CN110998418B - 相位调制器、照明系统和投影仪 - Google Patents

相位调制器、照明系统和投影仪 Download PDF

Info

Publication number
CN110998418B
CN110998418B CN201880050062.XA CN201880050062A CN110998418B CN 110998418 B CN110998418 B CN 110998418B CN 201880050062 A CN201880050062 A CN 201880050062A CN 110998418 B CN110998418 B CN 110998418B
Authority
CN
China
Prior art keywords
pixels
light
modulation element
pixel
phase modulation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201880050062.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN110998418A (zh
Inventor
田中雅
望月崇宏
秋元修
上岛正弘
持田利彦
折井俊彦
石田贵之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Sony Semiconductor Solutions Corp
Original Assignee
Sony Corp
Sony Semiconductor Solutions Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp, Sony Semiconductor Solutions Corp filed Critical Sony Corp
Publication of CN110998418A publication Critical patent/CN110998418A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110998418B publication Critical patent/CN110998418B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N9/00—Details of colour television systems
    • H04N9/12—Picture reproducers
    • H04N9/31—Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM]
    • H04N9/3141—Constructional details thereof
    • H04N9/315—Modulator illumination systems
    • H04N9/3155—Modulator illumination systems for controlling the light source
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/18—Diffraction gratings
    • G02B5/1866—Transmission gratings characterised by their structure, e.g. step profile, contours of substrate or grooves, pitch variations, materials
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/06—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the phase of light
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10—Beam splitting or combining systems
    • G02B27/1086—Beam splitting or combining systems operating by diffraction only
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/18—Diffraction gratings
    • G02B5/1866—Transmission gratings characterised by their structure, e.g. step profile, contours of substrate or grooves, pitch variations, materials
    • G02B5/1871—Transmissive phase gratings
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362—Active matrix addressed cells
    • G02F1/136227—Through-hole connection of the pixel electrode to the active element through an insulation layer
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N9/00—Details of colour television systems
    • H04N9/12—Picture reproducers
    • H04N9/31—Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM]
    • H04N9/3102—Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM] using two-dimensional electronic spatial light modulators
    • H04N9/3105—Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM] using two-dimensional electronic spatial light modulators for displaying all colours simultaneously, e.g. by using two or more electronic spatial light modulators
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/18—Diffraction gratings
    • G02B2005/1804—Transmission gratings
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362—Active matrix addressed cells
    • G02F1/136209—Light shielding layers, e.g. black matrix, incorporated in the active matrix substrate, e.g. structurally associated with the switching element
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
    • G02F1/295—Analog deflection from or in an optical waveguide structure]
    • G02F1/2955—Analog deflection from or in an optical waveguide structure] by controlled diffraction or phased-array beam steering
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
    • G02F2201/30—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 grating
    • G02F2201/305—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 grating diffraction grating
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2203/00—Function characteristic
    • G02F2203/12—Function characteristic spatial light modulator
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2203/00—Function characteristic
    • G02F2203/50—Phase-only modulation
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2203/00—Function characteristic
    • G02F2203/62—Switchable arrangements whereby the element being usually not switchable
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B21/00—Projectors or projection-type viewers; Accessories therefor
    • G03B21/14—Details

Abstract

本发明的目的是提供能够改进光相位调制元件的衍射效率的相位调制装置、照明装置和投影仪。例如，根据本发明的相位调制器包括光相位调制元件，该光相位调制元件具有多个像素(10)并以每个像素为单位调制光的相位，多个像素(10)以彼此不同的像素节距p排列从而形成抑制高阶衍射光束的出现的像素结构。此外，根据本发明的相位调制器包括捕捉各像素处生成的多个高阶衍射光束的捕捉光学系统(91，92，93，310)。

