CN110895130A - 一种膜片式应变计及其优化方法 - Google Patents
一种膜片式应变计及其优化方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110895130A CN110895130A CN201911384473.5A CN201911384473A CN110895130A CN 110895130 A CN110895130 A CN 110895130A CN 201911384473 A CN201911384473 A CN 201911384473A CN 110895130 A CN110895130 A CN 110895130A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- grid
- strain gauge
- radial
- circumferential
- grids
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/16—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge
- G01B7/18—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge using change in resistance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
本发明公开了一种膜片式应变计及其优化方法，所述膜片式应变计包含径向栅和周向栅，周向栅位于图形的中心区域，敏感栅的栅条呈圆周状，形成回路；径向栅位于图形的外边缘区域，敏感栅的栅条沿半径方向呈扇形布局，形成回路。所述优化方法首先通过调整内栅的电阻设计比率与外栅的电阻比率的差值，抵消掉由于蚀刻时敏感栅的蚀刻方向、速率不同造成电阻栅间差值；其次合理设计应变计的焊盘位置和形状，可以直接进行盖层制作，并且可实现应变计引线，增加引线焊接的可靠性。
Description
技术领域
本发明属于应变计技术领域，具体涉及一种膜片式应变计及其优化方法。
背景技术
目前，箔式电阻应变计在传感器制造行业、应变电测领域应用很广泛。箔式应变计的图形有直栅、斜栅、环形栅等，由单栅、双栅、多栅等构成多样、复杂的形状。特别是有一种压力传感器用的膜片式应变计，其图形结构更为复杂，包含有环形栅和特殊的直栅共计四个测量敏感栅(电阻)，其中有两个敏感栅的方向沿半径方向布局(径向栅)，两个敏感栅的方向沿圆周方向布局(周向栅)，使用时连接成一个惠斯通桥路。膜片结构的应变计的图形设计遵循径向栅与径向栅位置对称，周向栅与周向栅位置对称，引线焊盘集中布局。但是，膜片式应变计受敏感栅的栅条形状、焊盘位置的影响，其蚀刻后四个敏感栅的电阻差值较大，增加应变计电阻值调整的难度；还有应变计盖层密封受焊盘位置的影响，使得盖层制作工艺复杂。
发明内容
本发明的目的在于提供一种膜片式应变计及其优化方法，以解决现有技术中，膜片式应变计蚀刻后四个敏感栅的电阻差值较大，增加应变计电阻值调整的难度；还有应变计盖层密封受焊盘位置的影响，使得盖层制作工艺复杂的技术问题。
为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：
一种膜片式应变计，包括两个中心对称设置的应变计单元，应变计单元包括径向栅和周向栅；周向栅位于中心区域，敏感栅的栅条呈圆周状，形成回路；径向栅位于外边缘区域，敏感栅的栅条沿半径方向呈扇形布局，形成回路。
进一步优选的，所述两个中心对称设置的应变计单元组成非封闭式全桥电路；所述应变计单元包括一个径向栅、一个周向栅和三个焊盘，所述径向栅一端连接一个焊盘，另一端通过一个焊盘连接周向栅的一端，周向栅的的另一端连接一个焊盘。
进一步优选的，所述两个中心对称设置的应变计单元组成封闭式全桥电路；所述应变计单元包括一个径向栅、一个周向栅和两个焊盘，所述径向栅一端通过一个焊盘连接另一个应变计单元的周向栅，另一端通过一个焊盘连接周向栅的一端，周向栅的另一端通过一个焊盘连接另一个应变计单元的径向栅。
进一步优选的，所述两个中心对称设置的应变计单元组成非封闭式全桥电路；所述应变计单元包括两个径向栅和三个焊盘，所述径向栅分为内圈径向栅和外圈径向栅，所述外圈径向栅的一端连接一个焊盘，另一端通过焊盘连接内圈径向栅的一端，所述内圈径向栅的另一端连接一个焊盘。
进一步优选的，所述径向栅两端之间的夹角为70度～90度。
进一步优选的，膜片的基底尺寸和敏感栅尺寸一致时，径向栅的夹角为65度～90度；膜片的基底尺寸大于敏感栅尺寸时，径向栅的夹角为85度～120度。
进一步优选的，所述径向栅和周向栅的敏感栅的栅条宽度相同。
一种膜片式应变计的优化方法，包括：
S1通过调整内栅的电阻设计比率与外栅的电阻比率的差值，抵消掉由于蚀刻时敏感栅的蚀刻方向、速率不同造成电阻栅间差值；
S2设计应变计的焊盘位置和形状，焊盘为长方形，呈平行状布局且与引线方向一致，便于引线焊接，保证盖层能够全不密封敏感栅区域。
进一步优选的，所述径向栅和周向栅的敏感栅栅条宽度相同，周向栅的蚀刻速率比径向栅的蚀刻速率低。
进一步优选的，结合电阻设计比率在65％～80％时，优周向栅的电阻设计比率比径向栅大3％～5％。
本发明的有益效果如下：
1、本发明的膜片式应变计，包括两个径向栅、两个周向栅和六个焊盘组成的一个非封闭式全桥电路；优点是在膜片应变计完成全桥连接之后，可以对每个桥路进行零点、温度等性能的精确补偿；
2、本发明的膜片式应变计，包括两个径向栅、两个周向栅和四个焊盘组成一个封闭的全桥电路；优点是在膜片应变计制造式，已经对桥路平衡零点进行精确控制，不需要进行补偿，就可以达到使用要求；
3、本发明的膜片式应变计，包括四个径向栅和6个焊盘组成一个非封闭的全桥电路；优点是在膜片的内测量栅之间的孔径较大，可进行中心直接加载；
4、本发明的优化方法，通过调整内栅的电阻设计比率与外栅的电阻比率的差值，抵消掉由于蚀刻时敏感栅的蚀刻方向、速率不同造成电阻栅间差值；其次合理设计应变计的焊盘位置和形状，可以直接进行盖层制作，并且可实现应变计引线，增加引线焊接的可靠性，方便应变计引线焊接，从而简化应变计的生产工艺，提高应变计的电阻一致性和稳定性。
附图说明
构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1为本发明膜片式应变计图形设计两个径向敏感栅、两个周向敏感栅及六个焊盘的非封闭式全桥位置布局的示意图；
图2为本发明膜片式应变计图形设计两个径向敏感栅、两个周向敏感栅及六个焊盘的封闭式全桥位置布局的示意图；
图3为本发明膜片式应变计图形设计四个径向敏感栅和六个焊盘的非封闭式全桥位置布局的示意图；
图4为本发明膜片式应变计未优化前示意图。
具体实施方式
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
以下详细说明均是示例性的说明，旨在对本发明提供进一步的详细说明。除非另有指明，本发明所采用的所有技术术语与本申请所属领域的一般技术人员的通常理解的含义相同。本发明所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而并非意图限制根据本发明的示例性实施方式。
如图1～4所示，一种膜片式应变计，包括两个中心对称设置的应变计单元，应变计单元包括径向栅和周向栅；周向栅位于中心区域，敏感栅的栅条呈圆周状，形成回路；径向栅位于外边缘区域，敏感栅的栅条沿半径方向呈扇形布局，形成回路。
进一步优选的，所述两个中心对称设置的应变计单元组成非封闭式全桥电路；所述应变计单元包括一个径向栅、一个周向栅和三个焊盘，所述径向栅一端连接一个焊盘，另一端通过一个焊盘连接周向栅的一端，周向栅的的另一端连接一个焊盘。
进一步优选的，所述两个中心对称设置的应变计单元组成封闭式全桥电路；所述应变计单元包括一个径向栅、一个周向栅和两个焊盘，所述径向栅一端通过一个焊盘连接另一个应变计单元的周向栅，另一端通过一个焊盘连接周向栅的一端，周向栅的另一端通过一个焊盘连接另一个应变计单元的径向栅。
进一步优选的，所述两个中心对称设置的应变计单元组成非封闭式全桥电路；所述应变计单元包括两个径向栅和三个焊盘，所述径向栅分为内圈径向栅和外圈径向栅，所述外圈径向栅的一端连接一个焊盘，另一端通过焊盘连接内圈径向栅的一端，所述内圈径向栅的另一端连接一个焊盘。
进一步优选的，所述径向栅两端之间的夹角为70度～90度。
进一步优选的，膜片的基底尺寸和敏感栅尺寸一致时，径向栅的夹角为65度～90度；膜片的基底尺寸大于敏感栅尺寸时，径向栅的夹角为85度～120度。
进一步优选的，所述径向栅和周向栅的敏感栅的栅条宽度相同。
一种膜片式应变计的优化方法，包括：
S1通过调整内栅的电阻设计比率与外栅的电阻比率的差值，抵消掉由于蚀刻时敏感栅的蚀刻方向、速率不同造成电阻栅间差值；
S2设计应变计的焊盘位置和形状，焊盘为长方形，呈平行状布局且与引线方向一致，便于引线焊接，保证盖层能够全不密封敏感栅区域。
进一步优选的，所述径向栅和周向栅的敏感栅栅条宽度相同，周向栅的蚀刻速率比径向栅的蚀刻速率低。
进一步优选的，结合电阻设计比率在65％～80％时，优周向栅的电阻设计比率比径向栅大3％～5％。
图1所示的实施例是本发明最基本的一种图形设计方法。作为本发明膜片式应变计最基本的图形是由两个径向栅1、两个周向栅2和六个焊盘3组成的一个非封闭式全桥电路。优点是在膜片应变计完成全桥连接之后，可以对每个桥路进行零点、温度等性能的精确补偿。
图2所示的实施例是本发明最基本的另一种图形设计方法。作为本发明膜片式应变计最基本的图形是由两个径向栅1、两个周向栅2和四个焊盘3组成一个封闭的全桥电路。优点是在膜片应变计制造式，已经对桥路平衡零点进行精确控制，不需要进行补偿，就可以达到使用要求。
图3所示的实施例是本发明最基本的另一种图形设计方法。作为本发明膜片式应变计最基本的图形是由四个径向栅1、2和6个焊盘3组成一个非封闭的全桥电路。优点是在膜片的内测量栅2之间的孔径较大，可进行中心直接加载。
在膜片式应变计电阻设计时，首先设定径向栅和周向栅的敏感栅栅条宽度相同，其周向栅和径向栅的腐蚀速率不同，确定周向栅的蚀刻速率较低；其次结合电阻设计比率在65％～80％时，优化电阻设计的方法就是周向栅的电阻设计比率比径向栅大3％～5％，见表1的电阻设计对照表。通过电阻优化设计，减小了应变计蚀刻后膜片四个敏感栅的电阻差值，提高电阻调整的效率和电阻一致性。
表1径向栅与周向栅的电阻设计对照表
| 序号 | 标称电阻(Ω) | 周向栅 | 径向栅 | 电阻比率差值 |
| 1 | 350 | 67％～72％ | 65％～70％ | 2％～3％ |
| 2 | 1000 | 70％～75％ | 67％～72％ | 3％～4％ |
| 3 | 2000 | 73％～80％ | 70％～76％ | 4％～6％ |
膜片式应变计图形设计时，有多种焊盘形状及布局。图4显示了两种应变计焊盘形状及布局，特别是本发明优化了膜片式应变计焊盘形状和布局。膜片式应变计图形设计时，首先根据标称电阻值和敏感栅栅宽尺寸，确定径向栅的夹角(4)。通常将根据膜片的基底尺寸和敏感栅的大小，将径向栅的夹角控制在70°～90°范围，可以保证应变计焊盘可以露出敏感栅区域，直接进行盖层制作。
表2为膜片的基底尺寸和敏感栅尺寸基本一致时，膜片的径向栅夹角的选取范围。
表2径向栅的夹角与基底、敏感栅尺寸的对照表(1)
表3为膜片的基底尺寸大于敏感栅尺寸时，膜片的径向栅夹角的选取范围。
表3径向栅的夹角与基底、敏感栅尺寸的对照表(2)
应变计的焊盘布局也很重要，根据基底尺寸大小和焊盘的数量，合理布局；通常将焊盘的形状设计成方形、呈平行状布局，便于引线焊接、并且保持引线方向一致，又能保证盖层能够全不密封敏感栅区域。
上述膜片式应变计依靠已有的应变计制造技术，结合本发明的电阻设计方法和图形设计方法，可优化膜片式应变计生产工艺，提升了产品的电阻一致性。
由技术常识可知，本发明可以通过其它的不脱离其精神实质或必要特征的实施方案来实现。因此，上述公开的实施方案，就各方面而言，都只是举例说明，并不是仅有的。所有在本发明范围内或在等同于本发明的范围内的改变均被本发明包含。
Claims (10)
1.一种膜片式应变计，其特征在于，包括两个中心对称设置的应变计单元，应变计单元包括径向栅和周向栅；周向栅位于中心区域，敏感栅的栅条呈圆周状，形成回路；径向栅位于外边缘区域，敏感栅的栅条沿半径方向呈扇形布局，形成回路。
2.根据权利要求1所述的一种膜片式应变计，其特征在于，所述两个中心对称设置的应变计单元组成非封闭式全桥电路；所述应变计单元包括一个径向栅、一个周向栅和三个焊盘，所述径向栅一端连接一个焊盘，另一端通过一个焊盘连接周向栅的一端，周向栅的的另一端连接一个焊盘。
3.根据权利要求1所述的一种膜片式应变计，其特征在于，所述两个中心对称设置的应变计单元组成封闭式全桥电路；所述应变计单元包括一个径向栅、一个周向栅和两个焊盘，所述径向栅一端通过一个焊盘连接另一个应变计单元的周向栅，另一端通过一个焊盘连接周向栅的一端，周向栅的另一端通过一个焊盘连接另一个应变计单元的径向栅。
4.根据权利要求1所述的一种膜片式应变计，其特征在于，所述两个中心对称设置的应变计单元组成非封闭式全桥电路；所述应变计单元包括两个径向栅和三个焊盘，所述径向栅分为内圈径向栅和外圈径向栅，所述外圈径向栅的一端连接一个焊盘，另一端通过焊盘连接内圈径向栅的一端，所述内圈径向栅的另一端连接一个焊盘。
5.根据权利要求1所述的一种膜片式应变计，其特征在于，所述径向栅两端之间的夹角为70度～90度。
6.根据权利要求1所述的一种膜片式应变计，其特征在于，膜片的基底尺寸和敏感栅尺寸一致时，径向栅的夹角为65度～90度；膜片的基底尺寸大于敏感栅尺寸时，径向栅的夹角为85度～120度。
7.根据权利要求1所述的一种膜片式应变计，其特征在于，所述径向栅和周向栅的敏感栅的栅条宽度相同。
8.一种权利要求1～7任一项所述的膜片式应变计的优化方法，其特征在于，包括：
S1通过调整内栅的电阻设计比率与外栅的电阻比率的差值，抵消掉由于蚀刻时敏感栅的蚀刻方向、速率不同造成电阻栅间差值；
S2设计应变计的焊盘位置和形状，焊盘为长方形，呈平行状布局且与引线方向一致，便于引线焊接，保证盖层能够全不密封敏感栅区域。
9.根据权利要求8所述的优化方法，其特征在于，所述径向栅和周向栅的敏感栅栅条宽度相同，周向栅的蚀刻速率比径向栅的蚀刻速率低。
10.根据权利要求8所述的优化方法，其特征在于，结合电阻设计比率在65％～80％时，优周向栅的电阻设计比率比径向栅大3％～5％。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201911384473.5A CN110895130B (zh) | 2019-12-28 | 2019-12-28 | 一种膜片式应变计及其优化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201911384473.5A CN110895130B (zh) | 2019-12-28 | 2019-12-28 | 一种膜片式应变计及其优化方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110895130A true CN110895130A (zh) | 2020-03-20 |
| CN110895130B CN110895130B (zh) | 2021-07-20 |
Family
ID=69787688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201911384473.5A Active CN110895130B (zh) | 2019-12-28 | 2019-12-28 | 一种膜片式应变计及其优化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110895130B (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112484630A (zh) * | 2020-12-09 | 2021-03-12 | 湖南启泰传感科技有限公司 | 一种薄膜电阻应变压力传感器及其布局优化方法 |
| CN112833770A (zh) * | 2021-02-26 | 2021-05-25 | 中航电测仪器股份有限公司 | 一种复式全桥应变计 |
| CN113899481A (zh) * | 2021-09-29 | 2022-01-07 | 中航电测仪器股份有限公司 | 一种扭转角应变式传感器及其测量装置和测量方法 |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1206255A (en) * | 1968-04-29 | 1970-09-23 | Siemens Ag | Transducers for providing an electrical measure of fluid pressure |
| WO1994029685A1 (en) * | 1993-06-03 | 1994-12-22 | Kavlico Corporation | Sensitive resistive pressure transducer |
| CN202329537U (zh) * | 2011-11-26 | 2012-07-11 | 济南金钟电子衡器股份有限公司 | 一种圆形全桥电阻应变计 |
| CN105783993A (zh) * | 2016-03-21 | 2016-07-20 | 安徽工程大学 | 集成温度相对湿度传感器 |
| CN106271424A (zh) * | 2016-08-26 | 2017-01-04 | 中航电测仪器股份有限公司 | 电阻应变计密封层成型方法 |
| JP2017120214A (ja) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | アズビル株式会社 | 圧力センサ |
| CN206531462U (zh) * | 2016-12-30 | 2017-09-29 | 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所 | 一种温度自补偿应变计 |
| CN108267076A (zh) * | 2016-12-30 | 2018-07-10 | 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所 | 一种温度自补偿应变计 |
| CN207649802U (zh) * | 2017-12-22 | 2018-07-24 | 北京中航兴盛测控技术有限公司 | 弹性体应变薄膜电阻 |
| CN209013920U (zh) * | 2018-12-20 | 2019-06-21 | 广东微应变传感科技有限公司 | 一种用于圆板式传感器的微型箔式电阻应变计 |
-
2019
- 2019-12-28 CN CN201911384473.5A patent/CN110895130B/zh active Active
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1206255A (en) * | 1968-04-29 | 1970-09-23 | Siemens Ag | Transducers for providing an electrical measure of fluid pressure |
| WO1994029685A1 (en) * | 1993-06-03 | 1994-12-22 | Kavlico Corporation | Sensitive resistive pressure transducer |
| CN202329537U (zh) * | 2011-11-26 | 2012-07-11 | 济南金钟电子衡器股份有限公司 | 一种圆形全桥电阻应变计 |
| JP2017120214A (ja) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | アズビル株式会社 | 圧力センサ |
| CN105783993A (zh) * | 2016-03-21 | 2016-07-20 | 安徽工程大学 | 集成温度相对湿度传感器 |
| CN106271424A (zh) * | 2016-08-26 | 2017-01-04 | 中航电测仪器股份有限公司 | 电阻应变计密封层成型方法 |
| CN206531462U (zh) * | 2016-12-30 | 2017-09-29 | 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所 | 一种温度自补偿应变计 |
| CN108267076A (zh) * | 2016-12-30 | 2018-07-10 | 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所 | 一种温度自补偿应变计 |
| CN207649802U (zh) * | 2017-12-22 | 2018-07-24 | 北京中航兴盛测控技术有限公司 | 弹性体应变薄膜电阻 |
| CN209013920U (zh) * | 2018-12-20 | 2019-06-21 | 广东微应变传感科技有限公司 | 一种用于圆板式传感器的微型箔式电阻应变计 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 孔德仁等编著: "《工程测试技术（第3版）》", 31 March 2016 * |
| 钱浚霞等编著: "《传感技术》", 31 October 1995 * |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112484630A (zh) * | 2020-12-09 | 2021-03-12 | 湖南启泰传感科技有限公司 | 一种薄膜电阻应变压力传感器及其布局优化方法 |
| CN112833770A (zh) * | 2021-02-26 | 2021-05-25 | 中航电测仪器股份有限公司 | 一种复式全桥应变计 |
| CN112833770B (zh) * | 2021-02-26 | 2022-12-13 | 中航电测仪器股份有限公司 | 一种复式全桥应变计 |
| CN113899481A (zh) * | 2021-09-29 | 2022-01-07 | 中航电测仪器股份有限公司 | 一种扭转角应变式传感器及其测量装置和测量方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN110895130B (zh) | 2021-07-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110895130B (zh) | 一种膜片式应变计及其优化方法 | |
| JP4843877B2 (ja) | 半導体力学量センサ | |
| US9460834B2 (en) | Method for adjusting a calibration element, and corresponding device | |
| JP5883771B2 (ja) | 圧力センサ | |
| CN104062060A (zh) | 双量程硅压阻式压力敏感元件 | |
| US20110247421A1 (en) | Pressure sensor | |
| US20160313199A1 (en) | Pressure Sensor | |
| US20160025582A1 (en) | Capacitive Pressure Transducer for Measuring the Pressure of a Medium Adjacent to the Measuring Cell | |
| JP2018048859A (ja) | 圧力センサ | |
| JP2001272293A (ja) | 圧力センサ | |
| CN105606331A (zh) | 一种具有柔性基底的薄膜铂电阻热流传感器及其制作方法 | |
| JP2020046177A (ja) | 圧力センサ素子およびそれを備えた圧力センサモジュール | |
| CN102486605B (zh) | 覆盖形貌的光学临近效应修正方法 | |
| CN211668680U (zh) | 一种二维力圆柱式传感器用应变计 | |
| JP2018072311A (ja) | 圧力センサ | |
| KR20140046356A (ko) | 세라믹 다이어프램형 압력센서 | |
| JP6734991B2 (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPS6154270B2 (zh) | ||
| CN112484630B (zh) | 一种薄膜电阻应变压力传感器及其布局优化方法 | |
| CN112833770B (zh) | 一种复式全桥应变计 | |
| CN213336577U (zh) | 一种等栅长大输出全桥应变计 | |
| RU2541714C1 (ru) | Высокоточный датчик давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы | |
| JP2016200585A (ja) | ストレインゲージ及びこれを備えた歪みセンサ及び力変換器 | |
| JPS61155929A (ja) | ロ−ドセルのクリ−プ調整方法およびクリ−プを調整したロ−ドセル | |
| CN105509632A (zh) | 可测量双侧偏置敏感栅外侧横向偏导的横向分布五敏感栅边叉指金属应变片 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |