CN111037580B - 一种多用碳化硅晶片传输机械手 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种多用碳化硅晶片传输机械手，包括衬板；主传动齿轮和副传动齿轮，主后辅臂和副后辅臂，动力输入模块，动力输入模块给机主传动齿轮提供动力输入带动主传动齿轮转动；主抓取臂和副抓取臂，主抓取臂与主传动齿轮和主后辅臂铰接，与主传动齿轮和主后辅臂铰接；主上前辅臂和主下前辅臂的一端分别铰接在衬板的上表面和下表面，另一端分别铰接在主抓取臂中部的上端和下端，副上前辅臂和副下前辅臂的一端分别铰接在衬板的上表面和下表明，另一端分别铰接在副抓取臂中部的上端和下端；直径调节模块分别安装在主抓取臂和副抓取臂的末端。本发明可实现二级抓取，实现了有限空间内不同腔体间的高效协调运作。

Description

一种多用碳化硅晶片传输机械手

技术领域

本发明涉及工业机器人技术领域，具体而言，涉及一种多用碳化硅晶片传输机械手。

背景技术

近年来，随着信息产业与科学技术的蓬勃发展，对碳化硅的加工与制造不断提出新的要求与标准，尤其是在IC领域，稳定性/可靠性/洁净度/自动化/精密度等要求已经成为发展的趋势。为了适应这种趋势，国内外都在加大对领域的关注，目前国内外相应的个研究机构已经研制出各种各样的传输机器人。

碳化硅晶片加工的安全存取和运输是半导体生产线一个非常重要的技术指标；在生产过程中通常要求运输设备自身导致的抓取失败率应小于十万分之一。作为批量式抓取碳化硅操作系统，相对于单片式工艺系统，晶片处理所需的碳化硅传输、放置次数更频繁，因而对碳化硅传输、放置的安全性和可靠性要求更高。

目前，机械手被广泛应用于半导体集成电路制造技术领域中，机械手是碳化硅晶片传输系统中的重要设备，用于存取和运输工艺处理前和工艺处理后的碳化硅晶片，其能够接受指令，精确地定位到三维或二维空间上的某一点进行取放碳化硅晶片，既可对单枚碳化硅晶片进行取放作业，也可对多枚碳化硅晶片进行取放作业。

目前，批量式碳化硅晶片自动化系统的传取环节的位置参数一般采用离线示教的方式获取并存储在控制器中，同时按周期进行检测和校准。机械手根据存储的离线示教的数据对承载机构上放置的晶片进行取放操作。当机械手在对晶片进行取放作业时，晶片承载机构由于环境温度变化、负载变化以及机械结构变形等因素的影响，机械手按离线存储的位置坐标取放承载机构上的晶片时，存在产生碰撞导致多抓或设备受损的风险，造成不可弥补的损失。同时，由于晶片在热处理过程中产生的受热变形等情况也会使晶片的实际分布状态与离线示教位置参数有不同，使得机械手取放的运动处于非安全状态。此外，目前在各个工艺环节中皆放置不同类型的机械手进行单一功能性抓取，在涉及晶片从晶锭/整型/切割/研磨/刻蚀/抛光/清洗等全自动(部分全自动)集成化加工时单一类型的机械手无法满足小空间内的多种类型抓取。

发明内容

本发明的目的在于提供一种多碳化硅晶片传输机械手，该机械手可实现二级抓取(箱级，晶片级)。实现了有限空间内不同腔体间的高效协调运作。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种多用碳化硅晶片传输机械手，包括：

衬板；

左右对称设置的主传动齿轮和副传动齿轮，所述主传动齿轮和所述副传动齿轮相互啮合，所述主传动齿轮和所述副传动齿轮可转动连接在所述衬板上，所述衬板下方与所述主传动齿轮和所述副传动齿轮对应的位置处分别设有主后辅臂和副后辅臂，所述主后辅臂和副后辅臂可转动连接在所述衬板下方；

动力输入模块，所述动力输入模块固定安装在所述衬板上，所述动力输入模块给所述主传动齿轮提供动力输入带动所述主传动齿轮转动；

左右对称设置的主抓取臂和副抓取臂，所述主抓取臂设置在所述主传动齿轮末端和所述主后辅臂末端之间与所述主传动齿轮和所述主后辅臂铰接，所述副抓取臂设置在所述副传动齿轮末端和所述副后辅臂5末端之间与所述主传动齿轮和所述主后辅臂铰接；

