CN114354030A - 具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器及制备方法 - Google Patents
具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器及制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114354030A CN114354030A CN202111485245.4A CN202111485245A CN114354030A CN 114354030 A CN114354030 A CN 114354030A CN 202111485245 A CN202111485245 A CN 202111485245A CN 114354030 A CN114354030 A CN 114354030A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- modulus
- microstructure
- flexible
- layer
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title abstract description 11
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 31
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 25
- 238000009459 flexible packaging Methods 0.000 claims description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 17
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 claims description 11
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 claims description 8
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 claims description 8
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 claims description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- -1 polydimethylsiloxane Polymers 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N octamethyltrisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000004987 plasma desorption mass spectroscopy Methods 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 13
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 7
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 7
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 4
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 229920005839 ecoflex® Polymers 0.000 description 2
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000011540 sensing material Substances 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
本发明公布了一种具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器及其制备方法。柔性传感层表面上设有低模量微结构、高模量微结构，低模量微结构尺寸大于高模量微结构尺寸，且高模量微结构的模量高于低模量微结构；电极层布置在柔性膜层的内表面且和柔性传感层表面接触，电极层和柔性传感层整体被柔性膜层和柔性封装层封装在一个相对封闭的空间中。本发明使压力传感器具有较好的柔性，便于贴附在复杂表面使用，大大拓宽传感器的量程，克服压力传感器高灵敏度与宽量程难以兼得的问题，可有效拓宽应用范围。
Description
技术领域