Description

相位调制器、照明系统和投影仪
技术领域
本公开涉及一种调制光的相位的相位调制器。本公开还涉及使用光相位调制元件来生成照明光的照明系统、以及基于照明光投影图像的投影仪。
背景技术
已知一种光相位调制元件，通过调制光的相位来获得期望的再现图像。光相位调制元件包括，例如，诸如液晶面板的空间光调制器(SLM)。这种光相位调制元件的一个应用例是通过在照明系统中使用光相位调制元件来生成根据图像的经相位调制的再现图像并且将再现图像用作用于图像显示的光强度调制元件的照明光的技术。此外，光相位调制元件用于全息技术等。光相位调制元件还用于诸如光学开关、光学计算机等技术。
引用列表
专利文献
PTL1：日本未经审查专利申请公开(PCT申请的公开日文译文)第2009-524845号
PTL2：日本未经审查专利申请公开(PCT申请的公开日文译文)第2011-507022号
PTL3：日本未经审查专利申请公开第2014-206710号
发明内容
在光相位调制元件中，源自像素的结构生成高阶衍射光，这会降低衍射效率。
期望提供一种允许提高光相位调制元件中的衍射效率的相位调制器，照明系统和投影仪。
根据本公开的实施例的第一相位调制器包括光相位调制元件，具有设为抑制高阶衍射光的出现的像素结构的多个像素，并且光相位调制元件针对每个像素调制光的相位。
根据本公开的实施例的第一照明系统包括光源和光相位调制元件，该光相位调制元件具有设为抑制高阶衍射光出现的像素结构的多个像素，并且针对每个像素调制来自光源的光的相位。
根据本公开的实施例的第一投影仪包括照明系统和光强度调制元件，光强度调制元件通过调制来自照明系统的照明光的强度来生成投影图像，照明系统包括光源和光相位调制元件，其中，该光相位调制元件具有设为抑制高阶衍射光出现的像素结构的多个像素，并且针对每个像素调制来自光源的光的相位。
根据本公开的实施例的第一相位调制器、第一照明系统或第一投影仪允许抑制源自像素结构的高阶衍射光的出现。
根据本公开的实施例的第二相位调制器包括：光相位调制元件，具有多个像素并且针对每个像素调制光的相位；以及捕捉光学系统，捕捉每个像素中生成的多个高阶衍射光通量。
根据本公开的实施例的第二照明系统包括：光源；光相位调制元件，具有多个像素，并且针对每个像素调制来自光源的光的相位；以及捕捉光学系统，捕捉每个像素中生成的多个高阶衍射光通量。
根据本公开的实施例的第二投影仪包括照明系统和光强度调制元件，光强度调制元件通过调制来自照明系统的照明光的强度来生成投影图像，照明系统包括光源和光相位调制元件，其中，该光相位调制元件具有抑制高阶衍射光出现的像素结构的多个像素，并且针对每个像素调制来自光源的光的相位。
根据本公开的实施例的第二相位调制器、第二照明系统或第二投影仪允许光相位调制元件的每个像素中生成的多个高阶衍射光通量被捕捉光学系统捕捉。
根据本公开实施方式的第一相位调制器、第一照明系统或第一投影仪，由于使光相位调制元件的像素结构抑制高阶衍射光的出现，所以可以提高光相位调制元件中的衍射效率。
根据本公开实施例的第二相位调制器、第二照明系统或第二投影仪，由于在光相位调制元件的每个像素中生成的多个高阶衍射光通量被捕捉光学系统捕捉，所以可以提高光相位调制元件中的衍射效率。
应注意的是，本文中描述的效果不必具有限制性，并且可为在本公开中描述的任何效果。
附图说明
图1是根据比较例的光相位调制元件的实例的示意性平面图。
图2是示出根据比较例的光相位调制元件的像素位置和相位调制量之间的关系的实例的说明图。
图3是根据比较例的光相位调制元件的示例配置的截面图。
图4是示出根据比较例的相位调制器的示例电路配置的框图。
图5是示出在根据比较例的光相位调制元件中生成的高阶衍射光的出现的说明图。
图6是示出根据比较例的光相位调制元件的像素结构的说明图。
图7是示出在不考虑根据比较例的光相位调制元件的像素结构的情况下的衍射现象的说明图。
图8是示出在考虑根据比较例的光相位调制元件的像素结构的情况下的衍射现象的说明图。
图9是示出根据本公开的第一实施例的相位调制器中的光相位调制元件的示例配置的说明图。
图10是示出根据第一实施例的相位调制器中的光相位调制元件的像素结构的说明图。
图11是根据第二实施例的相位调制器中的光相位调制元件的像素结构的实例的截面图。
图12是根据比较例的光相位调制元件的像素结构的实例的平面图。
图13是根据第二实施例的相位调制器中的光相位调制元件的像素结构的第一实例的平面图。
图14是根据第二实施例的相位调制器中的光相位调制元件的像素结构的第二实例的平面图。
图15是根据第二实施例的相位调制器中的光相位调制元件的像素结构的第三实例的平面图。
图16是示出根据第二实施例的相位调制器中的光相位调制元件的像素结构以及源自该像素结构的衍射图案的实例的说明图。
图17是根据第二实施例的相位调制器中的光相位调制元件的像素结构的第四实例的平面图。
图18是根据第三实施例的相位调制器的第一示例配置的截面图。
图19是根据第三实施例的相位调制器的第二示例配置的截面图。
图20是根据第三实施例的相位调制器的第三示例配置的截面图。
图21是示出将光相位调制元件应用于投影仪的第一应用例的结构图。
图22是示出将光相位调制元件应用于投影仪的第二应用例的结构图。
图23是示出将光相位调制元件应用于各种光学元件的应用例的说明图。
图24是闪耀衍射光栅(blazed diffraction grating)的实例的截面图。
图25是示出将光相位调制元件应用于闪耀衍射光栅的应用例的说明图。
图26是示出将光相位调制元件应用于光学开关的应用例的说明图。
图27是示出将光相位调制元件应用于光学计算机的应用例的说明图。
具体实施方式
在下文中，将参考附图详细地描述本公开的实施例。要注意的是，按照以下顺序进行描述。
1.第一实施例(图1至图10)
1.1.根据比较例的相位调制器的概况
1.2.根据比较例的相位调制器的问题以及解决该问题的配置
1.3.效果
2.第二实施例(图11至图17)
2.1构造
2.2效果
3.第三实施例(图18至20)
