KR20140046356A - 세라믹 다이어프램형 압력센서 - Google Patents

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박경만
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Abstract

본 발명은 세라믹 다이어프램형 압력센서에 관한 것으로, 특히 세라믹 다이어프램이 파괴될 우려가 없어, 압력 측정 대상 매체가 외부로 누출될 위험성이 없고, 양산성이 우수하며 또한 센서와 신호처리 칩을 연결하는 플렉시블 케이블(flexible cable) 및 PCB를 간소화 하여 압력센서의 부피를 줄일 수 있고 저가격화를 이룰 수 있는 세라믹 다이어프램형 압력센서에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서는 사각형 평판의 세라믹 다이어프램으로서 표면에 전기 전도성 물질로 이루어진 패턴과 스트레인 게이지가 형성된 세라믹 다이어프램과 상기 패턴이 형성된 세라믹 다이어프램의 면과 마주보는 베이스플레이트와 상기 세라믹 다이어프램 및 상기 베이스플레이트의 접합과 상기 스트레인 게이지의 공간을 이루기 위한 것으로서 상기 세라믹 다이어프램과 상기 베이스플레이트의 외주면을 따라 형성된 접착제층를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

세라믹 다이어프램형 압력센서{PRESSURE TRANSDUCER USING CERAMIC DIAPHRAGM}
본 발명은 세라믹 다이어프램형 압력센서에 관한 것으로, 특히 세라믹 다이어프램이 파괴될 우려가 없어 압력 측정 대상 매체가 외부로 누출될 위험성이 없고, 양산성이 우수하며 또한 센서와 신호처리 칩을 연결하는 플렉시블 케이블(flexible cable) 및 PCB를 간소화하여 압력센서의 부피를 줄일 수 있고 저가격화를 이룰 수 있는 세라믹 다이어프램형 압력센서에 관한 것이다.
일반적으로, 압력센서는 자동차 엔진의 유압뿐만 아니라 일반 산업용 및 민생용 압력 측정 등 넓은 압력 범위에서 고도의 정밀성이 요구되는 분야에서 사용되는데, 이러한 압력센서에는 스트레인 게이지(변형 게이지)가 포함되어 있다.
이러한 스트레인 게이지는 전기식으로 측정하는 전기식 스트레인 게이지(electrical strain gage)와 기계식으로 측정하는 기계식 스트레인 게이지(mechanical strain gage)의 2종류로 구분할 수 있는데, 전기식 스트레인 게이지는 구조체가 변형을 일으킬 때에 부착된 스트레인 게이지의 전기적 저항이 변하여 이로부터 변형률을 측정하는 것이며, 기계식 스트레인 게이지는 두 점 사이의 미소한 거리변화를 기계적으로 측정하여 구조체의 변형률을 측정하는 것이다. 이 스트레인게이지의 개발로 인하여 구조체의 변형 상태를 정밀하게 측정할 수 있게 되었으며, 이 변형률에 의하여 응력을 알 수가 있다.
그리고, 압력센서는 전세계적으로 첨단 핵심기술의 전자화, 고기능 및 다양화가 진행됨에 따라 여러 분야에서 그 필요성이 급증하고 있으며, 이에 따라 많은 나라에서 이미 기술 개발사업을 중점 첨단 기술사업으로 분류하고 연구 개발에 집중적으로 지원함으로써 기술수준도 진일보하여 대량 생산체제가 확립되고 저가격화, 초소형화 및 스마트화가 실현되고 있는 실정이다.
이러한 압력센서로 종래에는 스테인리스 다이어프램형의 압력센서(한국 등록특허 제10-240012호)가 주로 사용되어 왔으나, 스테인리스 다이어프램의 가공이 복잡하고 게이지를 수작업으로 부착하여야 하기 때문에 제조공정이 복잡하여 제조단가가 고가로 될 뿐만 아니라, 게이지가 대기나 측정매질(액체나 기체)에 노출되면 부식되기 쉬워 장기 안정성이나 신뢰성의 저하를 가져오는 문제점이 있었고, 또한 금속 박막 스트레인 게이지가 고장 나면, 압력센서 전체를 교체해야 되는 문제점이 있었으며, 더욱이 스테인리스 다이어프램은 부식성가스와 액체의 압력측정에는 사용할 수 없는 문제점이 있었다.
