CN110961489A

CN110961489A - 一种气体扩散器的平面度热整形处理工艺

Info

Publication number: CN110961489A
Application number: CN201911326874.5A
Authority: CN
Inventors: 张宽; 杨彬
Original assignee: Wuhu Tongchao Precision Machinery Co ltd
Current assignee: Wuhu Tongchao Precision Machinery Co ltd
Priority date: 2019-12-20
Filing date: 2019-12-20
Publication date: 2020-04-07
Anticipated expiration: 2039-12-20
Also published as: CN110961489B

Abstract

一种气体扩散器的平面度热整形处理工艺，属于气体扩散器整形加工技术领域，该热整形处理工艺包括电加热炉和配重块的定制、在承载平台上铺设不同厚度的垫块、垫块上放置待整形的产品、产品上覆盖铝箔纸、铝箔纸上逐层铺设配重块、电加热炉的加热保温，本发明的有益效果是，本发明可将变形的气体扩散器一次性加热处理成倒扣的碗状，变形更均匀，减小了因中途多次吊装、翻边、检测及运输产生磕碰伤的风险，而且保证了气体扩散器的平面度和表面形状，不易发生变形，提高了其使用寿命，降低了维修成本。

Description

一种气体扩散器的平面度热整形处理工艺

技术领域

本发明涉及气体扩散器整形加工技术领域，尤其涉及一种气体扩散器的平面度热整形处理工艺。

背景技术

内容：

在液晶显示面板的制造过程中，需要使用化学气相沉积(Chemical vapordeposition，简称CVD)工艺在玻璃基板表面沉积一些功能薄膜。一般地，在化学气相沉积过程中，为了提高沉积薄膜的均匀度，在化学气相沉积设备中采用了一种气体扩散器来使气体均匀的扩散后均匀地沉积在基板上，为了使基板成膜均匀，需要对气体扩散器扩散孔径的大小及均匀性进行管控，在者便是对产品的平面度大小和表面形状进行管控。

如图1所示，为现有的一种化学气相沉积设备的结构示意图。该化学气相沉积设备包括真空反应室1，真空反应室1内的底部设有载台2，载台2上可以承载玻璃基板，真空反应室1内的上部设有气体扩散器3，该气体扩散器3包括扩散器本体31以及扩散器本体上设置的出气孔32，而且为了使沉积在液晶显示面板的边缘和角落区域的功能薄膜更均匀，出气孔32的内径由扩散器本体31的中心向外逐渐增加，气体扩散器3的中部通过安装的螺丝与射频源4的导线相连，伸入CVD腔室内的导线外表面设置陶瓷绝缘层，射频源4用于为气体扩散器3加载射频电压，以使得气体扩散器3作为化学气相沉积的一个反应电极，其中载台2作为另一个电极，注入真空反应室1内部的气体通过出气孔32注向玻璃基板，从而在玻璃基板上形成沉积薄膜。由于气体扩散器3本身尺寸较大(G8.5的尺寸2544mm*2254mm)，(1)客户装机安装是采用中间悬挂、四边固定安装，受其本身自重影响，产品本身会有一定的形变量；(2)产品中间悬挂的螺丝起到推、拉产品的作用，将气体扩散器3做成倒扣“碗状”会使装机更简单，也会使产品在装机过程中达到真空反应室1反应所要求的结构平面度；(3)真空反应室1内的气体从中间通气后再均匀扩散至四周，气体会先从气体扩散器3中间流出，为使气体同时、同量均匀扩散至玻璃基板上，气体扩散器3中间需距离产品最远，因此，最终需要将气体扩散器3形成类似倒扣“碗状”的形状。

