CN110923657A - 一种真空镀膜机用的工件上料机构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种真空镀膜机用的工件上料机构，包括机体、滑轨、固定螺栓、限位挡板、传送带、滑块、承台、嵌入槽、放置盘、嵌入块、固定块、摩擦垫和放置台，所述机体的上端两侧固定有滑轨，且滑轨的内侧两端设置有固定螺栓，所述机体的中部两侧分布有限位挡板，且限位挡板的内侧设置有传送带，所述滑轨的上端顶部滑动连接有滑块，且滑块的内侧固定有承台。该真空镀膜机用的工件上料机构设置有滑轨，滑轨沿机体的中心线处对称分布，整个滑轨与机体采用螺钉紧固进行连接在一起，其连接机构稳定，同时通过拧下固定螺栓即可达到对滑轨与机体进行分离的效果，该拆装方式及其简单，便于使用者进行检修与查看。
Description
技术领域
本发明涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种真空镀膜机用的工件上料机构。
背景技术
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种,需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中,在工件镀膜过程中，需要通过上料设备，对工件进行运输，保证工件能够有效进入真空镀膜机内。
市场上的工件上料机构在使用中多采用一体化设计，其工件放入难度较高，同时易发生倾斜情况，并且在输送过程中，出现承台卡涩的可能，为此，我们提出一种真空镀膜机用的工件上料机构。
发明内容
针对现有技术中存在的上述不足之处，本发明目的是提供一种真空镀膜机用的工件上料机构。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种真空镀膜机用的工件上料机构，包括机体、滑轨、固定螺栓、限位挡板、传送带、滑块、承台、嵌入槽、放置盘、嵌入块、固定块、摩擦垫和放置台，所述机体的上端两侧固定有滑轨，且滑轨的内侧两端设置有固定螺栓，所述机体的中部两侧分布有限位挡板，且限位挡板的内侧设置有传送带，所述滑轨的上端顶部滑动连接有滑块，且滑块的内侧固定有承台，所述承台的内侧中部开设有嵌入槽，且承台的上端顶部分布有放置盘，所述放置盘的下端两侧固定有嵌入块，且放置盘的下端中部设置有固定块，所述固定块的下端底部贴合有摩擦垫，所述放置盘的上端设置有放置台。
优选的，所述滑轨与机体之间为可拆卸结构，且滑轨沿机体的中心线处对称分布。
所述滑块与承台之间为焊接一体化结构，且滑块与滑轨之间为滑动连接。
所述放置盘通过嵌入块与嵌入槽之间构成嵌入式结构，且嵌入块呈棱锥状分布分布。
所述固定块与摩擦垫之间为胶接，且摩擦垫与传送带之间相互贴合。
所述放置台与机体之间呈平行状分布，且机体呈水平状分布。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：该真空镀膜机用的工件上料机构设置有滑轨，滑轨沿机体的中心线处对称分布，整个滑轨与机体采用螺钉紧固进行连接在一起，其连接机构稳定，同时通过拧下固定螺栓即可达到对滑轨与机体进行分离的效果，该拆装方式及其简单，便于使用者进行检修与查看。
滑块与滑轨之间为滑动连接，整个滑块与承台之间采用焊接的形式连接在一起，其连接强度高，结构稳定，并且该滑块起到良好的润滑与限位效果，能够有效降低承台与滑轨之间的摩擦系数，当承台在滑动过程中，呈匀速平滑状滑动。
嵌入块呈棱锥状分布分布，当使用者需要将放置盘放置在承台上端时，只需将放置盘两侧的嵌入块沿滑块上端开设的嵌入槽处进行放置即可，嵌入槽对嵌入块进行限位加紧，同时通过棱锥状分布，保证嵌入块能够迅速嵌入至嵌入槽内，减化安置难度，方便使用。
附图说明
图1为本发明俯视结构示意图；
图2为本发明放置盘结构示意图；
图3为本发明滑块结构示意图。
图中：1、机体；2、滑轨；3、固定螺栓；4、限位挡板；5、传送带；6、滑块；7、承台；8、嵌入槽；9、放置盘；10、嵌入块；11、固定块；12、摩擦垫；13、放置台。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-3，本发明提供一种技术方案：一种真空镀膜机用的工件上料机构，包括机体1、滑轨2、固定螺栓3、限位挡板4、传送带5、滑块6、承台7、嵌入槽8、放置盘9、嵌入块10、固定块11、摩擦垫12、放置台13，其特征在于：机体1的上端两侧固定有滑轨2，且滑轨2的内侧两端设置有固定螺栓3，机体1的中部两侧分布有限位挡板4，且限位挡板4的内侧设置有传送带5，滑轨2的上端顶部滑动连接有滑块6，且滑块6的内侧固定有承台7，承台7的内侧中部开设有嵌入槽8，且承台7的上端顶部分布有放置盘9，放置盘9的下端两侧固定有嵌入块10，且放置盘9的下端中部设置有固定块11，固定块11的下端底部贴合有摩擦垫12，放置盘9的上端设置有放置台13。