3.1构造
3.2效果
4.第四实施例(光相位调制元件的应用例)(图21至27)
4.1投影仪的应用例
4.2各种光学元件的应用例
4.3光学开关的应用例
4.4光学计算机的应用例
5.其它实施方式
<1.第一实施例>
[1.1根据比较例的相位调制器的概况]
图1示意性地示出了根据比较例的应用于相位调制器的光相位调制元件101的实例。图2示出光相位调制元件101的像素位置与相位调制量之间的关系实例。图3示出了光相位调制元件101的截面构造实例。
光相位调制元件101具有沿第一方向(例如，水平(横向)方向)和第二方向(例如，垂直(纵向)方向)以矩阵排列的多个像素10。在光相位调制元件101中，通过针对每个像素10调制来自光源的光的相位，可以将像素10用作衍射光栅。例如，如图2所示，可以构造闪耀衍射光栅。在图2中，横轴表示像素位置，纵轴表示相位调制量。相位的调制量例如在0至2π的范围内。
光相位调制元件101包括例如相位调制液晶面板。光相位调制元件101可以包括数字微镜器件(DMD)。
图3示出了包括相位调制液晶面板的光相位调制元件101的实例。光相调制元件101例如包括彼此相对设置的第一玻璃基板2和第二玻璃基板3。包含液晶分子14的液晶层13由未示出的密封部件密封在第一玻璃基板2和第二玻璃基板3之间。
第一玻璃基板2上设有对电极(公共电极)4。第二玻璃基板3上设有多个像素电极11。作为多个像素电极11的实例，图3仅示出了两个相邻的像素电极。
将多个像素电极11共用的公共电压(例如0[V])施加至电极4。根据输入信号将施加电压(例如，V1[V])施加至多个像素电极11。光相位调制元件101中的每个像素10的相位调制量根据施加的电压而变化。
光相位调制元件101可以是反射型相位调制液晶面板或透射型相位调制液晶面板。在反射型相位调制液晶面板的情况下，对电极4包括透射光的透明电极，像素电极11包括反射光的反射电极。在透射式相位调制液晶面板的情况下，对电极4和像素电极11均包括透射光的透明电极。
这种光相位调制元件101被用作照明系统的一部分，该照明系统例如在投影仪中向光强度调制元件生成照明光。此外，光相位调制元件101还用于全息技术等。此外，光相位调制元件101还用于诸如光学开关和光学计算机的技术。
图4是示出根据比较例的相位调制器的示例电路配置的框图。
相位调制器包括对来自光源50的光的相位进行调制的光相位调制元件101、相位分布运算电路51和相位调制元件驱动电路52。
相位分布运算电路51是基于输入信号生成目标相位分布数据(相位调制信号)的相位分布运算单元。目标相位分布数据是具有使得能够通过光相位调制元件101再现目标再现图像60(目标再现图像)的相位分布的数据。
这里，例如，在将光相位调制元件101用作投影仪中的照明系统的一部分的情况下，输入信号例如是图像信号。在这种情况下，再生图像60是对被照明物5进行照明的照明图像。被照明物5例如是投影仪中的诸如强度调制液晶面板的光强度调制元件。在这种情况下，目标相位分布数据是具有相位分布图案的数据，该相位分布图案使得可以形成具有与将由投影仪显示的图像相对应的照度分布的照明图像。
衍射元件驱动电路52基于由相位分布运算电路51生成的目标相位分布数据来生成施加电压(驱动电压)，并驱动光相位调制元件101以使得每个像素10实现目标相位分布。
光相位调制元件101基于由衍射元件驱动电路52提供的施加电压来调制来自光源50的光的相位。
[1.2.根据比较例的相位调制器的问题和解决该问题的配置]
接下来，描述根据比较例的相位调制器的问题以及根据第一实施例的用于解决该问题的相位调制器的配置。应当注意，在以下的说明中，用相同的附图标记表示与根据比较例的相位调制器的组件相似的组件，并且在适当的地方省略其描述。
图5是示出在根据比较例的光相位调制元件101中生成的高阶衍射光的出现的说明图。
在根据比较例的光相位调制元件101中，在横向和纵向上以相同的像素节距(像素节距)p规则地(以恒定的周期)排列多个像素10。因此，在根据比较例的光相位调制元件101中，如图5所示，当假设像素节距为p，衍射角为θ，并且入射光的波长为λ时，除了0阶光之外，在再现面(傅里叶变换表面)上以由以下表达式计算的周期生成高阶衍射光。高阶衍射光导致光相位调制元件101中的衍射效率降低。
Sinθ＝λ/p
图6是示出根据比较例的光相位调制元件101的像素结构的说明图。
如图6所示，根据比较例的光相位调制元件101的像素结构由梳状函数comb(x)表示。另外，通过傅里叶变换梳状函数comb(x)获得的函数由梳状函数comb(u)表示。
图7是示出在不考虑根据比较例的光相位调制元件101的像素结构的情况下的衍射现象的说明图。
如图7所示，当不考虑像素结构时，通过光相位调制元件101中的相位分布g(x，y)的再现图像(衍射图像)G(μ,ν)由通过对相位分布g(x，y)进行傅里叶变换而获得的函数FT[g(x，y)]表示。此外，假定从光相位调制元件101到再现面的传播距离为L，允许通过光相位调制元件101的衍射形成图像的范围D是L(λ/2p)。
图8是示出在考虑根据比较例的光相位调制元件101的像素结构的情况下的衍射现象的说明图。
如图8所示，当考虑像素结构时，光相位调制元件101的分布函数由相分布g(x，y)和表示像素结构的梳状函数comb(x/p)·comb(y/p)的乘积表示，如图8的表达式(1)所示。这种情况下的再现图像(衍射图像)Ga(μ,ν)由通过对相分布g(x，y)进行傅里叶变换而获得的函数FT[g(x，y)]和通过对表示像素结构的梳状函数进行傅里叶变换而获得的函数FT[comb(x/p)·comb(y/p)]的卷积函数表示，如图8的表达式(2)所示。此外，通过像素结构的衍射生成的高阶衍射光的周期T是L(λ/p)。
图9是示出根据本公开的第一实施例的相位调制器中的光相位调制元件1的示例配置的说明图。
为了抑制如上所述的高阶衍射光的出现，根据本实施方式的光相位调制元件1具有其中像素结构抑制高阶衍射光的出现的结构。
在根据本实施方式的光相位调制元件1中，如图9所示，在横向和纵向上以相同的像素节距(像素节距)p不规则地(非周期性)排列多个像素10。在根据本实施例的光相位调制元件1中，以两个相邻像素10的像素节距p彼此不同的方式排列像素。要注意的是，作为实例，图9仅示出了三个不同的像素节距p1、p2和p3。通过例如根据像素位置使相邻像素之间的宽度(像素凹槽宽度)彼此不同来实现这种结构。在这种情况下，像素10被布置成使得每个被限定在两个相邻像素之间的像素凹槽12的像素凹槽节距彼此不同。这可以允许以像素10的重心或像素凹槽12的重心根据像素位置而变化的方式排列像素10。图9仅示出两个不同的像素凹槽节距pg1和pg2作为示例。在这种情况下，通过根据像素位置改变像素凹槽宽度的重心，周期性地减小像素节距p并且减小高阶衍射分量。
应注意的是，可以在横向和纵向之一不规则的(非周期性的)排列多个像素10。
图10是示出根据第一实施例的相位调制器中的光相位调制元件1的像素结构的说明图。
如图10的上部所示，根据比较例的光相位调制元件101的像素结构由梳状函数comb(x)表示。相反，在根据本实施方式的光相位调制元件1中，像素结构由不同于梳状函数comb(x)的函数表示，如图10的下部部分所示。
[1.3效果]
如上所述，根据本实施例，因为使得光相位调制元件1的像素结构抑制高阶衍射光的出现，所以光相位调制元件1中的衍射效率可以得到提高。此外，可以减小由高阶衍射光引起的杂散光的影响。
要注意的是，在本说明书中描述的效果仅是实例并且不限于此，而是可以存在其他效果。这同样适用于以下其他实施例的效果。
<2.第二实施例>
接着，描述根据本公开的第二实施例的相位调制器。应当注意，在以下的说明中，用相同的附图标记表示与根据第一实施例的相位调制器的组件相似的组件，并且在适当的地方省略其描述。
[2.1配置]
图11示出了根据第二实施例的相位调制器中的光相位调制元件1的像素结构的实例。
光相位调制元件1可以包括多个像素电极11以及布置在像素电极11下方的遮光层82、信号线层83和晶体管/电容器区域84。各个层经由接触孔81彼此耦接。
图12示出了根据比较例的光相位调制元件101的像素结构的实例。
在根据比较例的光相位调制元件101中，在横向和纵向以相同的像素节距(像素节距)p以规律间隔(以恒定的周期)排列多个像素电极11。接触孔81设置在像素电极11上，以具有与像素节距p不同的节距pc。
图13示出了根据第二实施例的相位调制器中的光相位调制元件1的像素结构的第一实例。图14示出了根据第二实施例的相位调制器中的光相位调制元件1的像素结构的第二实例。
同样，与根据比较例的光相位调制元件101一样，在根据本实施例的光相位调制元件1中，在横向和纵向以相同的像素节距(像素节距)p以规则间隔(以恒定的周期)排列多个像素电极11。此外，接触孔81设置在像素电极11上以具有与像素节距p大致相同的节距pc。这允许像素电极11在横向和纵向上的排列周期与接触孔81排列周期大致相同。
图15示出了根据第二实施例的相位调制器中的光相位调制元件1的像素结构的第三实例。
此外，如图15所示，根据本实施例的光相位调制元件1可以具有接触孔81在横向和纵向上的随机排列周期。即，接触孔81可以非定期地排列。这允许接触孔81的节距pc根据像素位置而变化。要注意的是，图15仅示出了两个不同的像素节距pc1和pc2作为实例。
图16示出了根据第二实施例的相位调制器中的光相位调制元件1的像素结构和源自像素结构的衍射图案的实例。
图16的上部示出在像素电极11的排列周期和接触孔81的排列周期基本上相同的情况下的空间频率分量和衍射图案的实例。作为比较例，图16的下部示出在像素电极11的排列周期和接触孔81的排列周期彼此不同的情况下的空间频率分量和衍射图案的实例。在比较例的情况下，接触孔81的排列周期引起短周期的衍射光，这降低了衍射效率。
图17示出了根据第二实施例的相位调制器中的光相位调制元件1的像素结构的第四实例。
图17示出了考虑到设在像素电极11下方的基础电极层85的像素结构。在此，例如，基础电极层85可以是图11中所示的遮光层82。
如图17所示，优选设置成使基础电极层85的节距pd与像素节距p大致相同。因此，优选使得像素电极的布置周期与基础电极层85在横向和纵向上的排列周期基本相同。这可以使得源自基础电极层85的不期望的衍射光减少。
[2.2效果]
根据本实施例，因为像素结构考虑接触孔81的结构，所以可以提高光相位调制元件1中的衍射效率。此外，可以减小由高阶衍射光引起的杂散光的影响。
其他配置可以与根据上述第一实施例的相位调制器的配置基本相同。
<3.第三实施例>
接下来，描述根据本公开的第三实施例的相位调制器。应当注意，在以下的说明中，用相同的附图标记表示与根据第一实施例或第二实施例的相位调制器的组件相似的组件，并且在适当的地方省略其描述。
[3.1配置]
根据本实施例的相位调制器包括捕捉在光相位调制元件1的每个像素10中生成的多个高阶衍射光通量的捕捉光学系统。应当注意，根据本实施例的相位调制器中的光相位调制元件1可以包括根据上述比较例的光相位调制元件101。如上所述，当包括根据比较例的光相位调制元件101时，很可能在每个像素10中出现多个高阶衍射光通量。本实施例旨在通过利用捕捉光学系统捕捉高阶衍射光作为有效衍射光来提高衍射效率。
图18示出了根据本实施例的相位调制器的第一示例配置。
在图18中，捕捉光学系统包括对从光相位调制元件1发出的多个高阶衍射光通量进行反射的多个反射镜91，以及捕捉由多个反射镜反射的多个高阶衍射光通量的复眼透镜阵列92。复眼透镜阵列92具有多个复眼透镜92A。
应当注意，捕捉光学系统在垂直于图18的页面的方向上可以具有基本上相同的配置。
图19示出根据本实施例的相位调制器的第二示例配置。
在图19中，捕捉光学系统包括作为光路长度校正构件来校正从光相位调制元件1发出的多个高阶衍射光通量的光路长度的多个棱镜93，以及捕捉其光路长度由多个棱镜93校正的多个高阶衍射光通量的复眼透镜阵列92。复眼透镜阵列92具有多个复眼透镜92A。
