CN111020491B - 蒸镀装置和蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种蒸镀装置和蒸镀设备。蒸镀装置包括彼此连接或者分开的蒸镀容器和防堵帽；防堵帽包括第一出口、第一侧壁、第一叶片、第一开口、第二叶片、第二开口以及加热丝；第一侧壁围绕第一出口；第一叶片以及第二叶片位于第一出口中，并且固定在第一侧壁上；第一叶片围绕第一开口；第二叶片围绕第二开口；第二开口小于第一开口；加热丝设置在第一侧壁、第一叶片以及第二叶片中。在本发明中，防堵帽避免蒸镀容器中蒸镀原料的融化、聚沸或坍塌导致蒸镀气体瞬间大幅波动。蒸镀气体在防堵帽上出射的速率稳定。因而，蒸镀装置实现稳定的蒸镀速率，进而实现优良的蒸镀效果。另外，防堵帽避免蒸镀气体在蒸镀容器的第二出口上发生冷凝造成堵塞。

Description

蒸镀装置和蒸镀设备

【技术领域】

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置和蒸镀设备。

【背景技术】

在显示技术中，有机发光显示面板(Organic Light Emitting Diode，OLED)以其轻薄、主动发光、快响应速度、广视角、色彩丰富及高亮度、低功耗、耐高低温等众多优点而被业界公认为是继液晶显示面板(Liquid Crystal Display，LCD)之后的第三代显示技术。

图1是相关技术中蒸镀装置的结构示意图。

如图1所示，在相关技术中，有机发光显示面板P的有机发光层采用蒸镀装置C蒸镀。蒸镀装置C包括出口、侧壁、底板以及内腔。蒸镀装置C在出口上发出气流。但是，蒸镀装置C的出口易于堵塞。蒸镀装置C的气流不稳定。

【发明内容】

为了解决上述技术问题，本发明提供一种蒸镀装置和蒸镀设备。

本发明的第一方面提供一种蒸镀装置，包括彼此连接或者分开的蒸镀容器和防堵帽；

所述防堵帽包括第一出口、第一侧壁、第一叶片、第一开口、第二叶片、第二开口以及加热丝；

所述第一侧壁围绕所述第一出口；

所述第一叶片以及所述第二叶片位于所述第一出口中，并且固定在所述第一侧壁上；

所述第一叶片围绕所述第一开口；

所述第二叶片围绕所述第二开口；

所述第二开口小于所述第一开口；

所述加热丝设置在所述第一侧壁、所述第一叶片以及所述第二叶片中。

本发明的第二方面，基于同一发明构思，提供一种蒸镀设备，包括所述蒸镀装置。

在本实施例中，蒸镀原料设置在蒸镀容器的内腔中。蒸镀原料接触蒸镀容器的底板和第二侧壁。加热丝接触蒸镀容器的第二侧壁。加热丝通过蒸镀容器的第二侧壁传导热量到蒸镀原料上。蒸镀原料受热变为蒸镀气体。蒸镀气体从蒸镀容器的内腔中流动到蒸镀容器的第二出口上。蒸镀容器的第二出口与防堵帽的第一出口连通。蒸镀气体进入防堵帽的第一出口。在防堵帽中，第一叶片以及第二叶片位于第一出口中，并且固定在第一侧壁上。第一侧壁、第一叶片以及第二叶片阻挡蒸镀气体。第一叶片围绕第一开口，第二叶片围绕第二开口。第二开口位于第一开口的上侧。蒸镀气体依次通过第一开口以及第二开口。防堵帽中第一开口的口径小于蒸镀容器中内腔的口径。防堵帽中第二开口的口径小于其中第一开口的口径。蒸镀气体从蒸镀容器的内腔到防堵帽的第一开口的流道变窄。蒸镀气体从防堵帽的第一开口到它的第二开口的流道变窄。蒸镀气体在蒸镀容器的内腔与防堵帽的第一开口之间具有稳定的压力。蒸镀气体在防堵帽的第一开口附近具有稳定的压力。蒸镀气体在防堵帽的第一开口与防堵帽的第二开口之间具有稳定的压力。蒸镀气体在防堵帽的第二开口附近具有稳定的压力。防堵帽避免蒸镀容器中蒸镀原料的融化、聚沸或坍塌导致蒸镀气体瞬间大幅波动。蒸镀气体在防堵帽上出射的速率稳定。因而，蒸镀装置实现稳定的蒸镀速率，进而实现优良的蒸镀效果。在防堵帽中，加热丝设置在第一侧壁、第一叶片以及第二叶片中。加热丝接触第一侧壁、第一叶片以及第二叶片。第一侧壁、第一叶片以及第二叶片接触蒸镀气体。加热丝通过第一侧壁、第一叶片以及第二叶片传导热量到蒸镀气体中。于是，防堵帽避免蒸镀气体在蒸镀容器的第二出口上发生冷凝造成堵塞。