本发明涉及一种柔性压力传感器及制备方法，具体是涉及了一种具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器及其制备方法。
背景技术
柔性压力传感器可通过模仿人类皮肤的功能为机器与周围环境的交互提供解决方案，并有望应用在人机交互、智能机器人、健康监测等多个领域，是目前柔性传感器领域的重要组成部分。为更好地实现感知功能，满足不同场景下的应用需求，柔性压力传感器需感知包括超低压力(<1kPa)、低压力(1-10kPa)、中等压力(10-100kPa)及高压力(>100kPa)等多个范围内的信息，即足够宽的量程，同时需在整个量程范围内均保持较高的灵敏度。
通常在传感材料中设计精细的微结构可有效提高传感器的灵敏度，然而在外力较大时微结构的形变接近饱和，导致灵敏度及整体传感性能下降，不能获得足够宽的量程。因此，如何在较宽的量程范围内保持高灵敏度，是柔性压力传感器性能提升的难点。
发明内容
为了解决背景技术中存在的问题，本发明的目的是提供一种具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器及其制备方法，克服压力传感器高灵敏度与宽量程难以兼得的问题，拓宽压力传感器的应用范围。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：
一、一种具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器：
包含柔性膜层、电极层、柔性传感层和柔性封装层，所述的柔性传感层表面上设有低模量微结构、高模量微结构，低模量微结构尺寸大于高模量微结构尺寸，且高模量微结构的模量高于低模量微结构；电极层布置在柔性膜层的内表面且和柔性传感层表面接触，电极层和柔性传感层整体一起被柔性膜层和柔性封装层封装在一个相对封闭的空间中。
所述的柔性传感层包括基底微结构和基底微结构上的低模量微结构、高模量微结构，基底微结构和电极层之间间隔布置，低模量微结构、高模量微结构位于基底微结构和电极层之间的间隔中。
所述的柔性封装层内形成空腔，将柔性传感层置于在空腔内部，柔性封装层的空腔开口端面与柔性膜层黏附在一起。
所述柔性传感层置于空腔内后的上面紧贴布置电极层，电极层上面紧贴布置柔性膜层。
包括多个高模量微结构和多个低模量微结构，各个低模量微结构的模量相同，各个高模量微结构的模量相同。
所述的低模量微结构、高模量微结构和基底微结构的表面涂覆有导电涂层，或者在低模量微结构、高模量微结构和基底微结构的内部掺杂有导电物质。
还包括导线，导线分为第一导线和第二导线，第一导线和第二导线分别连接到电极层和导电涂层，或者分别连接到电极层和柔性传感层。
如图1-图3所示，所述的高模量微结构和低模量微结构均为截面梯形的凸起结构。
二、一种压力传感器制备方法：
S1、选用光敏基团修饰的聚二甲基硅氧烷PDMS作为前驱体，利用模板法制备具有两种不同尺寸大小微结构的柔性膜，对柔性膜进行加热预固化，控制加热时间和温度等调控材料的初始模量，其中微结构的尺寸存在梯度差异，获得微结构化的柔性膜；具体实施中，通过控制烘箱或加热台的温度高低、加热时间长短控制固化程度和模量，温度越高模量越高，加热时间越长模量越高。
S2、借助掩膜板对微结构化的柔性膜进行选择性紫外交联，调节辐照强度、辐照时间等调节局部区域的模量，使得其中两种不同尺寸大小微结构具有模量梯度分布，即具有不同的模量；具体实施中，通过控制紫外固化箱的紫外辐照强度、辐照时间长短控制固化程度和模量，辐照强度越高模量越高，辐照时间越长模量越高。
S3、在所得柔性膜的两种不同尺寸大小微结构表面涂覆导电涂层，得到柔性传感层；
S4、在柔性膜层上涂覆电极层，与柔性传感层构成多层结构，其中电极层和柔性传感层中的导电涂层表面均连接导线引出，并与外部电路相连；
S5、借助柔性封装层将柔性传感层、电极层和导线包覆在内部，并与柔性膜层黏附在一起，使得柔性传感层的微结构与柔性膜层之间形成空腔，得到所述压力传感器。
所述S2、中，借助掩膜板对微结构化的柔性膜进行选择性紫外交联，具体是针对高模量微结构设置掩膜板进行紫外光照，使得仅高模量微结构的部分被紫外光照，提高模量。
通过上述制备方式通过加热预固化形成了一定的模量，制备获得了低模量微结构，然后在通过紫外交联使得高模量微结构的部分被提高模量，实现了高模量微结构和低模量微结构两种模量的区分制备。
本发明的有益效果是：
本发明压力传感器具有较好的柔性，便于贴附在复杂表面使用；利用传感材料中的微结构，可大大提高灵敏度。
本发明借助不同模量和尺寸的微结构的先后变形，可大大拓宽传感器的量程；克服了压力传感器高灵敏度与宽量程难以兼得的问题，可有效拓宽压力传感器的应用范围。
附图说明
图1是本发明压力传感器的结构示意图；
图2是图1中沿A-A方向的剖面图；
图3是图1中柔性传感层微结构的示意图；
图4是本发明压力传感器的电阻变化率(ΔR/R)随施加的压强(P)的变化图；
图5是微结构为梯台形且柔性传感层表面无导电涂层的压力传感器的结构示意图。
图中，1-柔性膜层，2-电极层，3-柔性传感层，31-低模量微结构，32-高模量微结构，33-导电涂层，401-第一导线，402-第二导线，5-柔性封装层，6-空隙。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施例对本发明作进一步详细说明。
