CN111068581B - 一种污染物隔离装置以及真空度监测设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种污染物隔离装置以及真空度监测设备，涉及真空设备技术领域，该污染物隔离装置包括真空管壳、第一隔离板、第二隔离板以及连接件，第一隔离板和第二隔离板间隔设置在真空管壳内，且第一隔离板和第二隔离板之间具有隔离腔，连接件设置在隔离腔内并分别与第一隔离板和第二隔离板连接，第一隔离板上开设有第一流通孔，第二隔离板上开设有第二流通孔，第一流通孔的孔径大于或等于第二流通孔的孔径。相较于现有技术，本发明提供一种污染物隔离装置，可以有效防止产物对真空规等仪器的影响，避免设备的副产物对真空规等仪器进行污染，确保真空规等仪器测试值的准确性，延长真空规等仪器的使用寿命。

Description

一种污染物隔离装置以及真空度监测设备

技术领域

本发明涉及真空设备技术领域，具体而言，涉及一种污染物隔离装置以及真空度监测设备。

背景技术

具有高真空腔体设备的加工设备广泛应用于各个领域，其在工艺过程中，常常使用真空规等仪器监控反应腔体的气压值。

前通用真空规等装置与腔体直接连通，或者在反应腔体与真空规之间添加一个阀门(仅在需要使用真空规测量时打开阀门)，在腔体进行反应的过程中，真空规监控腔体的气压值，此时真空规与腔体相连通，反应后的产物大部分被泵抽走排出，但仍有部分杂质通过连接通道进入真空规端口，长时间杂质累计后，直接影响真空计测试值，真空规失效。

有鉴于此，设计制造出一种产物污染隔离装置可以有效防止产物对真空规等仪器的影响，确保测试值的准确性，延长真空规的使用寿命。

发明内容

本发明的目的在于提供一种污染物隔离装置，可以有效防止产物对真空规等仪器的影响，避免设备的副产物对真空规等仪器进行污染，确保真空规等仪器测试值的准确性，延长真空规等仪器的使用寿命。

本发明的另一目的在于提供一种真空度监测设备，其能够有效监控反应腔体的气压值，同时能够防止反应腔体内产生的副产物污染真空规，保证监测效果，延长使用寿命。。

本发明是采用以下的技术方案来实现的。

一种污染物隔离装置，包括真空管壳、第一隔离板、第二隔离板以及连接件，第一隔离板和第二隔离板间隔设置在真空管壳内，且第一隔离板和第二隔离板之间具有隔离腔，连接件设置在隔离腔内并分别与第一隔离板和第二隔离板连接，第一隔离板上开设有第一流通孔，第二隔离板上开设有第二流通孔，第一流通孔的孔径大于或等于第二流通孔的孔径。

进一步地，第一隔离板上还开设有与连接件的一端连通的第三流通孔，第三流通孔与第一隔离板的中心之间的距离小于第一流通孔与第一隔离板的中心之间的距离，且第三流通孔的孔径小于第一流通孔的孔径；第二隔离板上还开设有与连接件的另一端连通的第四流通孔，第四流通孔与第三流通孔通过连接件连通，第四流通孔与第二隔离板的中心之间的距离小于第二流通孔与第二隔离板的中心之间的距离，且第四流通孔的孔径大于第二流通孔的孔径。

进一步地，第一隔离板上还开设有第五流通孔，第五流通孔设置在第一流通孔与第三流通孔之间，且第五流通孔的孔径大于第三流通孔的孔径，第五流通孔的孔径小于第一流通孔的孔径。

进一步地，第五流通孔与第一流通孔均为多个，多个第五流通孔环设在第三流通孔外，多个第一流通孔环设在多个第五流通孔外。

进一步地，第二隔离板上还开设有第六流通孔，第六流通孔设置在第二流通孔与第四流通孔之间，且第六流通孔的孔径小于第四流通孔的孔径，第六流通孔的孔径大于第二流通孔的孔径。

