CN110967940B - 极紫外辐射源的数据匹配模块控制反馈系统的方法及装置 - Google Patents

极紫外辐射源的数据匹配模块控制反馈系统的方法及装置 Download PDF

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Abstract

揭露了一种用于极紫外(EUV)辐射源的数据匹配模块控制反馈系统的方法。方法包括获得狭缝整合能量(SLIE)感测器数据及绕射光学元件(DOE)数据。方法通过数据匹配模块执行SLIE感测器数据及DOE数据的时间差的数据匹配，以识别SLIE感测器数据及DOE数据的不匹配集合。方法亦决定不匹配集合的SLIE感测器数据及DOE数据的时间差是否在可接受的范围内。基于此决定，方法自动地验证不匹配集合的可配置数据，使得不匹配集合的SLIE感测器数据对反射率计算有效。

Description

极紫外辐射源的数据匹配模块控制反馈系统的方法及装置
技术领域
本揭露是有关于一种用于极紫外(EUV)辐射源的数据匹配模块控制反馈系统的方法及装置。
背景技术
对计算能力的需求已呈指数增长。此种计算能力的增长是通过增加半导体集成电路(IC)的功能密度(亦即，单位晶片互连元件的数量)来满足。在功能密度增长的情况下，晶片上的独立元件的大小减小。已经用半导体制造技术(诸如微影)中的进展满足在IC中部件大小的减小。
例如，用于微影的辐射波长已从紫外减小到深紫外(DUV)，并且最近减小到极紫外(EUV)。部件大小的进一步减小需要微影解析度的进一步改进，此改进可使用极紫外微影(EUVL)实现。EUVL采用具有约1-100nm的波长的辐射。
一种用于产生EUV辐射的方法是为激光产生电浆(LPP)。在基于LPP的EUV源中，高功率激光光束聚焦到小的锡液滴靶上以形成发射EUV辐射(在13.5nm处具有峰值最大发射)的高度游离的电浆。由LPP产生的EUV辐射的强度取决于高功率激光可以由液滴靶产生电浆的有效性。使高功率激光的脉冲与液滴靶的产生及移动同步可以改进基于LPP的EUV辐射源的效率。
发明内容
一种计算用于极紫外(EUV)辐射源的收集器的反射率的方法。方法包括获得第一感测器及第二感测器的时间序列数据。随后，识别在第一感测器的时间序列数据中的每个数据点，针对此等数据点的时间戳记与针对在第二感测器的时间序列数据中的数据点的时间戳记匹配，其中在第二感测器的时间序列数据中具有对应数据点。回应于在时间戳记之间的不匹配，识别在第一感测器的时间序列数据中的数据点与在第二感测器的时间序列数据中的数据点，对此在第一感测器的时间序列数据中的数据点的时间戳记与在第二感测器的时间系列数据中的时间点的时间戳记的最小差值小于预定值。随后，使用在第一感测器的时间序列数据中识别的数据点来计算收集器的反射率。
一种用于极紫外(EUV)辐射源的数据匹配模块控制反馈系统的方法。方法包括获得狭缝整合能量(SLIE)感测器数据及绕射光学元件(DOE)数据；方法通过数据匹配模块执行SLIE感测器数据及DOE数据的时间差的数据匹配，以识别SLIE感测器数据及DOE数据的不匹配集合；方法亦决定不匹配集合的SLIE感测器数据及DOE数据的时间差是否在可接受的范围内；回应于SLIE感测器数据及DOE数据的所述时间差不在所述数据匹配的时间差的所述可接受的范围内，自动地验证所述不匹配集合的可配置数据，使得所述不匹配集合的SLIE感测器数据针对反射率计算有效。
一种用于产生极紫外(EUV)辐射的装置。装置包括透射影像感测器(TIS)平台、数据匹配模块、及耦合到数据匹配模块的控制器。TIS平台包括将晶圆放置于其上的晶圆载物台、静电夹盘、及感测器。数据匹配模块用以获得狭缝整合能量(SLIE)感测器数据及绕射光学元件(DOE)数据。控制器经程序化以通过数据匹配模块执行SLIE感测器数据及DOE数据的时间差的数据匹配，用于识别SLIE感测器数据及DOE数据的不匹配集合。随后，控制器经程序化以决定不匹配集合的SLIE感测器数据及DOE数据的时间差是否在可接受的范围内。回应于SLIE感测器数据及DOE数据的时间差不在数据匹配的时间差的可接受范围内，控制器经程序化为自动地验证不匹配集合的可配置数据，使得不匹配集合的SLIE感测器数据针对反射率计算有效。
一种计算用于极紫外(EUV)辐射源的的收集器的反射率的方法，包含获得第一感测器及第二感测器的数据以比对第一感测器及第二感测器的数个时间戳记。接着识别在第一感测器及第二感测器的时间戳记之间的时间差是否落在可容许范围中。随后，回应该时间差是否落在可容许范围中，自动地调整可配置数据，使得第一感测器针对反射率计算有效，以及使用可配置数据来计算收集器的反射率。
一种用于极紫外(EUV)辐射源的数据匹配模块控制反馈系统的方法，包含获得狭缝整合能量(SLIE)感测器数据及绕射光学元件(DOE)数据，接着，辨识SLIE感测器数据及DOE数据的时间差是否在可接受的范围内，接着，回应于时间差是落在可接受的范围内，自动地验证SLIE感测器数据以计算反射率，以及使用SLIE感测器数据及DOE数据的时间差来分析收集器的反射率。
一种分析用于极紫外(EUV)辐射产生装置的收集器的光学效能的系统，包含透射影像感测器(TIS)平台、记忆体以及处理器。TIS平台包括将晶圆放置于其上的晶圆载物台、静电夹盘、及数个感测器。记忆体用来储存数个计算机执行程序。处理器用来执行储存在记忆体中的计算机执行程序，其中计算机执行程序包含数据匹配模块，数据匹配模块用以获得狭缝整合能量(SLIE)感测器数据及绕射光学元件(DOE)数据。数据匹配模块执行SLIE感测器数据及DOE数据的时间差的数据匹配，用于识别SLIE感测器数据及DOE数据的不匹配集合，而后，决定不匹配集合的SLIE感测器数据及DOE数据的时间差是否在可接受的范围内。回应于SLIE感测器数据及DOE数据的时间差不在数据匹配的时间差的可接受的范围内，自动地验证不匹配集合的可配置数据，使得不匹配集合的SLIE感测器数据针对光学效能计算有效。
附图说明
当结合随附附图阅读时，自以下详细描述将很好地理解本揭露的一实施例。应注意，根据本产业的标准实务，各个特征并非按比例绘制，并且仅出于说明目的而使用。事实上，出于论述清晰的目的，可任意增加或减小各个特征的尺寸。
图1是根据本揭露的一些实施例构造的具有激光产生电浆(LPP)EUV辐射源的EUV微影系统的示意图。
图2是根据一些实施例的在晶圆载物台上具有感测器的极紫外(EUV)照明器的示意图。