如图1和图2所示，包含柔性膜层1、电极层2、柔性传感层3和柔性封装层5，柔性传感层3表面上设有两种不同的低模量微结构31、高模量微结构32，低模量微结构31尺寸大于高模量微结构32尺寸，且高模量微结构32的模量高于低模量微结构31，使得形成模量梯度结构关系；电极层2覆盖在柔性膜层1底部，电极层2和柔性传感层3表面接触，电极层2和柔性传感层3整体被柔性膜层1和柔性封装层5封装在一个相对封闭的空间中。
柔性传感层3包括基底微结构和基底微结构上的低模量微结构31、高模量微结构32，基底微结构和电极层2之间间隔布置，低模量微结构31、高模量微结构32位于基底微结构和电极层2之间的间隔中。
具体实施设置多个高模量微结构32和多个低模量微结构31，各个低模量微结构31的模量相同，各个高模量微结构32的模量相同。如图3所示，多个高模量微结构32和多个低模量微结构31均在基底微结构上间隔均布，高模量微结构32和低模量微结构31可以交替布置。
柔性封装层5内形成空腔，将柔性传感层3及部分导线置于在空腔内部，柔性封装层5的空腔开口端面与柔性膜层1黏附在一起。柔性传感层3置于空腔内后的上面紧贴布置电极层2，电极层2上面紧贴布置柔性膜层1。
低模量微结构31、高模量微结构32和基底微结构的表面涂覆有导电涂层33，如图1和图2所示；或者在低模量微结构31、高模量微结构32和基底微结构的内部掺杂有导电物质，不涂覆有导电涂层33，如图5所示。
还包括导线401、402，导线401、402分为第一导线401和第二导线402，第一导线401和第二导线402分别连接到电极层2和导电涂层33，或者分别连接到电极层2和柔性传感层3。
本发明的实施例如下：
实施例1：
以下以图1至图3所示的实施例为例，说明本发明具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器的结构和制备方法，及其工作机理。本实施例中柔性传感层的微结构为梯台形。
如图1和图2所示，在聚酰亚胺(PI)柔性膜层1上溅射金电极层2；在具有不同尺寸(1-100μm)梯台形微结构的模板中，浇注甲基丙烯酸酯修饰的改性聚二甲基硅氧烷(M-PDMS)，并在60℃下预固化30分钟，得到具有不同尺寸微结构的低模量的M-PDMS膜；将该M-PDMS膜从模板中取出来后，在紫外灯下借助掩膜板对其进行选择性紫外交联，使紫外光仅可照射其中的小尺寸微结构进行进一步交联，辐照强度100μW/cm2，辐照时间30-120s，得到大尺寸的低模量微结构31和小尺寸的高模量微结构32，如3所示。用等离子处理M-PDMS膜具有微结构一侧的表面，随后在其表面涂覆氧化石墨烯(GO)悬浮液(1-5mg/mL)中，在50℃下干燥后利用硅烷蒸汽对GO层进行同步交联和还原，形成还原氧化石墨烯(RGO)的导电涂层33，从而得到具有不同尺寸和模量梯度微结构的柔性传感层3。
将涂覆有电极层2的柔性膜层1与柔性传感层3如图1和图2所示的结构堆叠，其中电极层2及柔性传感层3中的导电涂层33表面均连接导线；
在柔性传感层3外围浇注普通PDMS预聚体，并在80℃下固化60分钟，得到柔性封装层5，将柔性传感层3及导线401和导线402部分包覆在内部，并与柔性膜层1黏附在一起，在柔性传感层3的微结构与柔性膜层1之间形成空腔6，最终得到具有模量梯度微结构的宽量程压力传感器。
当该压力传感器工作时，导线401和导线402分别连接电阻计的两端，当柔性膜层1或柔性封装层5表面受到压力时，柔性传感层3中的低模量微结构31首先发生变形，其表面的导电涂层33与电极层2之间的接触面积增大导致电阻下降。如图4所示，所得压力传感器的电阻变化率(ΔR/R)的绝对值随施加的压强(P)增大而不断增大，并在低压力区域(<10kPa)显示出-7.32/kPa的灵敏度(S1)；进一步增大压力后，低模量微结构31的变形逐渐饱和，但高模量微结构32开始变形，其表面的导电涂层33与电极层2之间的接触面积开始增大，导致电阻进一步下降，且由于高模量微结构32的模量较高，可在较高压力下仍不发生变形饱和，如图4所示，ΔR/R的绝对值在中高压力区域(>10kPa)继续随压强增大而增大，且灵敏度(S2)仍可达到-0.43/kPa，有效提高了压力检测上限，拓宽了压力传感器量程(10Pa-200kPa)，克服压力传感器高灵敏度与宽量程不可兼得的问题。
本实施例中，微结构形状为梯台形，但示意图中所示相对尺寸和数量仅为了便于说明，不作为实际尺寸和数量的参考依据。
实施例2：
以下说明本发明具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器的另一种可选的结构和制备方法，及其工作机理。