进一步地，第六流通孔与第二流通孔均为多个，多个第六流通孔环设在第四流通孔外，多个第二流通孔环设在多个第六流通孔外。

进一步地，连接件包括连接筒和磁性吸附件，磁性吸附件设置在连接筒的内侧壁上，连接筒的两端分别与第一隔离板和第二隔离板连接，且连接筒分别与第三流通孔和第四流通孔连通。

进一步地，第一隔离板靠近第二隔离板的一侧表面设置有第一导磁圆环，第二隔离板靠近第一隔离板的一侧表面设置有第二导磁圆环，连接筒的两端分别与第一导磁圆环和第二导磁圆环相配合，第一导磁圆环容置在连接筒内并磁性吸附在磁性吸附件上，第二导磁圆环容置在连接筒内并磁性吸附在磁性吸附件上。

进一步地，第一隔离板呈锥台状并具有工艺腔，工艺腔与第一流通孔连通。

一种真空度监测设备，包括真空规和污染物隔离装置，污染物隔离装置包括真空管壳、第一隔离板、第二隔离板以及连接件，第一隔离板和第二隔离板间隔设置在真空管壳内，且第一隔离板和第二隔离板之间具有隔离腔，连接件设置在隔离腔内并分别与第一隔离板和第二隔离板连接，第一隔离板上开设有第一流通孔，第二隔离板上开设有第二流通孔，第一流通孔的孔径大于或等于第二流通孔的孔径。真空管壳和真空规的进气口连接。

本发明具有以下有益效果：

本发明提供的一种污染物隔离装置，将第一隔离板和第二隔离板间隔设置在真空管壳内，将连接件设置在第一隔离板和第二隔离板之间的隔离腔内并分别与第一隔离板和第二隔离板连接，在第一隔离板上开设有第一流通孔，在第二隔离板上开设有第二流通孔。在实际使用过程中，将该污染物隔离装置安装在真空规与反应腔室之间的管路上，使得第二隔离板靠近真空规的进气口，第一隔离板靠近反应腔体，在反应腔体内进行工艺时，气压增大，气体由反应腔体流向真空规，在经过第一隔离板时，通过第一隔离板上的第一流通孔进入隔离腔，由于气体由大孔径截面加压通过小孔径截面时，气体温度减小，故此时隔离腔温度降低，由于第二流通孔的孔径小于或等于第一流通孔的孔径，气体在隔离腔内聚集后增压并通过第二流通孔继续流向真空规，此时通过第二流通孔的气体温度减小，进而使得隔离腔温度降低，这一过程主要通过气体的压力和温度的变化将气体中不稳定的化学物质在隔离腔内进行沉积，气体由较大截面向较小截面运动，温度降低，气体内化合物粘附在装置内壁上，达到隔离效果，同时通过设置第一隔离板和第二隔离板，有效缓冲了气体流速和压强，避免了气体携带污染物大量进入到真空规。相较于现有技术，本发明提供一种污染物隔离装置，可以有效防止产物对真空规等仪器的影响，避免设备的副产物对真空规等仪器进行污染，确保真空规等仪器测试值的准确性，延长真空规等仪器的使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明第一实施例提供的污染物隔离装置的结构示意图；

图2为图1中第一隔离板在第一视角下的结构示意图；

图3为图1中第二隔离板在第一视角下的结构示意图；

图4为图1中连接件的连接结构示意图；

图5为图4中第一隔离板在第二视角下的结构示意图；

图6为图4中第二隔离板在第二视角下的结构示意图。

图标：100-污染物隔离装置；110-真空管壳；130-第一隔离板；131-第一流通孔；133-第三流通孔；135-第五流通孔；137-第一导磁圆环；150-第二隔离板；151-第二流通孔；153-第四流通孔；155-第六流通孔；157-第二导磁圆环；170-连接件；171-连接筒；173-磁性吸附件；190-连接器。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“安装”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面结合附图，对本发明的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例中的特征可以相互组合。