在产品使用过程中，CVD腔室内的温度最大可达600℃，产品受热产生形变，平面度大小及出气孔面表面形状发生变化，使得整块基板部分区域成膜不均匀，此时气体扩散器则需要下机进行全面再生。气体扩散器再生过程中需要对其平面度进行整形，传统方法采用油压等设备进行局部按压整形，但为保证平面度大小及表面形状，使得产品要进行多次按压，致使加工周期较长，影响产品生产效率，同时多次按压需对产品进行多次吊装、翻边、检测及运输等，大大增加了产品磕碰伤的风险，但是整形后的气体扩散器在使用时很容易受热变形出现反弹，一般上机不足3月就会再次下机再生，严重影响产品使用寿命。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种气体扩散器的平面度热整形处理工艺，主要解决了现有的气体扩散器在化学气相沉积工艺使用后受热容易变形，而且对变形后的气体扩散器的整形效率低、整形效果差，影响其使用寿命的问题，目的在于，设计一种热整形处理工艺，通过在电加热炉的承载平台的相应位置铺设不同厚度的垫块，将变形的气体扩散器放置在垫块上，然后在气体扩散器上铺设铝箔纸，并在铝箔纸上逐层铺设相应重量的配重块，通过电加热炉的加热工艺，将变形的气体扩散器一次性加热处理成倒扣的碗状，减小了因中途多次吊装、翻边、检测及运输产生磕碰伤的风险，而且矫正后的气体扩散器平面度大小及表面形状不易发生反弹，可提高其使用寿命，降低维修成本。

为实现上述目的，本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：所述气体扩散器的平面度热整形处理工艺，包括以下步骤：

1)根据气体扩散器的尺寸定制电加热炉，所述电加热炉内设置放置所述气体扩散器的承载平台，同时定制不同重量的配重块；

2)清理所述承载平台，并标识出待整形的气体扩散器的覆盖区域，并在所述覆盖区域内成圈铺设不同厚度的垫块；

3)将待整形的气体扩散器吊放到承载平台的覆盖区域，使待整形的气体扩散器与垫块接触，在待整形的气体扩散器上表面铺设一层铝箔纸；

4)在铝箔纸上表面逐层铺设层相应重量的配重块；

5)对电加热炉的炉体升温后保温一段时间，然后自动降温，温度降至一定温度后，气体扩散器被整形成中间上凸的倒扣的碗状结构，然后将加热整形后的气体扩散器由电加热炉内吊出。

进一步地，所述电加热炉包括炉体和炉盖，所述炉体上端开口设置，所述炉体的开口端与所述炉盖铰接相连，所述炉盖与炉体的两侧通过伸缩机构相连，所述炉体内放置所述承载平台，所述承载平台的上端镀设一层防锈耐磨层。

进一步地，所述炉体和炉盖由内向外依次设置有绝缘隔热保温层、隔热灰层和金属炉板，所述绝缘隔热保温层上通过多个内热钉固定有多组金属发热带。

进一步地，所述承载平台的形状设置为中间凸起且端部倾斜下凹的伞状。

进一步地，所述垫块设置为云母片，所述垫块的长宽设置为100mm*100mm，所述垫块包括垫块Ⅰ、垫块Ⅱ、垫块Ⅲ和垫块Ⅳ，其厚度分别设置为2.0mm～3.0mm，1.2mm～1.5mm，1.8mm～2.4mm和0.8mm～1.2mm。

进一步地，所述步骤2中垫块的铺设方式为，承载平台的中心铺设垫块Ⅱ，所述承载平台由内而外依次成圈铺设垫块Ⅲ和垫块Ⅳ，所述承载平台的四角上分别设置所述垫块Ⅰ。

进一步地，多个所述垫块Ⅲ围成矩形结构Ⅰ，多个垫块Ⅳ围成矩形结构Ⅱ，所述矩形结构Ⅰ和矩形结构Ⅱ内相邻垫块之间的距离均设置为100mm～200mm，所述矩形结构Ⅰ设置在所述矩形结构Ⅱ的外围；所述承载平台标识区域的长边长度为L_长，所述承载平台标识区域的短边长度为L_短，所述矩形结构Ⅰ的长边长度为L_长1，矩形结构Ⅰ的短边长度为L_短1，所述矩形结构Ⅱ的长边长度为L_长2，矩形结构Ⅱ的短边长度为L_短2；所述矩形结构Ⅰ的长边与承载平台覆盖区域长边之间的距离为

所述矩形结构Ⅰ的短边与承载平台覆盖区域短边之间的距离为

所述矩形结构Ⅱ的长边与承载平台覆盖区域长边之间的距离为

所述矩形结构Ⅱ的短边与承载平台覆盖区域短边之间的距离为

所述垫块Ⅰ与所述覆盖区域边缘之间的距离为8mm～12mm。

进一步地，所述配重块包括配重块Ⅰ、配重块Ⅱ和配重块Ⅲ，所述配重块Ⅰ、配重块Ⅱ和配重块Ⅲ的直径分别为500mm、450mm和350mm，其对应的厚度分别为24mm～26mm、59mm～61mm和69mm～71mm的铁块，其对应的重量分别为34Kg～36Kg、79Kg～81Kg和49Kg～51Kg，所述配重块Ⅰ、配重块Ⅱ和配重块Ⅲ的中心均设置有安装吊环的螺纹孔。