本发明中，滑轨2与机体1之间为可拆卸结构，且滑轨2沿机体1的中心线处对称分布，整个滑轨2与机体1采用螺钉紧固进行连接在一起，其连接机构稳定，同时通过拧下固定螺栓3即可达到对滑轨2与机体1进行分离的效果，该拆装方式及其简单，便于使用者进行检修与查看。
滑块6与承台7之间为焊接一体化结构，且滑块6与滑轨2之间为滑动连接，整个滑块6与承台7之间采用焊接的形式连接在一起，其连接强度高，结构稳定，并且该滑块6起到良好的润滑与限位效果，能够有效降低承台7与滑轨2之间的摩擦系数，当承台7在滑动过程中，呈匀速平滑状滑动。
放置盘9通过嵌入块10与嵌入槽8之间构成嵌入式结构，且嵌入块10呈棱锥状分布分布，当使用者需要将放置盘9放置在承台7上端时，只需将放置盘9两侧的嵌入块10沿滑块6上端开设的嵌入槽8处进行放置即可，嵌入槽8对嵌入块10进行限位加紧，同时通过棱锥状分布，保证嵌入块10能够迅速嵌入至嵌入槽8内，减化安置难度，方便使用。
固定块11与摩擦垫12之间为胶接，且摩擦垫12与传送带5之间相互贴合，当使用者摩擦垫12表面采用粗糙设计，能够有效与传送带5之间相互贴合，同时通过传送带5施加的推动力，带动放置盘9沿滑轨2处进行滑动，并且采用胶接的形式与摩擦垫12之间进行连接，满足使用者对摩擦垫12进行更换的需求。
放置台13与机体1之间呈平行状分布，且机体1呈水平状分布，当使用者将工件放入放置台13内是，放置台13对工件进行收纳，能够减少工件脱离的可能，同时整体采用水平式设计，能够有效保证在运输过程中，整体结构的稳定性。
工作原理：对于这类的真空镀膜机用的工件上料机构首先通过将工件放入放置台13内是，放置台13对工件进行收纳，能够减少工件脱离的可能，此时当使用者需要将放置盘9放置在承台7上端时，只需将放置盘9两侧的嵌入块10沿滑块6上端开设的嵌入槽8处进行放置即可，嵌入槽8对嵌入块10进行限位加紧，同时通过棱锥状分布，保证嵌入块10能够迅速嵌入至嵌入槽8内，减化安置难度，随后开启传送带5，通过传送带5施加的推动力，带动放置盘9沿滑轨2处进行滑动，并且采用胶接的形式与摩擦垫12之间进行连接，满足使用者对摩擦垫12进行更换的需要，该滑块6起到良好的润滑与限位效果，能够有效降低承台7与滑轨2之间的摩擦系数，当承台7在滑动过程中，呈匀速平滑状滑动。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (6)
1.一种真空镀膜机用的工件上料机构，包括机体（1）、滑轨（2）、固定螺栓（3）、限位挡板（4）、传送带（5）、滑块（6）、承台（7）、嵌入槽（8）、放置盘（9）、嵌入块（10）、固定块（11）、摩擦垫（12）和放置台（13），其特征在于：所述机体（1）的上端两侧固定有滑轨（2），且滑轨（2）的内侧两端设置有固定螺栓（3），所述机体（1）的中部两侧分布有限位挡板（4），且限位挡板（4）的内侧设置有传送带（5），所述滑轨（2）的上端顶部滑动连接有滑块（6），且滑块（6）的内侧固定有承台（7），所述承台（7）的内侧中部开设有嵌入槽（8），且承台（7）的上端顶部分布有放置盘（9），所述放置盘（9）的下端两侧固定有嵌入块（10），且放置盘（9）的下端中部设置有固定块（11），所述固定块（11）的下端底部贴合有摩擦垫（12），所述放置盘（9）的上端设置有放置台（13）。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用的工件上料机构，其特征在于：所述滑轨（2）与机体（1）之间为可拆卸结构，且滑轨（2）沿机体（1）的中心线处对称分布。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用的工件上料机构，其特征在于：所述滑块（6）与承台（7）之间为焊接一体化结构，且滑块（6）与滑轨（2）之间为滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用的工件上料机构，其特征在于：所述放置盘（9）通过嵌入块（10）与嵌入槽（8）之间构成嵌入式结构，且嵌入块（10）呈棱锥状分布分布。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用的工件上料机构，其特征在于：所述固定块（11）与摩擦垫（12）之间为胶接，且摩擦垫（12）与传送带（5）之间相互贴合。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用的工件上料机构，其特征在于：所述放置台（13）与机体（1）之间呈平行状分布，且机体（1）呈水平状分布。
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Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107841726A (zh) * | 2017-12-21 | 2018-03-27 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 全自动镀膜机 |
| CN110079791A (zh) * | 2019-04-25 | 2019-08-02 | 北京捷造光电技术有限公司 | 一种用于pecvd反应区的伸缩式滚轮传输结构 |
| CN209210912U (zh) * | 2018-12-19 | 2019-08-06 | 深圳市顺捷真空技术有限公司 | 真空镀膜机电源紧固装置 |
| US20190306293A1 (en) * | 2018-04-03 | 2019-10-03 | Beijing Xiaomi Mobile Software Co., Ltd. | Sliding mechanism and terminal device provided with same |
| CN209778989U (zh) * | 2019-04-26 | 2019-12-13 | 泸州金能移动能源科技有限公司 | 一种磁控溅射过程中稳定传输基片载具的装置 |
| CN209815235U (zh) * | 2019-04-28 | 2019-12-20 | 昆山赛加谊塑料科技有限公司 | 一种便于汽车塑料零部件生产降温的输送设备 |
| CN211367714U (zh) * | 2020-01-08 | 2020-08-28 | 深圳市顺捷真空技术有限公司 | 一种真空镀膜机用的工件上料机构 |
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Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107841726A (zh) * | 2017-12-21 | 2018-03-27 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 全自动镀膜机 |
| US20190306293A1 (en) * | 2018-04-03 | 2019-10-03 | Beijing Xiaomi Mobile Software Co., Ltd. | Sliding mechanism and terminal device provided with same |
| CN209210912U (zh) * | 2018-12-19 | 2019-08-06 | 深圳市顺捷真空技术有限公司 | 真空镀膜机电源紧固装置 |
| CN110079791A (zh) * | 2019-04-25 | 2019-08-02 | 北京捷造光电技术有限公司 | 一种用于pecvd反应区的伸缩式滚轮传输结构 |
| CN209778989U (zh) * | 2019-04-26 | 2019-12-13 | 泸州金能移动能源科技有限公司 | 一种磁控溅射过程中稳定传输基片载具的装置 |
| CN209815235U (zh) * | 2019-04-28 | 2019-12-20 | 昆山赛加谊塑料科技有限公司 | 一种便于汽车塑料零部件生产降温的输送设备 |
| CN211367714U (zh) * | 2020-01-08 | 2020-08-28 | 深圳市顺捷真空技术有限公司 | 一种真空镀膜机用的工件上料机构 |
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