图20示出了根据本实施例的相位调制器的第三示例配置。
图20示出了例如根据本实施方式的相位调制器与包括在投影仪中的照明光学系统320组合的示例配置。照明光学系统320是经由诸如二向色棱镜的偏振分离元件302来照明光强度调制元件301的光学系统。
照明光学系统320具有聚光透镜321。照明光学系统320可以具有诸如反射镜的光学元件322。
在图20中，包括了高阶光捕捉光学系统310作为捕捉光学系统。高阶光捕捉光学系统310具有捕捉从光相位调制元件1和聚光透镜313发出的多个高阶衍射光通量的一对透镜阵列311和透镜阵列312。高阶光捕捉光学系统310的聚光透镜313与照明光学系统320的聚光透镜321一起构成远心光学系统330的一部分。
[3.2效果]
根据本实施例，因为在光相位调制元件1的每个像素10中生成的多个高阶衍射光通量被捕捉光学系统捕捉，所以可以提高光相位调制元件1中的衍射效率。此外，可以减小由高阶衍射光引起的杂散光的影响。
其他配置可以与根据上述第一或第二实施例的相位调制器的配置基本相同。
<4.第四实施方式>
接下来，描述本公开的第四实施方式。应当注意，在以下的说明中，用相同的附图标记表示与根据第一实施例至第三实施例的相位调制器的组件相似的组件，并且在适当的地方省略其描述。
在本实施方式中，，描述了光相位调制元件1的应用例。
[4.1投影仪的应用例]
根据本实施方式的投影仪包括照明系统以及通过调制来自照明系统的照明光的强度来生成投影图像的光强度调制元件。照明系统包括光源和调制来自光源的光的相位的相位调制器。相位调制器包括根据上述第一实施例至第三实施例的相位调制器，并且包括光相位调制元件1。光相位调制元件1的再现图像被用作具有与将由投影仪显示的图像相对应的照度分布的照明图像。照明图像被用作对光强度调制元件的照明光。
图21示出了将光相位调制元件1应用于投影仪100的第一应用例。
第一应用例是在光相位调制元件1是反射光相位调制元件111的情况下的示例配置。
投影仪100包括光源装置110、照明光学系统120、图像形成单元130和投影光学系统140。反射光相位调制元件111设在光源装置110和照明光学系统120之间。
图像形成单元130具有反射型偏振片31A、31B和31C，反射型液晶面板32A、32B和32C以及二向色棱镜33。反射型液晶面板32A、32B和32C是光强度调制元件。
光源装置110发出包括红光、绿光和蓝光的光。例如，光源装置110包括发出包含红光、绿光和蓝光的白光的一个或多个激光源。可选择地，光源装置110可以包括用于每种颜色的一个或多个激光源，并且用于每种颜色的一个或多个激光源可以发出红(R)光、绿(G)光或蓝(B)光。
反射光相位调制元件111通过调制来自光源装置110的光的相位来生成期望的照明图像(照明光)。由反射光相位调制元件111生成的照明光经由照明光学系统120对反射型液晶面板32A、32B和32C进行照明。
照明光学系统120具有分色镜24A和24B、反射镜25A和25B、透镜26A和26B、分色镜27以及偏振片28A、28B和28C。
分色镜24A和24B选择性地反射预定波长区域中的光并且选择性地透射其他波长区域中的光。例如，分色镜24A在反射镜25A的方向上主要反射红光和绿光。此外，分色镜24B在反射镜25B的方向上主要反射蓝光。反射镜25A将来自分色镜24A的光(主要是红光和绿光)朝向透镜26A反射。反射镜25B将来自分色镜24B的光(主要是蓝光)朝向透镜26B反射。透镜26A透射来自反射镜25A的光(主要是红光和绿光)，以会聚在分色镜27上。透镜26B透射来自反射镜25B的光(主要是蓝光)，以会聚在分色镜27上。分色镜27选择性地反射绿光，并且还选择性地透射其他波长区域中的光。例如，分色镜27透射红光分量，并且将绿光分量朝向偏光片28C反射。偏光片28A、28B和28C包括在预定方向上具有偏光轴的偏光器。例如，偏振片28A、28B和28C透射p偏振光并反射s偏振光。
反射型偏振板31A、31B和31C分别透射具有与来自偏振板28A、28B和28C的偏振光的偏振轴相同的偏振轴的光(例如，p偏振光)，并且反射具有不同偏振轴的光(s偏振光)。具体地，反射型偏振板31A在反射型液晶面板32A的方向上透射来自偏振板28A的p偏振红光。反射型偏振板31B在反射型液晶面板32B的方向上透射来自偏振板28B的p偏振蓝光。反射型偏振板31C在反射型液晶面板32C的方向上透射来自偏振板28C的p偏振绿光。此外，反射型偏振片31A反射来自反射型液晶面板32A的s偏振红光，以入射到二向色棱镜33。反射型偏振板31B反射来自反射型液晶面板32B的s偏振蓝光，以入射到二向色棱镜33。反射型偏振片31C反射来自反射型液晶面板32C的s偏振绿光，以入射到二向色棱镜33。
反射型液晶面板32A、32B和32C分别调制红光、蓝光或绿光的强度。
二向色棱镜33将强度已经由反射型液晶面板32A、32B和32C调制的红光、蓝光或绿光进行组合，并且向投影光学系统140发出组合光作为投影图像。
投影光学系统140具有透镜L41、L42、L43和L44。投影光学系统140放大由图像形成单元130生成的投影图像，并将其投影到诸如未示出的屏幕的投影面上。应当注意，投影光学系统140中的透镜的数量和透镜配置不限于示出的配置，而是可以采用其他数量的透镜和透镜配置。可选地，光路中可以包括诸如反射镜和光学滤色片的其他光学元件。
图22示出了将光相位调制元件1应用于投影仪100的第二应用例。
第二应用例是在光相位调制元件1是透射光相位调制元件112的情况下的示例配置。
透射光相位调制元件112设在光源装置110和照明光学系统120之间。
其他配置类似于图21所示的第一应用例中的配置。
[4.2各种光学元件的应用例]
图23示出了将光相位调制元件1应用于各种光学元件的应用例。
如图23所示，诸如凸透镜、凹透镜、透镜阵列、菲涅尔透镜和自由形状表面透镜的各种透镜被称为各种光学元件。这些透镜允许通过改变透镜材料的厚度来改变光路长度。在光相位调制元件1中，可以通过改变元件中的折射率分布来改变光路长度。这使得可以获得与各种透镜的光学特性等同的光学特性。
图24示出了闪耀衍射光栅201的实例。
闪耀衍射光栅201是具有锯齿状截面形状的衍射光栅。当将衍射节距表示为pa，衍射角表示为θ，并且入射光的波长表示为λ时，闪耀光栅201支持以下表达式。
sinθ≤λ/2pa
图25示出了将光相位调制元件1应用于闪耀衍射光栅201的应用例。
如图1至图3中还示出，通过针对每个像素10调制来自光源的光的相位来改变元件中的折射率分布，可以将光相位调制元件1用作衍射光栅。如图25所示，尽管光相位调制元件1的像素节距是p，但是通过使多个像素10中的折射率分布成锯齿状，可以获得与具有衍射节距pa的闪耀光栅201的光学特性等效的光学特性。
[4.3光学开关的应用例]
图26示出了将光相位调制元件1应用于光学开关的应用例。
光学开关包括光纤210、衍射光栅221和多根光纤211、212和213。光相位调制元件1设在衍射光栅221与多根光纤211、212和213之间。可选地，光相位调制元件1还可替代衍射光栅221而设置。
该光学开关允许不同载波波长(λ1、λ2、λ3)信号输入到光纤210并被传输。衍射光栅221分离信号，由此由光纤210传输的每个载波波长信号被输入到光相位调制元件1中针对每个波长的不同位置。输入到光相位调制元件1的每个载波波长信号被分配给多个光纤211、212和213中的期望的光纤。
[4.4光学计算机的应用例]
图27示出了将光相位调制元件1应用于光学计算机的应用例。
该光学计算机包括多个光相位调制元件1A、1B、1C和1D，每个光相位调制元件包括光相位调制元件1。
通过利用光相位调制元件1A调制入射光的相位来生成基于信号A的信号A(x，y)。接着，通过使用光相位调制元件1B对信号A(x，y)进行傅立叶变换来获得信号FT(A)。接着，通过光相位调制元件1C获得具有信号B的卷积信号FT(A)*FT(B)。接着，通过光相位调制元件1D对信号FT(A)*FT(B)进行逆傅里叶变换来获得信号A(x,y)和信号B(x,y)的乘积A(x,y)×B(x,y)。
<5.其他实施例>
根据本公开的技术不限于在各个实施方式中的说明，并且可以做出各种修改。
例如，本技术可以具有以下配置。
(1)
一种相位调制器，包括：
光相位调制元件，具有设为抑制高阶衍射光的出现的像素结构的多个像素，并且所述光相位调制元件针对每个所述像素调制光的相位。
(2)
根据(1)的相位调制器，其中
所述多个像素在第一方向和第二方向上矩阵状排列，并且所述多个像素在所述第一方向和所述第二方向中的至少一个方向上，以相邻的两个像素之间的像素凹槽的节距变化的方式排列。
(3)
根据(1)的相位调制器，其中
所述多个像素在第一方向和第二方向上矩阵状排列，并且所述多个像素在所述第一方向和所述第二方向中的至少一个方向上，以所述像素的重心、或相邻的两个像素之间的像素凹槽的重心位置变化的方式排列。
(4)
根据(1)的相位调制器，其中
所述多个像素在第一方向和第二方向上矩阵状排列，
每个所述像素包括像素电极以及与所述像素电极耦接的接触孔，
所述像素电极的排列周期和所述接触孔的排列周期在所述第一方向和所述第二方向中的至少一个方向上基本相同。
(5)
根据(1)的相位调制器，其中
所述多个像素在第一方向和第二方向上矩阵状排列，
每个像素包括像素电极以及与所述像素电极耦接的接触孔，以及
在所述第一方向和所述第二方向中的至少一个方向上非周期性地排列所述接触孔。
(6)
根据(1)或(4)的相位调制器，其中
所述多个像素在第一方向和第二方向上矩阵状排列，
每个所述像素包括像素电极和设置在所述像素电极下层的基础电极层，
在所述第一方向和所述第二方向中的至少一个方向上，所述像素电极的排列周期和所述基础电极层的排列周期基本相同。
(7)
一种相位调制器，包括：
光相位调制元件，具有多个像素，并且所述光相位调制元件针对每个所述像素调制光的相位；以及
捕捉光学系统，捕捉每个所述像素中生成的多个高阶衍射光。
(8)
根据(7)的相位调制器，其中
所述捕捉光学系统包括：
反射镜，反射从所述光相位调制元件发出的所述多个高阶衍射光；以及
透镜阵列，捕捉由所述反射镜反射的所述多个高阶衍射光。
(9)
根据(7)的相位调制器，其中
所述捕捉光学系统包括：
多个光路长度校正构件，校正由所述光相位调制元件发出的所述多个高阶衍射光的各自的光路长度；以及
透镜阵列。
(10)
根据(7)的相位调制器，其中
所述捕捉光学系统包括：
透镜阵列，捕捉从所述光相位调制元件发出的所述多个高阶衍射光，以及
聚光镜，构成远心光学系统的一部分。
(11)
照明系统，包括：
光源；以及
光相位调制元件，具有设为抑制高阶衍射光出现的像素结构的多个像素，并且所述光相位调制元件针对每个所述像素调制来自所述光源的光的相位。
(12)
照明系统，包括：
光源；
光相位调制元件，具有多个像素，并且所述光相位调制元件针对每个所述像素调制来自所述光源的光的相位；以及
捕捉光学系统，捕捉每个所述像素中生成的多个高阶衍射光。
(13)
投影仪，包括：
照明系统；以及
光强度调制元件，通过调制来自所述照明系统的照明光的强度来生成投影图像，其中
所述照明系统包括：
光源，以及
光相位调制元件，具有设为抑制高阶衍射光出现的像素结构的多个像素，并且所述光相位调制元件针对每个所述像素调制来自所述光源的光的相位。
(14)
投影仪，包括：
照明系统；以及
光强度调制元件，通过调制来自所述照明系统的照明光的强度来生成投影图像，其中
所述照明系统包括：
光源；
光相位调制元件，具有多个像素，并且所述光相位调制元件针对每个所述像素调制来自所述光源的光的相位；以及
捕捉光学系统，捕捉每个所述像素中生成的多个高阶衍射光。
本申请要求于2017年8月7日提交到日本专利局的日本优先权专利申请JP 2017-152623的权益，其全部内容通过引用结合于本文中。
应当理解的是，本领域技术人员可根据设计需求和其他因素做出各种变形、组合、子组合以及更改，只要它们在所附权利要求或者其等同物的范围内即可。