进一步地，所述步骤4中配重块的层叠铺设结构包括底层、中间层和上层，所述底层由配重块Ⅰ和配重块Ⅱ组成，所述配重块Ⅰ沿所述标识区域的中心按“十”字铺设，所述配重块Ⅱ将其余空位铺满；所述中间层由配重块Ⅲ依次叠放在配重块Ⅰ和配重块Ⅱ上；所述上层由配重块Ⅲ铺设在所述中间层外缘的配重块Ⅲ上。

进一步地，所述步骤5的具体加热过程是，电加热炉以每小时40～50℃的速度升温，升温8～10小时后达到380～480℃，然后保温10～12小时，加热停止后自动降温，降温至180～200℃时，将炉盖打开，当炉内温度降至28～30℃时，将配重块和加热整形后的气体扩散器吊出电加热炉。

本发明的有益效果是：

1、本发明通过在电加热炉的承载平台的相应位置铺设不同厚度的垫块，将变形的气体扩散器放置在垫块上，然后在气体扩散器上铺设铝箔纸，并在铝箔纸上逐层铺设相应重量的配重块，通过电加热炉的加热工艺，将变形的气体扩散器一次性加热处理成倒扣的碗状，减小了因中途多次吊装、翻边、检测及运输产生磕碰伤的风险，而且经过加热工艺矫正后的气体扩散器平面度大小及表面形状不易发生反弹，提高了其使用寿命，降低了整形处理的成本。

2、另外，其中的承载平台的形状设置成中间凸起且端部倾斜下凹的伞状，更有利于气体扩散器加热整形成所需的倒扣的碗状；其中的垫块成圈铺设在承载平台预设的区域内，由于气体扩散器尺寸较大，厚度较小，四角受力易变形，而且在吊装的过程中，气体扩散器的四角也易发生变形，预设区域外周的垫块厚度最大，可防止气体扩散器的四角不被配重块过压，而且为吊装预留了变形量，而且在承载平台成圈铺设相同厚度的垫块，使气体扩散器在同一高度处的承载力相同，使气体扩散器的热变形更均匀；其中的配重块逐层铺设，使加压力由气体扩散器的外周向中心方向逐渐减小，使加压后的气体扩散器通过电加热炉的加热后可变性成为倒扣的碗状，保证了气体扩散器的平面度和矫正的需求。

综上，本发明通过在承载平台的相应位置铺设不同厚度的垫块对气体扩散器均匀承载，在上方铺设有铝箔纸的气体扩散器上逐层铺设外围总重量大于中心总重量的配重块，通过电加热炉的加热工艺，将变形的气体扩散器一次性加热处理成倒扣的碗状，变形更均匀，减小了因中途多次吊装、翻边、检测及运输产生磕碰伤的风险，而且保证了气体扩散器的平面度和表面形状，不易发生变形，提高了其使用寿命，降低了维修成本。

附图说明

下面对本发明说明书各幅附图表达的内容及图中的标记作简要说明：

图1为现有的一种化学气相沉积设备的结构示意图；

图2为本发明中电加热炉的结构示意图；

图3为图2中垫块铺设的俯视图；

图4为图2中配重块铺设的俯视图；

上述图中的标记均为：1.真空反应室，2.载台，3.气体扩散器，31.扩散器本体，32.出气孔，4.射频源，5.电加热炉，51.承载平台，52.炉体，53.炉盖，6.配重块，61.配重块Ⅰ，62.配重块Ⅱ，63.配重块Ⅲ，7.垫块，71.垫块Ⅰ，72.垫块Ⅱ，73.垫块Ⅲ，74.垫块Ⅳ，8.铝箔纸。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明具体的实施方案为：如图2、图3和图4所示，一种气体扩散器的平面度热整形处理工艺，包括以下步骤：

