体涉及一种硅片圆片切刀更换工艺。
背景技术
随着科技发展,电子产业突飞猛进,各种集成、控制电路需求急剧增长,对芯片封装的需求也增长迅猛。
芯片封装是指,将精密的半导体集成电路芯片安装到框架上,然后利用引线将芯片与框架引脚相连接,最后用环氧树脂将半导体集成电路芯片固封起来,外界通过引脚与内部的芯片进行信号传输。封装主要是对精密的半导体集成电路芯片进行固封,使半导体集成电路芯片在发挥作用的同时,不受外界湿度、灰尘的影响,同时提供良好的抗机械振动或冲击保护,提高半导体集成电路芯片的适用性。同时封装在金属框架上,增加了散热面积,提高了芯片的运行可靠性。
硅片在进行切割时,如果如果出现切刀损坏,需要及时对切刀进行更换,现有环岛工艺容易对切刀位置进行改变,导致切割位置不准确。
现需要一种硅片圆片切刀更换工艺,以期可以解决上述技术问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种硅片圆片切刀更换工艺,以弥补现有生产过程中的不足。
为了达到上述目的,本发明提供了一种硅片圆片切刀更换工艺,步骤如下:
检查并确认刀片种类、规格是否正确,否则按F5进入,再按F10键,进入刀片库中选出正确的规格,硬刀选用27HECC,软刀选用SOFTBLADE再退回“刀片更换”界面,此时界面已经更换了新的种类及规格,或者手动输入刀片的各项参数,将光标移到“新/旧”拦,按F1键,选择新刀或旧刀再按“ENTER”键确认刀片已更换,装上前喷水盖,关上防水盖,按“SYS INIT”键,机器执行初始化,按“EXIT”键,界面将返回“刀片维护”界面,再按“EXIT”键,界面将返回主菜单界面,更换新刀片后,会自动调用磨刀程序,硬刀换软刀或软刀换硬刀时要更改主轴转速和使用寿命,硬刀: 30000rpm, 4500feet,软刀:18000rpm,850feet。
优选地,在进行切刀更换前,用蘸了去离子水的棉签清洁“BBD”传感器的表面 ,按F10键,进入“刀片破损检测的调整”界面,检查灵敏度的读数是否在90%至100%范围。
本发明的一种硅片圆片切刀更换工艺,有效保证更换切刀后切割位置的准确性,确保切割原片工作的连续性,操作简单快捷。
具体实施方式
本发明主要针对芯片封装过程中的装片工序,提供了一种硅片圆片切刀更换工艺,具体步骤如下:
为了达到上述目的,本发明提供了一种硅片圆片切刀更换工艺,步骤如下:
检查并确认刀片种类、规格是否正确,否则按F5进入,再按F10键,进入刀片库中选出正确的规格,硬刀选用27HECC,软刀选用SOFTBLADE再退回“刀片更换”界面,此时界面已经更换了新的种类及规格,或者手动输入刀片的各项参数,将光标移到“新/旧”拦,按F1键,选择新刀或旧刀再按“ENTER”键确认刀片已更换,装上前喷水盖,关上防水盖,按“SYS INIT”键,机器执行初始化,按“EXIT”键,界面将返回“刀片维护”界面,再按“EXIT”键,界面将返回主菜单界面,更换新刀片后,会自动调用磨刀程序,硬刀换软刀或软刀换硬刀时要更改主轴转速和使用寿命,硬刀: 30000rpm, 4500feet,软刀:18000rpm,850feet。
其中,在进行切刀更换前,用蘸了去离子水的棉签清洁“BBD”传感器的表面 ,按F10键,进入“刀片破损检测的调整”界面,检查灵敏度的读数是否在90%至100%范围。
本发明的一种硅片圆片切刀更换工艺,有效保证更换切刀后切割位置的准确性,确保切割原片工作的连续性,操作简单快捷。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (2)
1.一种硅片圆片切刀更换工艺,其特征在于,包括如下步骤:检查并确认刀片种类、规格是否正确,否则按F5进入,再按F10键,进入刀片库中选出正确的规格,硬刀选用27HECC,软刀选用SOFTBLADE再退回“刀片更换”界面,此时界面已经更换了新的种类及规格,或者手动输入刀片的各项参数,将光标移到“新/旧”拦,按F1键,选择新刀或旧刀再按“ENTER”键确认刀片已更换,装上前喷水盖,关上防水盖,按“SYS INIT”键,机器执行初始化,按“EXIT”键,界面将返回“刀片维护”界面,再按“EXIT”键,界面将返回主菜单界面,更换新刀片后,会自动调用磨刀程序,所述硬刀换软刀或软刀换硬刀时要更改主轴转速和使用寿命,硬刀:30000rpm, 4500feet,软刀:18000rpm,850feet。
2.根据权利1所述的一种硅片圆片切刀更换工艺,其特征在于,在进行切刀更换前,用蘸了去离子水的棉签清洁“BBD”传感器的表面 ,按F10键,进入“刀片破损检测的调整”界面,检查灵敏度的读数是否在90%至100%范围。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201811218454.0A CN111070445A (zh) | 2018-10-19 | 2018-10-19 | 一种硅片圆片切刀更换工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811218454.0A CN111070445A (zh) | 2018-10-19 | 2018-10-19 | 一种硅片圆片切刀更换工艺 |
Publications (1)
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CN111070445A true CN111070445A (zh) | 2020-04-28 |
Family
ID=70308126
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country | Link |
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CN (1) | CN111070445A (zh) |
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- 2018-10-19 CN CN201811218454.0A patent/CN111070445A/zh active Pending
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WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
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