左右对称设置的一对主前辅臂和副前辅臂，所述主前辅臂包括主上前辅臂和主下前辅臂，所述主上前辅臂和主下前辅臂的一端分别铰接在所述衬板的上表面和下表面，另一端分别铰接在所述主抓取臂中部的上端和下端，所述副前辅臂包括副上前辅臂和副下前辅臂，所述副上前辅臂和副下前辅臂的一端分别铰接在所述衬板的上表面和下表面，另一端分别铰接在所述副抓取臂中部的上端和下端；

直径调节模块，所述直径调节模块分别安装在所述主抓取臂和所述副抓取臂的末端。

进一步，所述主抓取臂和所述副抓取臂末端设有内部中空的腔体，所述主抓取臂和所述副抓取臂末端中部设有上下贯穿的丝杆套筒，所述丝杆套筒中设有双向旋向的丝杆，左舌和右舌分别交叉铰接在所述丝杆套筒上安装在所述主抓取臂和副抓取臂的中空腔体中，所述双向旋向丝杆的上下两端分别缠绕第一钢丝绳和第二钢丝绳，所述丝杆套筒上分别设有固定所述第一钢丝绳和所述第二钢丝绳的第一安装孔，所述第一钢丝绳的另一端固定在左舌末端，所述第二钢丝绳的另一端固定在右舌的末端，在所述左舌和右舌枢接处设有使所述左舌和右舌向内夹紧的复位元件。

进一步，还包括抓取臂回弹机构，所述抓取臂回弹结构安装在主前辅臂与主抓取臂枢接处与副前辅臂与副抓取臂枢接处之间。

进一步，所述抓取臂回弹机构包括两端的固定座，以及安装在所述固定座之间的弹簧，两端所述的固定座分别固定在主前辅臂与主抓取臂枢接处和副前辅臂与副抓取臂枢接处。

进一步，还包括L形支架，所述L形支架一端垂直固定安装在所述衬板上，另一端平行于所述衬板，所述L形支架设置在主抓取臂和副抓取臂之间，所述L 形支架末端底部连接安装底座，所述L形支架和安装底座之间通过高度调节装置连接，所述高度调节装置可以调节所述安装底座与所述L形之间的高度，所述安装底座底部设有圆心检测模块和晶片拾取模块。

进一步，所述高度调节装置的两端分别安装在所述L形支架末端中心位置和所述安装底座的中间位置，所述安装底座包括固定安装在所述L形支架上的螺母以及底部与所述安装底座固接的螺杆，所述螺杆穿过设置在所述述L形支架末端中心位置的通孔与所述螺母螺纹连接。

进一步，所述安装底座与所述L形支架末端之间还设有弹性元件，所述弹性元件设置在所述高度调节装置的四周。

进一步，所述晶片拾取模块包括吸附盘、橡胶盘、吸附真空气道、密封低盘；所述密封底盘与吸附盘相连，吸附盘周边围绕一层橡胶盘；密封底盘，吸附盘与橡胶盘中间有吸附真空气道用于抽取橡胶盘内空气。

进一步，所述圆心检测模块包括设置在所述晶片拾取模块四周的超声波传感器的第二安装孔以及安装在所述第二安装孔中的超声波传感器。

进一步，所述双向旋向丝杆包括中部的双旋对称面以及分别设置在所述双旋对称面两侧的旋向相反的左旋螺纹和右旋螺纹11.23。

进一步，所述动力输入模块包括驱动机构和减速器，所述减速器固定安装在所述衬板上，所述驱动机构通过减速器与所述主传动齿轮连接驱动所述主传动齿轮发生转动。

与现有技术相比，本发明至少包括以下有益效果：

1.本发明可以用于两种目标的搬运：1)晶片放置箱的远距离搬运，2)单个晶片近距离高速搬运。

2.本发明设有圆心检测模块和晶片拾取模块，通过在晶片拾取装置底面装有圆心定位装置用于实现晶片圆心的定位便于晶片的高速传输。

3.本发明设有直径调节模块，直径调节模块主要通过机械手末端同时装有左右旋的自锁丝杆机构实现，用以实现对不同规格晶片放置箱尺寸的抓取，便于每次抓取时能够实现远距离的晶片放置箱准确传输。