이를 해결하기 위해 한국 공개특허공보 제2001-0105085호에는 "세라믹 다이어프램에 고저항의 후막 또는 박막 게이지를 형성함과 아울러 이것을 다시 세라믹 캡(cap)으로 완전히 밀봉하거나 특수 절연도료의 보호막을 코팅함으로써 기체, 액체에 모두 사용이 가능하고 내부식성이 뛰어난 세라믹 다이어프램형 압력센서"가 개시되어 있다.
그러나 종래기술에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서의 하나의 예인 도 5의 구조를 갖는 압력센서의 경우, 세라믹 다이어프램(1)의 재질이 세라믹으로 이루어져 있으므로 세라믹 다이어프램에 과도한 압력이 가해지면 세라믹 다이어프램이 파괴되고, 이로 인해 압력 측정의 대상인 매체가 외부로 누출되는 문제점이 종종 발생하였다. 특히 압력 측정 대상 매체가 독성이 있는 기체인 경우 외부로 누출될 경우 심각한 위험을 초래할 수 있었다.
또한 종래기술에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서의 다른 예인 도 6의 구조를 갖는 압력센서의 경우, 베이스 플레이트(3)를 기계적으로 가공할 때 스트레인 게이지(2)의 공각 확보를 위한 갭(G)의 간격을 줄이는 것에 한계가 있었다. 이러한 갭(G)의 간격을 10㎛ 이하로 제조하는 것은 거의 불가능에 가까운 실정이었다. 이로 인해 세라믹 다이어프램(1)에 과도한 압력이 가해져 세라믹 다이어프램이 크게 휠 때 갭의 간격이 크기 때문에 세라믹 다이어프램(1)이 베이스 플레이트(3)에 닿지 않아 세라믹 다이어프램(1)이 파괴될 우려가 있고, 파괴될 경우 벤팅 홀(venting hole)을 통해 압력 측정의 대상인 매체가 외부로 누출되는 문제점이 있었다.
또한 도 5 및 도 6의 세라믹 다이어프램형 압력센서는, 도 7에 도시된 바와 같이 다이어프램(1)의 형상이 원형이기 때문에 양산성이 나쁘고, 이로 인해 압력센서의 가격이 높아지는 문제점이 있었으며, 또한 센서와 신호처리 칩을 연결하는 플렉시블 케이블(flexible cable) 및 PCB구조가 세라믹센서 원형 사이즈에 맞춰야 하는 구조이기에 부피가 커지고, 가격이 높아지는 문제점이 있었다.
한국 등록특허 제10-240012호 한국 공개특허공보 제2001-0105085호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 파괴될 우려가 없는 세라믹 다이어프램을 제공하고, 양산성이 우수하며 압력센서의 부피를 줄일 수 있고 저가격화를 이룰 수 있는 세라믹 다이어프램형 압력센서를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 상기 및 다른 목적과 이점은 바람직한 실시예를 설명한 하기의 설명으로부터 보다 분명해 질 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 양상에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서는, 사각형 평판의 세라믹 다이어프램으로서 표면에 전기 전도성 물질로 이루어진 패턴과 스트레인 게이지가 형성된 세라믹 다이어프램과 상기 패턴이 형성된 세라믹 다이어프램의 면과 마주보는 베이스플레이트와 상기 세라믹 다이어프램 및 상기 베이스플레이트의 접합과 상기 스트레인 게이지의 공간을 이루기 위한 것으로서 상기 세라믹 다이어프램과 상기 베이스플레이트의 외주면을 따라 형성된 접착제층을 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 다이어프램형 압력센서이다.
여기서, 상기 베이스플레이트는 상기 세라믹 다이어프램의 두께보다 두꺼운 두께를 가지고, 상기 세라믹 다이어프램의 길이보다 짧은 길이를 갖는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 접착제층의 두께는 10 ㎛ 미만인 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 접착제층은 저융점 유리로 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면 세라믹 다이어프램이 파괴될 우려가 없어, 압력 측정 대상 매체가 외부로 누출될 위험성이 없으며, 양산성이 우수하고 센서와 신호처리 칩을 연결하는 플렉시블 케이블(flexible cable) 및 PCB를 간소화하여 압력센서의 부피를 줄일 수 있고 저가격화를 이룰 수 있는 등의 효과가 있다.
또한 본 발명에 따르면 세라믹 다이어프램에만 전기 전도성 물질로 된 패턴을 부착할 수 있으므로 전도성 에폭시 수지와 베이스플레이트에 형성된 패턴 없이 세라믹 다이어프램형 압력센서를 제조할 수 있으므로 공정이 간단하고 또한 제조비용도 현저히 줄어드는 등의 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서의 사시도이다.
도 2는 도 1의 A-A'에 따른 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서의 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 패턴과 스트레인 게이지를 보여주는 평면도이다.
도 5는 종래기술에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서의 단면도이다.
도 6는 종래기술에 따른 다른 세라믹 다이어프램형 압력센서의 단면도이다.
도 7a는 종래기술에 따른 세라믹 다이어프램의 평면 사시도이다.
도 7b는 종래기술에 따른 세라믹 다이어프램의 저면 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 기술되는 바람직한 실시예를 통하여 본 발명을 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 기술하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명 실시예들의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.
또한 본 발명 명세서 전반에 걸쳐 사용되는 용어들은 본 발명 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서, 사용자 또는 운용자의 의도, 관례 등에 따라 충분히 변형될 수 있는 사항이므로, 이 용어들의 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 A-A'에 따른 단면도이다. 도 1과 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서는 사각형 평판의 세라믹 다이어프램으로서 표면에 전기 전도성 물질로 이루어진 패턴(50)과 스트레인 게이지(30)가 형성된 세라믹 다이어프램(10)과 상기 패턴이 형성된 세라믹 다이어프램의 면과 마주보는 베이스플레이트(20)와, 상기 세라믹 다이어프램(10) 및 상기 베이스플레이트(20)의 접합과 상기 스트레인 게이지의 공간을 이루기 위한 것으로서 상기 세라믹 다이어프램과 상기 베이스플레이트의 외주면을 따라 형성된 접착제층(40)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서의 가장 큰 특징은 상기 세라믹 다이어프램(10)과 상기 베이스플레이트(20)가 그 외주면을 따라 형성된 접착제층(40)에 의해 접착된다는 것이다. 상기 접착제층(40)은 상기 세라믹 다이어프램(10)의 외주면에 먼저 형성하든지 또는 상기 베이스플레이트(20)의 외주면을 따라 먼저 형성한 다음 다른 구성요소를 부착하여도 상관없으며, 또한 상기 세라믹 다이어프램(10)과 상기 베이스플레이트(20)가 마주보게 한 상태에서 그 외주면을 따라 접착제층(40)을 사용하여 접합하여도 상관없다.
이와 같은 구성을 가진 본 발명에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서는 과도한 압력이 가해지더라도 세라믹 다이어프램(10)이 파괴될 우려가 없고 또한 이로 인해 압력 측정 대상인 매체가 외부로 누출될 염려가 없어 안정성을 확보할 수 있게 되는 것이다.
보다 구체적으로, 도 6에 도시된 종래기술에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서에서는 베이스 플레이트(3)를 기계적으로 가공할 때 스트레인 게이지(2)의 공각 확보를 위한 갭(G)의 간격을 줄이는 데 한계가 있어 세라믹 다이어프램(1)에 과도한 압력이 가해져 세라믹 다이어프램이 크게 휘면 갭(G)의 간격이 크기 때문에 세라믹 다이어프램(1)이 베이스 플레이트(3)에 닿지 않아 세라믹 다이어프램이 파괴될 우려가 있었고, 다이어프램이 파괴될 경우 벤팅 홀(4, venting hole)을 통해 압력 측정의 대상인 매체가 외부로 누출될 수 있었으나, 본 발명에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서는 두께 제어가 쉬운 접착제를 사용함으로써 상기 갭(G)의 간격을 10㎛ 이하로 제조하는 것이 가능하게 되어 과도한 압력이 가해지더라도 세라믹 다이어프램(10)이 상기 베이스플레이트(20)에 닿게 되어 파괴될 우려가 없고 또한 이로 인해 압력 측정 대상인 매체가 외부로 누출될 염려가 없어 안전성을 확보할 수 있게 되는 것이다.
상기 접착제층(40)의 두께는 10 ㎛ 미만으로 하는 것이 가장 바람직하다. 또한 상기 접착제는 본 발명의 효과를 저해하지 않는 범위 내에서 가능한 접착제층을 이루기 위한 접착제는 모두 사용될 수 있으며, 바람직하게는 저융점 유리, glass frit를 사용하는 것이다.
또한 본 발명에 따른 세라믹 다이어프램(10)과 베이스플레이트(20)는 접착제(40)층에 의해 접합되므로, 종래의 스트레인 게이지(2)의 갭(G)을 형성하기 위한 베이스플레이트(도 6) 또는 종래의 압력도입부를 위한 세라믹 다이어프램(도 5)을 기계적으로 가공해야 하는 공정과 시간보다 공정과 제조 시간 면에서 훨씬 절약할 수 있게 되는 것이다.
따라서 본 발명에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서는 종래의 압력센서에 비해 제조 가격을 많이 줄일 수 있어 저가격화에 유리한 효과도 있다.
한편, 도 1에 도시된 식별번호 "51"은 단자 솔더 패드(terminal solder pads)로서 상기 단자 솔더 패드는 세라믹 다이어프램(10)에 형성된 패턴(50)과 전기적으로 연결되어 있다.
또한 본 발명에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서의 다른 가장 큰 특징은 상기 사각형 평판의 세라믹 다이어프램(10)의 표면에만 전기 전도성 물질로 이루어진 패턴(50)과 스트레인 게이지(30)가 형성된 세라믹 다이어프램(10)을 구성한 것에 있다. 이러한 구성을 위해 상기 베이스플레이트(20)의 길이(l20)는 상기 패턴이 형성된 세라믹 다이어프램(10)의 길이(l10)보다 짧게 구성한다. 즉 상기 패턴이 형성된 세라믹 다이어프램(10)의 길이(l10)를 상기 베이스플레이트(20)의 길이(l20)보다 길게 형성함으로써 상기 세라믹 다이어프램(10)에만 그 표면에 전기 전도성 물질로 이루어진 패턴(50)과 스트레인 게이지(20)를 형성하고 전기적으로 연결하기 위한 상기 단자 솔더 패드(51)를 함께 구성할 수 있게 되는 것이다.
종래에는 상기 세라믹 다이어프램과 상기 베이스플레이트에 모두 전기 전도성 물질로 된 패턴을 구비하여 전도성 에폭시 수지로 서로 연결한 것이 있으나, 본 발명에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서에 의하면 상기 세라믹 다이어프램에만 전기 전도성 물질로 된 패턴을 부착할 수 있으므로 전도성 에폭시 수지와 베이스플레이트에 형성된 패턴 없이 세라믹 다이어프램형 압력센서를 제조할 수 있으므로 공정이 간단하고 또한 제조비용도 현저히 줄어드는 효과가 있게 되는 것이다.
또한 상기 베이스플레이트(20)의 형상도 상기 사각형 평판의 세라믹 다이어프램(10)과 대응되는 형상인 사각형 평판인 것이 바람직하며, 상기 베이스플레이트(20)의 두께(d20)는 상기 패턴이 형성된 세라믹 다이어프램(10)의 두께(d10)보다 두꺼운 것이 바람직하다. 따라서 상기 사각형 평판의 세라믹 다이어프램(10)의 길이는 상기 베이스플레이트(20)의 길이보다 길지만 그 길이의 차이는 되도록 짧게 구성하는 것이 좋다. 즉 상기 양자의 길이 차이는 상기 세라믹 다이어프램(10)에 형성되는 상기 단자 솔더 패드(51)가 돌출되어 그 기능을 할 수 있는 범위내의 짧은 길이로 하는 것이 가장 바람직하다.
또한 본 발명에 따른 상기 스트레인 게이지(30)는 상기 세라믹 다이어프램(10) 상에 이온 비임 스퍼터링법을 이용하여 CuNi 또는 NiCr 박막을 증착하고 포토리소그래피 공정으로 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 패터닝 방법 외 그 밖의 공지된 패터닝 방법으로 패터닝할 수도 있음은 물론이다.
본 발명에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서는 압력을 스트레인 게이지(30)의 저항 변화로 변환하는데, 압력을 효율적인 스트레인 게이지의 변형으로 변환하는 것이 중요하다. 외주면이 고정된 다이어프램(10)에 균일한 압력이 가해지면 그 표면에 굽힘 변형이 발생하고, 인가압력에 의해 다이어프램 뒷면에 발생하는 미소변형은 4개의 스트레인 게이지(30)로 이루어진 휘스톤 브리지에 의해서 미소저항 변화를 일으키고 이를 전기 신호로 변환한다. 압력에 의해 주변이 고정된 다이어프램(10)에 발생하는 굽힘 변형을 효과적으로 검출하는 스트레인 게이지의 패턴은 여러 가지 종류가 있으나, 본 발명에서는 후막 저항을 프린팅하여 게이지를 형성한 것을 예로 들어 설명한다. 도 4는 본 발명에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서에 적용된 하나의 예로써 도시된 다이어프램의 평면도로서 이에 형성된 패턴(50)과 4개의 스트레인 게이지(30)가 형성되어 있는 것을 확인할 수 있다. 즉 두 개의 저항은 다이어프램 원(30-1)의 중심방향으로 변형이 가장 큰 중앙 부근에 위치하며 다른 두 개는 다이어프램 원(30-1)의 원주방향으로 변형이 가장 큰 가장자리에 걸치게 위치하여 배치하는 것이 바람직하다.
또한 상기 스트레인 게이지(30)를 상기 다이어프램(10)과 전기적으로 절연시켜야 하기 때문에 세라믹으로 이루어진 다이어프램을 사용하는 것이다. 또한 상기 스트레인 게이지(30)의 저항 값은 박막의 두께와 게이지의 길이를 변화시켜 100Ω ~ 1000Ω 사이에서 조정할 수 있다.
한편 도 2는 도 1의 A-A'에 따른 단면도로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서의 단면도이고, 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서의 단면도이다. 여기서 "P"는 "압력 도입부"를 나타낸다.
상기 도 2와 도 3은 압력센서의 필수 구성요소만을 도시한 도면으로서, 도시하지 않았지만, 상기 베이스플레이트(20) 상부에는 부피가 작고 간소화된 플렉시블 케이블(flexible cable)이 형성되어 있고 플렉시블 케이블(flexible cable)상부에 신호처리IC 칩을 올린다. 상기 신호처리IC 칩은 본 발명의 목적에 부합되는 회로 등을 포함한 주문형 반도체(ASIC)가 될 수도 있다. 따라서 본 발명에 세라믹 다이어프램형 압력 센서는 부피가 작은 초소형 구조의 플렉시블 케이블(flexible cable)구조를 구현할 수 있으며 플렉시블 케이블(flexible cable)이 간소화되어 저가격화에도 크게 기여할 수 있게 되는 것이다.
도 2는 절대압력을 측정하는 세라믹 다이어프램형 압력센서로서 절대진공에 대한 압력을 측정하는 센서이다. 압력을 받는 요소인 다이어프램의 한쪽을 진공으로 막아 기준 진공실로 하고, 다른 한쪽에 측정 압력을 도입하는 방법이 일반적이다. 기준진공실의 진공도는 센서의 절대기준으로서, 센서 제작 후의 조정이 불가능하기 때문에 누설 등으로 인한 진공도의 열화가 센서의 특성저하로 나타난다. 따라서 제작시의 누설검사나 진공으로 봉하는 데는 세심한 주의가 필요하다. 이를 위해 다수의 리드선(미도시)이 부착된 베이스플레이트(20)와 스트레인 게이지(30)가 형성된 세라믹 다이어프램(10)을 접착제층(40)으로 접착하여 스트레인 게이지(30)를 완전히 밀봉한다.
또한 도 3은 게이지압 또는 차압을 측정하는 세라믹 다이어프램형 압력센서로서 게이지압센서는 대기압을 기준으로 하여 측정하는 압력 센서이고 차압센서는 두 압력의 차를 측정하는 압력센서이다. 이를 위해 베이스 플레이트(20)에는 벤팅 홀(21)이 형성되어 있다.
또한 본 발명에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서의 구성 중 상기 세라믹 다이어프램(10)과 상기 베이스플레이트(20)는 사각형의 평판인 것인 것이 바람직한데, 이는 압력센서의 양산성을 높이고, 이로 인해 압력센서의 가격을 낮출 수 있도록 하기 위한 것이다.
보다 구체적으로, 도 7a 및 도 7b에 도시된 종래의 압력센서에 구성된 세라믹 다이어프램과 베이스플레이트의 형상은 원형이기 때문에 양산성이 매우 나쁘고, 이로 인해 압력센서의 가격이 높아지는 문제점이 있었으나, 본 발명에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 세라믹 다이어프램과 상기 베이스플레이트가 사각형의 평판으로 이루어져 있기 때문에 제조공정이 용이해져 양산성이 뛰어나고, 이로 인해 압력센서의 가격을 낮출 수 있는 효과가 있게 되는 것이다.
본 발명은 첨부된 도면에 의해 참조되는 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만, 이러한 기재로부터 후술하는 특허청구범위에 의해 포괄되는 범위내에서 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 다양한 변형이 가능하다는 것은 명백하다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 세라믹 다이어프램형 압력센서는 자동차 엔진의 유압뿐만 아니라 일반 산업용 및 민생용 압력 측정 등 넓은 압력 범위에서 고도의 정밀성이 요구되는 기술분야 및 이의 응용 기술분야에서 산업상으로 이용 가능하다.
1 : 세라믹 다이어프램 2 : 스트레인 게이지
3 : 베이스플레이트 4 : 벤팅 홀
10 : 세라믹 다이어프램 20 : 베이스플레이트
21 : 벤팅 홀 30 : 스트레인 게이지
40 : 접착제층 50 : 패턴
51 : 단자 솔더 패드(terminal solder pads)

Claims (4)

  1. 세라믹 다이어프램형 압력센서에 있어서,
    사각형 평판의 세라믹 다이어프램으로서, 표면에 전기 전도성 물질로 이루어진 패턴과 스트레인 게이지가 형성된 세라믹 다이어프램과,
    상기 패턴이 형성된 세라믹 다이어프램의 면과 마주보는 베이스플레이트와,
    상기 세라믹 다이어프램 및 상기 베이스플레이트의 접합과 상기 스트레인 게이지의 공간을 이루기 위한 것으로서 상기 세라믹 다이어프램과 상기 베이스플레이트의 외주면을 따라 형성된 접착제층을 포함하는 것을 특징으로 하는, 세라믹 다이어프램형 압력센서.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스플레이트는 상기 세라믹 다이어프램의 두께보다 두꺼운 두께를 가지고, 상기 세라믹 다이어프램의 길이보다 짧은 길이를 갖는 것을 특징으로 하는, 세라믹 다이어프램형 압력센서.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 접착제층의 두께는 10 ㎛ 미만인 것을 특징으로 하는, 세라믹 다이어프램형 압력센서.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 접착제층은 저융점 유리로 형성된 것을 특징으로 하는, 세라믹 다이어프램형 압력센서.
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