CN107564847A - 一种显示面板的制作方法及制作设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种显示面板的制作方法，包括步骤：提供一基板；将基板传输至镀膜腔；采用夹具夹持所述基板的端边位置；执行镀膜作业；解除所述夹具的夹持，将基板传输出镀膜腔。通过将夹具夹持基板的端边位置，能够有效的分散的受力点，将四个边角的力分散到基板的端边位置，从而有效的避免在基板上出现划痕损伤点，进一步的降低基板破片率，保证显示面板生产过程中的良品率，有效的降低显示面板的报废成本，进一步的提高了显示面板的市场竞争力。

Description

一种显示面板的制作方法及制作设备
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种显示面板的制作方法及制作设备。
背景技术
显示器具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有市场上的显示器大部分为背光型显示器，其包括显示面板及背光模组(backlight module)。显示面板的工作原理是在两片平行的基板当中放置液晶分子，并在两片基板上施加驱动电压来控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线折射出来产生画面。
其中，薄膜晶体管显示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，TFT-LCD)由于具有低的功耗、优异的画面品质以及较高的生产良率等性能，目前已经逐渐占据了显示领域的主导地位。同样，薄膜晶体管显示器包含显示面板和背光模组，显示面板包括彩膜基板(Color Filter Substrate，CF Substrate，也称彩色滤光片基板)和薄膜晶体管阵列基板(Thin Film Transistor Substrate，TFT Substrate)，上述基板的相对内侧存在透明电极。两片基板之间夹一层液晶分子(Liquid Crystal，LC)。显示面板是通过电场对液晶分子取向的控制，改变光的偏振状态，并藉由偏光板实现光路的穿透与阻挡，实现显示的目的。
现有显示面板的制程透明电极层制程中会划痕损伤，划痕损伤集中在基板的四角位置，容易形成破片裂点，造成显示面板的不能继续进行使用，进一步的提高了显示面板的生产成本。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种有效降低基板破片率的显示面板的制作方法。
此外，本发明还提供一种显示面板的制作设备。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：
一种显示面板的制作方法，包括步骤：
提供一基板；
将所述基板传输至镀膜腔；
采用夹具夹持所述基板的端边位置；
执行镀膜作业；
解除所述夹具的夹持，将基板传输出镀膜腔。
进一步的，所述执行镀膜作业的步骤包括：
将镀膜腔的工作温度设置在220℃～230℃；
在所述基板上溅射透明电极材料层。
这样，将镀膜腔的工作温度设置在220℃～230℃，溅射透明电极材料层过程中基板温度为120℃±15℃，使得形成溅射透明电极材料层的薄膜性能优良，能够有效的提升显示面板的透明电极层制作工艺水平，进一步的提高显示面板的显示效果。
进一步的，所述夹具的夹持位置在距离基板的边缘3～4毫米处。这样，能够有效的将四个边角的力分散到基板的端边位置，从而有效的避免在基板上出现划痕损伤点，进一步的降低基板破片率，保证显示面板生产过程中的良品率，有效的降低显示面板的报废成本。
进一步的，所述夹具的夹持位置在所述基板的端边中间位置。这样，将夹具设在远离基板四个边角的位置，能够有效的将四个边角的力分散到基板的端边位置，从而有效的避免在基板上出现划痕损伤点，进一步的降低基板破片率，保证显示面板生产过程中的良品率。