第一实施例

结合参见图1至图3，本实施例提供了一种污染物隔离装置100，整个装置安装在真空规等监测仪器与反应腔体之间的管道上，当然，本实施例提供的污染物隔离装置100也可以安装在其他需要隔离污染物的管道或接口上，本实施例仅仅以真空规等监测仪器与反应腔体之间的管道为例进行说明。

污染物隔离装置100包括真空管壳110、第一隔离板130、第二隔离板150以及连接件170，第一隔离板130和第二隔离板150间隔设置在真空管壳110内，且第一隔离板130和第二隔离板150之间具有隔离腔，连接件170设置在隔离腔内并分别与第一隔离板130和第二隔离板150连接，第一隔离板130上开设有第一流通孔131，第二隔离板150上开设有第二流通孔151，第一流通孔131的孔径大于或等于第二流通孔151的孔径。具体地，在本实施例中，第一流通孔131的孔径大于第二流通孔151的孔径，在本发明其他较佳的实施例中，第一流通孔131的孔径也可以等于第二流通孔151的孔径。

在本实施例中，真空管壳110的两端通过连接器190安装在管道上，具体地，真空管壳110的两端设置有连接器190，连接器190的一端与真空管壳110内部连通，另一端与管道连通。此时装置可拆卸，方便维护清理。

在本发明其他较佳的实施例中，第一隔离板130和第二隔离板150设置在真空管壳110的两端端面处，第一隔离板130和第二隔离板150的外侧边沿设置有连接器190，连接器190直接与第一隔离板130上的第一流通孔131或第二隔离板150上的第二流通孔151连通，第一隔离板130和第二隔离板150通过连接器190直接安装在管道上。

在本发明其他较佳的实施例中，真空管壳110的两端设置有连接法兰，通过连接法兰将真空管壳110直接安装在管道上。

在本实施例中，第一隔离板130呈锥台状并具有工艺腔，工艺腔与第一流通孔131连通。具体地，第一隔离板130向着靠近第二隔离板150的方向凸起并在内形成工艺腔，在气体流动方向上工艺腔的截面直径逐步减小，能够使得通过工艺腔进入隔离腔的气体初步降温。当然，此处第一隔离板130也可以是其他形状例如弧面状或者矩形凸台状等，但凡能够形成工艺腔的结构形状均在本发明的保护范围之内。

在本实施例中，第二隔离板150呈带孔平板状，能够阻挡隔离腔内的部分气体并平衡真空管壳110两端的气压。当然，此处第二隔离板150也可以是弧面板状或者弯折板状等其他形状，在此不做具体限定。

在本发明其他较佳的实施例中，第一隔离板130也可以呈带孔平板状，起到阻挡由进气端进入的气体的作用并通过第一流通孔131将气体放入隔离腔。

第一隔离板130上还开设有与连接件170的一端连通的第三流通孔133，第三流通孔133与第一隔离板130的中心之间的距离小于第一流通孔131与第一隔离板130的中心之间的距离，且第三流通孔133的孔径小于第一流通孔131的孔径。第二隔离板150上还开设有与连接件170的另一端连通的第四流通孔153，第四流通孔153与第三流通孔133通过连接件170连通，第四流通孔153与第二隔离板150的中心之间的距离小于第二流通孔151与第二隔离板150的中心之间的距离，且第四流通孔153的孔径大于第二流通孔151的孔径。

在本实施例中，连接件170的两端连接在第一隔离板130和第二隔离板150的中央并具有中央连接通道，第四流通孔153与第三流通孔133均与中央连接通道连通。

第一隔离板130上还开设有第五流通孔135，第五流通孔135设置在第一流通孔131与第三流通孔133之间，且第五流通孔135的孔径大于第三流通孔133的孔径，第五流通孔135的孔径小于第一流通孔131的孔径。

具体地，第五流通孔135与第一流通孔131均为多个，多个第五流通孔135环设在第三流通孔133外，多个第一流通孔131环设在多个第五流通孔135外。

第二隔离板150上还开设有第六流通孔155，第六流通孔155设置在第二流通孔151与第四流通孔153之间，且第六流通孔155的孔径小于第四流通孔153的孔径，第六流通孔155的孔径大于第二流通孔151的孔径。

