CN219347389U - 一种扩散炉炉口用密封法兰 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及炉口密封技术领域，具体提供了一种扩散炉炉口用密封法兰，所述密封法兰包括法兰板和第一法兰环、第二法兰环，第一法兰环连接第二法兰环，所述第一法兰环与第二法兰环之间设置有第一密封环，所述第二法兰环与法兰板之间设置有第二密封环；所述第一法兰环与第一密封环之间设置有第一固定件，所述第一密封环与第二密封环之间设置有第二固定件，所述第二密封环与法兰板之间设置有第三固定件；密封法兰可被拆解分成多段，降低更换维护成本；第一密封环和第二密封环的设计，能够增加密封法兰局部结构之间连接的密封性；第一固定件、第二固定件、第三固定件的设计，能够增加密封法兰局部结构之间连接的可靠性。

Description

一种扩散炉炉口用密封法兰

技术领域

本实用新型涉及炉口密封技术领域，具体涉及一种扩散炉炉口用密封法兰。

背景技术

扩散炉广泛应用于电力电子器件、半导体器件和晶体硅太阳能电池制造，通过在硅片表面掺杂磷或硼制备PN结。PN结制备是器件和太阳能制造的核心工艺，其优劣直接决定着产品质量的好坏。

随着器件制造业的发展，尤其是晶体硅太阳能电池高转换效率方向发展，传统的常压扩散工艺已经很难满足浅结高方阻的工艺需求，掺杂均匀性无法满足先进电池工艺路线的技术需求。减压扩散通过真空系统在石英管内形成负压条件，增加分子的自由行程，提高硅片表面掺杂均匀性；掺杂原子可快速排空，利于减少表面复合、降低掺杂源耗，是低成本高效率晶体硅电池扩散工艺发展的主流趋势，是实现先进电池制造的最佳途径。减压扩散工艺过程中反应管内部要求处在高温低压环境，炉口密封性能得不到保障将造成难以形成减压扩散所需的低压环境，在压差的作用下含有杂质的空气进入反应管导致产品报废，反应管污染等严重后果。反应管内部温度较高，热量通过辐射和传导方式作用于密封关键部件O形橡胶密封圈，能够加速其老化速度，最终造成密封失效，大幅度缩短设备维护周期，降低生产效率，增大设备运行成本。同时，大量热量在炉口通过传导和辐射等方式的散失，可能引起温度场在炉口的扰动，影响反应管恒温区的长度和精度，导致成品率降低，能耗的增大；所述需要在扩散炉炉口出设置密封法兰实现炉体密封。

现有技术中的密封法兰多为整体结构，当密封法兰局部损坏时需要整体更换，增大更换维护成本。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种扩散炉炉口用密封法兰，用于解决现有技术中密封法兰多为整体结构，当密封法兰局部损坏时需要整体更换，增大更换维护成本的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种扩散炉炉口用密封法兰，所述密封法兰包括法兰板和第一法兰环、第二法兰环，第一法兰环连接第二法兰环，第二法兰环连接法兰板；所述密封法兰通过第一法兰环连接在扩散炉炉口上；

所述第一法兰环与第二法兰环之间设置有第一密封环，所述第二法兰环与法兰板之间设置有第二密封环；

所述第一法兰环与第一密封环之间设置有第一固定件，用于固定第一法兰环与第一密封环之间的连接；

所述第一密封环与第二密封环之间设置有第二固定件，用于固定第一密封环与第二密封环之间的连接；

所述第二密封环与法兰板之间设置有第三固定件，用于固定第二密封环与法兰板之间的连接。

于本实用新型的一实施例中，所述第三固定件为L型，L型第三固定件的两端分别连接在第二密封环和法兰板上。

于本实用新型的一实施例中，所述第三固定件的两端分别通过紧固件对应连接在第二法兰环和法兰板上。

于本实用新型的一实施例中，所述第三固定件设置有多个，多个第三固定件等距环设在第二密封环与法兰板的连接处。

于本实用新型的一实施例中，所述第一密封环至少设置有两个，多个第一密封环通过相邻并列在第一法兰环与第二法兰环之间。

于本实用新型的一实施例中，所述第一法兰环和第二法兰环均设置有双层环板，双层环板之间连接有径向环设的连接筋。

如上所述，本实用新型提供的扩散炉炉口用密封法兰，具有以下有益效果：

1、通过设置法兰板、第一法兰环、第二法兰环，密封法兰可被拆解分成多段，当密封法兰局部损坏时可针对性更换，降低更换维护成本；

2、通过设置第一密封环、第二密封环，第一密封环用于密封第一法兰环与第二法兰环之间的连接，第二密封环用于密封第二法兰环与法兰板之间的连接，增加密封法兰局部结构之间连接的密封性，从而增强密封法兰整体密封效果；

3、通过设置第一固定件、第二固定件、第三固定件，第一固定件用于固定第一法兰环与第一密封环之间的连接，第二固定件用于固定第一密封环与第二密封环之间的连接，第三固定件用于固定第二密封环与法兰板之间的连接，增加密封法兰局部结构之间连接的可靠性，从而增强密封法兰整体的可靠性；

4、本实用新型提供的扩散炉炉口用密封法兰，由法兰板、第一法兰环、第二法兰环构成密封法兰可被拆解分成多段，降低更换维护成本；第一密封环和第二密封环的设计，能够增加密封法兰局部结构之间连接的密封性；第一固定件、第二固定件、第三固定件的设计，能够增加密封法兰局部结构之间连接的可靠性；整体设计合理，结构紧凑，实用性高。

附图说明

图1显示为本实用新型公开的扩散炉炉口用密封法兰的结构示意图。

图2显示为本实用新型公开的扩散炉炉口用密封法兰另一视角的结构示意图

图3显示为本实用新型公开的扩散炉炉口用密封法兰的爆炸示意图。

图4显示为本实用新型公开的扩散炉炉口用密封法兰的剖视示意图。

元件标号说明

法兰板1；第一法兰环2；第二法兰环3；第一密封环4；第二密封环5；第一固定件6；第二固定件7；第三固定件8；双层环板a；连接筋b。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅图1至图4。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种扩散炉炉口用密封法兰，所述密封法兰包括法兰板1和第一法兰环2、第二法兰环3，第一法兰环2连接第二法兰环3，第二法兰环3连接法兰板1；所述密封法兰通过第一法兰环2连接在扩散炉炉口上；通过设置法兰板1、第一法兰环2、第二法兰环3，密封法兰可被拆解分成多段，当密封法兰局部损坏时可针对性更换，降低更换维护成本。

所述第一法兰环2与第二法兰环3之间设置有第一密封环4，所述第二法兰环3与法兰板1之间设置有第二密封环5；通过设置第一密封环4、第二密封环5，第一密封环4用于密封第一法兰环2与第二法兰环3之间的连接，第二密封环5用于密封第二法兰环3与法兰板1之间的连接，增加密封法兰局部结构之间连接的密封性，从而增强密封法兰整体密封效果。

所述第一法兰环2与第一密封环4之间设置有第一固定件6，用于固定第一法兰环2与第一密封环4之间的连接；所述第一密封环4与第二密封环5之间设置有第二固定件7，用于固定第一密封环4与第二密封环5之间的连接；所述第二密封环5与法兰板1之间设置有第三固定件8，用于固定第二密封环5与法兰板1之间的连接；第一固定件6、第二固定件7、第三固定件8的设计，能够增加密封法兰局部结构之间连接的可靠性，从而增强密封法兰整体的可靠性。

所述第三固定件8为L型，L型第三固定件8的两端分别连接在第二密封环5和法兰板1上；所述第三固定件8的两端分别通过紧固件对应连接在第二法兰环3和法兰板1上；由于第二密封环5是环状结构，法兰板1是板状结构，L型第三固定件8能够适配性的固定第二密封环5与法兰板1的连接；所述第三固定件8设置有多个，多个第三固定件8等距环设在第二密封环5与法兰板1的连接处，提高第二密封环5与法兰板1的连接效果。

所述第一密封环4至少设置有两个，多个第一密封环4通过相邻并列在第一法兰环2与第二法兰环3之间，增加第一法兰环2与第二法兰环3之间的密封效果。

所述第一法兰环2和第二法兰环3均设置有双层环板a，双层环板a之间连接有径向环设的连接筋b；双层环板a和连接筋b的设计能够提高第一法兰环2和第二法兰环3的整体强度。

综上所述，本实用新型提供的扩散炉炉口用密封法兰，由法兰板1、第一法兰环2、第二法兰环3构成密封法兰可被拆解分成多段，降低更换维护成本；第一密封环4和第二密封环5的设计，能够增加密封法兰局部结构之间连接的密封性；第一固定件6、第二固定件7、第三固定件8的设计，能够增加密封法兰局部结构之间连接的可靠性；整体设计合理，结构紧凑，实用性高。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (6)

1.一种扩散炉炉口用密封法兰，其特征在于：所述密封法兰包括法兰板和第一法兰环、第二法兰环，第一法兰环连接第二法兰环，第二法兰环连接法兰板；所述密封法兰通过第一法兰环连接在扩散炉炉口上；

所述第一法兰环与第二法兰环之间设置有第一密封环，所述第二法兰环与法兰板之间设置有第二密封环；

所述第一法兰环与第一密封环之间设置有第一固定件，用于固定第一法兰环与第一密封环之间的连接；

所述第一密封环与第二密封环之间设置有第二固定件，用于固定第一密封环与第二密封环之间的连接；

所述第二密封环与法兰板之间设置有第三固定件，用于固定第二密封环与法兰板之间的连接。

2.根据权利要求1所述的扩散炉炉口用密封法兰，其特征在于：所述第三固定件为L型，L型第三固定件的两端分别连接在第二密封环和法兰板上。

3.根据权利要求2所述的扩散炉炉口用密封法兰，其特征在于：所述第三固定件的两端分别通过紧固件对应连接在第二法兰环和法兰板上。

4.根据权利要求3所述的扩散炉炉口用密封法兰，其特征在于：所述第三固定件设置有多个，多个第三固定件等距环设在第二密封环与法兰板的连接处。

5.根据权利要求1所述的扩散炉炉口用密封法兰，其特征在于：所述第一密封环至少设置有两个，多个第一密封环相邻并列在第一法兰环与第二法兰环之间。

6.根据权利要求5所述的扩散炉炉口用密封法兰，其特征在于：所述第一法兰环和第二法兰环均设置有双层环板，双层环板之间连接有径向环设的连接筋。

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