CN111060191A - 一种反射式反馈锁相激光振动测量装置及其测量方法 - Google Patents

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Abstract

本申请公开了一种反射式反馈锁相激光振动测量装置及其测量方法，包括：反射式振动测量模块，单模半导体激光二极管，锁相激光驱动模块；其中，单模半导体激光二极管，用于向倾斜的被测物表面发出入射激光，接收经反射式振动测量模块返回的反射激光并形成干涉，产生自混合波形并转化为光电流；反射式振动测量模块，用于垂直接收经被测物表面反射后的反射激光，并将反射激光按照原光路返回；锁相激光驱动模块，用于对光电流进行处理，并对单模半导体激光二极管进行反馈控制形成闭环反馈检测，在输出端得到被测物的振动信号。这样采用闭环反馈锁相方式，能够在不同角度下得到幅值稳定的振动测量结果，并且有效应用在垂直入射无法测量的振动测量领域。

Description

一种反射式反馈锁相激光振动测量装置及其测量方法
技术领域
本发明涉及激光技术领域，特别是涉及一种反射式反馈锁相激光振动测量装置及其测量方法。
背景技术
振动测量应用在工业领域，通过对被测物的振动进行监测，能够得到被测物的状态信息，从而对被测物的故障进行及时的判断和处理。
目前，基于激光反馈式干涉测量方法的测量手段被广泛的应用。另外，一些研究机构和公司根据被测物的振动测量精度设计了多次反射的反馈式测量装置，在不同的反射角度和反射次数下，可以得到不同的测试精度。但这些测量方法的测试结果都和角度相关，在不同角度下的测试结果需要用不同的计算方法，才能得到被测物的振动信息。
因此，如何实现不同角度下振动测量结果的稳定性，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种反射式反馈锁相激光振动测量装置及其测量方法，可以在不同角度下得到幅值稳定的振动测量结果，且可应用在入射光无法直接垂直照射被测物的情况。其具体方案如下：
一种反射式反馈锁相激光振动测量装置，包括：反射式振动测量模块，单模半导体激光二极管，以及与所述单模半导体激光二极管电性连接的锁相激光驱动模块；其中，
所述单模半导体激光二极管，用于向倾斜的被测物表面发出入射激光，接收经所述反射式振动测量模块返回的反射激光并形成干涉，产生自混合波形并转化为光电流；
所述反射式振动测量模块，用于垂直接收经所述被测物表面反射后的反射激光，并将反射激光按照原光路返回至所述单模半导体激光二极管；
所述锁相激光驱动模块，用于对所述单模半导体激光二极管产生的光电流进行处理，并对所述单模半导体激光二极管进行反馈控制形成闭环反馈检测，在输出端得到所述被测物的振动信号。
优选地，在本发明实施例提供的上述反射式反馈锁相激光振动测量装置中，所述反射式振动测量模块包括反射镜，以及用于固定所述反射镜的支撑调节机构；其中，
所述反射镜的反射面与经所述被测物表面反射后的反射激光的传播方向相互垂直。
优选地，在本发明实施例提供的上述反射式反馈锁相激光振动测量装置中，所述单模半导体激光二极管内置有激光器和探测器；其中，
所述激光器，用于向倾斜的被测物表面发出入射激光，接收经所述反射式振动测量模块返回的反射激光，以及通过所述锁相激光驱动模块的反馈控制改变输出功率；
所述探测器，用于将所述自混合波形经检测转化为光电流。
优选地，在本发明实施例提供的上述反射式反馈锁相激光振动测量装置中，所述锁相激光驱动模块包括跨阻放大模块，直流偏置模块，增益调节模块，可控开关，压控电流源模块，参考电压模块；其中，
所述跨阻放大模块，与所述探测器电性连接，用于将所述探测器产生的光电流转化为电压信号，并将所述电压信号进行放大输出；
所述直流偏置模块，用于对所述跨阻放大模块的输出信号进行直流补偿；
所述增益调节模块，用于调节经所述直流补偿后的信号的放大比例，输出自混合信号；
所述可控开关，用于通过断开或开启来控制开环测量或闭环测量；
所述参考电压模块，用于提供参考电压；
所述压控电流源模块，分别与所述可控开关、所述参考电压模块和所述激光器电性连接，用于在进行开环测量时，结合所述参考电压为所述激光器提供恒流驱动；在进行闭环测量时，结合所述参考电压和所述自混合信号，形成对所述激光器的反馈控制。
优选地，在本发明实施例提供的上述反射式反馈锁相激光振动测量装置中，所述锁相激光驱动模块还包括分别与所述增益调节模块和所述可控开关电性连接的低通滤波模块；
所述低通滤波模块，用于去除经所述增益调节模块调节放大比例后的信号内包含的高频噪声。
优选地，在本发明实施例提供的上述反射式反馈锁相激光振动测量装置中，所述可控开关，具体用于在进行开环测量及对所述直流偏置模块和所述增益调节模块进行粗调时，处于断开状态；在进行闭环测量及对所述直流偏置模块和所述增益调节模块进行微调时，处于闭合状态。
本发明实施例还提供了一种本发明实施例提供的上述反射式反馈锁相激光振动测量装置的测量方法，包括：
单模半导体激光二极管向倾斜的被测物表面发出入射激光；
反射式振动测量模块垂直接收经所述被测物表面反射后的反射激光，并将反射激光按照原光路返回至所述单模半导体激光二极管；
所述单模半导体激光二极管接收经所述反射式振动测量模块返回的反射激光并形成干涉，产生自混合波形并转化为光电流；
锁相激光驱动模块对所述单模半导体激光二极管产生的光电流进行处理，并对所述单模半导体激光二极管进行反馈控制形成闭环反馈检测，在输出端得到所述被测物的振动信号。
优选地，在本发明实施例提供的上述反射式反馈锁相激光振动测量装置的测量方法中，锁相激光驱动模块对所述单模半导体激光二极管产生的光电流进行处理，并对所述单模半导体激光二极管进行反馈控制形成闭环反馈检测，具体包括：
可控开关处于断开状态时，跨阻放大模块将所述单模半导体激光二极管中探测器产生的光电流转化为电压信号，并将所述电压信号进行放大输出；
直流偏置模块对所述跨阻放大模块的输出信号进行直流补偿；
增益调节模块调节经所述直流补偿后的信号的放大比例；
低通滤波模块去除经所述增益调节模块调节放大比例后的信号内包含的高频噪声，输出开环测量所得的自混合信号；
将所述可控开关进行闭合后，压控电流源模块结合所述参考电压模块提供的参考电压和闭环测量所得的开环自混合信号，形成对所述单模半导体激光二极管中激光器进行反馈控制形成闭环反馈检测。
优选地，在本发明实施例提供的上述反射式反馈锁相激光振动测量装置的测量方法中，根据所述开环测量所得的自混合信号，采用下述公式得到所述被测物的开环振动位移：
Figure BDA0002341885270000041
其中，ΔL表示所述被测物的开环振动位移；λ表示所述激光器输出光中心波长；N表示所述开环测量所得的自混合信号的条纹数。
优选地，在本发明实施例提供的上述反射式反馈锁相激光振动测量装置的测量方法中，根据在输出端得到所述被测物的振动信号，采用下述公式得到所述被测物的振动位移：
Figure BDA0002341885270000042
其中，D表示所述被测物的振动位移；k表示所述被测物的振动敏感度；A表示所述被测物的振动信号的峰值，V表示在输出端输出的电压值。
从上述技术方案可以看出，本发明所提供的一种反射式反馈锁相激光振动测量装置及其测量方法，包括：反射式振动测量模块，单模半导体激光二极管，以及与单模半导体激光二极管电性连接的锁相激光驱动模块；其中，单模半导体激光二极管，用于向倾斜的被测物表面发出入射激光，接收经反射式振动测量模块返回的反射激光并形成干涉，产生自混合波形并转化为光电流；反射式振动测量模块，用于垂直接收经被测物表面反射后的反射激光，并将反射激光按照原光路返回至单模半导体激光二极管；锁相激光驱动模块，用于对单模半导体激光二极管产生的光电流进行处理，并对单模半导体激光二极管进行反馈控制形成闭环反馈检测，在输出端得到被测物的振动信号。