根据本发明的另一个方面，本发明还公开了一种显示面板的制作设备，包括：
导轨装置，用于对基板进行运送；
夹具装置，用于对基板进行夹持和固定；
所述导轨装置与所述夹具装置可活动的连接，所述夹具装置上设有用于夹持基板的夹具，所述夹具设在基板端边对应位置。这样，将夹具设置在基板端边对应位置，采用夹具夹持在基板的端边位置，能够有效的分散的受力点，将四个边角的力分散到基板的端边位置，从而有效的避免在基板上出现划痕损伤点，进一步的降低基板破片率，保证显示面板生产过程中的良品率。
进一步的，所述夹具装置包括固定框，所述夹具包括夹板，所述夹板的根部与所述固定框活动连接，所述夹板与所述固定框之间设有弹簧，所述弹簧的圈数为7～11圈。这样，使得夹具能够有效的适应不同型号的基板，而且保证了夹具更好的回弹力度，使得夹具夹持基板时不容易松弛，而且弹性反应好夹持不容易过紧，从而有效的避免在基板上出现划痕损伤点，进一步的降低基板破片率。
进一步的，所述夹具包括夹头，所述夹头设在所述夹板上，所述夹头的厚度为3～4毫米。这样，能够有效的对基板进行夹持，保证了夹具更好的对基板进行夹持效果，从而有效的避免在基板上出现划痕损伤点，进一步的降低基板破片率。
进一步的，所述夹头与基板相接触的一端的宽度为4～6毫米。这样，能够有效的对基板进行夹持，保证了夹具更好的对基板进行夹持，可以在相同长度的端边设置更多的夹持点，能够有效的对基板进行夹持固定。
进一步的，所述夹头设置两个，两个所述夹头之间的间距为46～50毫米。这样，使得弹簧的回弹力更好的作用在两个夹头上，使得夹具夹持基板时不容易松弛，而且弹性反应好夹持不容易过紧，从而有效的避免在基板上出现划痕损伤点，进一步的降低基板破片率。
进一步的，所述夹具还包括固定板，所述固定板上设有卡槽，所述夹板设在所述卡槽内，所述固定板设有固定孔，采用螺丝穿过所述固定孔对所述夹板进行限位固定，所述夹板为弧形设置，所述夹头与基板接触位置的切线垂直于所述固定框所在平面。这样，夹头与基板接触位置的切线垂直于固定框所在平面，使得夹头能够更好的对基板进行固定，有效的避免在基板上出现划痕损伤点，进一步的降低基板破片率，保证显示面板生产过程中的良品率。
根据本发明的另一个方面，本发明还公开了一种显示面板的制作设备，其特征在于，包括：
导轨装置，用于对基板进行运送；
夹具装置，用于对基板进行夹持和固定；
其中,所述导轨装置与所述夹具装置可活动的连接，所述夹具装置上设有用于夹持基板的夹具，所述夹具设在基板端边对应位置；所述夹具装置包括固定框，所述夹具包括夹板，所述夹板的根部与所述固定框活动连接，所述夹板与所述固定框之间设有弹簧，所述弹簧的圈数为7～11圈；所述夹具包括夹头，所述夹头设在所述夹板上，所述夹头的厚度为3～4毫米；所述夹头与基板相接触的一端的宽度为4～6毫米；所述夹头设置两个，两个所述夹头之间的间距为46～50毫米；所述夹板设在所述卡槽内，所述固定板设有固定孔，采用螺丝穿过所述固定孔对所述夹板进行限位固定，所述夹板为弧形设置，所述夹头与基板接触位置的切线垂直于所述固定框所在平面。
本发明由于通过将夹具夹持基板的端边位置，能够有效的分散的受力点，将四个边角的力分散到基板的端边位置，从而有效的避免在基板上出现划痕损伤点，进一步的降低基板破片率，保证显示面板生产过程中的良品率，有效的降低显示面板的报废成本，进一步的提高了显示面板的市场竞争力；与此同时，机台的腔体内的温度较高使得基板容易膨胀，采用夹具夹持基板四个边角的方法操作，容易使在基板从夹具上掉落上脱落，将夹具夹持在基板的端边位置，能够有效的对基板进行固定和限位，有效的避免基板掉落的情况发生，保证了显示面板更高的生产效率。
附图说明
图1是本发明实施例的显示面板的制作方法流程图；
图2是本发明实施例的显示面板的制作方法流程图；
图3是本发明实施例的显示面板的结构示意图；
图4是本发明实施例的显示面板的结构示意图；
图5是本发明实施例的显示面板的制作方法流程图；
图6是本发明实施例的显示面板的制作方法流程图；
图7是本发明实施例的制作设备的结构示意图；
图8是本发明实施例的制作设备的结构示意图。
其中：1、基板，11、第一金属层，12、第一保护层，13、半导体层，14、第二金属层，141、源极层，142、漏极层，15、第二保护层，16、开口，17、透明电极层，18、沟道，2、制作设备，21、导轨装置，22、夹具装置，23、夹具，231、夹板，232、固定板，233、夹头，234、卡槽，235、固定孔，24、固定框。
具体实施方式
这里所公开的具体结构和功能细节仅仅是代表性的，并且是用于描述本发明的示例性实施例的目的。但是本发明可以通过许多替换形式来具体实现，并且不应当被解释成仅仅受限于这里所阐述的实施例。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
这里所使用的术语仅仅是为了描述具体实施例而不意图限制示例性实施例。除非上下文明确地另有所指，否则这里所使用的单数形式“一个”、“一项”还意图包括复数。还应当理解的是，这里所使用的术语“包括”和/或“包含”规定所陈述的特征、整数、步骤、操作、单元和/或组件的存在，而不排除存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。
下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。
如图1所示，一种显示面板的制作方法，包括步骤：
S11：提供一基板；
S12：将所述基板传输至镀膜腔；
S13：采用夹具夹持所述基板的端边位置；
S14：执行镀膜作业；
S15：解除所述夹具的夹持，将基板传输出镀膜腔。
在基板上形成主动开关，在形成透明点基层的制程中采用夹具23夹持基板的端边位置，通过将夹具23夹持基板的端边位置，能够有效的分散的受力点，将四个边角的力分散到基板的端边位置，从而有效的避免在基板上出现划痕损伤点，进一步的降低基板破片率，保证显示面板生产过程中的良品率，有效的降低显示面板的报废成本，进一步的提高了显示面板的市场竞争力；与此同时，机台的腔体内的温度较高使得基板容易膨胀，采用夹具23夹持基板四个边角的方法操作，容易使在基板从夹具23上掉落上脱落，将夹具23夹持在基板的端边位置，能够有效的对基板进行固定和限位，有效的避免基板掉落的情况发生，保证了显示面板更高的生产效率。
如图2所示，所述执行镀膜作业的步骤包括：
S21：将镀膜腔的工作温度设置在220℃～230℃；
S22：在所述基板上溅射透明电极材料层。
将工作温度设置在220℃～230℃，溅射透明电极材料层过程中基板温度为120℃±15℃，使得形成溅射透明电极材料层的薄膜性能优良，能够有效的提升显示面板的透明电极层制作工艺水平，进一步的提高显示面板的显示效果，在主动开关上溅射透明电极材料层，然后对在透明电极材料层进行曝光显影，在透明电极材料层上获得透明电极层的图案，采用蚀刻方式获得透明电极层；工作温度采用220℃，能够有效的避免基板的膨胀形变量过大问题，从而有效的对基板进行固定和限位，有效的避免基板掉落的情况发生，保证了显示面板更高的生产效率，还能有效的降低基板的破片率，保证显示面板生产过程中的良品率，有效的降低显示面板的报废成本，进一步的提高了显示面板的市场竞争力。
其中，所述夹具23的夹持位置在距离基板的边缘3～4毫米处，将夹具23夹持在距离基板的边缘3～4毫米处，能够有效的将四个边角的力分散到基板的端边位置，从而有效的避免在基板上出现划痕损伤点，进一步的降低基板破片率，保证显示面板生产过程中的良品率，有效的降低显示面板的报废成本；将夹具23夹持在距离基板的边缘3.5毫米处，这样那个既能够保证夹具23对基板较好的夹持效果，有效的对基板进行固定和限位，有效的避免基板掉落的情况发生，还能够有效的避免夹具23对透明电极层制成的影响，保证了显示面板的良品率和生产效率。
其中，所述夹具23的夹持位置在基板的端边中间位置，将夹具23设在远离基板四个边角的位置，能够有效的将四个边角的力分散到基板的端边位置，从而有效的避免在基板上出现划痕损伤点，进一步的降低基板破片率，保证显示面板生产过程中的良品率，有效的降低显示面板的报废成本，夹具23在基板的每个端边位置均匀间隔设置多个，能够更加有效的分散基板的受力，有效的避免在基板上出现划痕损伤点，进一步的降低基板破片率；将夹具23夹持在距离基板边角位置10厘米以上的位置，有效的分散基板的受力，有效的避免在基板上出现划痕损伤点。
如图3所示，主动开关包括金属层和保护层，其中，金属层包括第一金属层11和第二金属层14，保护层包括第一保护层12和第二保护层15，第一金属层11设在基板1上，第一保护层12设在第一金属层11上，第二金属层14设在第一保护层12上，第二保护层15设在第二金属层14上，所述第二金属层14包括源极层141和漏极层142之间设有沟道18，半导体层13设在沟道18底部，通过第一保护层12和第二保护层15的设置，能够有效的对金属层进行保护，进一步的避免金属层的表面出现氧化的情况，当显示面板的制程出现问题的区域重工时，保护层能够有效的避免清洗剂对显示面板的金属层的直接腐蚀，使得金属层能够保持完好，从而避免产生断线问题，进而提升显示面板的重工成功率而降低报废成本，而且金属层的侧边从微结构来看都有金属毛刺的现象，通过设置第一保护层12和第二保护层15，能够更好的对金属层上的金属毛刺进行覆盖，有效的防止金属毛刺裸露在保护层外，使得保护层能够更好的对金属层进行保护；同时采用保护层的设置能够很好的对制程出现问题的区域进行重工修复，而不需要将薄膜晶体管阵列基板进行报废处理，更加的绿色环保。
保护层为氧化硅层，即保护层采用氧化硅材料制成，在化学气相沉积(ChemicalVapor Deposition，CVD)技术将氧化硅沉积到金属层进行之前，采用氢离子轰击金属层，能够有效的解决金属层表面氧化的问题，利用氢离子的氧化还原反应将金属氧化物还原成金属，同时能够有效解决金属层制程到保护层制程之间的等待时间过短的问题，在金属层上进行一次化学气相沉积后，等待第一层氧化硅层冷却凝固形成第一层第一保护层12，在第一层第一保护层12进行第二次化学气相沉积后形成第二层第一保护层12，重复以上步骤，使得金属层上沉积至少两层氧化硅层，从而更好的对金属层上进行覆盖，有效的防止金属毛刺裸露在保护层外，使得保护层能够更好的对金属层进行保护，氧化硅的化学性质比较稳定，不会与氢氧化钾溶液进行反应，有效的避免清洗剂对金属层的腐蚀破坏，能够好的对金属层进行保护；而且通过进行多次化学气相沉积形成至少两层氧化硅层，中途不需要额外更换的原材料，也不需要额外更换设备，降低原材料成本、存储成本，物料清单不需要增加新的材料，方便流程管理和采购，同时化学气相沉积技术成熟，能够很好的控制氧化硅的使用量，进一步的减低了生产制造成本，使得显示面板具有更强的市场竞争力；当然第二保护层15也可以采用同样的方法设置两层。
当然保护层也为氮化硅层，即保护层采用氮化硅材料制成，在化学气相沉积技术将氧化硅沉积到金属层进行之前，采用氢离子轰击金属层，能够有效的解决金属层表面氧化的问题，利用氢离子的氧化还原反应将金属氧化物还原成金属，同时能够有效解决金属层制程到保护层制程之间的等待时间过短的问题，在金属层上进行一次化学气相沉积后，等待第一层氮化硅层冷却凝固形成第一层第一保护层12，在第一层第一保护层12进行第二次化学气相沉积后形成第二层第一保护层12，重复以上步骤，使得金属层上沉积至少两层氮化硅层，从而更好的对金属层上进行覆盖，有效的防止金属毛刺裸露在保护层外，使得保护层能够更好的对金属层进行保护，氮化硅不会与氢氧化钾溶液进行反应，有效的避免清洗剂对金属层的腐蚀破坏，能够更好的对金属层进行保护，氮化硅是一种超硬物质，且氮化硅材料耐磨损，高温时抗氧化，还能抵抗冷热冲击，而且通过进行多次化学气相沉积形成至少两层氮化硅层，中途不需要额外更换的原材料，也不需要额外更换设备，降低原材料成本、存储成本，物料清单不需要增加新的材料，方便流程管理和采购，同时化学气相沉积技术成熟，能够很好的控制氮化硅的使用量，进一步的减低了生产制造成本，使得显示面板具有更强的市场竞争力；当然第二保护层15也可以采用同样的方法设置两层。
如图4所示，作为本发明的又一个实施例，保护层包括氮化硅层和氧化硅层，在化学气相沉积技术将氧化硅沉积到金属层进行之前，采用氢离子轰击金属层，能够有效的解决金属层表面氧化的问题，利用氢离子的氧化还原反应将金属氧化物还原成金属，同时能够有效解决金属层制程到保护层制程之间的等待时间过短的问题，然后通过化学气相沉积技术将氧化硅沉积到金属层上，等待氧化硅层冷却凝固形成第一层第一保护层12，然后化学气相沉积技术将氮化硅沉积到氧化硅层上形成第二层第一保护层12，当然也可以是先设置氮化硅层作为第一层第一保护层12，再将氧化硅层覆盖在氮化硅层上形成第二层第一保护层12，通过氮化硅层和氧化硅层堆叠设置，使得保护层能够更好的附着在金属层上，能够更好的对金属层上的金属毛刺进行覆盖，有效的防止金属毛刺裸露在保护层外，使得保护层能够更好的对金属层进行保护，能够有效的避免清洗剂对液晶面板的金属层的直接腐蚀，使得金属层能够保持完好，从而避免产生断线问题，进一步的提高了显示面板的耐用性；当然第二保护层15也可以采用同样的氮化硅层和氧化硅层的堆叠设置两层。
其中，第二保护层15上形成有透明电极层17，第二保护层15上设有开口16，透明电极层17通过开口16与第二金属层14相连接，通过在第二保护层15上设置开口16，方便透明电极层17与第二金属层14进行连接，保证了显示面板良好的显示效果，在设置透明电极层17之前对开口16处的第二金属层14采用氢离子进行轰击，能够有效的解决第二金属层14表面氧化的问题，利用氢离子的氧化还原反应将第二金属层14上的金属氧化物还原成金属，同时能够有效解决第二金属层14制程到透明电极层17制程之间的等待时间过短的问题；然后在轰击过的第二金属层14上设置透明电极层17，透明电极层17能够有效的对开口16处的第二金属层14进行保护，进一步的避免金属层的表面出现氧化的情况。
如图5所示，显示面板的制作方法包括步骤：
S31：提供一基板；
S32：在所述基板上形成第一金属层；
S33：在所述第一金属层上形成第一保护层、半导体层和第二金属层；
S34：在所述第二金属层上形成第二保护层；
S35：在所述第二保护层上形成透明电极层。
第一光罩制程：首先对基板1进行清洗，在清洗后的基板1上溅镀第一金属材料层，完成第一金属材料层的溅镀后进行成膜前清洗，然后在清洗后的第一金属材料层上涂布光阻，采用第一光罩对光阻进行对准并曝光，用显影液在第一金属材料层显影获得第一金属层11的图案，然后采用蚀刻液对第一金属材料层进行蚀刻获得第一金属层11，对残留的光阻进行去除，完成第一光罩制程检查。
第二光罩制程：首先对完成第一光罩制程的基板1进行清洗，在第一金属层11上通过化学气相沉积技术将第一保护层12沉积到第一金属层11上，在清洗后的第一保护层12上形成半导体材料层，完成半导体材料层的溅镀后进行成膜前清洗，然后在清洗后的半导体材料层上形成第二金属材料层，然后在清洗后的第二金属材料层上涂布光阻，采用第二光罩对光阻进行对准并曝光，用显影液在第二金属材料层显影获得第二金属层14的图案，然后采用蚀刻液对半导体材料层进行蚀刻获得第二金属层14，采用第二光罩对光阻进行对准并曝光，在半导体材料层显影获得半导体层13的图案，然后对半导体材料层进行干蚀刻获得半导体层13，对残留的光阻进行去除，完成第二光罩制程检查。
第三光罩制程：首先对完成第二光罩制程的基板1进行清洗，在清洗后的第二金属层14上形成第二保护材料层，然后在第二金属材料层上涂布光阻，采用第四光罩对光阻进行对准并曝光，用显影液在第二保护材料层显影获得第二保护层15的图案，然后采用蚀刻液对第二保护材料层进行蚀刻获得第二保护层15，对残留的光阻进行去除，完成第三光罩制程检查。
第四光罩制程：首先对完成第三光罩制程的基板1进行清洗，在清洗后的第二保护层15上形成透明电极材料层，然后在透明电极材料层上涂布光阻，采用第五光罩对光阻进行对准并曝光，用显影液在透明电极材料层显影获得透明电极层17的图案，然后采用蚀刻液对透明电极材料层进行蚀刻获得透明电极层17，对残留的光阻进行去除，完成第四光罩制程检查。
如图6所示，显示面板的制作方法包括步骤：
S41：提供一基板；
S42：在所述基板上形成第一金属层；
S43：在所述第一金属层上形成第一保护层和半导体层；
S44：在半导体层上形成第二金属层；
S45：在所述第二金属层上形成第二保护层；
S46：在所述第二保护层上形成透明电极层。
第一光罩制程：首先对基板1进行清洗，在清洗后的基板1上溅镀第一金属材料层，完成第一金属材料层的溅镀后进行成膜前清洗，然后在清洗后的第一金属材料层上涂布光阻，采用第一光罩对光阻进行对准并曝光，用显影液在第一金属材料层显影获得第一金属层11的图案，然后采用蚀刻液对第一金属材料层进行蚀刻获得第一金属层11，对残留的光阻进行去除，完成第一光罩制程检查。
第二光罩制程：首先对完成第一光罩制程的基板1进行清洗，在第一金属层11上通过化学气相沉积技术将第一保护层12沉积到第一金属层11上，在清洗后的第一保护层12上形成半导体材料层，完成半导体材料层的溅镀后进行成膜前清洗，然后在清洗后的半导体材料层上涂布光阻，采用第二光罩对光阻进行对准并曝光，用显影液在半导体材料层显影获得半导体层13的图案，然后采用蚀刻液对半导体材料层进行蚀刻获得半导体层13，对残留的光阻进行去除，完成第二光罩制程检查。
第三光罩制程：首先对完成第二光罩制程的基板1进行清洗，在清洗后的半导体层13上形成第二金属材料层，完成第二金属材料层的溅镀后进行成膜前清洗，然后在清洗后的第二金属材料层上涂布光阻，采用第三光罩对光阻进行对准并曝光，用显影液在第二金属材料层显影获得第二金属层14的图案，然后采用蚀刻液对第二金属材料层进行蚀刻获得第二金属层14，对残留的光阻进行去除，完成第三光罩制程检查。
第四光罩制程：首先对完成第三光罩制程的基板1进行清洗，在清洗后的第二金属层14上形成第二保护材料层，然后在第二金属材料层上涂布光阻，采用第四光罩对光阻进行对准并曝光，用显影液在第二保护材料层显影获得第二保护层15的图案，然后采用蚀刻液对第二保护材料层进行蚀刻获得第二保护层15，对残留的光阻进行去除，完成第四光罩制程检查。
第五光罩制程：首先对完成第四光罩制程的基板1进行清洗，在清洗后的第二保护层15上形成透明电极材料层，然后在透明电极材料层上涂布光阻，采用第五光罩对光阻进行对准并曝光，用显影液在透明电极材料层显影获得透明电极层17的图案，然后采用蚀刻液对透明电极材料层进行蚀刻获得透明电极层17，对残留的光阻进行去除，完成第五光罩制程检查。
具体实施中，所述显示面板包括基板，所述基板上形成有主动开关，所述主动开关上形成有透明电极层，所述主动开关包括第一金属层，在所述第一金属层上形成第一保护层和半导体层，在半导体层上形成第二金属层，在所述第二金属层上形成第二保护层，在所述第二保护层上形成透明电极层。
如图7所示，根据本发明的另一个方面，本发明还公开了一种显示面板的制作设备2，包括：
导轨装置21，用于对基板进行运送；
夹具装置22，用于对基板进行夹持和固定；
导轨装置21与夹具装置22可活动的连接，夹具装置22上设有用于夹持基板的夹具23，夹具23设在基板端边对应位置。
导轨装置21的设置能够有效的对基板进行运送，导轨装置21包括导轨，导轨采用电磁驱动，有效的保证基板运输平稳性，进一步的避免导轨不平稳产生的振动对几班的影响；夹具装置22能够有效的对基板进行夹持和固定，进一步的避免基板从夹具装置22上脱落，将夹具23设置在基板端边对应位置，采用夹具23夹持在基板的端边位置，能够有效的分散的受力点，将四个边角的力分散到基板的端边位置，从而有效的避免在基板上出现划痕损伤点，进一步的降低基板破片率，保证显示面板生产过程中的良品率，有效的降低显示面板的报废成本，进一步的提高了显示面板的市场竞争力。
如图8所示，夹具装置22包括固定框24，夹具23包括夹板231，夹板231的根部与固定框24活动连接，夹板231与固定框24之间设有弹簧，弹簧的圈数为7～11圈，弹簧的夹持力度与弹簧强度相关，将弹簧的圈数为7～11圈，根据不同的基板厚度来选择不同的弹簧圈数，使得夹具23能够有效的适应不同型号的基板，而且保证了夹具23更好的回弹力度，使得夹具23夹持基板时不容易松弛，而且弹性反应好夹持不容易过紧，从而有效的避免在基板上出现划痕损伤点，进一步的降低基板破片率；采用9圈弹簧，能够保证更加合适的夹持力度，有效的避免在基板上出现划痕损伤点，进一步的降低基板破片率。
其中，夹具23包括夹头233，夹头233设在夹板231上，夹头233的厚度为3～4毫米，如图8中d1所示，夹头233的厚度设置为3～4毫米，能够有效的对基板进行夹持，保证了夹具23更好的对基板进行夹持效果，从而有效的避免在基板上出现划痕损伤点，进一步的降低基板破片率，保证显示面板生产过程中的良品率，有效的降低显示面板的报废成本；将夹具23的厚度设置为3.5毫米，这样那个既能够保证夹具23对基板较好的夹持效果，有效的对基板进行固定和限位，有效的避免基板掉落的情况发生，还能够有效的避免夹具23对透明电极层制成的影响，保证了显示面板的良品率和生产效率；同时夹头233的厚度在3～4毫米之间保证了夹头233与基板夹持时具有更大的接触面积，从而使得夹持更加的稳定。
其中，夹头233与基板相接触的一端的宽度为4～6毫米，如图8中d2所示，夹头233与基板相接触的一端的宽度设置为4～6毫米，能够有效的对基板进行夹持，保证了夹具23更好的对基板进行夹持，可以在相同长度的端边设置更多的夹持点，能够有效的对基板进行夹持固定，可选的将宽度设置为5毫米，既保证了夹具23对基板较好的夹持效果，有效的对基板进行固定和限位，有效的避免基板掉落的情况发生，还能够有效的避免夹具23对透明电极层制成的影响，保证了显示面板的良品率和生产效率。
其中，夹头233设置两个，两个夹头233之间的间距为46～50毫米，如图8中d3所示，使得弹簧的回弹力更好的作用在两个夹头233上，使得夹具23夹持基板时不容易松弛，而且弹性反应好夹持不容易过紧，从而有效的避免在基板上出现划痕损伤点，进一步的降低基板破片率，可选的，将两个夹头233的间距设为48毫米，能够有效的控制夹具23的大小，保证夹具23能够有效的对基板进行夹持，从而方便透明电极层制程的进行。
其中，夹具23还包括固定板232，固定板232上设有卡槽234，夹板231设在卡槽234内，固定板232设有固定孔235，采用螺丝穿过固定孔235对夹板231进行限位固定，夹板231为弧形设置，夹头233与基板接触位置的切线垂直于固定框24所在平面，固定板232的设置能够有效的对夹板231进行限位固定，而且固定板232能够很好的固定在固定框24上，保证了夹具23对基板更好的夹持效果，卡槽234的设置方便夹板231的固定，采用螺丝穿过固定孔235对夹板231进行限位固定，在对不同尺寸的基板进行透明电极层制程，可以方便对更换更加适合的夹板231型号，进一步的提高了显示面板的生产效率，弧形设置的夹板231方便夹具23对基板的夹持，使得夹持更加的稳固，夹头233与基板接触位置的切线垂直于固定框24所在平面，使得夹头233能够更好的对基板进行固定，有效的避免在基板上出现划痕损伤点，进一步的降低基板破片率，保证显示面板生产过程中的良品率，有效的降低显示面板的报废成本。
在某些实施例中，显示面板例如为液晶面板、OLED(Organic Light-EmittingDiode)面板、QLED(Quantum Dot Light Emitting Diodes)面板、等离子面板、平面型面板、曲面型面板等。
以上内容是结合具体的实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括步骤：
提供一基板；
将所述基板传输至镀膜腔；
采用夹具夹持所述基板的端边位置；
执行镀膜作业；
解除所述夹具的夹持，将基板传输出镀膜腔。
2.如权利要求1所述的一种显示面板的制作方法，其特征在于，所述执行镀膜作业的步骤包括：
将镀膜腔的工作温度设置在220℃～230℃；
在所述基板上溅射透明电极材料层。
3.如权利要求1所述的一种显示面板的制作方法，其特征在于，所述夹具的夹持位置在距离基板的边缘3～4毫米处。
4.如权利要求1所述的一种显示面板的制作方法，其特征在于，所述夹具的夹持位置在所述基板的端边中间位置。
5.一种显示面板的制作设备，其特征在于，包括：
导轨装置，用于对基板进行运送；
夹具装置，用于对基板进行夹持和固定；
其中,所述导轨装置与所述夹具装置可活动的连接，所述夹具装置上设有用于夹持基板的夹具，所述夹具设在基板端边对应位置。
6.如权利要求5所述的一种显示面板的制作设备，其特征在于，所述夹具装置包括固定框，所述夹具包括夹板，所述夹板的根部与所述固定框活动连接，所述夹板与所述固定框之间设有弹簧，所述弹簧的圈数为7～11圈。
7.如权利要求6所述的一种显示面板的制作设备，其特征在于，所述夹具包括夹头，所述夹头设在所述夹板上，所述夹头的厚度为3～4毫米。
8.如权利要求7所述的一种显示面板的制作设备，其特征在于，所述夹头与基板相接触的一端的宽度为4～6毫米。
9.如权利要求7所述的一种显示面板的制作设备，其特征在于，所述夹头设置两个，两个所述夹头之间的间距为46～50毫米。
10.一种显示面板的制作设备，其特征在于，包括：
导轨装置，用于对基板进行运送；
夹具装置，用于对基板进行夹持和固定；
其中,所述导轨装置与所述夹具装置可活动的连接，所述夹具装置上设有用于夹持基板的夹具，所述夹具设在基板端边对应位置；所述夹具装置包括固定框，所述夹具包括夹板，所述夹板的根部与所述固定框活动连接，所述夹板与所述固定框之间设有弹簧，所述弹簧的圈数为7～11圈；所述夹具包括夹头，所述夹头设在所述夹板上，所述夹头的厚度为3～4毫米；所述夹头与基板相接触的一端的宽度为4～6毫米；所述夹头设置两个，两个所述夹头之间的间距为46～50毫米；所述夹板设在所述卡槽内，所述固定板设有固定孔，采用螺丝穿过所述固定孔对所述夹板进行限位固定，所述夹板为弧形设置，所述夹头与基板接触位置的切线垂直于所述固定框所在平面。
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SE01 Entry into force of request for substantive examination
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GR01 Patent grant
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