具体地，第六流通孔155与第二流通孔151均为多个，多个第六流通孔155环设在第四流通孔153外，多个第二流通孔151环设在多个第六流通孔155外。

值得注意的是，本实施例中真空管壳110呈圆筒状，第一隔离板130和第二隔离板150的外缘呈圆形并与真空管壳110的内壁密封连接。

在本实施例中，多个第一流通孔131、多个第三流通孔133和第五流通孔135均分布在第一隔离板130上，且多个第一流通孔131、多个第五流通孔135以及第三流通孔133均为圆形通气孔并由第一隔离板130的外边沿到中心依次分布，具体地，多个第一流通孔131环形分布在第一隔离板130靠近边缘的外侧，多个第五流通孔135环形分布在第一隔离板130靠近中心区域的内侧，第三流通孔133分布在第一隔离板130的中心区域并与连接件170连通，且多个第一流通孔131的圆心处在同一个以第一隔离板130的中心为圆心的圆的边沿上，多个第五流通孔135的圆心处在同一个以第一隔离板130的中心为圆心的圆的边沿上。第一流通孔131的孔径大于第五流通孔135，第五流通孔135的孔径大于第三流通孔133，在气体通过第一隔离板130时，大部分气体会由第一流通孔131进入到隔离腔。

在本实施例中，多个第二流通孔151，多个第四流通孔153和多个第六流通孔155均分布在第二隔离板150上，且多个第二流通孔151、多个第六流通孔155以及第四流通孔153均为圆形通气孔并由第二隔离板150的外边沿到中心依次分布，具体地，多个第二流通孔151分布在第二隔离板150靠近边缘的外侧，多个第六流通孔155环形分布在第二隔离板150靠近中心区域的内侧，第四流通孔153分布在第二隔离板150的中心区域并与连接件170连通，且多个第二流通孔151的圆心处在同一个以第二隔离板150的中心为圆心的圆的边沿上，多个第六流通孔155的圆心处在一个以第二隔离板150的中心为圆心的圆的边沿上。第二流通孔151的孔径小于第六流通孔155，第六流通孔155的孔径小于第四流通孔153，由于第二流通孔151最小，而第四流通孔153与连接件170连通，故隔离腔内的气体在遇到第二隔离板150时，一部分会由第二流通孔151和第六流通孔155继续流向监测仪器，另一部分会聚集在隔离腔内并随着压强增大由第一隔离板130上的第五流通孔135回流至第一隔离板130的工艺腔内，并依次经过第三流通孔133、连接件170和第四流通孔153进入监测仪器。

需要说明的是，本实施例中第一隔离板130的中心是指第一隔离板的几何中心，第二隔离板150的中心是指第二隔离板150的几何中心。

在实际使用过程中，在反应腔体内开始进行工艺时，反应腔体内气体的气压变大，此时反应腔体内的气压大于监测仪器入口处的气压，气体由第一隔离板130向第二隔离板150运动，由于第一隔离板130上第一流通孔131的孔径最大，所处截面最大，故气体大部分通过第一流通孔131，少部分通过第五流通孔135，更少部分通过第三流通孔133，隔离腔内气压升高，温度降低，此时气体中的化学物质在降温后部分沉积在真空管壳110的内壁和连接件170的外壁上。气体在由隔离腔继续流向第二隔离板150时，由于第二隔离板150上的流通孔的分布与第一隔离板130相反，即第二隔离板150上的小孔径孔对应第一隔离板130上的大孔径孔，使得隔离腔内的气体在第二隔离板150处受到阻挡，此时隔离腔内的气压上升，一部分气体通过第二隔离板150上的第二流通孔151和第六流通孔155继续向监测仪器方向扩散，另一部分气体向第一隔离板130上的第五流通孔135扩散。此时通过第二隔离板150上的第二流通孔151和第六流通孔155的气压增大，隔离腔内的温度继续减小，使得气体中的化学物质进一步沉积，以起到隔离效果。由于第一隔离板130和第二隔离板150均为多孔结构，同时连接件170分别连通第三流通孔133和第四流通孔153，使得气体能够自由扩散直至压力趋于一致。