在聚酯(PET)柔性膜层1上溅射金电极层2；在具有不同尺寸(1-100μm)半圆形微结构的模板中，浇注甲基丙烯酸酯修饰的改性聚二甲基硅氧烷(M-PDMS)，并在60℃下预固化30分钟，得到具有不同尺寸微结构的低模量的M-PDMS膜；将该M-PDMS膜从模板中取出来后，在紫外灯下借助掩膜板对其进行选择性紫外交联，使紫外光仅可照射其中的小尺寸微结构进行进一步交联，辐照强度100μW/cm2，辐照时间30-120s，得到大尺寸的低模量微结构31和小尺寸的高模量微结构32。在M-PDMS膜具有微结构一侧的表面，溅射金(10-100nm)形成导电涂层33，从而得到具有不同尺寸和模量梯度微结构的柔性传感层3。
将涂覆有电极层2的柔性膜层1与柔性传感层3如图1和图2所示的结构堆叠，其中电极层2及柔性传感层3中的导电涂层33表面均连接导线；
在柔性传感层3外围浇注Ecoflex预聚体，并在80℃下固化60分钟，得到柔性封装层5，将柔性传感层3及导线401和导线402部分包覆在内部，并与柔性膜层1黏附在一起，在柔性传感层3的微结构与柔性膜层1之间形成空腔6，最终得到具有模量梯度微结构的宽量程压力传感器。
当该压力传感器工作时，导线401和导线402分别连接电阻计的两端，当柔性膜层1或柔性封装层5表面受到压力时，柔性传感层3中的低模量微结构31首先发生变形，其表面的导电涂层33与电极层2之间的接触面积增大导致电阻下降；进一步增大压力后，低模量微结构31的变形逐渐饱和，但高模量微结构32开始变形，其表面的导电涂层33与电极层2之间的接触面积开始增大，导致电阻进一步下降，且由于高模量微结构32的模量较高，可在较高压力下仍不发生变形饱和，可有效提高压力检测上限，拓宽压力传感器量程，克服压力传感器高灵敏度与宽量程不可兼得的问题。
实施例3：
以下以图4所示的实施例为例，说明本发明具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器的另一种可选的结构和制备方法，及其工作机理。
在聚酯(PET)柔性膜层1上溅射金电极层2；在具有不同尺寸(1-100μm)梯台形微结构的模板中，浇注甲基丙烯酸酯修饰且掺杂有碳纳米管(CNT)的改性聚二甲基硅氧烷(CNT/M-PDMS)，并在60℃下预固化30分钟，得到具有不同尺寸微结构的低模量的CNT/M-PDMS膜；将该CNT/M-PDMS膜从模板中取出来后，在紫外灯下借助掩膜板对其进行选择性紫外交联，使紫外光仅可照射其中的小尺寸微结构进行进一步交联，辐照强度100μW/cm2，辐照时间30-120s，得到大尺寸的低模量微结构31和小尺寸的高模量微结构32，制备得到具有不同尺寸和模量梯度微结构的柔性传感层3，如图5所示。
将涂覆有电极层2的柔性膜层1与柔性传感层3如图4所示的结构堆叠，其中电极层2及柔性传感层3表面均连接导线；
在柔性传感层3外围浇注Ecoflex预聚体，并在80℃下固化60分钟，得到柔性封装层5，将柔性传感层3及导线401和导线402部分包覆在内部，并与柔性膜层1黏附在一起，在柔性传感层3的微结构与柔性膜层1之间形成空腔6，最终得到具有模量梯度微结构的宽量程压力传感器。
当该压力传感器工作时，导线401和导线402分别连接电阻计的两端，当柔性膜层1或柔性封装层5表面受到压力时，柔性传感层3中的低模量微结构31首先发生变形，与电极层2之间的接触面积增大导致电阻下降；进一步增大压力后，低模量微结构31的变形逐渐饱和，但高模量微结构32开始变形，与电极层2之间的接触面积开始增大，导致电阻进一步下降，且由于高模量微结构32的模量较高，可在较高压力下仍不发生变形饱和，可有效提高压力检测上限，拓宽压力传感器量程，克服压力传感器高灵敏度与宽量程不可兼得的问题。
Claims (10)
1.一种具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器，其特征在于：包含柔性膜层(1)、电极层(2)、柔性传感层(3)和柔性封装层(5)，所述的柔性传感层(3)表面上设有低模量微结构(31)、高模量微结构(32)，低模量微结构(31)尺寸大于高模量微结构(32)尺寸，且高模量微结构(32)的模量高于低模量微结构(31)；电极层(2)布置在柔性膜层(1)的内表面且和柔性传感层(3)表面接触，电极层(2)和柔性传感层(3)整体一起被柔性膜层(1)和柔性封装层(5)封装在一个相对封闭的空间中。
2.根据权利要求1所述的一种具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器，其特征在于：所述的柔性传感层(3)包括基底微结构和基底微结构上的低模量微结构(31)、高模量微结构(32)，基底微结构和电极层(2)之间间隔布置，低模量微结构(31)、高模量微结构(32)位于基底微结构和电极层(2)之间的间隔中。
3.根据权利要求1所述的一种具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器，其特征在于：所述的柔性封装层(5)内形成空腔，将柔性传感层(3)置于在空腔内部，柔性封装层(5)的空腔开口端面与柔性膜层(1)黏附在一起。
4.根据权利要求1所述的一种具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器，其特征在于：所述柔性传感层(3)置于空腔内后的上面紧贴布置电极层(2)，电极层(2)上面紧贴布置柔性膜层(1)。
