CN201576694U - 扩散炉波纹管、炉门密封装置及扩散炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种闭管扩散炉波纹管，包括波纹段和光滑段，所述波纹段的管体呈波纹状，所述光滑段的管体具有光滑的管面。所述波纹段和实体段为一体结构。本实用新型还公开了一种具有该波纹管结构的炉门密封装置和扩散炉。与现有技术相比本实用新型的波纹管的强度大大增强，能有效的减少波纹管受高温后变形的现象，从而减少因炉门与石英管密封不严而导致硅片返工情况的发生，减少炉门损坏数量，提高设备的利用率，降低设备的维护成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳电池制造领域，尤其是一种用于扩散炉石英炉门固定的波纹管、炉门密封装置及扩散炉。
背景技术
在制造太阳电池的过程中，由于PN结是太阳电池光电转换的关键，扩散工艺的目的就是要在硅片上形成良好的P-N结。其原理是在高温下，使磷原子扩散进入硅片，使硅片表层一定厚度的硅片变成N型，P型和N型交界的那个面就是所谓的P-N结，使用的设备是扩散炉。
扩散炉的炉门密封装置是用以使扩散炉内部与外部隔绝并保持一定的密封度，来满足太阳能电池生产线上的闭管扩散工艺。扩散炉包括用于密封固定炉门的波纹管，波纹管的波纹结构可用以补偿管道因温度变化等原因引起的伸张、收缩变化量，同时也可有限度的补偿管道径向位移量，以及减弱振动在管道系统的传播。
当扩散炉运行时，由于扩散炉温度太高，现有的整个波纹管都是波纹状的，该结构导致它强度不够，受高温后容易变形，导致以下两个后果：1、石英炉门倾斜，导致炉门与石英管密封不严，导致硅片返工；2、石英炉门脱落，导致石英炉门损坏，影响了设备的正常运行。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种有效减少波纹管受高温变形的扩散炉波纹管。
本实用新型的另一目的是提供一种能够有效减少波纹管受高温变形的扩散路及扩散炉炉门密封装置。
按照本实用新型提供的技术方案，一种闭管扩散炉波纹管，包括波纹段和光滑段，所述波纹段的管体呈波纹状，所述光滑段的管体具有光滑的管面。
优选地，所述波纹管为一体结构。
优选地，所述波纹管由耐腐蚀材料制成。
优选地，所述波纹管由PVC材料制成。
一种扩散炉的炉门密封装置，包括碳化硅桨、设置在所述碳化硅桨上的石英炉门、套设在所述碳化硅桨上的波纹管，所述波纹管包括波纹段和光滑段，所述波纹段的管体呈波纹状，所述光滑段的管体具有光滑的管面。
优选地，所述波纹管为一体结构。
一种扩散炉，包括上述所述的扩散炉的炉门密封装置。
优选地，所述波纹管为一体结构。
优选地，所述波纹管由耐腐蚀材料制成。
优选地，所述波纹管由PVC材料制成。
与现有技术相比，本实用新型的优点是：由于本实用新型的波纹管包括波纹段和光滑段，而非全部是波纹段，使波纹管的强度大大增强，能有效的减少波纹管受高温后变形的现象，从而减少因炉门与石英管密封不严而导致硅片返工情况的发生，减少炉门损坏数量，提高设备的利用率，降低设备的维护成本。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
如图所示：一种扩散炉波纹管，包括波纹段1和光滑段2，所述波纹段1的管体呈波纹状，所述光滑段2的管体具有光滑的管面。所述波纹管的波纹段1和光滑段2为一体结构制成。
所述波纹管由耐腐蚀材料制成，本实施例由PVC材料制成。
一种扩散炉的炉门密封装置，包括碳化硅桨、设置在所述碳化硅桨上的石英炉门、套设在所述碳化硅桨上用于炉门密封固定的波纹管。所述波纹管包括波纹段和光滑段，所述波纹段的管体呈波纹状，所述光滑段的管体具有光滑的管面，且为一体式结构。
一种扩散炉，包括上述的扩散炉的炉门密封装置。
由于本实用新型所述的波纹管包括波纹段1和光滑段2，与现有技术相比，有效的提高了它的强度，且不影响它的正常使用，受高温后不容易变形，从而减少因炉门与石英管密封不严而导致硅片返工情况的发生，减少炉门损坏数量，提高设备的利用率，降低设备的维护成本。
以上实施例仅为本实用新型的示例性实施例，不用于限制本实用新型，本实用新型的保护范围由权利要求书限定。本领域技术人员可以在本实用新型的实质和保护范围内，对本实用新型做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本实用新型的保护范围内。
Claims (10)
1.一种扩散炉波纹管，其特征是：包括波纹段和光滑段，所述波纹段的管体呈波纹状，所述光滑段的管体具有光滑的管面。
2.如权利要求1所述的扩散炉波纹管，其特征是：所述波纹管为一体结构。
3.如权利要求1所述的扩散炉波纹管，其特征是：所述波纹管由耐腐蚀材料制成。
4.如权利要求3所述的扩散炉波纹管，其特征是：所述波纹管由PVC材料制成。
5.一种扩散炉的炉门密封装置，包括碳化硅桨、设置在所述碳化硅桨上的石英炉门、套设在所述碳化硅桨上的波纹管，其特征在于：所述波纹管包括波纹段和光滑段，所述波纹段的管体呈波纹状，所述光滑段的管体具有光滑的管面。
6.如权利要求5所述的扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：所述波纹管为一体结构。
7.一种扩散炉，其特征在于：包括如权利要求5所述的扩散炉的炉门密封装置。
8.如权利要求7所述的扩散炉，其特征在于：所述波纹管为一体结构。
9.如权利要求7所述的扩散炉，其特征在于：所述波纹管由耐腐蚀材料制成。
10.如权利要求9所述的扩散炉，其特征在于：所述波纹管由PVC材料制成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN2009202558604U CN201576694U (zh) | 2009-11-24 | 2009-11-24 | 扩散炉波纹管、炉门密封装置及扩散炉 |
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| CN2009202558604U CN201576694U (zh) | 2009-11-24 | 2009-11-24 | 扩散炉波纹管、炉门密封装置及扩散炉 |
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ID=42696568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102261833A (zh) * | 2011-06-24 | 2011-11-30 | 苏州凯西石英电子有限公司 | 一种用于太阳能电池片生产中扩散炉的炉门 |
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2009
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN102261833A (zh) * | 2011-06-24 | 2011-11-30 | 苏州凯西石英电子有限公司 | 一种用于太阳能电池片生产中扩散炉的炉门 |
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