需要说明的是，上述过程主要通过气体的压强和温度的变化将气体中不稳定的化学物质在隔离腔中进行沉积，同时多孔的结构保证在装置的两端不会出现较大的气压差，另一方面固态杂质多个较大颗粒，其运动方向为直线，第一隔离板130和第二隔离板150上孔径的差异对直线运动颗粒有效地形成阻挡，从而达到隔离效果。

结合参见图4至图6，连接件170包括连接筒171和磁性吸附件173，磁性吸附件173设置在连接筒171的内侧壁上，连接筒171的两端分别与第一隔离板130和第二隔离板150连接，且连接筒171分别与第三流通孔133和第四流通孔153连通，以形成中央连接通道。

在本实施例中，连接筒171的内周壁上涂覆有导磁材料层，导磁材料层由两侧延伸至磁性吸附件173并与磁性吸附件173连接。

第一隔离板130靠近第二隔离板150的一侧表面设置有第一导磁圆环137，第二隔离板150靠近第一隔离板130的一侧表面设置有第二导磁圆环157，连接筒171的两端分别与第一导磁圆环137和第二导磁圆环157相配合，第一导磁圆环137容置在连接筒171内并磁性吸附在磁性吸附件173上，第二导磁圆环157容置在连接筒171内并磁性吸附在磁性吸附件173上。具体地，第一导磁圆环137和第二导磁圆环157的外径相同，连接筒171的内径与第一导磁圆环137的外径相同，使得第一导磁圆环137和第二导磁圆环157能够装配在连接筒171中并磁性吸附在磁性吸附件173上，方便拆卸与安装。

在本实施例中，磁性吸附件173为一永磁铁，用于提供磁力。当然，此处磁性吸附件173也可以是一微型电磁铁，以提高磁吸性能的可控性，在此不过多描述。

需要说明的是，本实施例中第一隔离板130和第二隔离板150均采用非导磁材料制成，第一导磁圆环137和第二导磁圆环157均采用导磁材料制成，在装配完成后，由于磁性吸附件173的磁化作用，使得第一导磁圆环137和第二导磁圆环157也具有一定的磁吸力，能够将中央通道内的磁性杂质等吸附在内壁上，同时能够将隔离腔中的导磁杂质吸附在外壁上，达到隔离效果。

综上所述，本实施例提供了一种污染物隔离装置100，设置在监测仪器与反应腔体之间，在反应腔体进行反应时，反应腔体内的物质大部分为气体，部分化学产物、部分固态颗粒，污染物隔离装置100主要对化学产物进行隔离，同时能够隔离部分固态颗粒，防止污染监测仪器。具体地，首先通过呈锥台状的第一隔离板130的工艺腔使得气体初步降温，再通过第一隔离板130上和第二隔离板150上不同孔径分布的通气孔对隔离腔内的气体进行降温，使得气体中的化学产物能够沉积在隔离腔内，此外多孔的结构使得各处气压差趋于一致。同时通过连接筒171内的磁性吸附件173连接第一隔离板130和第二隔离板150并磁化第一隔离板130上的第一导磁环和第二隔离板150上的第二导磁环，使得杂质中的导磁材料能够得到吸附，避免其干扰后端监测仪器的测试精度。

第二实施例

本实施例提供了一种真空度监测设备，包括真空规和污染物隔离装置100，其中污染物隔离装置100的基本结构和原理及产生的技术效果和第一实施例相同，为简要描述，本实施例部分未提及之处，可参考第一实施例中相应内容。

