CN110846639A - 一种可防密封圈老化的镀膜高温设备 - Google Patents

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黄勤
付平
李春锋
谢毅
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Tongwei Solar Meishan Co Ltd
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Tongwei Solar Meishan Co Ltd
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract

本发明公开了一种可防密封圈老化的镀膜高温设备，涉及太阳能电池制造技术领域，本发明包括炉管，炉管外壁设置有套设有一圈密封圈，密封圈外壁套设有冷却风管，炉管内壁设置有一圈隔热圈，本发明结构简单，同时具有隔热和冷却作用，大大降低高温对密封圈的影响，从而提高密封圈使用寿命。

Description

一种可防密封圈老化的镀膜高温设备
技术领域
本发明涉及太阳能电池制造技术领域，更具体的是涉及一种可防密封圈老化的镀膜高温设备。
背景技术
太阳能光伏电池PECVD高温镀膜设备，由于工艺过程中炉管一直处于高温状态，温度基本在550℃左右，导致法兰与炉管起密封作用的密封圈老化严重，经常出现损坏烧焦开裂现象，该处密封圈使用寿命短，导致炉管漏气较多，耗费较大的人力物力，严重影响机台的正常运行。
故如何解决上述技术问题，对于本领域技术人员来说很有现实意义。
发明内容
本发明的目的在于：为了解决现有高温镀膜设备中炉管密封处的密封圈容易受高温影响，老化严重，经常出现损坏烧焦开裂现象而影响设备运行的技术问题，本发明提供一种可防密封圈老化的镀膜高温设备。
本发明为了实现上述目的具体采用以下技术方案：
一种可防密封圈老化的镀膜高温设备，包括炉管，炉管外壁设置有套设有一圈密封圈，密封圈外壁套设有冷却风管，炉管内壁设置有一圈隔热圈。
进一步地，冷却风管一端堵死，冷却风管另一端连接有压缩空气管，冷却风管上设置有有若干出气孔。
进一步地，冷却风管与压缩空气管之间连接有接头，接头上设置有压力表。
进一步地，冷却风管材质为不锈钢。
进一步地，隔热圈材质为棉。
本发明的有益效果如下：
1、本发明在炉管内壁设置一圈隔热圈，起到一定隔热作用，同时在炉管外壁的密封圈处设置冷却风管，起到一定降温作用，在隔热和降温双重作用下大大降低高温对密封圈的影响，从而延缓密封圈老化速度，大大提高其使用寿命。
2、冷却风管通过压缩空气管不断通入压缩空气，压缩空气再从出气孔出去，这个过程起到换热作用，从而将热量带出去，降温效果好。
附图说明
图1是本发明一种可防密封圈老化的镀膜高温设备的结构示意图。
附图标记：1-炉管，2-密封圈，3-冷却风管，4-隔热圈，5-压缩空气管，6-出气孔，7-接头，8-压力表。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图和实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
以下结合实施例对本发明的特征和性能作进一步的详细描述。
实施例1
如图1所示，本实施例提供一种可防密封圈老化的镀膜高温设备，包括炉管1，炉管1外壁设置有套设有一圈密封圈2，密封圈2外壁套设有冷却风管3，炉管1内壁设置有一圈隔热圈4。
在炉管1内壁设置一圈隔热圈4，起到一定隔热作用，同时在炉管1外壁的密封圈2处设置冷却风管3，起到一定降温作用，对炉管1表面可降低温度25-30℃，在隔热和降温双重作用下大大降低高温对密封圈2的影响，从而延缓密封圈2老化速度，大大提高其使用寿命。
作为本发明的一种优选技术方案：
冷却风管3一端堵死，冷却风管3另一端连接有压缩空气管5，冷却风管3上设置有有若干出气孔6，冷却风管3通过压缩空气管5不断通入压缩空气，压缩空气再从出气孔6出去，这个过程起到换热作用，从而将热量带出去，降温效果好。
作为本发明的一种优选技术方案：
冷却风管3与压缩空气管5之间连接有接头7，接头7上设置有压力表8，可随时查看通入压缩空气时的压力大小，从而根据使用情况进行调节。
作为本发明的一种优选技术方案：
冷却风管3材质为不锈钢，满足高温使用条件。
作为本发明的一种优选技术方案：
隔热圈4材质为棉，隔热效果好。
以上所述，仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，本发明的专利保护范围以权利要求书为准，凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。

Claims (5)

1.一种可防密封圈老化的镀膜高温设备，包括炉管(1)，炉管(1)外壁设置有套设有一圈密封圈(2)，其特征在于，密封圈(2)外壁套设有冷却风管(3)，炉管(1)内壁设置有一圈隔热圈(4)。
2.根据权利要求1所述的一种可防密封圈老化的镀膜高温设备，其特征在于，冷却风管(3)一端堵死，冷却风管(3)另一端连接有压缩空气管(5)，冷却风管(3)上设置有有若干出气孔(6)。
3.根据权利要求1或2所述的一种可防密封圈老化的镀膜高温设备，其特征在于，冷却风管(3)与压缩空气管(5)之间连接有接头(7)，接头(7)上设置有压力表(8)。
4.根据权利要求3所述的一种可防密封圈老化的镀膜高温设备，其特征在于，冷却风管(3)材质为不锈钢。
5.根据权利要求1所述的一种可防密封圈老化的镀膜高温设备，其特征在于，隔热圈(4)材质为棉。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112760617A (zh) * 2020-12-30 2021-05-07 上海埃原半导体设备有限公司 化学气相沉积用的非金属反应腔及其使用方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201589524U (zh) * 2009-12-23 2010-09-22 江门市科恒实业股份有限公司 一种高温管式炉
CN203429246U (zh) * 2013-07-17 2014-02-12 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 密封结构、反应腔室和半导体处理设备
CN103866393A (zh) * 2014-03-13 2014-06-18 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种减压扩散炉反应管的密封装置
CN207038544U (zh) * 2017-05-26 2018-02-23 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 一种低压扩散炉炉口隔热结构
CN207316086U (zh) * 2017-08-17 2018-05-04 四川省达州钢铁集团有限责任公司 一种密封结构
CN211142168U (zh) * 2019-11-27 2020-07-31 通威太阳能(眉山)有限公司 一种可防密封圈老化的镀膜高温设备

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201589524U (zh) * 2009-12-23 2010-09-22 江门市科恒实业股份有限公司 一种高温管式炉
CN203429246U (zh) * 2013-07-17 2014-02-12 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 密封结构、反应腔室和半导体处理设备
CN103866393A (zh) * 2014-03-13 2014-06-18 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种减压扩散炉反应管的密封装置
CN207038544U (zh) * 2017-05-26 2018-02-23 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 一种低压扩散炉炉口隔热结构
CN207316086U (zh) * 2017-08-17 2018-05-04 四川省达州钢铁集团有限责任公司 一种密封结构
CN211142168U (zh) * 2019-11-27 2020-07-31 通威太阳能(眉山)有限公司 一种可防密封圈老化的镀膜高温设备

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112760617A (zh) * 2020-12-30 2021-05-07 上海埃原半导体设备有限公司 化学气相沉积用的非金属反应腔及其使用方法

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