4.本发明可以实现各种直径晶片放置箱规格的自由抓取，各种晶片规格的高速传输；且抓取机械手结构紧凑/体积小，传递力矩大/控制容易，运行平稳，拆装方便，主要用于洁净度要求高的碳化硅传输真空机器人上。

附图说明

图1为本发明整体结构示意图；

图2为本发明整体结构仰视图；

图3为本发明主抓取臂和副抓取臂末端结构示意图；

图4为本发明直径调节模块结构示意图；

图5为本发明抓取臂回弹机构结构示意图；

图6为本发明安装底座底部结构示意图；

图7为本发明主传动齿轮结构示意图；

图8为本发明副传动齿轮结构示意图；

图9为本发明晶片拾取模块结构示意图；

图10为本发明双向旋向丝杆结构示意图；

图11为本发明L形支架结构示意图；

图12为本发明衬板结构示意图；

图中：1-衬板，2-主传动齿轮，3-副传动齿轮，4-主后辅臂，5-副后辅臂， 6-弹性元件,7-主抓取臂，8-副抓取臂，9-主前辅臂，9.1-主上前辅臂，9.2-主下前辅臂，10-副前辅臂，10.1-副上前辅臂，10.2-副下前辅臂，11-直径调节模块，11.1-丝杆套筒，11.2-双向旋向丝杆，11.21-双旋对称面，11.22-左旋螺纹，11.23-右旋螺纹，11.3-左舌，11.4-右舌，11.5-第一安装孔，12-抓取臂回弹机构，12.1-固定座，12.2-弹簧，13-L形支架，14-安装底座，15-高度调节装置，15.1-螺母，15.2-螺杆，16-圆心检测模块，16.1-第二安装孔，17- 晶片拾取模块，17.1-吸附盘，17.2-橡胶盘，17.3-吸附真空气道，17.4-密封底盘。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，下述实施方案中所述实验方法，如无特殊说明，均为常规方法，所述试剂和材料，如无特殊说明，均可从商业途径获得；在本发明的描述中，术语“横向”、“纵向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，并不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

如图1-12所示，本申请实施例提供了一种多用碳化硅晶片传输机械手，

包括：

衬板1；

左右对称设置的主传动齿轮2和副传动齿轮3，所述主传动齿轮2和所述副传动齿轮3相互啮合，所述主传动齿轮2和所述副传动齿轮3可转动连接在所述衬板1上，所述衬板1下方与所述主传动齿轮2和所述副传动齿轮3对应的位置处分别设有主后辅臂4和副后辅臂5，所述主后辅臂4和副后辅臂5可转动连接在所述衬板1下方；

动力输入模块，所述动力输入模块固定安装在所述衬板1上，所述动力输入模块给所述主传动齿轮2提供动力输入带动所述主传动齿轮2转动；

左右对称设置的主抓取臂7和副抓取臂8，所述主抓取臂7设置在所述主传动齿轮2末端和所述主后辅臂4末端之间与所述主传动齿轮2和所述主后辅臂4 铰接，所述副抓取臂8设置在所述副传动齿轮3末端和所述副后辅臂5末端之间与所述副传动齿轮3和所述副后辅臂5铰接；

左右对称设置的一对主前辅臂9和副前辅臂10，所述主前辅臂9包括主上前辅臂9.1和主下前辅臂9.2，所述主上前辅臂9.1和主下前辅臂9.2的一端分别铰接在所述衬板1的上表面和下表面，另一端分别铰接在所述主抓取臂7中部的上端和下端，所述副前辅臂10包括副上前辅臂10.1和副下前辅臂 10.2，所述副上前辅臂10.1和副下前辅臂10.2的一端分别铰接在所述衬板1 的上表面和下表面，另一端分别铰接在所述副抓取臂8中部的上端和下端；

直径调节模块11，所述直径调节模块11分别安装在所述主抓取臂7和所述副抓取臂8的末端。

在上述实施例中，动力输入模块(图中未示出)包括驱动机构和减速器，所述减速器固定安装在所述衬板1上，所述驱动机构通过减速器与所述主传动齿轮2连接驱动所述主传动齿轮2发生转动，主传动齿轮2与减速器相连，主传动齿轮2与副传动齿轮3等速传输，可以使两侧的机械手臂保持同步，主传动齿轮2通过减速器带动作顺时针转动，带动主后辅臂4、主上前辅臂9.1和主下前辅臂9.2，等矢量运动，传输力矩及速度给主抓取臂7实现闭合动作；主传动齿轮2顺时针转动通过等传动比带动等径副传动齿轮3作逆时针转动，副传动齿轮3以圆心为中心逆时针转动，带动副后辅臂5、副上前辅臂10.1和副下前辅臂10.2，等矢量运动，传输力矩及速度给副抓取臂8实现闭合动作；

主传动齿轮2通过减速器带动作逆时针转动，带动主后辅臂4、主上前辅臂 9.1和主下前辅臂9.2，等矢量运动，传输力矩及速度给主抓取臂7实现张开动作；主传动齿轮2顺时针转动通过等传动比带动等径副传动齿轮3作顺时针转动，副传动齿轮3以圆心为中心顺时针转动，带动副后辅臂5、副上前辅臂10.1 和副下前辅臂10.2，等矢量运动，传输力矩及速度给副抓取臂8实现张开动作。

进一步优选的方案是，在夹持末端表面装有可增加摩擦的新型材料高密度聚乙烯。

在进一步优选的实施例中，所述主抓取臂7和所述副抓取臂8末端设有内部中空的腔体，所述直径调节模块11包括设置在主抓取臂7和所述副抓取臂8 末端中部上下贯穿的丝杆套筒11.1，所述丝杆套筒11.1中设有双向旋向丝杆 11.2，左舌11.3和右舌11.4分别交叉铰接在所述丝杆套筒11.1上安装在所述主抓取臂7和副抓取臂8的中空腔体中，所述双向旋向丝杆的上下两端分别缠绕第一钢丝绳和第二钢丝绳，所述丝杆套筒11.1上分别设有固定所述第一钢丝绳和所述第二钢丝绳的第一安装孔11.5，所述第一钢丝绳的另一端固定在左舌 11.3末端，所述第二钢丝绳的另一端固定在右舌11.4的末端，在所述左舌11.3 和右舌11.4枢接处设有使所述左舌11.3和右舌11.4向内夹紧的复位元件。

在上述实施例中，双向旋向丝杆包括中部的双旋对称面11.21以及分别设置在所述双旋对称面11.21两侧的旋向相反的左旋螺纹11.22和右旋螺纹11.23，双向旋向丝杆由电机带动旋转，顺时针旋转时，上端右旋做顺时针旋转下端左旋丝杠部分作逆时针旋转，第一钢丝绳和第二钢丝绳分别缠绕在左旋螺纹11.22 和右旋螺纹11.23上，带动左舌11.3与右舌11.4作收缩运动；逆时针旋转时，上端右旋做逆时针旋转，下端左旋丝杠部分作顺时针旋转，带动左舌11.3与右舌11.4作张开运动；电机失能时，复位元件使机构保持初始位置，在上述实施例中，复位元件可采用连接在左舌11.3和右舌11.4之间的弹簧或者扭簧，但不限于以上两种方式。

进一步优选的实施例中，还包括抓取臂回弹机构12，所述抓取臂回弹结构安装在主前辅臂9与主抓取臂7枢接处与副前辅臂10与副抓取臂8枢接处之间。

进一步优选的实施例中，所述抓取臂回弹机构12包括两端的固定座12.1，以及安装在所述固定座12.1之间的弹簧12.2，两端所述的固定座12.1分别固定在主前辅臂9与主抓取臂7枢接处和副前辅臂10与副抓取臂8枢接处。

在上述实施例中，抓取臂回弹结构使主抓取臂7和副抓取臂8始终保持抓取稳定，免于重力及其他摩擦力影响，且抓取动作失能时，机械手在回弹原件作用下保持一定姿态。

进一步优选的实施例中，还包括L形支架13，所述L形支架13一端垂直固定安装在所述衬板1上，另一端平行于所述衬板1，所述L形支架13设置在主抓取臂7和副抓取臂8之间，所述L形支架13末端底部连接安装底座14，所述 L形支架13和安装底座14之间通过高度调节装置15连接，所述高度调节装置 15可以调节所述安装底座14与所述L形支架13之间的高度，所述安装底座14 底部设有圆心检测模块16和晶片拾取模块17。