污染物隔离装置100包括真空管壳110、第一隔离板130、第二隔离板150以及连接件170，第一隔离板130和第二隔离板150间隔设置在真空管壳110内，且第一隔离板130和第二隔离板150之间具有隔离腔，连接件170设置在隔离腔内并分别与第一隔离板130和第二隔离板150连接，第一隔离板130上开设有第一流通孔131，第二隔离板150上开设有第二流通孔151，第一流通孔131的孔径大于或等于第二流通孔151的孔径。真空管壳110和真空规的进气口连接。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种污染物隔离装置，其特征在于，包括真空管壳、第一隔离板、第二隔离板以及连接件，所述第一隔离板和所述第二隔离板间隔设置在所述真空管壳内，且所述第一隔离板和所述第二隔离板之间具有隔离腔，所述连接件设置在所述隔离腔内并分别与所述第一隔离板和所述第二隔离板连接，所述第一隔离板上开设有第一流通孔，所述第二隔离板上开设有第二流通孔，所述第一流通孔的孔径大于或等于所述第二流通孔的孔径；

所述第一隔离板上还开设有与所述连接件的一端连通的第三流通孔，所述第三流通孔与所述第一隔离板的中心之间的距离小于所述第一流通孔与所述第一隔离板的中心之间的距离，且所述第三流通孔的孔径小于所述第一流通孔的孔径；所述第二隔离板上还开设有与所述连接件的另一端连通的第四流通孔，所述第四流通孔与所述第三流通孔通过所述连接件连通，所述第四流通孔与所述第二隔离板的中心之间的距离小于所述第二流通孔与所述第二隔离板的中心之间的距离，且所述第四流通孔的孔径大于所述第二流通孔的孔径。

2.根据权利要求1所述的污染物隔离装置，其特征在于，所述第一隔离板上还开设有第五流通孔，所述第五流通孔设置在所述第一流通孔与所述第三流通孔之间，且所述第五流通孔的孔径大于所述第三流通孔的孔径，所述第五流通孔的孔径小于所述第一流通孔的孔径。

3.根据权利要求2所述的污染物隔离装置，其特征在于，所述第五流通孔与所述第一流通孔均为多个，多个所述第五流通孔环设在所述第三流通孔外，多个所述第一流通孔环设在多个所述第五流通孔外。

4.根据权利要求1所述的污染物隔离装置，其特征在于，所述第二隔离板上还开设有第六流通孔，所述第六流通孔设置在所述第二流通孔与所述第四流通孔之间，且所述第六流通孔的孔径小于所述第四流通孔的孔径，所述第六流通孔的孔径大于所述第二流通孔的孔径。

5.根据权利要求4所述的污染物隔离装置，其特征在于，所述第六流通孔与所述第二流通孔均为多个，多个所述第六流通孔环设在所述第四流通孔外，多个所述第二流通孔环设在多个所述第六流通孔外。

6.根据权利要求1所述的污染物隔离装置，其特征在于，所述连接件包括连接筒和磁性吸附件，所述磁性吸附件设置在所述连接筒的内侧壁上，所述连接筒的两端分别与所述第一隔离板和所述第二隔离板连接，且所述连接筒分别与所述第三流通孔和所述第四流通孔连通。

7.根据权利要求6所述的污染物隔离装置，其特征在于，所述第一隔离板靠近所述第二隔离板的一侧表面设置有第一导磁圆环，所述第二隔离板靠近所述第一隔离板的一侧表面设置有第二导磁圆环，所述连接筒的两端分别与所述第一导磁圆环和所述第二导磁圆环相配合，所述第一导磁圆环容置在所述连接筒内并磁性吸附在所述磁性吸附件上，所述第二导磁圆环容置在所述连接筒内并磁性吸附在所述磁性吸附件上。

8.根据权利要求1所述的污染物隔离装置，其特征在于，所述第一隔离板呈锥台状并具有工艺腔，所述工艺腔与所述第一流通孔连通。

9.一种真空度监测设备，其特征在于，包括真空规和如权利要求1-8任一项所述的污染物隔离装置，所述真空管壳和所述真空规的进气口连接。

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