图3是根据一些实施例的通用数据处理的示意图。
图4示意性地示出根据本揭露的一或多个实施例的数据处理。
图5绘示用于SLIE感测器数据及DOE数据的不匹配时间序列。
图6绘示根据本揭露的一实施例的通过提供时间间隙容差来增加SLIE时间序列中的数据密度的实例。
图7绘示根据本揭露的一实施例的用于数据提取方法论的流程图。
图8绘示根据本揭露的替代实施例的用于数据提取方法论的流程图。
图9A及图9B绘示了根据本揭露的一实施例的EUV数据分析装置。
【符号说明】
100 EUV辐射源
105 腔室
108 EUV辐射
109 聚光器
110 LPP收集器
112a 表面
112b 表面
114 反射器
115 靶液滴产生器
200 曝光工具
300 激发激光源
310 激光产生器
320 激光导引光学器件
330 聚焦装置
900 计算机系统
901 计算机
902 键盘
903 鼠标
904 监测器
905 光盘驱动
906 磁盘驱动
911 处理器
912 ROM
913 随机存取记忆体(RAM)
914 硬盘
915 总线
921 光盘
922 磁盘
1000 极紫外(EUV)照明器
1104 主光罩
1106 遮罩载物台
1110 绕射光学元件(DOE)
1115 平台
1116A 反射镜
1116B 反射镜
1116C 反射镜
1116D 反射镜
1120 图案表面
1122 晶圆
1124 晶圆载物台
1126 静电夹盘
1128 晶圆载物台
1130 感测器
1130a 感测器
1130b 感测器
1130c 感测器
1130d 感测器
117 喷嘴
1200 数据处理
1210 原始数据
1220 滤后数据
1220A 数据集
1220B 数据集
1220C 数据集
1220E 数据集
1220F 数据集
1230 方法论
1230A 方法论
1230B 方法论
1230 C方法论
1235 代表性数据处理方法(论)
1240 结果数据
1250 数据匹配模块
1260 时序窗计算模块
1266 时序窗
1268 能量窗/阈值
1500 方法
1555 SLIE数据
2000 方法
BF 地下一层
CD-ROM 光盘只读记忆体
DP 靶液滴
DMP1 阻尼器
DMP2 阻尼器
EUV 极紫外光
LR1 激光
LR2 激发激光
MF 地面一层
MPU 微处理单元
PP1 基座板
PP2 基座板
RAM 随机存取记忆体
ROM 记忆体
ZE 激发区
S1510 操作
S1520 操作
S1530 操作
S1540 操作
S1550 操作
S1560 操作
S2010 操作
S2020 操作
S2030 操作
S2040 操作
S2050 操作
具体实施方式
以下揭露内容提供许多不同实施例或实例，以便实施所提供标的的不同特征。下文描述部件及布置的具体实例以简化本揭露的一实施例。当然，此等仅为实例且并不意欲为限制性。例如，以下描述中在第二特征上方或第二特征上形成第一特征可包括以直接接触形成第一特征及第二特征的实施例，且亦可包括在第一特征与第二特征之间形成额外特征以使得第一特征及第二特征可不处于直接接触的实施例。此外，本揭露的一实施例可在各个实例中重复元件符号及/或字母。此重复是出于简便性及清晰的目的且本身并不指示所论述的各个实施例及/或配置之间的关系。
另外，为了便于描述，本文可使用空间相对性术语(诸如“之下”、“下方”、“下部”、“上方”、“上部”及类似者)来描述诸图中所示出的一个元件或特征与另一元件(或多个元件)或特征(或多个特征)的关系。除了诸图所描绘的定向外，空间相对性术语意欲包含使用或操作中元件的不同定向。装置/元件可经其他方式定向(旋转90度或处于其他定向)且由此可类似解读本文所使用的空间相对性描述词。此外，术语“由…制成(made of)”可意谓“包含(comprising)”或“由…构成(consisting of)”。
本揭露的一实施例大体是关于极紫外(EUV)微影系统及方法。更特定而言，其是关于用于控制在基于激光产生电浆(LPP)的EUV辐射源中使用的激发激光的装置及方法。激发激光在LPP腔室中加热金属(例如，锡)靶液滴，以将液滴游离为电浆，此电浆发射EUV辐射。为了靶液滴的最佳加热，靶液滴必须与来自激发激光的激发脉冲同时到达激发激光的焦点。因此，在靶液滴与用于触发来自激发激光的激发脉冲的触发时间之间的同步有助于LPPEUV辐射源的效率及稳定性。本揭露的一实施例的目的之一涉及控制激发激光以提供靶液滴的最佳加热。
图1是根据本揭露的一些实施例构造的具有基于激光产生电浆(LPP)的EUV辐射源的EUV微影系统的示意图。EUV微影系统包括用于产生EUV辐射的EUV辐射源100、曝光工具200(诸如扫描器)、以及激发激光源300。如图1所示，在一些实施例中，EUV辐射源100及曝光工具200安装在清洁室的地面一层MF上，而激发激光源300安装在位于主楼层MF下方的底层BF中。EUV辐射源100及曝光工具200中的每一者是分别经由阻尼器DMP1及DMP2放置在基座板PP1及PP2的上方。EUV辐射源100及曝光工具200通过耦合机构(其可包括聚焦单元)彼此耦合。
EUV微影系统是经设计为通过EUV光(在本文中亦可互换地称为EUV辐射)来曝光光阻层。光阻层是对EUV光敏感的材料。EUV微影系统采用EUV辐射源100来产生EUV光，诸如具有在约1nm与约100nm之间变化的波长的EUV光。在一个特定实例中，EUV辐射源100产生具有以约13.5nm为中心的波长的EUV光。在本实施例中，EUV辐射源100利用激光产生电浆(LPP)的机构来产生EUV辐射。
曝光工具200包括各种反射光学部件(诸如凸透镜/凹透镜/平面镜)、遮罩固持机构(包括晶圆载物台)、以及晶圆固持机构。由EUV辐射源100产生的EUV辐射由反射光学部件导引至在晶圆载物台上固定的遮罩上。在一些实施例中，晶圆载物台包括用于固定遮罩的静电夹盘(electrostatic chuck，e-chuck)。因为气体分子吸收EUV光，将用于EUV微影图案化的微影系统维持在真空或低压环境中以避免EUV强度损失。承载遮罩上界定的图案影像的从遮罩导引的EUV辐射(EUV光)由反射光学部件收集，由此在光阻上形成影像。在本揭露的各个实施例中，半导体基板是半导体晶圆，诸如硅晶圆或待图案化的其他类型的晶圆。在本文揭露的实施例中，半导体基板用对EUV光敏感的光阻层涂覆。包括上文描述的彼等的各个部件整合在一起并且可操作以执行微影曝光制程。
在本揭露的一实施例中，术语遮罩、光罩、及主光罩可互换使用。在本实施例中，遮罩是为反射遮罩。在一实施例中，遮罩包括具有适宜材料的基板，诸如低热膨胀材料或熔融石英。在各个实例中，材料包括TiO2掺杂的SiO2、或具有低热膨胀的其他适宜材料。遮罩包括在基板上沉积的多个反射层(ML)。ML包括多个膜对，诸如钼-硅(Mo/Si)膜对(例如，在每个膜对中，钼层在硅层之上或之下)。或者，ML层可包括钼-铍(Mo/Be)膜对、或可配置为高度反射EUV光的其他适宜材料。遮罩可进一步包括在ML上设置而用于保护的覆盖层，诸如钌(Ru)。遮罩进一步包括在ML上方沉积的吸收层，诸如氮化钽硼(TaBN)层。吸收层经图案化以界定集成电路(IC)的层。或者，另一反射层可在ML上方沉积并且经图案化以界定集成电路的层，由此形成EUV相移遮罩。
如图1所示，EUV辐射源100包括由腔室105封闭的靶液滴产生器115及LPP收集器110。靶液滴产生器115产生多个靶液滴DP，将此等靶液滴经由喷嘴117供应到腔室105中。在一些实施例中，靶液滴DP是为锡(Sn)、锂(Li)、或Sn及Li的合金。在一些实施例中，靶液滴DP各者具有在从约10微米(μm)至约100μm的范围中的直径。例如，在一实施例中，靶液滴DP是为锡液滴，各个锡液滴具有约10μm、约25μm、约50μm的直径、或在此等值之间的任何直径。在一些实施例中，以从约50液滴每秒(亦即，约50Hz的喷射频率)至约50,000液滴每秒(亦即，约50kHz的喷射频率)的范围中的速率，经由喷嘴117供应靶液滴DP。例如，在一实施例中，靶液滴DP在约50Hz、约100Hz、约500Hz、约1kHz、约10kHz、约25kHz、约50kHz的喷射频率、或在此等频率之间的任何喷射频率下供应。在各个实施例中，靶液滴DP以约10米每秒(m/s)至约100m/s的范围中的速度经由喷嘴117喷射并且喷射到激发区ZE中。例如，在一实施例中，靶液滴DP具有约10m/s、约25m/s、约50m/s、约75m/s、约100m/s的速度、或在此等速度之间的任何速度。
由激发激光源300产生的激发激光LR2是为脉冲激光。脉冲激光LR2由激发激光源300产生。激发激光源300可包括激光产生器310、激光导引光学器件320及聚焦装置330。在一些实施例中，激光源300包括二氧化碳(CO2)或钕掺杂的钇铝石榴石(Nd:YAG)激光源，此激光源具有在电磁光谱的红外区域中的波长。例如，在一实施例中，激光源300具有9.4μm或10.6μm的波长。由激光产生器310产生激光LR1由激光导引光学器件320导引并且通过聚焦装置330聚焦到激发激光LR2中，并且随后引入EUV辐射源100中。
在一些实施例中，激发激光LR2包括预热激光及主激光。在此种实施例中，预热激光脉冲(在本文中可互换地称为“预脉冲”)用于加热(或预热)给定靶液滴以产生具有多个较小液滴的低密度靶羽流，随后由来自主激光的脉冲加热(或再加热)羽流，使得EUV发射量增加。
在各个实施例中，预热激光脉冲具有约100μm或更小的斑点大小，并且主激光脉冲具有在约150μm至300μm的范围中的斑点大小。在一些实施例中，预热激光及主激光脉冲具有在从约10ns至约50ns的范围中的脉冲持续时间、及在从约1kHz至约100kHz的范围中的脉冲频率。在各个实施例中，预热激光及主激光具有的平均功率在从约1千瓦(kW)至约50kW的范围中。在一实施例中，激发激光LR2的脉冲频率与靶液滴DP的喷射频率匹配。
激光LR2穿过窗(或透镜)导引到激发区ZE中。窗采用实质上对激光光束透明的适宜材料。激光脉冲的产生与靶液滴DP经由喷嘴117的喷射同步。由于靶液滴穿过激发区域移动，预脉冲加热靶液滴，并且将其等转换为低密度靶羽流。控制在预脉冲与主脉冲之间的延迟以允许靶羽流形成并且膨胀到最佳大小及几何形状。在各个实施例中，预脉冲及主脉冲具有相同脉冲持续时间及峰值功率。当主脉冲加热靶羽流时，产生高温电浆。电浆发射EUV辐射，此EUV辐射由收集器反射镜110收集。收集器110进一步反射及聚焦EUV辐射用于微影曝光制程，此微影曝光制程经由曝光工具200执行。
在设置辐射源100时决定激发区ZE的位置及参数(诸如激光功率、主脉冲与预脉冲延迟、预脉冲聚焦的位置等)。在各个实施例中，随后在晶圆曝光期间使用反馈机构调节激发区ZE的实际位置及参数(诸如功率及时序)。然而，例如，由于诸如激光漂移、液滴产生器的不稳定性、及腔室环境改变的因素，此等参数随时间改变。
已在本文的其他地方论述，因为EUV辐射是为游离辐射，将熔融金属液滴引入真空腔室中以防止在产生之后的EUV能量损失。电浆趋于经由腔室扩散并且腐蚀附近的任何材料。腐蚀的材料以及扩散的电浆可涂覆收集器反射镜，从而导致反射率损失，并且最终将EUV辐射的能量导引至微影工具中。因此，为了维持由EUV源输出的EUV辐射的能量位准，必须定期替换收集器反射镜。然而，替换收集器反射镜本身不仅昂贵的，且为时间密集(Timeintensive)，并且导致微影工具的产量降低。因此，需要用于量测及监测收集器反射镜的反射率以预先采取行动并且减少或消除收集器反射镜的降级的装置及方法。
图2绘示了根据一些实施例的具有平台1115的极紫外(EUV)照明器1000的实例。辐射源100向聚光器109发射EUV辐射108。聚光器109包括用以聚焦EUV辐射108的表面112a、112b，以及用以朝向主光罩1104反射EUV辐射108的反射器114。主光罩1104可固定到遮罩载物台1106。主光罩1104具有图案表面1120，此图案表面具有待转移到工作件的图案。平台1115包括晶圆将放置于其上的晶圆载物台1124、静电夹盘1126、及感测器1130a、1130b、1130c、1130d。主光罩1104的图案表面1120朝向绕射光学元件(DOE)1110反射辐射。绕射光学元件(DOE)1110包括一系列反射镜，诸如反射镜1116A、1116B、1116C、及1116D。反射镜1116A-1116D减小由EUV辐射承载的图案大小。在操作期间，DOE 1110将承载主光罩图案信息的EUV辐射朝向晶圆载物台1124上设置的晶圆1122投影。
晶圆载物台1124包括用以将晶圆1122固定于其上的静电夹盘1126。静电夹盘1126由具有低导热系数的刚性材料形成。静电夹盘1126可连接到数个致动器，此等致动器用以在各个角度中移动静电夹盘以将EUV辐射聚焦在晶圆1122上及/或对准主光罩1104上的图案与晶圆1122上的靶部分。
