CN111044183B - 柔性压力传感及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
柔性压力传感及其制备方法，该柔性压力传感器包括，第一电极层、第二电极层、介电层、设置于介电层与第一电极层之间的第一过渡层及设置于介电层与第二电极层之间的第二过渡层，第一过渡层由第一电极层材料及介电层材料混合而成，第二过渡层由第二电极层材料及第二过渡层材料混合而成。该柔性压力传感器能够使得不同的材料之间具有较高的结合力，提高压力传感器的可靠性。
Description
技术领域
本发明涉及可穿戴传感器技术领域，尤其是一种柔性压力传感及其制备方法。
背景技术
可穿戴传感器可实现人体多种指标的连续、无创检测，在现代医疗检测中正扮演越来越重要的角色。例如可在衣物中引入柔性压力传感器以监测心率、脉搏等生理信号，或在鞋中加入压力传感器以监测使用者的足底压力、步态并评估运动状态和损伤。
压力传感器可分为电阻式、电容式和压电式压力传感器，不同种类的传感器传感原理不同，但评价一个传感器性能好坏的指标都是一样的，主要包括灵敏度、稳定性、线性度、精度、分辨率、量程和迟滞等。目前，压电式、电容式和电阻式柔性传感器的最高灵敏度分别为0.02kPa-1、0.55kPa-1、1.8kPa-1，压电式压力传感器的最大量程可达几十到几百MPa，而电容式和电阻式压力传感器的最大量程小于1MPa,因此，若要获得更高灵敏度大量程的压力传感器，往往选用电容式和压电式复合压力传感器进行研究，但压电式压力传感器主要是用来测动态压力，无法对静态压力进行检测，而电容式压力传感器即可测动态压力，也可测静态压力。
电容式柔性压力传感器由柔性高弹性的介质材料及附着于介质材料两面的柔性导电材料组成，介质材料的电容等于介质基体的介电常数与面积的乘积除以厚度，
电容由介质材料的介电常数、面积和厚度决定。
在现有技术中，介电材料与导电材料为两种不同材料，导电材料与介质材料之间一般通过压合法、沉积法或者粘合法来粘接，但是上述的粘结方式不牢靠，且会影响器件的性能。
进一步地，通过电容式柔性压力传感器的工作原理可知，若需要高灵敏度的传感器，一般会选用模量较低，弹性较高的介电材料，而若需要大量程的压力传感器，一般会选择模量较高的介电材料，以抵抗较大的压力，因此很难有一种同时兼顾高灵敏度及大量程的柔性压力传感器的存在。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种柔性压力传感及其制备方法，该柔性压力传感器能够使得不同的材料之间具有较高的结合力，提高压力传感器的可靠性。
本发明提供了一种柔性压力传感器，包括介电层、第一电极层、第二电极层、第一过渡层及第二过渡层，从所述柔性压力传感器的一侧至另一侧，所述第一电极层、所述第一过渡层、所述介电层、所述第二过渡层及所述第二电极层依次层叠设置，所述第一过渡层由所述第一电极层的材料及所述介电层的材料混合制成，所述第一过渡层内含有第一电极层材质的纳米金属颗粒，所述第二过渡层由所述第二电极层的材料及所述介电层的材料混合制成，所述第二过渡层内含有第二电极层材质的纳米金属颗粒。
进一步地，所述第一过渡层及所述第二过渡层的厚度为20-100nm，所述第一电极层及所述第二电极层的厚度为20-100nm。
进一步地，所述第一过渡层及所述第二过渡层内还混合有多巴胺或硅烷偶联剂。
进一步地，所述介电层包括模量及弹性不同的第一介电层及第二介电层，以及设置于所述第一介电层与所述第二介电层之间的介电过渡层，所述介电过渡层由第一介电层的材料及所述第二介电层的材料混合而成，所述第一过渡层设置于所述第一介电层与所述第一电极层之间，所述第一过渡层由所述第一介电层的材料及所述第一电极层的材料混合而成，所述第二过渡层设置于所述第二介电层与所述第二电极层之间，所述第二过渡层由所述第二介电层的材料及所述第二电极层的材料混合而成。
进一步地，所述第一介电层为弹性形变高于100％、弹性模量低于2MPa的高弹性形变、低弹性模量材料，所述第二介电层为弹性形变低于100％、弹性模量高于2MPa的低弹性、高模量材料。
进一步地，所述第一介电层相比于所述第二介电层更靠近所述柔性压力传感器的受力面。
本发明还提供了一种柔性压力传感器的制备方法，该方法包括如下步骤：
提供介电层；
配置介电层材料的第一溶液，并在该第一溶液中加入第一电极层材料的纳米金属颗粒，以及配置介电层材料的第二溶液，并在该溶液中加入第二电极层材料的纳米金属颗粒；
将假如有纳米金属颗粒的所述第一溶液及所述第二溶液分别涂覆于所述介电层的两侧，并进行烘干，以形成第一过渡层及第二过渡层；
分别在所述第一过渡层及所述第二过渡层远离所述介电层的一侧上形成第一电极及第二电极。
进一步地，在配置所述第一溶液及所述第二溶液时，按质量百分比计，所述介电层材料与溶剂材料分别按照5％～16％和95％～84％进行混合，所述第一电极层材料或所述第二电极层材料的纳米金属颗粒占加入所述纳米金属颗粒后溶液的质量百分比为1wt％～10wt％。
进一步地，所述第一溶液及所述第二溶液内还含有以浓度计1-5g/L的多巴胺或以质量计10～16％的硅烷偶联剂。
进一步地，该方法还包括：
提供第一介电层及第二介电层；
配置含有所述第一介电层材料及所述第二介电层材料的第三溶液，并将该所述第三溶液涂覆于所述第一介电层及所述第二介电层上，以形成介电过渡层；
将所述第一介电层及所述第二介电层通过所述介电过渡层贴合于一体。
进一步地，以质量百分比计，所述第一介电层材料及所述第二介电层材料在所述第三溶液内的含量分别为5％-8％及5％-8％。
综上所述，本发明通过第一过渡层及第二过渡层的设置，并使得第一过渡层由第一电极层的材料及介电层的材料混合制成，第二过渡层由第二电极层的材料及介电层的材料混合制成。也即在介电层与两个电极之间，分别通过掺杂介电层与对应的电极层的材料而形成过渡层，这能够提高第一电极层及第二电极层与介电层之间的粘结性能，提高截面结合强度，继而提高压力传感器的可靠性。进一步地，介电层由模量及弹性不同的第一介电层及第二介电层组成，并且第一介电层及第二介电层之间设置有由相邻两个介电层材料形成的介电过渡层，这能够提高其灵敏度，增大其量程。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
附图说明
图1所示为本发明第一实施例中柔性压力传感器的截面结构示意图。
图2所示为本发明第二实施例中柔性压力传感器的截面结构示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，详细说明如下。
本发明提供了一种柔性压力传感及其制备方法，该柔性压力传感器能够使得不同的材料之间具有较高的结合力，提高压力传感器的可靠性。
图1所示为本发明第一实施例中柔性压力传感器的截面结构示意图。如图1所示，本发明提供的柔性压力传感器包括介电层10、第一电极层21、第二电极层22、第一过渡层31及第二过渡层32，从柔性压力传感器的一侧至另一侧，第一电极层21、第一过渡层31、介电层10、第二过渡层32及第二电极层22依次层叠设置。也即，介电层10设置于第一过渡层31与第二过渡层32之间，第一过渡层31设置于第一电极层21与介电层10之间，第二过渡层32设置于介电层10与第二电极层22之间。在本实施例中，第一过渡层31由第一电极层21材料的及介电层10的材料混合制成，第二过渡层32由第二电极层22的材料及介电层10的材料混合制成。
在本实施例中，通过第一过渡层31及第二过渡层32的设置，并使得第一过渡层31由第一电极层21的材料及介电层10的材料混合制成，第二过渡层32由第二电极层22的材料及介电层10的材料混合制成。也即在介电层10与两个电极之间，分别通过掺杂介电层10与对应的电极层的材料而形成过渡层，这能够提高第一电极层21及第二电极层22与介电层10之间的粘结性能，提高截面结合强度，继而提高压力传感器的可靠性。
在本实施例中，介电层10的厚度为0.5-5mm，第一过渡层31及第二过渡层32的厚度为20-100nm，第一电极层21及第二电极层22的厚度为20-100nm。
介电层10的材质可以为PVDF(聚偏氟乙烯)，第一电极层21及第二电极层22的材料可以为纳米银、金、铂、铜、铝等纳米金属颗粒。以及，若介电材料层的材质为PVDF，而第一电极层21的材质为纳米银，则第一过渡层31的材质为PVDF与纳米银的混合物；若第二电极层22的材质为纳米金，则第二过渡层32的材质为PVDF与纳米金的混合物。
第一过渡层31及第二过渡层32可以由纳米金属颗粒加入介电层10材料形成的溶液内，并经过烘干而成。为了增加第一电极层21及第二电极层22材质的纳米金属颗粒在第一过渡层31及第二过渡层32内的均匀性，在第一过渡层31及第二过渡层32还加入有多巴胺。通过在制备过程中的含有纳米金属颗粒的介电层10材料的溶液内加入多巴胺，可以改善纳米金属颗粒在第一过渡层31及第二过渡层32内分布的均匀。在其它实施例中，也可以用硅烷偶联剂来替代多巴胺，改善纳米金属颗粒在第一过渡层31及第二过渡层32内的均匀性。
图2所示为本发明第二实施例中柔性压力传感器的截面结构示意图。如图2所示，本发明第二实施例提供的柔性压力传感器与第一实施例基本相同，其不同之处在于，在本实施例中，介电层10包括模量及弹性不同的第一介电层11、第二介电层12及设置于第一介电层11与第二介电层12中间的介电过渡层13，介电过渡层13由第一介电层11的材料及第二介电层12的材料混合而成。第一过渡层31形成于第一介电层11与第一电极层21之间，第二过渡层32形成于第二介电层12与第二电极之间，与之相应地，第一过渡层31由第一介电层11的材料及第一电极层21的材料混合而成，第二过渡层32由第二介电层12的材料及第二电极层22的材料混合而成。
在本实施例中，通过将介电层10同样由第一介电层11及第二介电层12两种材质组成，其可以根据需要选用不同的模量及弹性的材质，例如，可以将其中之一选用低模量、高弹性的材质，以提高柔性压力传感器的灵敏度；且将其中另一选用高模量，低弹性的材质，以增大柔性压力传感器的量程。通过在第一介电层11及第二介电层12之间设置介电过渡层13，并使介电过渡层13由第一介电层11的材料及第二介电层12的材料混合而成，这能够提高两种介电层10之间的结合性能，通过对两个介电层10材料之间的界面调控，使得整个介电层10融为一体，实现高可靠性压力传感器的制备。
在本实施例中，第一介电层11的厚度可以为0.5～2.5mm，第二介电层12的厚度可以为0.5～2.5mm，介电过渡层13的厚度可以为20-100nm。
在本实施例中，第一介电层11为弹性形变高于100％、弹性模量低于2MPa的高弹性形变、低弹性模量材料，如PDMS(聚二甲基硅氧烷，polydimethylsiloxane)，第二介电层12为弹性形变低于100％、弹性模量高于2MPa的低弹性形变、高弹性模量材料，如PVDF。
在本实施例中，第一介电层11相比于第二介电层12在柔性压力传感器中的位置，更靠近柔性压力传感器的受力面，也即，如图2所示，若柔性压力传感器主要是检测第一电极层21上方受到的作用力，那么，第一介电层11相比于第二介电层12更靠近上方。
由于高弹性、低模量材料可以对较小的力做出响应，因此，通过将第一介电层11更靠近受力面设置，能够更好地对较小的作用力进行检测，这能够进一步地提高柔性压力传感器的灵敏度。在柔性压力传感器收到较大的作用力时，作用力能够穿过第一介电层11作用于第二介电层12上；由于低弹性、高模量材料能够抵抗较大的压力，这一方面能够更好地为高弹性、低模量材料的第一介电层11进行支撑，另一方面也能够增大柔性压力传感器的量程。使得柔性压力传感器同时兼顾高灵敏度及大量程的优点。
本发明还提供了一种柔性压力传感器的制备方法，该制备方法包括如下步骤：
提供介电层10；
配置介电层10材料的第一溶液，并在该第一溶液中加入第一电极层21材料的纳米金属颗粒，以及配置介电层10材料的第二溶液，并在该第二溶液中加入第二电极层22材料的纳米金属颗粒；
将加入有纳米金属颗粒的第一溶液及第二溶液分别涂覆于介电层10的两侧，并进行烘干，以形成第一过渡层31及第二过渡层32；
分别在第一过渡层31及第二过渡层32远离介电层10的一侧上形成第一电极层21及第二电极层22，以制得柔性压力传感器。
进一步地，在配置第一溶液及第二溶液时，可以以DMF(N,N-二甲基甲酰胺，N,N-Dimethylformamide)为溶剂，按照介电层材料10及溶剂质量百分比分别为5％～16％和95％～84％进行混合，并通过加热及磁力搅拌处理，使得介电层10材料完全溶解于溶剂中。然后向其中加入第一电极层21或第二电极层22相同材质的纳米金属颗粒，纳米金属颗粒占整个溶液的质量百分比为1wt％～10wt％：并均匀分散，以形成第一溶液或第二溶液。
进一步地，为了提高纳米金属颗粒在溶液中的分散性能，在第一溶液及第二溶液中还可以加入多巴胺或硅烷偶联剂，以浓度计，多巴胺在溶液内的含量为1-5g/L，并调节其PH为8-12，硅烷偶联剂在溶液内的质量比含量为：10～16％。
进一步地，在将第一溶液及第二溶液涂覆于介电层10的两侧时，可以通过旋涂的方法进行，其转速为800r～2000r/min，时间为30s～1min，烘干后得到的第一过渡层31及第二过渡层32的厚度为20-100nm。在将第一电极层21及第二电极层22形成于第一过渡层31及第二过渡层32上时，可以通过旋涂的方式进行，其转速为800r～2000r/min，时间为30s～1min，烘干后得到的第一电极层21及第二电极层22的厚度为20-100nm。
在本发明的另一个实施例中，该方法还包括：
提供第一介电层11及第二介电层12；
配置含有第一介电层11材料及第二介电层12材料的第三溶液，并将第三溶液涂覆于第一介电层11及第二介电层12上，以形成介电过渡层13；
将第一介电层11及第二介电层12通过介电过渡层13贴合于一体，以形成介电层10。
在第三溶液中，以质量百分比计，第一介电层11材料与第二介电层12材料的质量分数分别为5％-8％和5％-8％。
以下以具体实施例来对柔性压力传感器的制备方法进行说明：
实施例1
将1g的PVDF粉体融入10g的DMF溶液，设置40℃并磁力搅拌直至PVDF粉体全部溶解，在溶液中加入0.01g多巴胺，用氨水调节PH值为8，再加入0.11g的纳米银颗粒，搅拌均匀，将混合液旋涂于PVDF介电层10的上、下表面，转速800r/min，时间30s，固化后得到厚度为100nm的第一过渡层31及第二过渡层32，再旋涂纳米银浆，转速800r/min，时间30s，固化后得到厚度为100nm的第一电极层21及第二电极层22。得到高可靠性压电式柔性压力传感器，传感器的灵敏度为0.1kpa-1，量程为200Mpa，电极层与基体材料的结合力采用百格法测试，第一电极层21及第二电极层22与PVDF的结合力通过百格法测试的结果约为5B，具有高可靠性。
实施例2
将1g的PVDF粉体融入10g的DMF溶液，设置80℃并磁力搅拌直至PVDF粉体全部溶解，在溶液中加入0.02g多巴胺，用氨水调节PH值为12，再加入1.1g的纳米铂颗粒，搅拌均匀，将混合液旋涂于PVDF介电层10的上、下表面，转速2000r/min，时间1min，固化后得到厚度为20nm的第一过渡层31及第二过渡层32，再旋涂纳米铂浆料，转速2000r/min，时间1min，固化后得到厚度为20nm的第一电极层21及第二电极层22。得到高可靠性压电式柔性压力传感器，传感器的灵敏度为0.2kpa-1，量程为500MPa，电极层与基体材料的结合力采用百格法测试，第一电极层21及第二电极层22与PVDF的结合力通过百格法测试的结果约为5B，具有高可靠性。
实施例3
将PDMS前基体10g和固化剂1g与0.03g多巴胺(加入氨水调节PH值为8)和纳米银颗粒0.11g均匀混合，将混合液旋涂于PDMS材质的第一介电层11的上表面，转速：800r/min，时间30s，固化后得到厚度为100nm的第一过渡层31，在第一过渡层31的上表面再旋涂纳米银浆料，转速：800r/min,时间30s，固化后形成厚度为100nm的第一电极层21。
将1g的PVDF粉体融入10g的DMF溶液，设置40℃并磁力搅拌直至PVDF粉体全部溶解。
将PDMS前基体10g和固化剂1g混合均匀，在其中加入PVDF的DMF溶液1.1g，混合均匀，将混合液旋涂于PVDF材质的第二介电层12的上表面，转速：800r/min，时间30s，形成厚度为100nm的介电过渡层13。
将上述PDMS材质的第一介电层11的下表面贴敷于介电过渡层13上。
将1g的PVDF粉体融入10g的DMF溶液，设置40℃并磁力搅拌直至PVDF粉体全部溶解。在PVDF的DMF溶液中加入0.04g多巴胺(加入氨水，调节PH值为8)，再加入一定量的纳米银颗粒0.11g，搅拌并分散均匀。将混合溶液旋涂到上述PVDF材质的第二介电层12的下表面，转速：800r/min,时间30s，固化后得到的第二过渡层32的厚度为100nm，再在第二过渡层32的上表面旋涂纳米银浆料，转速：800r/min,时间30s，固化后形成厚度为100nm的第二电极层22。得到高可靠性大量程高灵敏压力传感器，传感器的灵敏度为1kpa-1，量程为800MPa，电极层与基体材料的结合力采用百格法测试，第一电极层21与PDMS的结合力及第二电极层22与PVDF的结合力通过百格法测试的结果约为5B，具有高可靠性。
实施例4
将PDMS前基体10g和固化剂1g与0.05g多巴胺(加入氨水调节PH值为12)和纳米铂颗粒0.11g均匀混合，将混合液旋涂于PDMS材质的第一介电层11的上表面，转速：2000r/min，时间1min，固化后得到厚度为20nm的第一过渡层31，再在第一过渡层31的上表面旋涂纳米铂浆料，转速：2000r/min,时间1min，固化后形成厚度为20nm的第一电极层21。
将1g的PVDF粉体融入10g的DMF溶液，设置80℃并磁力搅拌直至PVDF粉体全部溶解。
将PDMS前基体10g和固化剂1g混合均匀，在其中加入PVDF的DMF溶液5.5g，混合均匀，将混合液旋涂于PVDF材质的第二介电层12的上表面，转速：2000r/min，时间1min，形成厚度为20nm的介电过渡层13。
将上述PDMS材质的第一介电层11的下表面贴敷于介电过渡层13之上。
将1g的PVDF粉体融入10g的DMF溶液，设置80℃并磁力搅拌直至PVDF粉体全部溶解。在PVDF的DMF溶液中加入0.05g多巴胺(加入氨水，调节PH值为12)，再加入一定量的纳米铂颗粒1.1g，搅拌并分散均匀。将混合溶液旋涂到上述PVDF材质的第二介电层12的下表面，转速：2000r/min,时间1min，固化后得到的第二过渡层32的厚度为20nm，再旋涂纳米铂金属浆料，转速：2000r/min,时间1min，固化后形成厚度为20nm的第二电极层22。得到高可靠性大量程高灵敏压力传感器，传感器的灵敏度为1.5kpa-1，量程为1GPa，电极层与基体材料的结合力采用百格法测试，第一电极层21与PDMS的结合力及第二电极层22与PVDF的结合力通过百格法测试的结果约为5B，具有高可靠性。
实施例5
将1g的PVDF粉体融入10g的DMF溶液，设置40℃并磁力搅拌直至PVDF粉体全部溶解，在溶液中加入1.66g硅烷偶联剂，再加入0.13g的纳米银颗粒，搅拌均匀，将混合液旋涂于PVDF介电层10的上、下表面，转速800r/min，时间30s，固化后得到厚度为100nm的第一过渡层31及第二过渡层32，再旋涂纳米银浆，转速800r/min，时间30s，固化后得到厚度为100nm的第一电极层21及第二电极层22。得到高可靠性压电式柔性压力传感器，传感器的灵敏度为0.1kpa-1，量程为200Mpa，电极层与基体材料的结合力采用百格法测试，第一电极层21及第二电极层22与PVDF的结合力通过百格法测试的结果约为5B，具有高可靠性。
对比例1
将纳米银浆料旋涂于PVDF介电层10的上、下表面，转速800r/min，时间30s，固化后得到厚度为100nm的第一电极层21及第二电极层22。得到压电式柔性压力传感器，传感器的灵敏度为0.1kpa-1，量程为600MPa，电极层与基体材料的结合力采用百格法测试，第一电极层21及第二电极层22与PVDF的结合力通过百格法测试的结果约为3B，可靠性较低。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
Claims (11)
1.一种柔性压力传感器，其特征在于：包括介电层、第一电极层、第二电极层、第一过渡层及第二过渡层，从所述柔性压力传感器的一侧至另一侧，所述第一电极层、所述第一过渡层、所述介电层、所述第二过渡层及所述第二电极层依次层叠设置，所述第一过渡层由所述第一电极层的材料及所述介电层的材料混合制成，所述第一过渡层内含有第一电极层材质的纳米金属颗粒，所述第二过渡层由所述第二电极层的材料及所述介电层的材料混合制成，所述第二过渡层内含有第二电极层材质的纳米金属颗粒。
2.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于：所述第一过渡层及所述第二过渡层的厚度为20-100nm，所述第一电极层及所述第二电极层的厚度为20-100nm。
3.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于：所述第一过渡层及所述第二过渡层内还混合有多巴胺或硅烷偶联剂。
4.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于：所述介电层包括模量及弹性不同的第一介电层及第二介电层，以及设置于所述第一介电层与所述第二介电层之间的介电过渡层，所述介电过渡层由第一介电层的材料及所述第二介电层的材料混合而成，所述第一过渡层设置于所述第一介电层与所述第一电极层之间，所述第一过渡层由所述第一介电层的材料及所述第一电极层的材料混合而成，所述第二过渡层设置于所述第二介电层与所述第二电极层之间，所述第二过渡层由所述第二介电层的材料及所述第二电极层的材料混合而成。
5.根据权利要求4所述的柔性压力传感器，其特征在于：所述第一介电层为弹性形变高于100％、弹性模量低于2MPa的高弹性形变、低弹性模量材料，所述第二介电层为弹性形变低于100％、弹性模量高于2MPa的低弹性、高模量材料。
6.根据权利要求5所述的柔性压力传感器，其特征在于：所述第一介电层相比于所述第二介电层更靠近所述柔性压力传感器的受力面。
7.一种柔性压力传感器的制备方法，其特征在于：该方法包括如下步骤：
提供介电层；
配置介电层材料的第一溶液，并在该第一溶液中加入第一电极层材料的纳米金属颗粒，以及配置介电层材料的第二溶液，并在该溶液中加入第二电极层材料的纳米金属颗粒；
将加入有纳米金属颗粒的所述第一溶液及所述第二溶液分别涂覆于所述介电层的两侧，并进行烘干，以形成第一过渡层及第二过渡层；
分别在所述第一过渡层及所述第二过渡层远离所述介电层的一侧上形成第一电极及第二电极。
8.根据权利要求7所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于：在配置所述第一溶液及所述第二溶液时，按质量百分比计，所述介电层材料与溶剂分别按照5％～16％和95％～84％进行混合，所述第一电极层材料或所述第二电极层材料的纳米金属颗粒占加入所述纳米金属颗粒后溶液的质量百分比为1wt％～10wt％。
9.如权利要求7所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于：所述第一溶液及所述第二溶液内还含有以浓度计1-5g/L的多巴胺或以质量计10～16％的硅烷偶联剂。
10.如权利要求7所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于：该方法还包括：
提供第一介电层及第二介电层；
配置含有所述第一介电层材料及所述第二介电层材料的第三溶液，并将该所述第三溶液涂覆于所述第一介电层及所述第二介电层上，以形成介电过渡层；
将所述第一介电层及所述第二介电层通过所述介电过渡层贴合于一体。
11.如权利要求10所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于：以质量百分比计，所述第一介电层材料及所述第二介电层材料在所述第三溶液内的含量分别为5％-8％及5％-8％。
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