1)根据气体扩散器3的尺寸定制电加热炉5，该电加热炉5包括炉体52和炉盖53，炉体52上端开口设置，炉体52的开口端与炉盖53铰接相连，炉盖53与炉体52的两侧通过伸缩机构相连，该伸缩机构可设置成液压缸或气缸，炉体52内放置承载平台51，承载平台51的上端镀设一层防锈耐磨层，该防锈耐磨层可设置成铝或镍的镀层，该承载平台51的大小按照大于G10.5产品尺寸大小定制(长：3800mm、宽：3500mm、厚＞150mm)，一般厚度越厚，在进行多次热矫正后，承载平台51不易发生变形，而且为了使气体扩散器3热整形后的形状更符合倒扣的碗状，该承载平台51的形状设置为中间凸起且端部倾斜下凹的伞状；电加热炉5中的炉体52和炉盖53由内向外依次设置有绝缘隔热保温层、隔热灰层和金属炉板，绝缘隔热保温层上通过多个内热钉固定有多组金属发热带，使加热保温效果更好。

同时定制不同重量的配重块6，该配重块6包括配重块Ⅰ61、配重块Ⅱ62和配重块Ⅲ63三种，配重块Ⅰ61、配重块Ⅱ62和配重块Ⅲ63的直径分别为500mm、450mm和350mm，其对应的厚度分别为24mm～26mm、59mm～61mm和69mm～71mm的铁块，其对应的重量分别为34Kg～36Kg、79Kg～81Kg和49Kg～51Kg，配重块Ⅰ61、配重块Ⅱ62和配重块Ⅲ63的中心均设置有安装吊环的螺纹孔，便于吊装；

2)清理承载平台51，并标识出待整形的气体扩散器3所覆盖的区域，并在区域内成圈铺设不同厚度的垫块7，垫块7设置为云母片，云母片具有好的耐高温性、耐磨性和高硬度，可防止气体扩散器3与承载平台51之间的接触摩擦而对气体扩散器3造成损坏，垫块7的长宽设置为100mm*100mm，如图2和图3所示，垫块7包括垫块Ⅰ71、垫块Ⅱ72、垫块Ⅲ73和垫块Ⅳ74，其厚度分别设置为2.0mm～3.0mm，1.2mm～1.5mm，1.8mm～2.4mm和0.8mm～1.2mm；垫块7的铺设方式为，承载平台51的中心铺设垫块Ⅱ72，承载平台51由内而外依次成圈铺设垫块Ⅲ73和垫块Ⅳ74，承载平台51的四角上分别设置垫块Ⅰ71，由于气体扩散器3的尺寸较大，厚度较小，四角受力易变形，而且在吊装的过程中，气体扩散器3的四角也易发生变形，预设区域外周的垫块Ⅰ71的厚度最大，可防止气体扩散器3的四角不被配重块6过压，而且为吊装预留了变形量，而且在承载平台51成圈铺设相同厚度的垫块，使气体扩散器3在同一高度处的承载力相同，使气体扩散器3的热变形更均匀，由于承载平台51的形状为伞状，其中垫块Ⅱ72的厚度大于垫块Ⅲ73的厚度，更有利于保证气体扩散器3的最终矫正的平面度和形状。

具体地，如图3所示，多个垫块Ⅲ73围成矩形结构Ⅰ，多个垫块Ⅳ74围成矩形结构Ⅱ，矩形结构Ⅰ和矩形结构Ⅱ内相邻垫块7之间的距离均设置为100mm～200mm，矩形结构Ⅰ设置在矩形结构Ⅱ的外围；承载平台51标识区域的长边长度为L_长，承载平台51标识区域的短边长度为L_短，矩形结构Ⅰ的长边长度为L_长1，矩形结构Ⅰ的短边长度为L_短1，矩形结构Ⅱ的长边长度为L_长2，矩形结构Ⅱ的短边长度为L_短2；矩形结构Ⅰ的长边与承载平台51覆盖区域长边之间的距离为

矩形结构Ⅰ的短边与承载平台51覆盖区域短边之间的距离为

矩形结构Ⅱ的长边与承载平台51覆盖区域长边之间的距离为

矩形结构Ⅱ的短边与承载平台51覆盖区域短边之间的距离为

垫块Ⅰ71与区域边缘之间的距离为8mm～12mm。垫块Ⅰ71、垫块Ⅱ72、垫块Ⅲ73和垫块Ⅳ74与覆盖区域边缘之间的位置设置可对气体扩散器3的表面进行均匀承载，使气体扩散器3的热变形更均匀，提高了热整形的质量。