【附图说明】

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是相关技术中蒸镀装置的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图；

图3是本发明实施例提供的一种蒸镀装置的另一结构示意图；

图4是本发明实施例提供的一种蒸镀装置的另一结构示意图；

图5是本发明实施例提供的另一种蒸镀装置的结构示意图；

图6是本发明实施例提供的另一种蒸镀装置的结构示意图；

图7是本发明实施例提供的另一种蒸镀装置的结构示意图；

图8是本发明实施例提供的另一种蒸镀装置的结构示意图；

图9是本发明实施例提供的另一种蒸镀装置的结构示意图；

图10是本发明实施例提供的一种蒸镀设备的结构示意图；

图11是本发明实施例提供的一种显示面板的结构示意图。

【具体实施方式】

为了更好的理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明实施例进行详细描述。

应当明确，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本发明。在本发明实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。

应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

应当理解，尽管在本发明实施例中可能采用术语第一、第二等来描述装置，但这些装置不应限于这些术语。这些术语仅用来将装置彼此区分开。例如，在不脱离本发明实施例范围的情况下，第一装置也可以被称为第二装置，类似地，第二装置也可以被称为第一装置。

本发明实施例提供一种蒸镀装置和蒸镀设备。

图2是本发明实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图；图3是本发明实施例提供的一种蒸镀装置的另一结构示意图；图4是本发明实施例提供的一种蒸镀装置的另一结构示意图。

如图2至4所示，蒸镀装置1包括彼此连接或者分开的蒸镀容器11和防堵帽12；防堵帽12包括第一出口121A、第一侧壁122、第一叶片123A、第一开口124A、第二叶片123B、第二开口124B以及加热丝125A；第一侧壁122围绕第一出口121A；第一叶片123A以及第二叶片123B位于第一出口121A中，并且固定在第一侧壁122上；第一叶片123A围绕第一开口124A；第二叶片123B围绕第二开口124B；第二开口124B小于第一开口124A；加热丝(第一加热丝)125A设置在第一侧壁122、第一叶片123A以及第二叶片123B中。

如图2至4所示，蒸镀容器11包括底板110、第二出口111、第二侧壁112、内腔113以及加热丝(第二加热丝)114。底板110位于蒸镀容器11的底部。第二侧壁112位于蒸镀容器11的侧部。内腔113位于蒸镀容器11的内部。第二出口111位于蒸镀容器11的顶部。底板110与第二侧壁112固定连接。加热丝114设置在第二侧壁112外且接触第二侧壁112。

如图3、4所示，蒸镀装置1用于蒸镀有机发光材料。此时，蒸镀容器11和防堵帽12彼此连接。防堵帽12设置在蒸镀容器11的第二出口111上。防堵帽12的第一侧壁122与蒸镀容器11的第二侧壁112连接。防堵帽12的第一出口121A与蒸镀容器11的第二出口111连通。防堵帽12的第二叶片123B位于它的第一叶片123A远离蒸镀容器11的底板110的一侧。防堵帽12的第二开口124B位于它的第一开口124A远离蒸镀容器11的底板110的一侧。