Claims (13)

1.一种相位调制器，包括：
光相位调制元件，具有设为抑制高阶衍射光的出现的像素结构的多个像素，并且所述光相位调制元件针对每个所述像素调制光的相位，
其中，所述多个像素在第一方向和第二方向上矩阵状排列，并且
其中，所述多个像素在所述第一方向和所述第二方向中的至少一个方向上，以相邻的两个像素之间的像素凹槽的节距变化的方式排列。
2.根据权利要求1所述的相位调制器，其中
所述多个像素在所述第一方向和所述第二方向中的至少一个方向上，以所述像素的重心、或相邻的两个像素之间的像素凹槽的重心位置变化的方式排列。
3.根据权利要求1所述的相位调制器，其中
每个所述像素包括像素电极以及与所述像素电极耦接的接触孔，
所述像素电极的排列周期和所述接触孔的排列周期在所述第一方向和所述第二方向中的至少一个方向上基本相同。
4.根据权利要求1所述的相位调制器，其中
每个像素包括像素电极以及与所述像素电极耦接的接触孔，以及
在所述第一方向和所述第二方向中的至少一个方向上非周期性地排列所述接触孔。
5.根据权利要求1所述的相位调制器，其中
每个所述像素包括像素电极和设置在所述像素电极下层的基础电极层，
在所述第一方向和所述第二方向中的至少一个方向上，所述像素电极的排列周期和所述基础电极层的排列周期基本相同。
6.一种相位调制器，包括：
光相位调制元件，具有多个像素，并且所述光相位调制元件针对每个所述像素调制光的相位，其中，所述多个像素在第一方向和第二方向上矩阵状排列，并且其中，所述多个像素在所述第一方向和所述第二方向中的至少一个方向上，以相邻的两个像素之间的像素凹槽的节距变化的方式排列；以及
捕捉光学系统，捕捉每个所述像素中生成的多个高阶衍射光。
7.根据权利要求6所述的相位调制器，其中
所述捕捉光学系统包括：
反射镜，反射从所述光相位调制元件发出的所述多个高阶衍射光；以及
透镜阵列，捕捉由所述反射镜反射的所述多个高阶衍射光。
8.根据权利要求6所述的相位调制器，其中
所述捕捉光学系统包括：
多个光路长度校正构件，校正由所述光相位调制元件发出的所述多个高阶衍射光的各自的光路长度；以及
透镜阵列。
9.根据权利要求6所述的相位调制器，其中
所述捕捉光学系统包括：
透镜阵列，捕捉从所述光相位调制元件发出的所述多个高阶衍射光，以及
聚光镜，构成远心光学系统的一部分。
10.一种照明系统，包括：
光源；以及
光相位调制元件，具有设为抑制高阶衍射光出现的像素结构的多个像素，并且所述光相位调制元件针对每个所述像素调制来自所述光源的光的相位，
其中，所述多个像素在第一方向和第二方向上矩阵状排列，并且
其中，所述多个像素在所述第一方向和所述第二方向中的至少一个方向上，以相邻的两个像素之间的像素凹槽的节距变化的方式排列。
11.一种照明系统，包括：
光源；
光相位调制元件，具有多个像素，并且所述光相位调制元件针对每个所述像素调制来自所述光源的光的相位，其中，所述多个像素在第一方向和第二方向上矩阵状排列，并且其中，所述多个像素在所述第一方向和所述第二方向中的至少一个方向上，以相邻的两个像素之间的像素凹槽的节距变化的方式排列；以及
捕捉光学系统，捕捉每个所述像素中生成的多个高阶衍射光。
12.一种投影仪，包括：
照明系统；以及
光强度调制元件，通过调制来自所述照明系统的照明光的强度来生成投影图像，其中
所述照明系统包括：
光源，以及
光相位调制元件，具有设为抑制高阶衍射光出现的像素结构的多个像素，并且所述光相位调制元件针对每个所述像素调制来自所述光源的光的相位，
其中，所述多个像素在第一方向和第二方向上矩阵状排列，并且
其中，所述多个像素在所述第一方向和所述第二方向中的至少一个方向上，以相邻的两个像素之间的像素凹槽的节距变化的方式排列。
13.一种投影仪，包括：
照明系统；以及
光强度调制元件，通过调制来自所述照明系统的照明光的强度来生成投影图像，其中
所述照明系统包括：
光源；
光相位调制元件，具有多个像素，并且所述光相位调制元件针对每个所述像素调制来自所述光源的光的相位，其中，所述多个像素在第一方向和第二方向上矩阵状排列，并且其中，所述多个像素在所述第一方向和所述第二方向中的至少一个方向上，以相邻的两个像素之间的像素凹槽的节距变化的方式排列；以及
捕捉光学系统，捕捉每个所述像素中生成的多个高阶衍射光。
CN201880050062.XA 2017-08-07 2018-07-19 相位调制器、照明系统和投影仪 Active CN110998418B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017-152623 2017-08-07
JP2017152623 2017-08-07
PCT/JP2018/027115 WO2019031187A1 (ja) 2017-08-07 2018-07-19 位相変調装置、照明装置、およびプロジェクタ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110998418A CN110998418A (zh) 2020-04-10
CN110998418B true CN110998418B (zh) 2022-12-27