3)将待整形的气体扩散器3吊放到承载平台51的覆盖区域，使待整形的气体扩散器3与垫块7接触，在待整形的气体扩散器3上表面铺设一层2mm～3mm厚的铝箔纸8，铝箔纸8可拼接，保证全覆盖气体扩散器3的表面，以免配重块6压伤气体扩散器3表面。

4)如图2和图4所示，在铝箔纸8上表面逐层铺设层相应重量的配重块6，该配重块6的层叠铺设结构包括底层、中间层和上层，底层由配重块Ⅰ61和配重块Ⅱ62组成，配重块Ⅰ61沿标识区域的中心按“十”字铺设，以保证平面度，配重块Ⅱ62将其余空位铺满；中间层由配重块Ⅲ63依次叠放在配重块Ⅰ61和配重块Ⅱ62上；上层由配重块Ⅲ63铺设在中间层外缘的配重块Ⅲ63上；由于配重块Ⅰ61、配重块Ⅱ62和配重块Ⅲ63的表面积依次减小，在逐层铺设时，最底层使用较少数量的配重块Ⅰ61、配重块Ⅱ62即可铺满，减少了铺设的工作量，而且覆盖的面积更大，由于配重块Ⅱ62的重量大于配重块Ⅲ63的重量，配重块Ⅲ63的重量大于配重块Ⅰ61的重量，使加压力由气体扩散器3的外周向中心方向逐渐减小，使加压后的气体扩散器3通过电加热炉5的加热后可变性成为倒扣的碗状，保证了气体扩散器3的平面度和矫正的需求。

5)电加热炉5以每小时40～50℃的速度升温，升温8～10小时后达到380～480℃，然后保温10～12小时，加热停止后自动降温，这时不可直接使用外力骤降，以免气体扩散器3发生形变，当降温至180～200℃时，将炉盖53打开，可使用风扇、空调、水冷等对炉体52内进行降温，当炉内温度降至28～30℃时，气体扩散器3被整形成中间上凸的倒扣的碗状结构，然后将配重块6和加热整形后的气体扩散器3吊出电加热炉5。

以上所述，只是用图解说明本发明的一些原理，本说明书并非是要将本发明局限在所示所述的具体结构和适用范围内，故凡是所有可能被利用的相应修改以及等同物，均属于本发明所申请的专利范围。

Claims

1.一种气体扩散器的平面度热整形处理工艺，其特征在于，包括以下步骤：

1)根据气体扩散器(3)的尺寸定制电加热炉(5)，所述电加热炉(5)内设置放置所述气体扩散器(3)的承载平台(51)，同时定制不同重量的配重块(6)；

2)清理所述承载平台(51)，并标识出待整形的气体扩散器(3)的覆盖区域，并在所述覆盖区域内成圈铺设不同厚度的垫块(7)；

3)将待整形的气体扩散器(3)吊放到承载平台(51)的覆盖区域，使待整形的气体扩散器(3)与垫块(7)接触，在待整形的气体扩散器(3)上表面铺设一层铝箔纸(8)；

4)在铝箔纸(8)上表面逐层铺设层相应重量的配重块(6)；

5)对电加热炉(5)的炉体(52)升温后保温一段时间，然后自动降温，温度降至一定温度后，气体扩散器(3)被整形成中间上凸的倒扣的碗状结构，然后将加热整形后的气体扩散器(3)由电加热炉(5)内吊出。

2.根据权利要求1所述的气体扩散器的平面度热整形处理工艺，其特征在于：所述电加热炉(5)包括炉体(52)和炉盖(53)，所述炉体(52)上端开口设置，所述炉体(52)的开口端与所述炉盖(53)铰接相连，所述炉盖(53)与炉体(52)的两侧通过伸缩机构相连，所述炉体(52)内放置所述承载平台(51)，所述承载平台(51)的上端镀设一层防锈耐磨层。

3.根据权利要求2所述的气体扩散器的平面度热整形处理工艺，其特征在于：所述炉体(52)和炉盖(53)由内向外依次设置有绝缘隔热保温层、隔热灰层和金属炉板，所述绝缘隔热保温层上通过多个内热钉固定有多组金属发热带。

4.根据权利要求2所述的气体扩散器的平面度热整形处理工艺，其特征在于：所述承载平台(51)的形状设置为中间凸起且端部倾斜下凹的伞状。

5.根据权利要求1～4任意一项所述的气体扩散器的平面度热整形处理工艺，其特征在于：所述垫块(7)设置为云母片，所述垫块(7)的长宽设置为100mm*100mm，所述垫块(7)包括垫块Ⅰ(71)、垫块Ⅱ(72)、垫块Ⅲ(73)和垫块Ⅳ(74)，其厚度分别设置为2.0mm～3.0mm，1.2mm～1.5mm，1.8mm～2.4mm和0.8mm～1.2mm。

6.根据权利要求5所述的气体扩散器的平面度热整形处理工艺，其特征在于：所述步骤2)中垫块(7)的铺设方式为，承载平台(51)的中心铺设垫块Ⅱ(72)，所述承载平台(51)由内而外依次成圈铺设垫块Ⅲ(73)和垫块Ⅳ(74)，所述承载平台(51)的四角上分别设置所述垫块Ⅰ(71)。

7.根据权利要求6所述的气体扩散器的平面度热整形处理工艺，其特征在于：多个所述垫块Ⅲ(73)围成矩形结构Ⅰ，多个垫块Ⅳ(74)围成矩形结构Ⅱ，所述矩形结构Ⅰ和矩形结构Ⅱ内相邻垫块(7)之间的距离均设置为100mm～200mm，所述矩形结构Ⅰ设置在所述矩形结构Ⅱ的外围；所述承载平台(51)标识区域的长边长度为L_长，所述承载平台(51)标识区域的短边长度为L_短，所述矩形结构Ⅰ的长边长度为L_长1，矩形结构Ⅰ的短边长度为L_短1，所述矩形结构Ⅱ的长边长度为L_长2，矩形结构Ⅱ的短边长度为L_短2；所述矩形结构Ⅰ的长边与承载平台(51)覆盖区域长边之间的距离为

所述矩形结构Ⅰ的短边与承载平台(51)覆盖区域短边之间的距离为

所述矩形结构Ⅱ的长边与承载平台(51)覆盖区域长边之间的距离为

所述矩形结构Ⅱ的短边与承载平台(51)覆盖区域短边之间的距离为

所述垫块Ⅰ(71)与所述覆盖区域边缘之间的距离为8mm～12mm。

8.根据权利要求5所述的气体扩散器的平面度热整形处理工艺，其特征在于：所述配重块(6)包括配重块Ⅰ(61)、配重块Ⅱ(62)和配重块Ⅲ(63)，所述配重块Ⅰ(61)、配重块Ⅱ(62)和配重块Ⅲ(63)的直径分别为500mm、450mm和350mm，其对应的厚度分别为24mm～26mm、59mm～61mm和69mm～71mm的铁块，其对应的重量分别为34Kg～36Kg、79Kg～81Kg和49Kg～51Kg，所述配重块Ⅰ(61)、配重块Ⅱ(62)和配重块Ⅲ(63)的中心均设置有安装吊环的螺纹孔。

9.根据权利要求8所述的气体扩散器的平面度热整形处理工艺，其特征在于：所述步骤4)中配重块(6)的层叠铺设结构包括底层、中间层和上层，所述底层由配重块Ⅰ(61)和配重块Ⅱ(62)组成，所述配重块Ⅰ(61)沿所述标识区域的中心按“十”字铺设，所述配重块Ⅱ(62)将其余空位铺满；所述中间层由配重块Ⅲ(63)依次叠放在配重块Ⅰ(61)和配重块Ⅱ(62)上；所述上层由配重块Ⅲ(63)铺设在所述中间层外缘的配重块Ⅲ(63)上。

10.根据权利要求3所述的气体扩散器的平面度热整形处理工艺，其特征在于：所述步骤5)的具体加热过程是，电加热炉(5)以每小时40～50℃的速度升温，升温8～10小时后达到380～480℃，然后保温10～12小时，加热停止后自动降温，降温至180～200℃时，将炉盖(53)打开，当炉内温度降至28～30℃时，将配重块(6)和加热整形后的气体扩散器(3)吊出电加热炉(5)。