数个感测器1130a、1130b、1130c、1130d(共同为感测器1130)设置在静电夹盘1126的晶圆载物台1128的顶部上。感测器1130选择性地安装在静电夹盘1126上并且用以抽空及/或监测EUV照明器1000的成像效能。感测器1130包括对辐射(诸如EUV波长中的辐射)透明的上板，或包括透明部分及不透明部分的图案。上板可经定位为从EUV辐射接收辐射。可将接收到的辐射导引至感测器1130的一或多个转换器。感测器1130包括光学元件，诸如光纤板或微透镜阵列，此光学元件适于将接收到的辐射导引或聚焦至转换器。转换器可为适于将辐射转换为电信号的元件，诸如光二极管、CCD感测器、或CMOS感测器。转换器的输出用于控制、校准、及最佳化EUV照明器1000的操作。
在一些实施例中，感测器1130a、1130b可为透射影像感测器(TIS)。透射影像感测器(TIS)用于在晶圆位准下量测遮罩图案在主光罩1104上投影的空中影像的位置。在晶圆位准下投影的空中影像可为具有线的线图案，此线具有与辐射波长相当的波长。TIS感测器1130a、1130b用以量测遮罩关于晶圆载物台1124在六个自由度(例如，平移的三个自由度及旋转的三个自由度)上的位置。此外，投影的图案的放大及比例缩放亦可通过透射影像感测器1130a、1130b来量测。透射影像感测器1130a、1130b能够量测图案位置、照度设置(诸如σ；sigma)的影响、透镜的数值孔径。透射影像感测器1130a、1130b亦用于对准主光罩1104与晶圆1122并且将EUV辐射聚焦到晶圆1122上的靶区域。透射影像感测器1130a、1130b进一步用以量测EUV照明器1000的效能及光学性质，诸如光瞳形状、彗形像差、球面像差、像散性、及像场弯曲。尽管在图2中绘示了两个透射影像感测器1130a、1130b，根据EUV照明器1000的设计，可包括任何数量的TIS感测器。
在一些实施例中，在扫描器处的感测器1130c是为整合透镜干涉仪(ILIAS)感测器。ILIAS感测器是为干涉波前量测元件，此元件执行对透镜像差的静态量测。ILIAS感测器1130c亦用以量测EUV辐射中的波前误差。
在一些实施例中，感测器1130d可为光点感测器及/或狭缝整合能量(Slitintegrated energy；SLIE)感测器，此感测器配置以量测EUV辐射在晶圆位准下的剂量/强度。SLIE感测器配置以提供来自光二极管的读出值，此读出值表示能量整合值。由狭缝整合能量(SLIE)感测器及/或光点感测器在晶圆位准下量测的EUV辐射的强度用于计算由光阻层吸收的EUV辐射。当补偿EUV辐射损失的效应时，在EUV辐射的路径中减小的EUV辐射的强度是为关键因素之一，由此改进EUV照明器1000的光学效能。
图3绘示了用于增强EUV照明器1000的光学效能的数据处理1200的示意图。数据处理1200利用来自感测器1130(诸如，例如，图2所示的EUV照明器1000的一或多个不同感测器1130a、1130b、1130c、1130d)的原始数据1210。在一些实施例中，原始数据1210包括选自由下列组成的群组的至少一个数据连同所量测的时间序列：透射影像感测器(TIS)数据、扫描器处整合透镜干涉仪(ILIAS)数据、点感测器数据及/或狭缝整合能量(SLIE)感测器数据。在一些实施例中，预处理原始数据1210以分离所关注数据与杂讯数据，以便产生滤后数据1220。例如，狭缝整合能量(SLIE)感测器数据可以与杂讯数据分离以产生滤后数据1220。可以通过各种迭代及/或实施例持续地直列提取、更新及管理滤后数据1220。
绕射光学元件(DOE)1110是用于EUV光源的光源-光罩最佳化(SMO)配置设定的一部分。绕射光学元件(DOE)1110包括不同光分布设置，诸如，例如，用于PFM(光瞳刻面反射镜)的参数以获得对应遮罩(主光罩)图案的最佳化的景深(DOF)。在一些实施例中，绕射光学元件(DOE)1110的每一个具有分配给对应的光源-光罩最佳化(SMO)配置设定的唯一的序列号。
收集器的反射率为EUV光源非常重要的关键效能指标。在一些实施例中，如图3所示，反射率通过使用光源-光罩最佳化(SMO)方法论1230计算，此等方法论应用于滤后数据1220以产生结果数据1240。当计算收集器的反射率时，随后将结果数据1240传送到数据匹配模块1250。在一些实施例中，将滤后数据1220直接传送到当计算收集器的反射率时所使用的数据匹配模块1250，此反射率表示EUV照明器1000的光学效能。在一些实施例中，例如，光源-光罩最佳化最佳化(SMO)方法论1230为预测未来行为及回应的机器学习方法。在一些实施例中，光源-光罩最佳化(SMO)方法论1230是为组合的方法。使用组合的数据处理方法可以提供简单且有效的解决方案，对于处理稀疏且小的数据集，具有最小复杂度及费用。
图4绘示根据本揭露的一或多个实施例的数据处理。当计算收集器的反射率时，处理器检查以了解绕射光学元件(DOE)1110相关联的数据与狭缝整合能量(SLIE)感测器数据1130d相关联的数据是否匹配。当DOE及SLIE以相同时间序列数据进行报告时，将数据集分类为数据匹配识别的数据集。可以将滤后数据1220分类为多个数据集(例如，数据集1-10)。在图4所示的一个示例性实施例中，分别将数据集1-3及8-10分类为数据匹配识别的数据集1220A及1220B，并且将数据集4-7分类为不匹配的数据集1220C。
光源-光罩最佳化(SMO)方法论1230被汇总成多个最佳化方法论，诸如，例如，1230A、1230B、及1230C，以获得代表性数据处理方法论1235。多个最佳化方法论1230A、1230B、及1230C可以选自由下列组成的群组：时序间隙容差方法、移动平均(滚动平均)方法、数据取样率方法、数据放大因数方法、数据平滑过滤方法、感测器类型方法。在一些实施例中，可以选择性调节多个最佳化方法论1230A、1230B、及1230C。例如，在各个不同的实施例中，新的最佳化方法可以添加到多个最佳化方法论1230A、1230B、及1230C中。在一些实施例中，可以从多个最佳化方法论1230A、1230B、及1230C移除现有的最佳化方法论。在一些替代实施例中，最佳化方法可经调节以更新多个最佳化方法论1230A、1230B、及1230C。
回应于代表性数据处理方法1235的决定，代表性方法1235可以应用于不匹配的数据集1220C以识别一或多个合格数据集1220E，诸如，例如，数据集4及7。在一些替代实施例中，代表性方法1235可以应用于不匹配的数据集1220C以识别一或多个不合格数据集1220F，诸如，例如，数据集5及6。
在一些实施例中，代表性数据处理方法1235应用于数据匹配识别的数据集1220A以产生第一靶方法。随后，第一靶方法可以应用于不匹配的数据集1220C以验证第一靶方法的效能。另外，汇总的方法论1230A、1230B、及1230C可以应用于不匹配的数据集1220C以产生第二靶方法，并且第二靶方法可以应用于测试数据集1220C以验证第二靶方法处的效能。
在一些实施例中，本文描述及主张的技术可以利用机器学习系统，此机器学习系统已明显或隐含地经训练来学习、决定或推断系统需要、数据匹配需求、感测器1130的相互依赖性、及动态地决定或推断感测器1130的数据点，此等感测器实现当前及/或预期的数据匹配需求。
定期监测收集器的反射率以致力于预先防止收集器降级。当计算收集器的反射率时，检查与绕射光学元件(DOE)1110相关的光源-光罩最佳化(SMO)配置设定的序列号的匹配，并且曝光位点EUV强度由SLIE感测器1130d量测。通过EUV扫描器的曝光系统将DOE及SLIE报告为时间序列数据。然而，在一些情况下，EUV扫描器经常以一定时间延迟输出DOE数据及SLIE感测器数据。例如，如图5中所示，在一些情况下，在SLIE感测器数据与DOE数据中的连续数据点之间的定期间隔是为不同。换言之，在一些情况下，收集DOE数据的时间及收集SLIE感测器数据的时间是为不同。从反射率计算中省略去具有不匹配时间的数据点，此将导致反射率数据损失。例如，在图5中，在9:47与9:56之间不计算反射率数据，这是因为在此等时间之间不存在可用的DOE数据。
在图5所示的示例性数据中，反射率数据的损失导致了不准确或延迟的监测，致使预先采取动作来防止收集器降级的能力损失。由此，在一些实施例中，数据匹配模块1250需要采用容忍不匹配的方法，诸如，例如，针对DOE数据及SLIE感测器数据的时序间隙容差。使用此数据匹配模块1250，SLIE感测器数据可以由时间最近的DOE数据识别。换言之，一预定的时序窗可以应用于，当数据匹配模块1250将SLIE感测器数据识别为不适时或延迟的DOE数据时，通过将时间最近的DOE数据分配给SLIE感测器数据。
图6绘示了增强的数据匹配模块1250的实例，此数据匹配模块允许使用具有3分钟时间间隙的时序间隙容差方法。在一些实施例中，数据匹配模块1250进一步包括时序窗计算模块1260，此时序窗计算模块用以接收时序窗1266信息。在一些实施例中，从一或多个软件部件(诸如时序窗优选项)及/或一或多个硬件部件(诸如，例如，感测器1130)接收时序窗1266。基于时序窗计算模块，数据匹配模块1250可审查在时序窗1266(诸如，例如，3分钟)内特定时序间隙容差方法的任何组合。在此实例中，在9:47处的SLIE感测器数据由时间最近的DOE数据识别，例如，在9:44至9:50期间报告。时序窗1266可以为1分钟、2分钟、4分钟、或5分钟、或任何其他时序。
在图6所示的一些实施例中，增强的数据匹配模块1250提供针对DOE数据及SLIE感测器数据的时序间隙容差。增强的数据匹配模块1250由此减少反射率数据损失的情况并且进一步提供数据完整性。在一些实施例中，观察到数据损失减少，此数据损失减少为时间序列反射率数据的强度的约2倍。时间序列反射率数据的密度的增加，增加了降级速率的精确度，从而允许对收集器反射率的任何潜在降级的更快回应。例如，在一些实施例中，收集器降级速率从在不使用时序间隙容差的情况下约-0.6％每千兆脉冲减小至在使用时序间隙容差的情况下约-0.4％每千兆脉冲。
在一些实施例中提供的反馈系统/机构可基于新的数据匹配信息进一步发送通知，此数据匹配信息指示数据匹配是否在可接受的数据匹配范围内。
图7绘示根据本揭露的一实施例的用于数据提取方法论的方法1500的流程图。于S1510，方法包括获得狭缝整合能量(SLIE)感测器数据及绕射光学元件(DOE)数据。于S1520，在SLIE感测器数据与对应的DOE数据之间执行数据匹配，其中针对DOE数据及SLIE感测器数据的时间戳记用作识别符。于S1530，方法包括决定在针对DOE数据的时间戳记与针对SLIE感测器数据的时间戳记之间的时间差是否大于时序窗1266。在一些实施例中，若决定时间差大于预定时序窗1266，诸如，例如3分钟，则清除数据。于S1540，方法包括决定通过SLIE感测器数据的能量强度是否在能量窗/阈值1268内，并且若决定在能量窗/阈值1268之外，则清除数据。于S1550，方法包括用最近的DOE数据识别SLIE感测器数据。于S1560，方法包括将数据作为识别的SLIE数据1555包括到SLIE感测器数据的时间序列中，以执行反射率计算。
图8绘示根据本揭露的替代实施例的用于数据提取方法论的方法2000的流程图。于S2010，方法包括获得狭缝整合能量(SLIE)感测器数据及绕射光学元件(DOE)数据。于S2020，方法包括通过数据匹配模块执行SLIE感测器数据及DOE数据的时间差的数据匹配。于S2030，方法包括决定数据匹配的时间差是否在可接受的范围内。于S2040，方法亦包括用最近的DOE数据自动替换绕射光学元件(DOE)数据的可配置数据，以验证反射率计算。于S2050，方法包括执行反射率计算以识别EUV照明器的效能。在一些实施例中，可接受范围包括时序窗及/或预定时间阈值。
图9A及图9B绘示了根据本揭露的一实施例的EUV数据分析装置。图9A是计算机系统的示意图，此计算机系统执行上文描述的直列光源-光罩最佳化制程。以上实施例可使用计算机硬件及其上执行的计算机程序来实现。在图9A中，计算机系统900具备计算机901，此计算机包括光盘只读记忆体(例如，CD-ROM或DVD-ROM)驱动905及磁盘驱动906、键盘902、鼠标903、及监测器904。
图9B是为图示计算机系统900的内部配置的图。在图9B中，除了光盘驱动905及磁盘驱动906之外，计算机901具备一或多个处理器911(诸如微处理单元(MPU))、ROM 912(其中储存诸如启动程序的程序)、随机存取记忆体(RAM)913(其连接到MPU 911并且其中暂时储存应用程序的命令且提供暂时性储存区域)、硬盘914(其中储存应用程序、计算机程序、及数据)、及总线915(其连接MPU 911、ROM 912、及类似者)。注意到，计算机901可包括网络卡(未图示)，此网络卡用于提供到区域网(LAN)的连接。
用于致使计算机系统900执行以上实施例中的EUV数据分析装置的功能的程序可储存在光盘921或磁盘922中并且发送到硬盘914，此光盘或磁盘插入光盘驱动905或磁盘驱动906中。或者，程序可经由网络(未图示)发送到计算机901并且储存在硬盘914中。在执行时，将程序载入RAM 913中。程序可从光盘921或磁盘922载入、或者直接从网络载入。
例如，程序并非必须包括作业系统(OS)或第三方程序，以致使计算机901执行以上实施例中的EUV数据分析装置的功能。程序仅可包括命令部分以受控方式调用适当功能(模块)并且获得期望结果。
在程序中，由程序实现的功能不包括在一些实施例中可以仅由硬件实现的功能。例如，在由上文描述的程序实现的功能中不包括在获取信息的获取单元或输出信息的输出单元中可以仅由硬件(诸如网络接口)实现的功能。此外，执行程序的计算机可为单个计算机或可为多个计算机。
另外，在一些实施例中，用于实现在线光源-光罩最佳化装置的整体或部分的程序，其是为用于EUV光源-光罩最佳化制程的另一程序的部分。此外，用于实现在线光源-光罩最佳化装置的整体或部分的程序是由ROM实现，此ROM在一些实施例中通过例如半导体元件制成。
根据本揭露的实施例的方法及装置改进了极紫外微影效率及良率。本揭露的实施例监测EUV辐射源收集器的反射率并且提醒操作人员应当清洁及替换收集器的时间。监测收集器的反射率可以允许在显著负面影元件良率响时清洁及替换收集器。提出与习知方法论相比为较佳的适用性数据匹配方法论。通过本揭露的实施例获得的增加的反射率数据，导致多达2倍的收集器的降级速率的数据精确度。在一些实施例中，收集器降级速率保护(defense)增强了约0.2％每千兆脉冲而不损失数据。
本揭露的一实施例是为一种计算用于极紫外(EUV)辐射源的收集器的反射率的方法。方法包括获得第一感测器及第二感测器的时间序列数据。随后，识别在第一感测器的时间序列数据中的每个数据点，针对此等数据点的时间戳记与针对在第二感测器的时间序列数据中的数据点的时间戳记匹配，其中在第二感测器的时间序列数据中具有对应数据点。回应于在时间戳记之间的不匹配，识别在第一感测器的时间序列数据中的数据点与在第二感测器的时间序列数据中的数据点，对此在第一感测器的时间序列数据中的数据点的时间戳记与在第二感测器的时间系列数据中的时间点的时间戳记的最小差值小于预定值。随后，使用在第一感测器的时间序列数据中识别的数据点来计算收集器的反射率。在一些实施例中，获得来自狭缝整合能量(SLIE)感测器的数据。在一些实施例中，获得来自绕射光学元件(DOE)数据的数据，连同光源-光罩最佳化序列号。在一些实施例中，清除在能量数据小于阈值的SLIE感测器的时间序列数据中的数据点以及在SLIE感测器的时间序列数据中的数据点的时间戳记与在DOE的时间序列数据中的数据点的时间戳记中的最小差值大于预定值的SLIE感测器的时间序列数据中的数据点。在一些实施例，中预定值在2分钟至4分钟的范围中。
本揭露的另一实施例是为一种用极紫外(EUV)辐射源的数据匹配模块控制反馈系统的方法。方法包括获得狭缝整合能量(SLIE)感测器数据及绕射光学元件(DOE)数据。随后，数据匹配模块执行SLIE感测器数据及DOE数据的时间差的数据匹配以识别SLIE感测器数据及DOE数据的不匹配集合。方法随后决定不匹配集合的SLIE感测器数据及DOE数据的时间差是否在可接受的范围内。回应于SLIE感测器数据及DOE数据的时间差不在数据匹配的时间差的可接受范围内，方法自动地验证不匹配集合的可配置数据，使得不匹配集合的SLIE感测器数据针对反射率计算有效。在一些实施例中，识别为对应的光源-光罩最佳化(SMO)配置设定分配的DOE数据的唯一序列号。在一些实施例中，执行数据匹配，从而识别相同的SLIE感测器数据的时间戳记及DOE数据的时间戳记。在一些实施例中，方法识别在可允许时间窗内的SLIE感测器数据的时间戳记及DOE数据的时间戳记。在一些实施例中，方法识别时间差是否在时序窗内。在一些实施例中，方法亦识别时间差是否高于预定时间阈值。在一些实施例中，可接受范围使用选自由下列组成的群组的最佳化方法论决定：时序间隙容差方法、移动平均(滚动平均)方法、数据取样率方法、数据放大因数方法、数据平滑过滤方法、及感测器类型方法。在一些实施例中，将最近的DOE数据即时分配给SLIE感测器数据。在一些实施例中，反馈系统基于新的数据匹配信息产生通知，此数据匹配信息指示数据匹配在可接受的数据匹配范围内的时间。
本揭露的一实施例是为一种用于产生极紫外(EUV)辐射的装置。装置包括透射影像感测器(TIS)平台、数据匹配模块、及耦合到数据匹配模块的控制器。TIS平台包括将晶圆放置于其上的晶圆载物台、静电夹盘、及感测器。数据匹配模块用以获得狭缝整合能量(SLIE)感测器数据及绕射光学元件(DOE)数据。控制器经程序化以通过数据匹配模块执行SLIE感测器数据及DOE数据的时间差的数据匹配，用于识别SLIE感测器数据及DOE数据的不匹配集合。随后，控制器经程序化以决定不匹配集合的SLIE感测器数据及DOE数据的时间差是否在可接受的范围内。回应于SLIE感测器数据及DOE数据的时间差不在数据匹配的时间差的可接受范围内，控制器经程序化为自动地验证不匹配集合的可配置数据，使得不匹配集合的SLIE感测器数据针对反射率计算有效。在一些实施例中，数据匹配模块包括时序窗计算模块，此时序窗计算模块用以从一或多个软件部件及一或多个硬件部件接收时序窗。在一些实施例中，时序窗计算模块用以从感测器接收时序窗。在一些实施例中，可接受的范围包括在时序窗内的时间差。在一些实施例中，时序窗在约2分钟至约4分钟的范围中。在一些实施例中，可接受范围包括时间差高于预定时间阈值。
将理解，本文不一定论述所有优点，无特定优点为所有实施例或实例所必需，且其他实施例或实例可提供不同优点。
上文概述了若干实施例或实例的特征，使得熟习此项技术者可更好地理解本揭露的一实施例的态样。熟习此项技术者应了解，可轻易使用本揭露的一实施例作为设计或修改其他制程及结构的基础，以便实施本文所介绍的实施例或实例的相同目的及/或实现相同优点。熟习此项技术者亦应认识到，此类等效结构并未脱离本揭露的一实施例的精神及范畴，且可在不脱离本揭露的一实施例的精神及范畴的情况下产生本文的各种变化、替代及更改。

Claims (40)

1.一种计算用于一极紫外(EUV)辐射源的一收集器的一反射率的方法，其特征在于，该方法包含：
获得一第一感测器的一时间序列数据及一第二感测器的一时间序列数据；
识别在该第一感测器的该时间序列数据中的数个数据点，针对该第一感测器的该时间序列数据中所述数据点的数个时间戳记与针对在该第二感测器的该时间序列数据中的对应的数个数据点的数个时间戳记匹配；
回应于在所述时间戳记之间的不匹配，识别在该第一感测器的该时间序列数据中的所述数据点与在该第二感测器的该时间序列数据中的所述数据点，对此在该第一感测器的该时间序列数据中的所述数据点的所述时间戳记与在该第二感测器的该时间系列数据中的所述时间点的所述时间戳记的最小差值小于一预定值；以及
使用在该第一感测器的该时间序列数据中识别的所述数据点来计算该收集器的该反射率。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，获得来自一狭缝整合能量感测器的数据。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，获得来自一绕射光学元件数据的数据，连同一光源-光罩最佳化序列号。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，还包含：
清除该狭缝整合能量感测器的数据中，能量数据小于一阈值的数个数据点；以及
清除该狭缝整合能量感测器的数据中，与在该绕射光学元件数据的时间序列数据中的数据点的时间戳记中的最小差值大于一预定值的另外数个数据点。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，该预定值在2分钟至4分钟的范围中。
6.一种用于一极紫外(EUV)辐射源的一数据匹配模块控制反馈系统的方法，其特征在于，该方法包含：
获得一狭缝整合能量感测器数据及绕射光学元件数据；
通过该数据匹配模块执行该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据的一时间差的一数据匹配以识别该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据的一不匹配集合；
决定该不匹配集合的该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据的该时间差是否在一可接受的范围内；以及
回应于该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据的该时间差不在该数据匹配的该时间差的该可接受的范围内，自动地验证该不匹配集合的一可配置数据，使得该不匹配集合的该狭缝整合能量感测器数据针对一反射率计算有效。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，获得该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据包含识别为对应的一光源-光罩最佳化(SMO)配置设定分配的该绕射光学元件数据的唯一序列号。
8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，执行该数据匹配，从而识别相同的该狭缝整合能量感测器数据的一时间戳记及该绕射光学元件数据的该时间戳记。
9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，执行该数据匹配，从而识别在一可允许时间窗内的该狭缝整合能量感测器数据的该时间戳记及该绕射光学元件数据的该时间戳记。
10.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，决定该不匹配集合的该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据的该时间差是否在该可接受的范围内包含：
识别该时间差是否在一时序窗内。
11.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，决定该不匹配集合的该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据的该时间差是否在该可接受的范围内包含：
识别该时间差是否高于一预定时间阈值。
12.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，该可接受的范围使用选自由下列组成的群组的最佳化方法论决定：时序间隙容差方法、移动平均(滚动平均)方法、数据取样率方法、数据放大因数方法、数据平滑过滤方法、及感测器类型方法。
13.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，自动地验证该不匹配集合的该可配置数据包含：
将最近的该绕射光学元件数据即时分配给该狭缝整合能量感测器数据。
14.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，还包含一反馈系统基于新的该数据匹配信息产生一通知，该数据匹配信息指示该数据匹配在该可接受的范围内。
15.一种用于产生一极紫外(EUV)辐射的装置，其特征在于，包含：
一透射影像感测器平台，该透射影像感测器平台包括将一晶圆放置于其上的一晶圆载物台、一静电夹盘、及数个感测器；
一数据匹配模块，用以获得一狭缝整合能量感测器数据及一绕射光学元件数据；以及
耦合到该数据匹配模块的一控制器，该控制器经程序化以通过该数据匹配模块执行：
该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据的一时间差的一数据匹配，用于识别该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据的一不匹配集合，
决定该不匹配集合的该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据的该时间差是否在一可接受的范围内，
回应于该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据的该时间差不在该数据匹配的该时间差的该可接受的范围内，以及
自动地验证该不匹配集合的一可配置数据，使得该不匹配集合的该狭缝整合能量感测器数据针对一反射率计算有效。
16.根据权利要求15所述的装置，其特征在于，该数据匹配模块包括一时序窗计算模块，该时序窗计算模块用以从一或多个软件部件及一或多个硬件部件接收该时序窗。
17.根据权利要求16所述的装置，其特征在于，该时序窗计算模块用以从所述感测器接收该时序窗。
18.根据权利要求15所述的装置，其特征在于，该可接受的范围包括在一时序窗内的该时间差。
19.根据权利要求18所述的装置，其特征在于，该时序窗在2分钟至4分钟的范围中。
20.根据权利要求15所述的装置，其特征在于，该可接受的范围包括该时间差高于一预定时间阈值。
21.一种计算用于一极紫外(EUV)辐射源的一收集器的一反射率的方法，其特征在于，该方法包含：
获得一第一感测器及一第二感测器的数据以比对该第一感测器及该第二感测器的数个时间戳记；
识别在该第一感测器及该第二感测器的所述时间戳记之间的一时间差是否落在一可容许范围中；
回应于该时间差是否落在该可容许范围中，自动地调整一可配置数据，使得该第一感测器针对该反射率计算有效；以及
使用该可配置数据来计算该收集器的该反射率。
22.根据权利要求21所述的方法，其特征在于，获得该第一感测器及该第二感测器的数据包含获得来自一狭缝整合能量感测器的数据。
23.根据权利要求22所述的方法，其特征在于，获得该第一感测器及该第二感测器的数据包含获得来自一绕射光学元件数据的数据，连同一光源-光罩最佳化序列号。
24.根据权利要求23所述的方法，其特征在于，还包含：
清除该狭缝整合能量感测器的数据中，能量数据小于一阈值的数个数据点；以及
清除该狭缝整合能量感测器的数据中，与在该绕射光学元件数据的时间戳记中的最小差值大于一预定值的另外数个数据点。
25.根据权利要求21所述的方法，其特征在于，该时间差在2分钟至4分钟的范围中。
26.一种用于一极紫外(EUV)辐射源的一数据匹配模块控制反馈系统的方法，其特征在于，该方法包含：
获得一狭缝整合能量感测器数据及绕射光学元件数据；
辨识该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据的一时间差是否在一可接受的范围内；
回应于该时间差是落在该可接受的范围内，自动地验证该狭缝整合能量感测器数据以计算一反射率；以及
使用该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据的该时间差来分析一收集器的该反射率。
27.根据权利要求26所述的方法，其特征在于，获得该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据包含识别为对应的一光源-光罩最佳化(SMO)配置设定分配的该绕射光学元件数据的唯一序列号。
28.根据权利要求26所述的方法，其特征在于，执行一数据匹配，从而识别相同的该狭缝整合能量感测器数据的一时间戳记及该绕射光学元件数据的该时间戳记。
29.根据权利要求26所述的方法，其特征在于，执行一数据匹配，从而识别在一可允许时间窗内的该狭缝整合能量感测器数据的一时间戳记及该绕射光学元件数据的该时间戳记。
30.根据权利要求26所述的方法，其特征在于，辨识该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据的该时间差是否落在一可容许范围中包含：
识别该时间差是否在一时序窗内。
31.根据权利要求26所述的方法，其特征在于，辨识该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据的该时间差是否落在一可容许范围中包含：
识别该时间差是否高于一预定时间阈值。
32.根据权利要求26所述的方法，其特征在于，该可接受的范围使用选自由下列组成的群组的最佳化方法论决定：时序间隙容差方法、移动平均(滚动平均)方法、数据取样率方法、数据放大因数方法、数据平滑过滤方法、及感测器类型方法。
33.根据权利要求26所述的方法，其特征在于，自动地验证该狭缝整合能量感测器数据包含：
将最近的该绕射光学元件数据即时分配给该狭缝整合能量感测器数据。
34.根据权利要求26所述的方法，其特征在于，还包含一反馈系统基于新的一数据匹配信息产生一通知，该数据匹配信息指示该时间差在该可接受的范围内。
35.一种分析用于一极紫外(EUV)辐射产生装置的一收集器的一光学效能的系统，其特征在于，该系统包含：
一透射影像感测器平台，该透射影像感测器平台包括将一晶圆放置于其上的一晶圆载物台、一静电夹盘、及数个感测器；
一记忆体，用来储存数个计算机执行程序；以及
一处理器，用来执行储存在该记忆体中的所述计算机执行程序，其中所述计算机执行程序包含：
一数据匹配模块，用以获得一狭缝整合能量感测器数据及一绕射光学元件数据，并执行：
该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据的一时间差的数据匹配，用于识别该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据的一不匹配集合，
决定该不匹配集合的该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据的该时间差是否在一可接受的范围内，以及
回应于该狭缝整合能量感测器数据及该绕射光学元件数据的该时间差不在数据匹配的该时间差的该可接受的范围内，自动地验证该不匹配集合的一可配置数据，使得该不匹配集合的该狭缝整合能量感测器数据针对该光学效能计算有效。
36.根据权利要求35所述的系统，其特征在于，该数据匹配模块包括一时序窗计算模块，该时序窗计算模块用以从一或多个软件部件及一或多个硬件部件接收一时序窗。
37.根据权利要求36所述的系统，其特征在于，该时序窗计算模块用以从所述感测器接收该时序窗。
38.根据权利要求35所述的系统，其特征在于，该可接受的范围包括在一时序窗内的该时间差。
39.根据权利要求38所述的系统，其特征在于，该时序窗在2分钟至4分钟的范围中。
40.根据权利要求35所述的系统，其特征在于，该可接受的范围包括该时间差高于一预定时间阈值。
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