在上述实施例中，L形支架13一端垂直固定安装在所述衬板1上，另一端平行于所述衬板1，使L形支架13末端悬空在左抓取臂和右抓取臂中间上部位置处。

进一步优选的实施例中，所述高度调节装置15的两端分别安装在所述L形支架13末端中心位置和所述安装底座14的中间位置，所述安装底座14包括固定安装在所述L形支架13上的螺母15.1以及底部与所述安装底座14固接的螺杆15.2，所述螺杆15.2穿过设置在所述述L形支架13末端中心位置的通孔与所述螺母15.1螺纹连接。

在上述实施例中，高度调节装置15通过螺杆15.2在螺母15.1中运动可使底部的安装底座14上下调节，可以任意调节安装底座14的高度。

进一步优选的实施例中，安装底座14与所述L形支架13末端之间还设有弹性元件6，所述弹性元件6设置在所述高度调节装置15的四周。

在上述实施例中，弹性元件6可采用弹簧，在高度调节装置15调节安装底座14高度时四周的弹性元件6可进行压缩或者拉伸。

进一步优选的实施例中，晶片拾取模块17包括吸附盘17.1、橡胶盘17.2、吸附真空气道17.3、密封底盘17.4；所述密封底盘17.4与吸附盘17.1相连，吸附盘17.1周边围绕一层橡胶盘17.2；密封底盘17.4，吸附盘17.1与橡胶盘 17.2中间有吸附真空气道17.3用于抽取橡胶盘17.2内空气。

进一步优选的实施例中，圆心检测模块16包括设置在所述晶片拾取模块17 四周的超声波传感器的第二安装孔16.1以及安装在所述第二安装孔16.1中的超声波传感器。

在上述实施例中，在晶片进行不同工艺(在不同腔体中进行不同的操作，如切片/研磨/清洗等)时，首先根据传感器确定晶片放置箱位置，使用机械手大距离晶片放置箱传输，实现晶片箱级传输，箱级传输完成后，利用检测抓取模块实现单片晶片的定点快速拾取，实现晶片级传输。两级传输可以大大减少时间，降低能耗，降低成本。

在上述实施例中，圆心定位方式如下：通过二级定位方式实现精确定位。首先根据放置箱的基本位置确定其大体位置(放置箱的安放有具体位置要求，但位置不精确)，精确定位主要通过空间内三点式(或者多点式)定位，圆心检测模块16底面绕中心轴安装有三个超声波接收器，此接受器可实现种频率的信号采集，每个晶片放置箱顶面边缘处装有不同频率的一对超声波发射装置(少于64个放置箱)，晶片放置箱边缘处的发射信号装置根据箱体尺寸可通过一个数学矩阵映射至其圆心位置，从而实现晶片(晶片箱圆心)到三传感器之间的求解问题。按照120度分配的超声波接收器不断接收来自箱体传输的信号，每次接收三个信号，三个信号间存在时间差，通过对时间差的处理实现对晶片圆心的定位。

上面所述的实施例仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述，并非对本发明的构思和范围进行限定。在不脱离本发明设计构思的前提下，本领域普通人员对本发明的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本发明的保护范围，本发明请求保护的技术内容，已经全部记载在权利要求书中。

Claims (8)

1.一种多用碳化硅晶片传输机械手，其特征在于:包括：

衬板；

左右对称设置的主传动齿轮和副传动齿轮，所述主传动齿轮和所述副传动齿轮相互啮合，所述主传动齿轮和所述副传动齿轮可转动连接在所述衬板上，所述衬板下方与所述主传动齿轮和所述副传动齿轮对应的位置处分别设有主后辅臂和副后辅臂，所述主后辅臂和副后辅臂可转动连接在所述衬板下方；

动力输入模块，所述动力输入模块固定安装在所述衬板上，所述动力输入模块给所述主传动齿轮提供动力输入带动所述主传动齿轮转动；

左右对称设置的主抓取臂和副抓取臂，所述主抓取臂设置在所述主传动齿轮末端和所述主后辅臂末端之间与所述主传动齿轮和所述主后辅臂铰接，所述副抓取臂设置在所述副传动齿轮末端和所述副后辅臂末端之间与所述副传动齿轮和所述副后辅臂铰接；所述主抓取臂和所述副抓取臂末端设有内部中空的腔体，直径调节模块包括设置在主抓取臂和所述副抓取臂末端中部上下贯穿的丝杆套筒，所述丝杆套筒中设有双向旋向丝杆，左舌和右舌分别交叉铰接在所述丝杆套筒上安装在所述主抓取臂和副抓取臂的中空腔体中，所述双向旋向丝杆的上下两端分别缠绕第一钢丝绳和第二钢丝绳，所述丝杆套筒上分别设有固定所述第一钢丝绳和所述第二钢丝绳的安装孔，所述第一钢丝绳的另一端固定在左舌末端，所述第二钢丝绳的另一端固定在右舌的末端，在所述左舌和右舌枢接处设有使所述左舌和右舌向内夹紧的复位元件

左右对称设置的一对主前辅臂和副前辅臂，所述主前辅臂包括主上前辅臂和主下前辅臂，所述主上前辅臂和主下前辅臂的一端分别铰接在所述衬板的上表面和下表面，另一端分别铰接在所述主抓取臂中部的上端和下端，所述副前辅臂包括副上前辅臂和副下前辅臂，所述副上前辅臂和副下前辅臂的一端分别铰接在所述衬板的上表面和下表面，另一端分别铰接在所述副抓取臂中部的上端和下端；

直径调节模块，所述直径调节模块分别安装在所述主抓取臂和所述副抓取臂的末端；

还包括L形支架，所述L形支架一端垂直固定安装在所述衬板上，另一端平行于所述衬板，所述L形支架设置在主抓取臂和副抓取臂之间，所述L形支架末端底部连接安装底座，所述L形支架和安装底座之间通过高度调节装置连接，所述高度调节装置可以调节所述安装底座与所述L形支架之间的高度，所述安装底座底部设有圆心检测模块和晶片拾取模块。

2.根据权利要求1所述的一种多用碳化硅晶片传输机械手，其特征在于：还包括抓取臂回弹机构，所述抓取臂回弹结构安装在主前辅臂与主抓取臂枢接处与副前辅臂与副抓取臂枢接处之间。

3.根据权利要求1所述的一种多用碳化硅晶片传输机械手，其特征在于：所述抓取臂回弹机构包括两端的固定座，以及安装在所述固定座之间的弹簧，两端所述的固定座分别固定在主前辅臂与主抓取臂枢接处和副前辅臂与副抓取臂枢接处。

4.根据权利要求1所述的一种多用碳化硅晶片传输机械手，其特征在于：所述高度调节装置的两端分别安装在所述L形支架末端中心位置和所述安装底座的中间位置，所述安装底座包括固定安装在所述L形支架上的螺母以及底部与所述安装底座固接的螺杆，所述螺杆穿过设置在所述述L形支架末端中心位置的通孔与所述螺母螺纹连接,所述安装底座与所述L形支架末端之间还设有弹性元件，所述弹性元件设置在所述高度调节装置的四周。

5.根据权利要求1所述的一种多用碳化硅晶片传输机械手，其特征在于所述：所述晶片拾取模块包括吸附盘、橡胶盘、吸附真空气道、密封底盘，所述密封底盘与吸附盘相连，吸附盘周边围绕一层橡胶盘；密封底盘，吸附盘与橡胶盘中间有吸附真空气道用于抽取橡胶盘内空气。

6.根据权利要求5所述的一种多用碳化硅晶片传输机械手，其特征在于：所述圆心检测模块包括设置在所述晶片拾取模块四周的超声波传感器的安装孔以及安装在所述安装孔中的超声波传感器。

7.根据权利要求1所述的一种多用碳化硅晶片传输机械手，其特征在于：所述双向旋向丝杆包括中部的双旋对称面以及分别设置在所述双旋对称面两侧的旋向相反的左旋螺纹和右旋螺纹。

8.根据权利要求1所述的一种多用碳化硅晶片传输机械手，其特征在于：所述动力输入模块包括驱动机构和减速器，所述减速器固定安装在所述衬板上，所述驱动机构通过减速器与所述主传动齿轮连接驱动所述主传动齿轮发生转动。

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