在本实施例中，蒸镀原料131设置在蒸镀容器11的内腔113中。蒸镀原料131接触蒸镀容器11的底板110和第二侧壁112。加热丝114接触蒸镀容器11的第二侧壁112。加热丝114通过蒸镀容器11的第二侧壁112传导热量到蒸镀原料131上。蒸镀原料131受热变为蒸镀气体132。蒸镀气体132从蒸镀容器11的内腔113中流动到蒸镀容器11的第二出口111上。蒸镀容器11的第二出口111与防堵帽12的第一出口121A连通。蒸镀气体132进入防堵帽12的第一出口121A。在防堵帽12中，第一叶片123A以及第二叶片123B位于第一出口121A中，并且固定在第一侧壁122上。第一侧壁122、第一叶片123A以及第二叶片123B阻挡蒸镀气体132。第一叶片123A围绕第一开口124A，第二叶片123B围绕第二开口124B。第二开口124B位于第一开口124A的上侧。蒸镀气体132依次通过第一开口124A以及第二开口124B。防堵帽12中第一开口124A的口径小于蒸镀容器11中内腔113的口径。防堵帽12中第二开口124B的口径小于其中第一开口124A的口径。蒸镀气体132从蒸镀容器11的内腔113到防堵帽12的第一开口124A的流道变窄。蒸镀气体132从防堵帽12的第一开口124A到它的第二开口124B的流道变窄。蒸镀气体132在蒸镀容器11的内腔113与防堵帽12的第一开口124A之间具有稳定的压力。蒸镀气体132在防堵帽12的第一开口124A附近具有稳定的压力。蒸镀气体132在防堵帽12的第一开口124A与防堵帽12的第二开口124B之间具有稳定的压力。蒸镀气体132在防堵帽12的第二开口124B附近具有稳定的压力。防堵帽12避免蒸镀容器11中蒸镀原料131的融化、聚沸或坍塌导致蒸镀气体132瞬间大幅波动。蒸镀气体132在防堵帽12上出射的速率稳定。因而，蒸镀装置1实现稳定的蒸镀速率，进而实现优良的蒸镀效果。在防堵帽12中，加热丝125A设置在第一侧壁122、第一叶片123A以及第二叶片123B中。加热丝125A接触第一侧壁122、第一叶片123A以及第二叶片123B。第一侧壁122、第一叶片123A以及第二叶片123B接触蒸镀气体132。加热丝125A通过第一侧壁122、第一叶片123A以及第二叶片123B传导热量到蒸镀气体132中。于是，防堵帽12避免蒸镀气体132在蒸镀容器11的第二出口111上发生冷凝造成堵塞。

蒸镀容器11与防堵帽12可以彼此连接或彼此分开。例如，蒸镀容器11与第一个防堵帽12彼此连接且蒸镀容器11与第二个防堵帽12彼此分开。蒸镀容器11与第二个防堵帽12彼此连接且蒸镀容器11与第一个防堵帽12彼此分开。第一个防堵帽12中第一开口124A的口径大于第二个防堵帽12中第一开口124A的口径。第一个防堵帽12中第二开口124B的口径大于第二个防堵帽12中第二开口124B的口径。蒸镀装置1利用第一个防堵帽12实现第一种蒸镀速率。蒸镀装置1利用第二个防堵帽12实现第二种蒸镀速率。第一种蒸镀速率与第二种蒸镀速率不同。于是，蒸镀装置1利用不同的防堵帽12实现不同的蒸镀速率。

图5是本发明实施例提供的另一种蒸镀装置的结构示意图。

如图5所示，防堵帽12还包括第三开口124C以及围绕第三开口124C的第三叶片123C；第三开口124C小于第二开口124B；第三叶片123C位于第二叶片123B远离第一叶片123A的一侧；第三叶片123C与第二叶片123B的间距大于第二叶片123B与第一叶片123A的间距。

防堵帽12的第三叶片123C围绕它的第三开口124C。防堵帽12的第三叶片123C位于它的第二叶片123B的上侧。防堵帽12的第三开口124C位于它的第二开口124B的上侧。防堵帽12的第二叶片123B和第三叶片123C阻挡蒸镀气体132。蒸镀气体132依次通过防堵帽12的第二开口124B和第三开口124C。防堵帽12中第三开口124C的口径小于防堵帽12中第二开口124B的口径。蒸镀气体132从防堵帽12的第二开口124B到它的第三开口124C的流道变窄。蒸镀气体132在防堵帽12的第二开口124B到它的第三开口124C之间具有稳定的压力。蒸镀气体132在防堵帽12的第三开口124C附近具有稳定的压力。于是，蒸镀气体132在防堵帽12的第三开口124C上出射的速率稳定。在防堵帽12中，第三叶片123C与第二叶片123B的间距大于第二叶片123B与第一叶片123A的间距。蒸镀气体132从蒸镀容器11的内腔113到防堵帽12的第三开口124C的流道延长。蒸镀气体132从蒸镀容器11的内腔113到防堵帽12的第三开口124C时比较均匀地受热。于是，蒸镀气体132在防堵帽12的第三开口124C上出射的速率更加稳定。因而，蒸镀装置1实现更加稳定的蒸镀速率，进而实现更加优良的蒸镀效果。

如图2至4所示，第一叶片123A朝向第一叶片123A靠近第二叶片123B的一侧倾斜；第二叶片123B朝向第二叶片123B远离第一叶片123A的一侧倾斜。

在防堵帽12中，第一叶片123A朝向第一叶片123A靠近第二叶片123B的一侧倾斜。第一叶片123A固定在第一侧壁122上。第一叶片123A的斜度随它至第一侧壁122的最大距离变小而变大。第一叶片123A的斜度随它至第一侧壁122的最大距离变大而变小。第一叶片123A围绕第一开口124A。第一开口124A的口径随第一叶片123A的斜度变大而变大。第一开口124A的口径随第一叶片123A的斜度变小而变小。第二叶片123B朝向第二叶片123B远离第一叶片123A的一侧倾斜。第二叶片123B固定在第一侧壁122上。第二叶片123B的斜度随它至第一侧壁122的最大距离变小而变大。第二叶片123B的斜度随它至第一侧壁122的最大距离变大而变小。第二叶片123B围绕第二开口124B。第二开口124B的口径随第二叶片123B的斜度变大而变大。第二开口124B的口径随第二叶片123B的斜度变小而变小。蒸镀气体132在防堵帽12上出射的速率随防堵帽12中第一开口124A和第二开口124B的口径变大而变大。蒸镀气体132在防堵帽12上出射的速率随防堵帽12中第一开口124A和第二开口124B的口径变小而变小。因而，蒸镀装置1改变防堵帽12中第一叶片123A和第二叶片123B的斜度调节蒸镀速率。

如图2至4所示，第一开口124A以及第二开口124B关于各自的中心对称；第一开口124A以及第二开口124B的中心位于一条轴线上。

在防堵帽12中，第一开口124A以及第二开口124B的中心位于一条轴线上。第一开口124A以及第二开口124B的中心在垂直方向上交叠。同时，第一开口124A以及第二开口124B关于各自的中心对称。第一开口124A的局部与第二开口124B的整体在垂直方向上交叠。第二叶片123B围绕第二开口124B。第一开口124A的局部与第二叶片123B在垂直方向上交叠。绝大多数蒸镀气体132在通过第一开口124A后通过第二开口124B向上出射。这样的防堵帽12避免第一开口124A的整体与第二叶片123B在垂直方向上交叠。这样的防堵帽12避免绝大多数蒸镀气体132在通过第一开口124A后到第二叶片123B上遇阻。因而，防堵帽12的第一开口124A以及第二开口124B确保蒸镀气体132的出射效率足够。