Family

ID=65272907

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201880050062.XA Active CN110998418B (zh) 2017-08-07 2018-07-19 相位调制器、照明系统和投影仪

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11258994B2 (zh)
JP (1) JP7145158B2 (zh)
CN (1) CN110998418B (zh)
DE (1) DE112018004029T5 (zh)
WO (1) WO2019031187A1 (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020112674A (ja) * 2019-01-11 2020-07-27 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 表示装置、および表示装置の調整方法
US10880528B1 (en) * 2019-10-31 2020-12-29 Christie Digital Systems Usa, Inc. Device, system and method for modulating light using a phase light modulator and a spatial light modulator
CN113495410A (zh) * 2020-03-18 2021-10-12 深圳光峰科技股份有限公司 一种激光投影装置
US20230300301A1 (en) * 2020-09-16 2023-09-21 Sony Group Corporation Lighting device and projector device
US20220137310A1 (en) * 2020-11-03 2022-05-05 Amrita Vishwa Vidyapeetham Circular Optical Array System Using Waveguide Fed Angled Mirrors
JPWO2022124166A1 (zh) * 2020-12-10 2022-06-16

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0659274A (ja) * 1992-08-13 1994-03-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd 空間光変調素子

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0566377A (ja) * 1991-09-09 1993-03-19 Seiko Epson Corp 光学装置
JP2000221529A (ja) 1999-02-02 2000-08-11 Seiko Epson Corp 電気光学装置
WO2004099822A2 (en) * 2003-05-09 2004-11-18 Xtellus Inc. Optical devices with cascaded liquid crystal elements
GB0601481D0 (en) 2006-01-25 2006-03-08 Light Blue Optics Ltd Methods and apparatus for displaying images using holograms
GB2436676B (en) * 2006-03-28 2008-02-20 Light Blue Optics Ltd Holographic display devices
JP2008216575A (ja) * 2007-03-02 2008-09-18 Sony Corp 画像表示方法
GB2455523B (en) 2007-12-11 2010-02-03 Light Blue Optics Ltd Holographic image display systems
JP2009294509A (ja) 2008-06-06 2009-12-17 Sony Corp ３次元像表示装置
US20140009731A1 (en) * 2012-07-09 2014-01-09 Michael O'Callaghan Methods and apparatus for high fill factor and high optical efficiency pixel architecture
JP2014206710A (ja) 2013-04-16 2014-10-30 東芝アルパイン・オートモティブテクノロジー株式会社 計算機ホログラムのデータ作成装置
JP2015099323A (ja) * 2013-11-20 2015-05-28 セイコーエプソン株式会社 プロジェクター
JP2016099390A (ja) * 2014-11-18 2016-05-30 株式会社リコー 照明光学系および画像表示装置
JP6482847B2 (ja) * 2014-12-16 2019-03-13 シチズンファインデバイス株式会社 液晶表示素子及び画像投影システム
WO2016129279A1 (ja) * 2015-02-13 2016-08-18 日本電気株式会社 投射装置およびインターフェース装置
JP6378707B2 (ja) 2016-02-26 2018-08-22 太陽誘電株式会社 積層セラミックコンデンサ

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0659274A (ja) * 1992-08-13 1994-03-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd 空間光変調素子

Also Published As

Publication number Publication date
WO2019031187A1 (ja) 2019-02-14
US11258994B2 (en) 2022-02-22
JP7145158B2 (ja) 2022-09-30
JPWO2019031187A1 (ja) 2020-08-27
CN110998418A (zh) 2020-04-10
DE112018004029T5 (de) 2020-05-28
US20210136335A1 (en) 2021-05-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110998418B (zh) 相位调制器、照明系统和投影仪
JP4784262B2 (ja) 照明装置及び画像表示装置
JP4144624B2 (ja) プロジェクタ
US7042637B2 (en) Image display
JP2011154157A (ja) 反射型液晶プロジェクター
JP2009058594A (ja) 照明装置および画像表示装置
WO2014147688A1 (ja) 画像表示装置及び画像表示方法
CN107918241B (zh) 偏振光栅的制造方法
JP6926526B2 (ja) プロジェクター
KR20060051028A (ko) 광학장치 및 투영장치
CN110945411B (zh) 相位调制器、照明系统以及投影仪
JP5428822B2 (ja) 照明装置およびプロジェクター
JP3601576B2 (ja) カラー画像表示装置
JP5725138B2 (ja) 照明装置およびプロジェクター
WO2014181539A1 (ja) 光学装置
JP2007033676A (ja) 偏光変換光学素子、光変調モジュール及び投射型画像表示装置
JP5707984B2 (ja) プロジェクター
JP2005070632A (ja) 空間光変調装置及びプロジェクタ
TWI546610B (zh) 投影裝置和偏振光柵的製造方法
US20170264869A1 (en) Fabrication method of a polarization grating
JP4908684B2 (ja) 投影画像表示装置
JP2010243584A (ja) 画像表示装置および画像表示方法
JP2010243789A (ja) 画像表示装置および画像表示方法
JP2009288387A (ja) 投射型表示装置
KR20080085581A (ko) 투사 가변형 프로젝션 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant