CN111020517A - 一种基板承托架 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种基板承托架，所述基板承托架包括承托板以及基板固定件；所述基板固定件包括基座以及设置于所述基座上且分别位于所述基座的不同侧的至少两个基板限位件，所述基座配设有驱动其沿第一方向旋转的第一驱动件，所述第一方向平行于所述承托板的轴心线。利用基座上的一个基板限位件对基板进行限位固定以完成一种膜层喷涂后，需要对基板进行另一种膜层的喷涂时，切换基座上未被使用的基板限位件对基板进行限位，防止同一个基板限位件上沉积有多层不同种类的膜层，从而防止基板限位件上的膜层颗粒脱落掉到基板上导致基板上形成的功能膜层不均，同时可以延长基板承托架的清洗周期。
Description
技术领域
本发明涉及显示面板制造领域，尤其涉及一种基板承托架。
背景技术
在显示面板的制造过程中，需要在基板上通过PVD(物理气相沉积)制程沉积功能膜层。在PVD制程中，由于PVD机台都是立式结构，故基板需要固定在承托架上进行传送，再进行喷涂沉积膜层材料。目前，为了将基板固定在承托架上，承托架上一般会安装若干夹钳以达到固定基板的作用。
然而，夹钳的顶端暴露在PVD喷涂范围内，夹钳的上表面会沉积膜层，当夹钳上累积不同膜层时，夹钳上的膜层颗粒容易脱落掉到基板上，从而导致基板上形成的功能膜层不均。
发明内容
本发明提供一种基板承托架，以解决夹钳的上表面上会累积不同膜层导致夹钳上的膜层颗粒容易脱落掉到基板上，从而导致基板上形成的功能膜层不均的技术问题。
为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：
一种基板承托架，所述基板承托架包括承托板以及基板固定件；
其中，所述基板固定件包括基座以及设置于所述基座上且分别位于所述基座的不同侧的至少两个基板限位件，所述基座配设有驱动其沿第一方向旋转的第一驱动件，所述第一方向平行于所述承托板的轴心线。
进一步的，所述基板固定件设置有至少两组，所述基座配设有用于驱动其沿远离或靠近所述承托板的方向水平移动的第二驱动件。
进一步的，所述承托板包括用于对应放置基板的放置区以及围绕所述放置区的边缘区，一组基板固定件用于固定基板时，其余组基板固定件沿远离所述承托板的方向移动至边缘区。
进一步的，每组所述基板固定件包括至少两个分别位于所述承托板的不同侧的基板固定件。
进一步的，每组基板固定件中的所述基板固定件绕所述承托板的周侧分布。
进一步的，所述基座上设置有与其连接的连接件，所述基板限位件位于所述连接件远离所述基座中心的一侧，所述基板限位件与所述连接件可拆卸连接。
进一步的，所述基板限位件的顶端包括基板触接端，所述基板触接端呈弧形，所述基板触接端的内弧面朝向所述承托板。
进一步的，所述连接件的下部插设有一转动轴，所述转动轴的轴线与所述承托板的上侧面所对应的平面平行，所述连接件通过转动轴与所述基座绕转动连接，所述连接件绕所述转动轴的轴线转动以带动所述基板限位件的基板触接端向远离或靠近所述承托板的方向转动。
进一步的，所述第一驱动件包括电机以及与所述电机传动连接的传动轴，所述传动轴沿第一方向设置且与所述基座连接。
进一步的，所述第二驱动件包括电缸、气缸或液压缸，所述第二驱动件设置于所述承托板上，所述第二驱动件的伸缩杆沿远离所述承托板的方向设置且与所述第一驱动件连接。
本发明的有益效果为：利用基座上的一个基板限位件对基板进行限位固定以完成一种膜层喷涂后，需要对基板进行另一种膜层的喷涂时，切换基座上未被使用的基板限位件对基板进行限位；同时对基板进行限位固定时只需要使用一组基板固定件，其余组基板固定件位于不会被膜层材料溅射到的边缘区，一组基板固定件上的所有基板限位件均使用过后，利用第二驱动件将改组被使用过的基板限位件移动至边缘区，并驱动任一组未被使用的基板固定件对基板进行固定，防止同一个基板限位件上沉积有多层不同种类的膜层，从而防止基板限位件上的膜层颗粒脱落掉到基板上导致基板上形成的功能膜层不均，同时可以延长基板承托架的清洗周期。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明具体实施方式中使用第一组基板固定件对基板进行限位固定时的示意图；
图2为本发明具体实施方式中基板固定件的结构示意图；
图3为本发明具体实施方式中使用第二组基板固定件对基板进行限位固定时的示意图；
图4为本发明具体实施方式中第一驱动件、第二驱动件以及基板固定件的连接示意图。
附图标记：
10、承托板；11、凹槽；12、放置区；13、边缘区；20、基板固定件；21、基座、22、连接件；221、安装槽；23、基板限位件；231、螺纹孔；232、基板触接端；31、第一组基板固定件；32、第二组基板固定件；40、第一驱动件；41、传动轴；50、第二驱动件；51、伸缩杆；60、转动轴。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。
本发明针对现有的显示面板的制造过程中，夹钳的上表面上会累积不同膜层导致夹钳上的膜层颗粒容易脱落掉到基板上，从而导致基板上形成的功能膜层不均的技术问题。本发明可以解决上述问题。
一种基板承托架，如图1和图2所示，所述基板承托架包括承托板10以及基板固定件20。
对基板进行膜层喷涂沉积时，基板承托架放置在传输带上，将基板放置于承托板10上，并通过基板固定件20对基板进行限位固定，防止基板在传输过程中产生位移。
具体的，所述基板固定件20包括基座21以及设置于所述基座21上且分别位于所述基座21的不同侧的至少两个基板限位件23，所述基座21配设有驱动其沿第一方向旋转的第一驱动件40，所述第一方向平行于所述承托板10的轴心线。
利用基座21上的一个基板限位件23对基板进行限位固定以完成一种膜层喷涂后，该基板限位件23的顶端的上表面会沉积一种膜层，此时其余的基板限位件23处于备用状态，膜层不会溅射到其余的基板限位件23上；需要对基板进行另一种膜层的喷涂时，第一驱动件40驱动基座21绕第一方向转动以使其余的基板限位件23中的任一个移动到预设位置，以对基板进行限位固定，防止同一个基板限位件23上沉积有多层不同种类的膜层，从而防止基板限位件23上的膜层颗粒脱落掉到基板上导致基板上形成的功能膜层不均，同时可以延长基板承托架的清洗周期。
需要说明的是，生产加工过程中，承托板10水平放置于传输带上，则第一方向为竖向。
在一实施方式中，所述基板限位件23位于所述基座21的边缘位置处。
需要说明的是，图2中仅示意了一个所述基板固定件20包括两个基板限位件23的情况，实际实施中，一个所述基板固定件20还可以包括三个或四个基板限位件23。
需要说明的是，图2中仅示意了两个所述基板限位件23相邻设置的情况，在一实施方式中，两个所述基板限位件23优选为相对设置。
具体的，所述承托板10上设置有凹槽11，工作时，基板以及基板固定件20均放置于凹槽11中。
具体的，所述基座21上设置有与其连接的连接件22，所述基板限位件23位于所述连接件22远离所述基座21中心的一侧，所述基板限位件23与所述连接件22可拆卸连接。
需要说明的是，所述连接件22与所述基板限位件23一一对应，对基板承托架进行清洗时，可以将基板限位件23拆卸下来进行清洗，从而使的基板限位件23的清洗更加方便，从而保证基板限位件23上无膜层颗粒残留，避免基板限位件23上的膜层颗粒掉落至基板上。
在一实施方式中，所述连接件22上设置有安装槽221，所述基板限位件23的下部处设置有螺纹孔231，所述基板限位件23可以通过螺栓与连接件22可拆卸连接，螺栓穿过安装槽221和螺纹孔231并与螺纹孔231螺纹连接。
需要说明的是，所述基板限位件23上可以设置多个位于不同高度的螺纹孔231，从而可以多基板限位件23的高度进行调整，以适应不同厚度的基板的限位固定。
需要说明是，实际实施中，所述基板限位件23还可以通过其他方式与连接件22可拆卸连接，如栓接、铆连接、卡扣连接或花键连接等，在此不一一列举。
具体的，所述基板限位件23的顶端包括基板触接端232，所述基板触接端232呈弧形，所述基板触接端232的内弧面朝向所述承托板10。
需要说明的是，通过基板限位件23对基板进行限位固定时，利用基板限位件23上呈弧形的基板触接端232的内弧面与基板的上侧面触接，从而对基板进行限位固定。
具体的，所述连接件22的下部上插设有一转动轴60，所述转动轴60的轴线与所述承托板10的上侧面所对应的平面平行，所述连接件22通过转动轴60与所述基座21绕转动连接，所述连接件22绕所述转动轴60的轴线转动以带动所述基板限位件23的基板触接端232向远离或靠近所述承托板10的方向转动。
需要说明的是，所述连接件22与所述转动轴60一一对应；所述转动轴60的轴向与所述转动轴60所在侧的基座21的侧边的长度方向平行，如所述连接件22在所述基座21的左侧，可知与该连接件22连接的转动轴60也在所述基座21的左侧，此时，与该连接件22连接的转动轴60的轴向与所述基座21的左侧边的长度方向平行。
在一实施方式中，所述转动轴60与所述基座21固定连接，所述转动轴60绕其轴向与所述连接件22转动连接；所述转动轴60上套设有一扭簧(图中未示出)，所述扭簧的一端与转动轴60固定连接，另一端与所述连接件22固定连接，所述连接件22的下部垂直于所述承托板10的顶面时所述扭簧处于自然拉伸状态。
利用扭簧的弹力对基板进行夹紧，同时连接件22可以绕转动轴60转动，基板限位件23与基板接触以夹紧基板时有一定的缓冲，从而防止对基板造成损坏。
具体的，所述基板固定件20设置有至少两组，所述基座21配设有用于驱动其沿远离或靠近所述承托板10的方向水平移动的第二驱动件50。
如图1和图3所示，对基板进行膜层喷涂时，第一组基板固定件31中的所有基板限位件23均使用后，通过第二驱动件50驱动第一组基板固定件31沿远离所述基板的方向移动至设定位置，并驱动未被使用过的第二组基板固定件32向靠近基板的方向移动，以对基板进行限位固定。
利用两组甚至多组基板固定件20交替使用，避免基板固定件20中的基板限位件23上沉积不同膜层导致膜层颗粒脱落，同时可以进一步延长基板承托架的清洗周期。
进一步的，所述承托板10包括用于对应放置基板的放置区12以及围绕所述放置区12的边缘区13，一组基板固定件20用于固定基板时，其余组基板固定件20沿远离所述承托板10的方向移动至边缘区13。
需要说明的是，边缘区13为对基板进行膜层喷涂时未被膜层材料溅射到的区域。
具体的，每组所述基板固定件20包括至少两个分别位于所述承托板10的不同侧的基板固定件20。
进一步的，每组基板固定件20中的所述基板固定件20绕所述承托板10的周侧分布。
如图4所示，在一实施方式中，所述第一驱动件40包括电机以及与所述电机传动连接的传动轴41，所述传动轴41沿第一方向设置且与所述基座21连接。
在一实施方式中，所述第二驱动件50包括电缸、气缸或液压缸，所述第二驱动件50设置于所述承托板10上，所述第二驱动件50的伸缩杆51沿远离所述承托板10的方向设置且与所述第一驱动件40连接。
进一步的，所述第二驱动件50设置于所述凹槽11的侧壁上。
利用电极驱动传动轴41转动，从而带动基座21旋转，从而使得位于基座21的不同侧边的基板限位件23进行位置更换，利用第二驱动件50驱动第一驱动件40和基座21沿远离或靠近基板的方向移动，从而实现不同组基板固定件20进行更换。
本发明的有益效果为：利用基座21上的一个基板限位件23对基板进行限位固定以完成一种膜层喷涂后，需要对基板进行另一种膜层的喷涂时，切换基座21上未被使用的基板限位件23对基板进行限位；同时对基板进行限位固定时只需要使用一组基板固定件20，其余组基板固定件20位于不会被膜层材料溅射到的边缘区13，一组基板固定件20上的所有基板限位件23均使用过后，利用第二驱动件50将改组被使用过的基板限位件23移动至边缘区13，并驱动任一组未被使用的基板固定件20对基板进行固定，防止同一个基板限位件23上沉积有多层不同种类的膜层，从而防止基板限位件23上的膜层颗粒脱落掉到基板上导致基板上形成的功能膜层不均，同时可以延长基板承托架的清洗周期。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。
Claims (10)
1.一种基板承托架，其特征在于，所述基板承托架包括承托板以及基板固定件；
其中，所述基板固定件包括基座以及设置于所述基座上且分别位于所述基座的不同侧的至少两个基板限位件，所述基座配设有驱动其沿第一方向旋转的第一驱动件，所述第一方向平行于所述承托板的轴心线。
2.根据权利要求1所述的基板承托架，其特征在于，所述基板固定件设置有至少两组，所述基座配设有用于驱动其沿远离或靠近所述承托板的方向水平移动的第二驱动件。
3.根据权利要求2所述的基板承托架，其特征在于，所述承托板包括用于对应放置基板的放置区以及围绕所述放置区的边缘区，一组基板固定件用于固定基板时，其余组基板固定件沿远离所述承托板的方向移动至边缘区。
4.根据权利要求2所述的基板承托架，其特征在于，每组所述基板固定件包括至少两个分别位于所述承托板的不同侧的基板固定件。
5.根据权利要求4所述的基板承托架，其特征在于，每组基板固定件中的所述基板固定件绕所述承托板的周侧分布。
6.根据权利要求1所述的基板承托架，其特征在于，所述基座上设置有与其连接的连接件，所述基板限位件位于所述连接件远离所述基座中心的一侧，所述基板限位件与所述连接件可拆卸连接。
7.根据权利要求6所述的基板承托架，其特征在于，所述基板限位件的顶端包括基板触接端，所述基板触接端呈弧形，所述基板触接端的内弧面朝向所述承托板。
8.根据权利要求7所述的基板承托架，其特征在于，所述连接件的下部插设有一转动轴，所述转动轴的轴线与所述承托板的上侧面所对应的平面平行，所述连接件通过转动轴与所述基座绕转动连接，所述连接件绕所述转动轴的轴线转动以带动所述基板限位件的基板触接端向远离或靠近所述承托板的方向转动。
9.根据权利要求2所述的基板承托架，其特征在于，所述第一驱动件包括电机以及与所述电机传动连接的传动轴，所述传动轴沿第一方向设置且与所述基座连接。
10.根据权利要求9所述的基板承托架，其特征在于，所述第二驱动件包括电缸、气缸或液压缸，所述第二驱动件设置于所述承托板上，所述第二驱动件的伸缩杆沿远离所述承托板的方向设置且与所述第一驱动件连接。
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