5.根据权利要求1所述的一种具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器，其特征在于：包括多个高模量微结构(32)和多个低模量微结构(31)，各个低模量微结构(31)的模量相同，各个高模量微结构(32)的模量相同。
6.根据权利要求1所述的一种具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器，其特征在于：所述的低模量微结构(31)、高模量微结构(32)和基底微结构的表面涂覆有导电涂层(33)，或者在低模量微结构(31)、高模量微结构(32)和基底微结构的内部掺杂有导电物质。
7.根据权利要求6所述的一种具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器，其特征在于：还包括导线(401、402)，导线(401、402)分为第一导线(401)和第二导线(402)，第一导线(401)和第二导线(402)分别连接到电极层(2)和导电涂层(33)，或者分别连接到电极层(2)和柔性传感层(3)。
8.根据权利要求1所述的一种具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器，其特征在于：所述的高模量微结构(32)和低模量微结构(31)均为截面梯形的凸起结构。
9.应用于权利要求1-8任一所述压力传感器的一种制备方法，其特征在于：方法包括以下步骤：
S1、选用光敏基团修饰的聚二甲基硅氧烷PDMS作为前驱体，利用模板法制备具有两种不同尺寸大小微结构的柔性膜，对柔性膜进行加热预固化，获得微结构化的柔性膜；
S2、借助掩膜板对微结构化的柔性膜进行选择性紫外交联，使得其中两种不同尺寸大小微结构具有模量梯度分布；
S3、在所得柔性膜的两种不同尺寸大小微结构表面涂覆导电涂层(33)，得到柔性传感层(3)；
S4、在柔性膜层上涂覆电极层(2)，与柔性传感层(3)构成多层结构，其中电极层(2)和柔性传感层(3)中的导电涂层(33)表面均连接导线(401、402)引出，并与外部电路相连；
S5、借助柔性封装层(5)将柔性传感层(3)、电极层(2)和导线(401、402)包覆在内部，并与柔性膜层(1)黏附在一起得到所述压力传感器。
10.根据权利要求9所述的一种制备方法，其特征在于：
所述S2、中，借助掩膜板对微结构化的柔性膜进行选择性紫外交联，具体是针对高模量微结构(32)设置掩膜板进行紫外光照，使得仅高模量微结构(32)的部分被紫外光照，提高模量。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111485245.4A CN114354030A (zh) | 2021-12-07 | 2021-12-07 | 具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器及制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111485245.4A CN114354030A (zh) | 2021-12-07 | 2021-12-07 | 具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器及制备方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN114354030A true CN114354030A (zh) | 2022-04-15 |
Family
ID=81098062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202111485245.4A Pending CN114354030A (zh) | 2021-12-07 | 2021-12-07 | 具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器及制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN114354030A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115479705A (zh) * | 2022-08-19 | 2022-12-16 | 江西昌硕户外休闲用品有限公司 | 一种可印刷透明应力传感器及其制备方法 |
| CN115507979A (zh) * | 2022-08-24 | 2022-12-23 | 西南交通大学 | 一种基于仿生梯度微结构的柔性压力传感器及其制备方法 |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012011478A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 微小構造体及び微細パターンの形成方法 |
| KR20160139661A (ko) * | 2015-05-28 | 2016-12-07 | 고려대학교 산학협력단 | 고감도 압력 센서 |
| CN106813811A (zh) * | 2017-01-20 | 2017-06-09 | 南京大学 | 一种高灵敏度电容型柔性压力传感器 |
| CN108388749A (zh) * | 2018-03-16 | 2018-08-10 | 大连理工大学 | 一种具有微结构电介质层的电容压力传感器的微结构设计方法 |
| CN109952062A (zh) * | 2016-11-15 | 2019-06-28 | 皇家飞利浦有限公司 | 超声设备接触 |
| CN209085810U (zh) * | 2019-01-02 | 2019-07-09 | 宁波石墨烯创新中心有限公司 | 用于柔性压力传感器的石墨烯复合结构及柔性压力传感器 |
| CN111044183A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-04-21 | 浙江清华柔性电子技术研究院 | 柔性压力传感及其制备方法 |
| CN111533081A (zh) * | 2020-05-18 | 2020-08-14 | 吉林大学 | 一种基于仿生微结构的复合式柔性压力传感器及其制备方法 |
| CN112033582A (zh) * | 2020-09-07 | 2020-12-04 | 深圳先进技术研究院 | 具有微结构的柔性压力传感器 |
| CN112729625A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-04-30 | 厦门大学 | 一种激光织构仿生电容式柔性压力传感器及其制备方法 |
-
2021
- 2021-12-07 CN CN202111485245.4A patent/CN114354030A/zh active Pending
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012011478A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 微小構造体及び微細パターンの形成方法 |
| KR20160139661A (ko) * | 2015-05-28 | 2016-12-07 | 고려대학교 산학협력단 | 고감도 압력 센서 |
| CN109952062A (zh) * | 2016-11-15 | 2019-06-28 | 皇家飞利浦有限公司 | 超声设备接触 |
| CN106813811A (zh) * | 2017-01-20 | 2017-06-09 | 南京大学 | 一种高灵敏度电容型柔性压力传感器 |
| CN108388749A (zh) * | 2018-03-16 | 2018-08-10 | 大连理工大学 | 一种具有微结构电介质层的电容压力传感器的微结构设计方法 |
| CN209085810U (zh) * | 2019-01-02 | 2019-07-09 | 宁波石墨烯创新中心有限公司 | 用于柔性压力传感器的石墨烯复合结构及柔性压力传感器 |
| CN111044183A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-04-21 | 浙江清华柔性电子技术研究院 | 柔性压力传感及其制备方法 |
| CN111533081A (zh) * | 2020-05-18 | 2020-08-14 | 吉林大学 | 一种基于仿生微结构的复合式柔性压力传感器及其制备方法 |
| CN112033582A (zh) * | 2020-09-07 | 2020-12-04 | 深圳先进技术研究院 | 具有微结构的柔性压力传感器 |
| CN112729625A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-04-30 | 厦门大学 | 一种激光织构仿生电容式柔性压力传感器及其制备方法 |
Non-Patent Citations (5)
| Title |
|---|
| TEE, BCK (TEE, BENJAMIN C. -K.) 等: "Tunable Flexible Pressure Sensors using Microstructured Elastomer Geometries for Intuitive Electronics", ADVANCED FUNCTIONAL MATERIALS, vol. 24, no. 34, 15 October 2014 (2014-10-15) * |
| XIAO, JL (XIAO, JIANLIANG)等: "Ultralow-Cost, Highly Sensitive, and Flexible Pressure Sensors Based on Carbon Black and Airlaid Paper for Wearable Electronics", ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, vol. 11, no. 36, 28 October 2019 (2019-10-28) * |