本发明通过反射式振动测量模块，单模半导体激光二极管和锁相激光驱动模块的设置，采用闭环反馈锁相方式，能够在不同角度下得到幅值稳定的振动测量结果，有效的实现了稳健的反射式振动测量，并且有效的应用在垂直入射无法测量的振动测量领域，解决了开环测试的角度依赖性的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的反射式反馈锁相激光振动测量装置的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的反射式反馈锁相激光振动测量装置的测量方法流程图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明提供一种反射式反馈锁相激光振动测量装置，如图1所示，包括：反射式振动测量模块1，单模半导体激光二极管2，以及与单模半导体激光二极管2电性连接的锁相激光驱动模块3；其中，
单模半导体激光二极管2，用于向倾斜的被测物M1表面发出入射激光，接收经反射式振动测量模块1返回的反射激光并形成干涉，产生自混合波形并转化为光电流；
反射式振动测量模块1，用于垂直接收经被测物M1表面反射后的反射激光，并将反射激光按照原光路返回至单模半导体激光二极管2；
锁相激光驱动模块3，用于对单模半导体激光二极管2产生的光电流进行处理，并对单模半导体激光二极管2进行反馈控制形成闭环反馈检测，在输出端ΔVOUT得到被测物的振动信号。
在本发明实施例提供的上述反射式反馈锁相激光振动测量装置中，通过反射式振动测量模块，单模半导体激光二极管和锁相激光驱动模块的设置，采用闭环反馈锁相方式，能够在不同角度下得到幅值稳定的振动测量结果，有效的实现了稳健的反射式振动测量，并且有效的应用在垂直入射无法测量的振动测量领域，解决了开环测试的角度依赖性的问题。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述反射式反馈锁相激光振动测量装置中，如图1所示，反射式振动测量模块1包括反射镜M2，以及用于固定反射镜M2的支撑调节机构；其中，反射镜M2的反射面与经被测物M1表面反射后的反射激光的传播方向相互垂直。
具体地，入射激光照射到倾斜的被测物M1(如200Hz正弦激励的音箱或压电片)表面上，入射角为θ，经被测物M1反射后得到反射激光，垂直入射到反射镜M2上；然后反射激光沿原来的光路返回，重新入射到单模半导体激光二极管2内部。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述反射式反馈锁相激光振动测量装置中，如图1所示，单模半导体激光二极管2内置有激光器LD和探测器(即光电二极管)；其中，
激光器LD，用于向倾斜的被测物表面发出入射激光，接收经反射式振动测量模块返回的反射激光，以及通过锁相激光驱动模块的反馈控制改变输出功率；
探测器，用于将自混合波形(光信号)经检测转化为光电流(电流信号)。
具体地，反射激光沿原来的光路返回，重新入射到激光器LD内部，在该激光器LD内部形成干涉，产生自混合波形；该自混合波形经探测器检测形成光电流。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述反射式反馈锁相激光振动测量装置中，如图1所示，锁相激光驱动模块3可以包括跨阻放大模块，直流偏置模块，增益调节模块，可控开关，压控电流源模块，参考电压模块；其中，
跨阻放大模块，与探测器电性连接，用于将探测器产生的光电流转化为电压信号，即I/V converter，并将电压信号进行放大输出；
直流偏置模块，用于对跨阻放大模块的输出信号进行直流补偿；该直流偏置模块置于跨阻放大模块的后级，增益调节模块的前级；
增益调节模块，用于调节经直流补偿后的信号的放大比例，输出自混合信号；需要注意的是，合理的直流补偿和放大比例是实现闭环锁相反馈的关键；这里的自混合信号分为开环测量所得的自混合信号和闭环测量所得的自混合信号，两者信号是不同的；
可控开关S1，用于通过断开或开启来控制开环测量或闭环测量；
参考电压模块，用于提供参考电压；
压控电流源模块，分别与可控开关S1、参考电压模块和激光器电性连接，用于在进行开环测量时，结合参考电压为激光器提供恒流驱动；在进行闭环测量时，结合参考电压和闭环测量所得到的自混合信号，改变激光器的驱动电流，以改变激光器的输出功率，形成对激光器的反馈控制，从而实现反馈闭环检测。
在实际应用中，在具体实施时，在本发明实施例提供的上述反射式反馈锁相激光振动测量装置中，上述可控开关S1，具体可以用于在进行开环测量及对直流偏置模块和增益调节模块进行粗调时，处于断开状态；在进行闭环测量及对直流偏置模块和增益调节模块进行微调时，处于闭合状态。也就是说，当可控开关S1断开时，通过对直流偏置模块和增益调节模块进行粗调，此时的输出端可以输出开环测量所得的自混合信号，当可控开关S1闭合时，通过对直流偏置模块和增益调节模块进行微调，由于压控电流源模块(结合参考电压和闭环测量所得到的自混合信号)对激光器的反馈控制形成闭环反馈检测，此时的输出端可以获取到被测物的振动信号。
进一步地，在具体实施时，在本发明实施例提供的上述反射式反馈锁相激光振动测量装置中，锁相激光驱动模块3还可以包括分别与增益调节模块和可控开关S1电性连接的低通滤波模块；该低通滤波模块可以用于去除经增益调节模块调节放大比例后的信号内包含的高频噪声。这样通过闭环控制进行噪声抑制，进一步可提高振动信号幅值的稳定值。
具体地，可控开关S1断开时进行开环测量，首先探测器产生的光电流经跨阻放大模块后，减去直流偏置模块提供的直流偏置电压进行直流补偿，该输出信号再经过增益调节模块和低通滤波模块后可以在输出端得到去除高频噪声后的自混合信号。当可控开关S1闭合后，该开环自混合信号反馈至压控电流源模块形成对激光器的反馈控制，此时在输出端即可得到被测物的振动信号，完成振动信号的反馈闭环检测。
基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种反射式反馈锁相激光振动测量装置的测量方法，由于该测量方法解决问题的原理与前述一种反射式反馈锁相激光振动测量装置相似，因此该测量方法的实施可以参见反射式反馈锁相激光振动测量装置的实施，重复之处不再赘述。
在具体实施时，本发明实施例提供的反射式反馈锁相激光振动测量装置的测量方法，如图2所示，具体包括以下步骤：
S201、单模半导体激光二极管向倾斜的被测物表面发出入射激光；
S202、反射式振动测量模块垂直接收经被测物表面反射后的反射激光，并将反射激光按照原光路返回至单模半导体激光二极管；
S203、单模半导体激光二极管接收经反射式振动测量模块返回的反射激光并形成干涉，产生自混合波形并转化为光电流；
S204、锁相激光驱动模块对单模半导体激光二极管产生的光电流进行处理，并对单模半导体激光二极管进行反馈控制形成闭环反馈检测，在输出端得到被测物的振动信号。
在本发明实施例提供的上述反射式反馈锁相激光振动测量装置的测量方法中，可以通过执行上述步骤S201至S204，采用闭环反馈锁相方式，在不同角度下得到幅值稳定的振动测量结果，有效的实现了稳健的反射式振动测量，并且有效的应用在垂直入射无法测量的振动测量领域，解决了开环测试的角度依赖性的问题。
进一步地，在具体实施时，在本发明实施例提供的上述反射式反馈锁相激光振动测量装置的测量方法中，步骤S204锁相激光驱动模块对单模半导体激光二极管产生的光电流进行处理，并对单模半导体激光二极管进行反馈控制形成闭环反馈检测，具体可以包括以下步骤：
步骤一、可控开关处于断开状态时，跨阻放大模块将单模半导体激光二极管中探测器产生的光电流转化为电压信号，并将电压信号进行放大输出；
步骤二、直流偏置模块对跨阻放大模块的输出信号进行直流补偿；
步骤三、增益调节模块调节经直流补偿后的信号的放大比例；
步骤四、低通滤波模块去除经增益调节模块调节放大比例后的信号内包含的高频噪声，输出开环测量所得的自混合信号；
步骤五、将可控开关进行闭合后，压控电流源模块结合参考电压模块提供的参考电压和闭环测量所得的自混合信号，形成对单模半导体激光二极管中激光器进行反馈控制形成闭环反馈检测。
关于上述各个步骤更加具体的工作过程可以参考前述实施例公开的相应内容，在此不再进行赘述。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述反射式反馈锁相激光振动测量装置的测量方法中，根据开环测量所得的自混合信号，可以采用下述公式对振动进行标定，得到被测物的开环振动位移：
Figure BDA0002341885270000091
其中，ΔL表示被测物的开环振动位移；λ表示激光器输出光中心波长；N表示开环测量所得的自混合信号的条纹数。
在具体实施时，在本发明实施例提供的上述反射式反馈锁相激光振动测量装置的测量方法中，当可控开关S1闭合后，根据在输出端得到被测物的振动信号(如200Hz的振动信号)，可以采用下述公式得到被测物的振动位移：
Figure BDA0002341885270000092
其中，D表示被测物的振动位移；k表示被测物的振动敏感度；A表示被测物的振动信号的峰值，V表示在输出端输出的电压值。
综上，本发明实施例提供的一种反射式反馈锁相激光振动测量装置及其测量方法，包括：反射式振动测量模块，单模半导体激光二极管，以及与单模半导体激光二极管电性连接的锁相激光驱动模块；其中，单模半导体激光二极管，用于向倾斜的被测物表面发出入射激光，接收经反射式振动测量模块返回的反射激光并形成干涉，产生自混合波形并转化为光电流；反射式振动测量模块，用于垂直接收经被测物表面反射后的反射激光，并将反射激光按照原光路返回至单模半导体激光二极管；锁相激光驱动模块，用于对单模半导体激光二极管产生的光电流进行处理，并对单模半导体激光二极管进行反馈控制形成闭环反馈检测，在输出端得到被测物的振动信号。这样通过反射式振动测量模块，单模半导体激光二极管和锁相激光驱动模块的设置，采用闭环反馈锁相方式，能够在不同角度下得到幅值稳定的振动测量结果，有效的实现了稳健的反射式振动测量，并且有效的应用在垂直入射无法测量的振动测量领域，解决了开环测试的角度依赖性的问题。
最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上对本发明所提供的反射式反馈锁相激光振动测量装置及其测量方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (10)

1.一种反射式反馈锁相激光振动测量装置，其特征在于，包括：反射式振动测量模块，单模半导体激光二极管，以及与所述单模半导体激光二极管电性连接的锁相激光驱动模块；其中，
所述单模半导体激光二极管，用于向倾斜的被测物表面发出入射激光，接收经所述反射式振动测量模块返回的反射激光并形成干涉，产生自混合波形并转化为光电流；
所述反射式振动测量模块，用于垂直接收经所述被测物表面反射后的反射激光，并将反射激光按照原光路返回至所述单模半导体激光二极管；
所述锁相激光驱动模块，用于对所述单模半导体激光二极管产生的光电流进行处理，并对所述单模半导体激光二极管进行反馈控制形成闭环反馈检测，在输出端得到所述被测物的振动信号。
2.根据权利要求1所述的反射式反馈锁相激光振动测量装置，其特征在于，所述反射式振动测量模块包括反射镜，以及用于固定所述反射镜的支撑调节机构；其中，
所述反射镜的反射面与经所述被测物表面反射后的反射激光的传播方向相互垂直。
3.根据权利要求2所述的反射式反馈锁相激光振动测量装置，其特征在于，所述单模半导体激光二极管内置有激光器和探测器；其中，
所述激光器，用于向倾斜的被测物表面发出入射激光，接收经所述反射式振动测量模块返回的反射激光，以及通过所述锁相激光驱动模块的反馈控制改变输出功率；
所述探测器，用于将所述自混合波形经检测转化为光电流。
4.根据权利要求3所述的反射式反馈锁相激光振动测量装置，其特征在于，所述锁相激光驱动模块包括跨阻放大模块，直流偏置模块，增益调节模块，可控开关，压控电流源模块，参考电压模块；其中，
所述跨阻放大模块，与所述探测器电性连接，用于将所述探测器产生的光电流转化为电压信号，并将所述电压信号进行放大输出；
所述直流偏置模块，用于对所述跨阻放大模块的输出信号进行直流补偿；
所述增益调节模块，用于调节经所述直流补偿后的信号的放大比例，输出自混合信号；
所述可控开关，用于通过断开或开启来控制开环测量或闭环测量；
所述参考电压模块，用于提供参考电压；
所述压控电流源模块，分别与所述可控开关、所述参考电压模块和所述激光器电性连接，用于在进行开环测量时，结合所述参考电压为所述激光器提供恒流驱动；在进行闭环测量时，结合所述参考电压和所述自混合信号，形成对所述激光器的反馈控制。
5.根据权利要求4所述的反射式反馈锁相激光振动测量装置，其特征在于，所述锁相激光驱动模块还包括分别与所述增益调节模块和所述可控开关电性连接的低通滤波模块；
所述低通滤波模块，用于去除经所述增益调节模块调节放大比例后的信号内包含的高频噪声。
6.根据权利要求5所述的反射式反馈锁相激光振动测量装置，其特征在于，所述可控开关，具体用于在进行开环测量及对所述直流偏置模块和所述增益调节模块进行粗调时，处于断开状态；在进行闭环测量及对所述直流偏置模块和所述增益调节模块进行微调时，处于闭合状态。
7.一种如权利要求1至6任一项所述反射式反馈锁相激光振动测量装置的测量方法，其特征在于，包括：
单模半导体激光二极管向倾斜的被测物表面发出入射激光；
反射式振动测量模块垂直接收经所述被测物表面反射后的反射激光，并将反射激光按照原光路返回至所述单模半导体激光二极管；
所述单模半导体激光二极管接收经所述反射式振动测量模块返回的反射激光并形成干涉，产生自混合波形并转化为光电流；
锁相激光驱动模块对所述单模半导体激光二极管产生的光电流进行处理，并对所述单模半导体激光二极管进行反馈控制形成闭环反馈检测，在输出端得到所述被测物的振动信号。
8.根据权利要求7所述的反射式反馈锁相激光振动测量装置的测量方法，其特征在于，锁相激光驱动模块对所述单模半导体激光二极管产生的光电流进行处理，并对所述单模半导体激光二极管进行反馈控制形成闭环反馈检测，具体包括：
可控开关处于断开状态时，跨阻放大模块将所述单模半导体激光二极管中探测器产生的光电流转化为电压信号，并将所述电压信号进行放大输出；
直流偏置模块对所述跨阻放大模块的输出信号进行直流补偿；
增益调节模块调节经所述直流补偿后的信号的放大比例；
低通滤波模块去除经所述增益调节模块调节放大比例后的信号内包含的高频噪声，输出开环测量所得的自混合信号；
将所述可控开关进行闭合后，压控电流源模块结合所述参考电压模块提供的参考电压和闭环测量所得的自混合信号，形成对所述单模半导体激光二极管中激光器进行反馈控制形成闭环反馈检测。
9.根据权利要求8所述的反射式反馈锁相激光振动测量装置的测量方法，其特征在于，根据所述开环测量所得的自混合信号，采用下述公式得到所述被测物的开环振动位移：
Figure FDA0002341885260000031
其中，ΔL表示所述被测物的开环振动位移；λ表示所述激光器输出光中心波长；N表示所述开环测量所得的自混合信号的条纹数。
10.根据权利要求9所述的反射式反馈锁相激光振动测量装置的测量方法，其特征在于，根据在输出端得到所述被测物的振动信号，采用下述公式得到所述被测物的振动位移：
Figure FDA0002341885260000032
其中，D表示所述被测物的振动位移；k表示所述被测物的振动敏感度；A表示所述被测物的振动信号的峰值，V表示在输出端输出的电压值。
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