图6是本发明实施例提供的另一种蒸镀装置的结构示意图。

如图6所示，防堵帽12还包括第一限制板126A；第一限制板126A围绕第一出口121A，且位于第一叶片123A靠近第二叶片123B的一侧；第一限制板126A与第一侧壁122固定。

在防堵帽12中，第一限制板126A围绕第一出口121A。第一限制板126A与第一侧壁122固定。第一侧壁122围绕第一出口121A。第一限制板126A以及第一侧壁122在垂直方向上依次设置。第一限制板126A以及第一侧壁122阻挡蒸镀气体132出射。蒸镀气体132通过第一出口121A出射。第一限制板126A以及第一侧壁122限定蒸镀气体132出射的通道。同时，第一限制板126A位于第一叶片123A靠近第二叶片123B的一侧。第一叶片123A围绕第一开口124A。第二叶片123B围绕第二开口124B。蒸镀气体132依次通过第一开口124A以及第二开口124B出射到第一限制板126A上。第一出口121A的口径的一半为第一距离D1。第二开口124B的中心到第一限制板126A的最小距离为第二距离D2。第一距离D1与第二距离D2之比的反正弦值的两倍为蒸镀气体132的第一出射角度θ1。蒸镀气体132的第一出射角度θ1随第一限制板126A增厚而变小。蒸镀气体132的第一出射角度θ1随第一限制板126A减薄而变大。因而，防堵帽12改变第一限制板126A的厚度调节蒸镀气体132的第一出射角度θ1，进而调节蒸镀气体132的出射范围。

图7是本发明实施例提供的另一种蒸镀装置的结构示意图。

如图6、7所示，防堵帽12还包括第二限制板126B；第二限制板126B围绕第一出口121A；第二限制板126B设置于第一限制板126A远离蒸镀容器11的一侧；第一限制板126A与第二限制板126B连接或者分开。

在防堵帽12中，第一限制板126A与第二限制板126B可以连接。此时，第二限制板126B设置于第一限制板126A远离蒸镀容器11的一侧。第二限制板126B与第一限制板126A在垂直方向上依次设置。第二限制板126B围绕第一出口121A。第一限制板126A围绕第一出口121A。第二限制板126B以及第一限制板126A阻挡蒸镀气体132出射。第二限制板126B以及第一限制板126A限定蒸镀气体132出射的通道。蒸镀气体132通过第一出口121A出射到第二限制板126B上。第一出口121A的口径的一半为第一距离D1。第二开口124B的中心到第二限制板126B的最小距离为第三距离D3。第一距离D1与第三距离D3之比的反正弦值的两倍为蒸镀气体132的第二出射角度θ2。第一限制板126A与第二限制板126B可以分开。此时，第二限制板126B未设置于第一限制板126A上。蒸镀气体132通过第一出口121A出射到第一限制板126A上。第二开口124B的中心到第一限制板126A的最小距离为第二距离D2。第一距离D1与第二距离D2之比的反正弦值的两倍为蒸镀气体132的第一出射角度θ1。蒸镀气体132的第二出射角度θ2小于它的第一出射角度θ1。因而，防堵帽12设置第二限制板126B调节蒸镀气体132的出射角度，进而调节蒸镀气体132的出射范围。

图8是本发明实施例提供的另一种蒸镀装置的结构示意图。

如图8所示，蒸镀装置1还包括加热电极125B；加热丝125A设置在第一限制板126A中，且延伸到第一限制板126A外；加热丝125A与加热电极125B在第一限制板126A靠近蒸镀容器11的一侧电连接。

在防堵帽12中，加热丝125A延伸到第一限制板126A外。加热丝125A与加热电极125B在第一限制板126A外电连接。加热电极125B提供电能到加热丝125A中。加热丝125A利用电能发出热量。加热丝125A还设置在第一限制板126A中。加热丝125A接触第一限制板126A。第一限制板126A接触蒸镀气体132。加热丝125A的热量通过第一限制板126A传导到蒸镀气体132中。于是，防堵帽12避免蒸镀气体132在第一限制板126A上发生冷凝造成堵塞。其中，加热丝125A与加热电极125B在第一限制板126A靠近蒸镀容器11的一侧电连接。这样的防堵帽12避免加热丝125A以及加热电极125B在第一限制板126A上阻挡蒸镀气体132。

如图2至8所示，蒸镀容器11包括第二出口111以及围绕第二出口111的第二侧壁112；第一侧壁122以及第一限制板126A设置在第二出口111上；第一限制板126A还设置在第二侧壁112的顶侧。

在蒸镀容器11中，第二侧壁112围绕第二出口111。第二侧壁112阻挡蒸镀气体132。蒸镀气体132流动到第二出口111中。防堵帽12的第一侧壁122以及第一限制板126A设置在蒸镀容器11的第二出口111上。在防堵帽12中，第一侧壁122以及第一限制板126A围绕第一出口121A。防堵帽12的第一侧壁122以及第一限制板126A阻挡蒸镀气体132。蒸镀气体132到蒸镀容器11的第二出口111中通过防堵帽12的第一出口121A出射。防堵帽12的第一限制板126A设置在蒸镀容器11中第二侧壁112的顶侧。防堵帽12的第一限制板126A接触蒸镀容器11中第二侧壁112的顶侧。这样的防堵帽12避免蒸镀气体132通过防堵帽12的第一限制板126A与蒸镀容器11的第二侧壁112之间漏出。

图9是本发明实施例提供的另一种蒸镀装置的结构示意图。

如图9所示，防堵帽12还包括第一螺纹127；第一螺纹127位于第一侧壁122的外侧，并且固定在第一侧壁122上；蒸镀容器11还包括第二螺纹115；第二螺纹115位于第二侧壁112的内侧，并且固定在第二侧壁112上；第一螺纹127与第二螺纹115配合。

防堵帽12的第一螺纹127与蒸镀容器11的第二螺纹115配合。一方面，防堵帽12的第一螺纹127与蒸镀容器11的第二螺纹115可以啮合。在防堵帽12中，第一螺纹127固定在第一侧壁122的外侧上。在蒸镀容器11中，第二螺纹115固定在第二侧壁112的内侧上。此时，防堵帽12的第一侧壁122与蒸镀容器11的第二侧壁112通过螺纹固定。防堵帽12与蒸镀容器11的相对位置不变。这样的蒸镀容器11和防堵帽12用于蒸镀。蒸镀气体132从蒸镀容器11中到防堵帽12上的流道一定。于是，蒸镀气体132从蒸镀容器11中到防堵帽12上稳定地出射。另一方面，一个防堵帽12的第一螺纹127与蒸镀容器11的第二螺纹115可以分离。此时，这个防堵帽12移动到蒸镀容器11外。另一防堵帽12设置到蒸镀容器11上。于是，防堵帽12在蒸镀容器11上便于更换。

图10是本发明实施例提供的一种蒸镀设备的结构示意图；图11是本发明实施例提供的一种显示面板的结构示意图。

如图10、11所示，蒸镀设备2包括蒸镀装置1，且用于蒸镀显示面板3的有机发光层31。

蒸镀设备2利用蒸镀装置1蒸镀显示面板3的有机发光层31。其中，蒸镀设备2还包括真空腔室21、支承框架22、掩膜板23。真空腔室21容纳蒸镀装置1、显示面板3、支承框架22、掩膜板23。支承框架22固定显示面板3和掩膜板23。掩膜板23覆盖显示面板3的一面。蒸镀装置1位于掩膜板23远离显示面板3的一侧。蒸镀装置1朝向掩膜板23和显示面板3发出蒸镀气体。蒸镀气体通过掩膜板23到显示面板3上变成有机发光层31。

如图11所示，显示面板3包括多个像素单元30。像素单元30为红色像素单元、绿色像素单元、蓝色像素单元中的一者。像素单元30包括有机发光层31。有机发光层31可以包括空穴注入层、空穴传输层、发光材料层、电子传输层、电子注入层。

总而言之，本发明提供一种蒸镀装置和蒸镀设备。蒸镀装置包括彼此连接或者分开的蒸镀容器和防堵帽；防堵帽包括第一出口、第一侧壁、第一叶片、第一开口、第二叶片、第二开口以及加热丝；第一侧壁围绕第一出口；第一叶片以及第二叶片位于第一出口中，并且固定在第一侧壁上；第一叶片围绕第一开口；第二叶片围绕第二开口；第二开口小于第一开口；加热丝设置在第一侧壁、第一叶片以及第二叶片中。在本发明中，防堵帽避免蒸镀容器中蒸镀原料的融化、聚沸或坍塌导致蒸镀气体瞬间大幅波动。蒸镀气体在防堵帽上出射的速率稳定。因而，蒸镀装置实现稳定的蒸镀速率，进而实现优良的蒸镀效果。另外，防堵帽避免蒸镀气体在蒸镀容器的第二出口上发生冷凝造成堵塞。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明保护的范围之内。

Claims (8)

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括彼此连接或者分开的蒸镀容器和防堵帽；

所述防堵帽包括第一出口、第一侧壁、第一叶片、第一开口、第二叶片、第二开口以及加热丝；

所述第一侧壁围绕所述第一出口，且所述第一侧壁设置在所述蒸镀容器内；

所述第一叶片以及所述第二叶片位于所述第一出口中，并且固定在所述第一侧壁上；

所述第一叶片围绕所述第一开口；

所述第二叶片围绕所述第二开口；

所述第二开口小于所述第一开口；

所述加热丝设置在所述第一侧壁、所述第一叶片以及所述第二叶片中；

所述防堵帽还包括第一限制板；所述第一限制板围绕所述第一出口，且位于所述第一叶片靠近所述第二叶片的一侧；所述第一限制板与所述第一侧壁固定；

所述蒸镀容器包括第二出口以及围绕所述第二出口的第二侧壁；所述第一侧壁以及所述第一限制板设置在所述第二出口上；所述第一限制板还设置在所述第二侧壁的顶侧。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述防堵帽还包括第三开口以及围绕所述第三开口的第三叶片；

所述第三开口小于所述第二开口；

所述第三叶片位于所述第二叶片远离所述第一叶片的一侧；

所述第三叶片与所述第二叶片的间距大于所述第二叶片与所述第一叶片的间距。

3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一叶片朝向所述第一叶片靠近所述第二叶片的一侧倾斜；

所述第二叶片朝向所述第二叶片远离所述第一叶片的一侧倾斜。

4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一开口以及所述第二开口关于各自的中心对称；

所述第一开口以及所述第二开口的中心位于一条轴线上。

5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述防堵帽还包括第二限制板；

所述第二限制板围绕所述第一出口；

所述第二限制板设置于所述第一限制板远离所述蒸镀容器的一侧；

所述第一限制板与所述第二限制板连接或者分开。

6.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括加热电极；

所述加热丝设置在所述第一限制板中，且延伸到所述第一限制板外；

所述加热丝与所述加热电极在所述第一限制板靠近所述蒸镀容器的一侧电连接。

7.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述防堵帽还包括第一螺纹；

所述第一螺纹位于所述第一侧壁的外侧，并且固定在所述第一侧壁上；

所述蒸镀容器还包括第二螺纹；

所述第二螺纹位于所述第二侧壁的内侧，并且固定在所述第二侧壁上；

所述第一螺纹与所述第二螺纹配合。

8.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1至7中任何一项所述的蒸镀装置。

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