| 侯星宇;郭传飞;: "柔性压力传感器的原理及应用", 物理学报, no. 17, 8 September 2020 (2020-09-08) * |
| 李云霞: "基于三维多孔结构的柔性电阻式压力传感器研究", 中国博士学位论文全文数据库信息科技辑, no. 01, 15 January 2021 (2021-01-15) * |
| 程文: "电子皮肤器件微纳结构设计研究", 中国博士学位论文全文数据库信息科技辑, no. 10, 15 October 2018 (2018-10-15) * |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115479705A (zh) * | 2022-08-19 | 2022-12-16 | 江西昌硕户外休闲用品有限公司 | 一种可印刷透明应力传感器及其制备方法 |
| CN115479705B (zh) * | 2022-08-19 | 2024-01-16 | 江西昌硕户外休闲用品有限公司 | 一种可印刷透明应力传感器及其制备方法 |
| WO2024036928A1 (zh) * | 2022-08-19 | 2024-02-22 | 江西昌硕户外休闲用品有限公司 | 一种可印刷透明应力传感器及其制备方法 |
| CN115507979A (zh) * | 2022-08-24 | 2022-12-23 | 西南交通大学 | 一种基于仿生梯度微结构的柔性压力传感器及其制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN114354030A (zh) | 具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器及制备方法 | |
| CN107907251B (zh) | 压力传感器及其制备方法 | |
| US7473088B2 (en) | Microimprint/nanoimprint device | |
| EP3136445B1 (en) | A method for forming apparatus comprising two dimensional material | |
| CN107846785B (zh) | 柔性透明电路的制备方法 | |
| CN109445248B (zh) | 利用毛细作用压印金属纳米线的方法及应用 | |
| US11903139B2 (en) | High-density soft-matter electronics | |
| WO2021056704A1 (zh) | 具有大拉伸性的一体化柔性基底与柔性电路及其制造方法 | |
| CN107123470A (zh) | 一种柔弹性导电薄膜及其制备方法 | |
| KR20150053303A (ko) | 복제 몰드 제조 방법 및 이를 이용한 미세 구조 및 그 활용. | |
| CN106405692B (zh) | 一种电场诱导复眼透镜多级结构的制备工艺 | |
| CN108663154B (zh) | 柔性可穿戴气压传感器、其制备方法与应用 | |
| KR20110044360A (ko) | 단일벽 탄소나노튜브의 선택적 조립 방법 및 이를 이용한 단일벽 탄소나노튜브 다중 채널을 갖는 전계 효과 트랜지스터의 제조 방법 | |
| CN109179312A (zh) | 一种图案化金属薄膜的制备方法 | |
| KR20140059672A (ko) | 복수의 채널주형이 멀티 스케일로 형성된 마이크로플루이딕 칩 주형 제조방법 | |
| KR20100092091A (ko) | 나노 구조물 제작방법 | |
| CN116811287A (zh) | 一种基于3d打印的锥形阵列柔性压力传感器制备方法 | |
| CN209014173U (zh) | 可穿戴压力传感器 | |
| KR102340415B1 (ko) | 금속나노와이어 전극 제조방법 | |
| CN112964282A (zh) | 一种智能石墨烯柔性电子皮肤及其制备方法 | |
| KR102610916B1 (ko) | 농도구배 구조를 가지는 유연 압력센서 제조 방법 | |
| CN113662529A (zh) | 一种监测呼吸的柔性传感器制备方法 | |
| KR101468491B1 (ko) | 나노와이어 그리드 구조 및 이의 형성방법 | |
| KR101799560B1 (ko) | 마이크로 표면 주름 제조용 스탬프의 제조 방법 | |
| KR20200017749A (ko) | 단결정 유기물을 이용한 암모니아 가스 센서 및 그 제조방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |