CN110804733A - 一种便于拆装维修的mocvd加热器源及其操作方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法，包括放置板、放置槽、支撑腿、滚轮、液压缸、连接板、电动推杆、推板、防滑凸块、电动机、固定板、紧固螺栓、固定座、防滑纹、支撑块、转动槽、滚珠和MOCVD加热器源本体。该种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法结构简单、设计新颖，便于工作者进行调节MOCVD加热器源的放置位置，方便工作者进行维修，同时便于MOCVD加热器源维修过程中不发生左右滑动，利于使用，通过设置的缓冲机构的作用下，便于提高固定座对MOCVD加热器源本体的支撑效果，保障固定座稳定放置使用，便于工作者进行操作，通过设置的转动固定机构的作用下，便于工作者进行转动MOCVD加热器源的方向，方便维修。

Description

一种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法
技术领域
本发明涉及一种MOCVD加热器源，具体是一种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法，属于MOCVD加热器源应用技术领域。
背景技术
电加热器是指利用电能达到加热效果的电器；它体积小，加热功率高，使用十分广泛，采用智能控制模式，控温精度高，可与计算机联网。应用范围广，寿命长，可靠性高；加热器原理的核心的是能量转换，最广泛的就是电能转换成热能。
现有一些MOCVD加热器源在维修过程中存在很多问题，如一些MOCVD加热器源在维修时，体积过大，不便于工作者进行维修，同时维修过程中，需要工作者采用其他工具进行调节MOCVD加热器源的位置进行维修，降低维修效率，影响使用。因此，针对上述问题提出一种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法。
发明内容
本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法。
本发明通过以下技术方案来实现上述目的，一种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法，包括放置板、支撑腿、MOCVD加热器源本体、辅助支撑机构、调高机构以及转动固定机构；其中所述放置板底侧固定连接有支撑腿，且放置板顶侧表面设有固定座，且固定座顶侧表面固定连接有MOCVD加热器源本体；
所述辅助支撑机构包括支撑块、转动槽以及滚珠，且支撑块固定连接在放置板顶侧表面；所述支撑块顶侧表面开设有转动槽，且转动槽内转动连接有滚珠；所述滚珠顶端与固定座底侧表面滚动连接；
所述调节机构包括液压缸、连接板、电动推杆以及推板，且液压缸固定连接在放置板底侧；所述液压缸输出端固定连接有连接板，且连接板底侧贴合有推板；所述连接板顶侧表面固定连接有电动推杆，且电动推杆输出端与推板固定连接；
所述转动固定机构包括固定板、紧固螺栓、所述固定座以及防滑纹，且固定板固定连接在放置板顶侧表面；所述固定板顶侧表面螺纹连接有紧固螺栓；所述固定座表面设有的防滑纹贴合。
优选的，所述放置板底侧固定连接有四个支撑腿，四个所述支撑腿位于放置板底侧四个拐角位置处，且支撑腿底端转动连接有滚轮。
优选的，所述放置板顶侧表面开设有放置槽，所述放置槽内固定连接有电动机，所述电动机输出轴末端固定连接有固定座。
优选的，所述支撑块数目为若干个，且若干个支撑块在放置块表面关于电动机输出轴环形分布。
优选的，所述电动推杆数目为四个，四个所述电动推杆位于连接板表面四个拐角位置处。
优选的，所述推板底部固定连接有若干个防滑凸块，且若干个防滑凸块在推板底侧表面均匀分布。
优选的，所述固定板数目为两个，所述固定板横截面呈L型结构，两个所述固定板关于固定座对称分布。
优选的，所述防滑纹横截面呈圆环形结构，且防滑纹上方设有紧固螺栓。
优选的，所述紧固螺栓末端贯穿固定板，且紧固螺栓末端与防滑纹顶侧表面紧密贴合。
优选的，一种便于拆装维修的MOCVD加热器源的操作方法，所述操作方法步骤如下：
一、调节MOCVD加热器源位置，维修工作者通过启动液压缸，液压缸带动底端的防滑凸块与接触地面分离，移动MOCVD加热器源本体至合适位置后，再次启动液压缸，液压缸推动连接板移动，连接板推动底侧贴合的推板移动，进而推板底侧的防滑凸块与接触面贴合，保障MOCVD加热器源放置稳定；
二、MOCVD加热器源本体高度调节，启动电动推杆，电动推杆推动推板作用接触面，接触面进而反作用力的作用下，放置板升起，进而放置板顶侧连接MOCVD加热器源本体升高，进而调节至满足维修工作维修的位置；
三、转动调节，启动电动机，电动机驱动固定座转动，固定座进而带动顶侧MOCVD加热器源主体转动，转动至合适位置，然后停止转动，通过紧固螺栓末端与防滑纹顶侧表面贴合，然后保障固定座稳定放置，进而便于维修过程中稳定，便于操作。
本发明的有益效果是：
1.该种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法结构简单、设计新颖，便于工作者进行调节MOCVD加热器源的放置位置，方便工作者进行维修，同时便于MOCVD加热器源维修过程中不发生左右滑动，利于使用。
2.在使用时，通过设置的缓冲机构的作用下，便于提高固定座对MOCVD加热器源本体的支撑效果，保障固定座稳定放置使用，便于工作者进行操作。
3.在使用时，通过设置的转动固定机构的作用下，便于工作者进行转动MOCVD加热器源的方向，方便维修，同时便于转动后的固定，提高维修效率，实用性价值较高，适合推广使用。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为本发明整体结构示意图；
图2为本发明整体正面剖视结构示意图；
图3为本发明放置板表面结构示意图；
图4为本发明固定座表面结构示意图。
图中：1、放置板，101、放置槽，2、支撑腿，3、滚轮，4、液压缸，5、连接板，6、电动推杆，7、推板，8、防滑凸块，9、电动机，10、固定板，11、紧固螺栓，12、固定座，13、防滑纹，14、支撑块，1401、转动槽，15、滚珠，16、MOCVD加热器源本体。
具体实施方式
为使得本发明的发明目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而非全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
请参阅图1-4所示，一种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法，包括放置板1、支撑腿2、MOCVD加热器源本体16、辅助支撑机构、调高机构以及转动固定机构；其中所述放置板1底侧固定连接有支撑腿2，且放置板1顶侧表面设有固定座12，且固定座12顶侧表面固定连接有MOCVD加热器源本体16；
所述辅助支撑机构包括支撑块14、转动槽1401以及滚珠15，且支撑块14固定连接在放置板1顶侧表面；所述支撑块14顶侧表面开设有转动槽1401，且转动槽1401内转动连接有滚珠15；所述滚珠15顶端与固定座12底侧表面滚动连接；
所述调节机构包括液压缸4、连接板5、电动推杆6以及推板7，且液压缸4固定连接在放置板1底侧；所述液压缸4输出端固定连接有连接板5，且连接板5底侧贴合有推板7；所述连接板5顶侧表面固定连接有电动推杆6，且电动推杆6输出端与推板7固定连接；
所述转动固定机构包括固定板10、紧固螺栓11、所述固定座12以及防滑纹13，且固定板10固定连接在放置板1顶侧表面；所述固定板10顶侧表面螺纹连接有紧固螺栓11；所述固定座12表面设有的防滑纹13贴合。
所述放置板1底侧固定连接有四个支撑腿2，四个所述支撑腿2位于放置板1底侧四个拐角位置处，且支撑腿2底端转动连接有滚轮3。
所述放置板1顶侧表面开设有放置槽101，所述放置槽101内固定连接有电动机9，所述电动机9输出轴末端固定连接有固定座12。
所述支撑块14数目为若干个，且若干个支撑块14在放置块表面关于电动机9输出轴环形分布。
所述电动推杆6数目为四个，四个所述电动推杆6位于连接板5表面四个拐角位置处。
所述推板7底部固定连接有若干个防滑凸块8，且若干个防滑凸块8在推板7底侧表面均匀分布。
所述固定板10数目为两个，所述固定板10横截面呈L型结构，两个所述固定板10关于固定座12对称分布。
所述防滑纹13横截面呈圆环形结构，且防滑纹13上方设有紧固螺栓11。
所述紧固螺栓11末端贯穿固定板10，且紧固螺栓11末端与防滑纹13顶侧表面紧密贴合。
一种便于拆装维修的MOCVD加热器源的操作方法，所述操作方法步骤如下：
一、调节MOCVD加热器源位置，维修工作者通过启动液压缸4，液压缸4带动底端的防滑凸块8与接触地面分离，移动MOCVD加热器源本体16至合适位置后，再次启动液压缸4，液压缸4推动连接板5移动，连接板5推动底侧贴合的推板7移动，进而推板7底侧的防滑凸块8与接触面贴合，保障MOCVD加热器源放置稳定；
二、MOCVD加热器源本体16高度调节，启动电动推杆6，电动推杆6推动推板7作用接触面，接触面进而反作用力的作用下，放置板1升起，进而放置板1顶侧连接MOCVD加热器源本体16升高，进而调节至满足维修工作维修的位置；
三、转动调节，启动电动机9，电动机9驱动固定座12转动，固定座12进而带动顶侧MOCVD加热器源主体16转动，转动至合适位置，然后停止转动，通过紧固螺栓11末端与防滑纹13顶侧表面贴合，然后保障固定座12稳定放置，进而便于维修过程中稳定，便于操作。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的得同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
以上所述，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种便于拆装维修的MOCVD加热器源，其特征在于：包括放置板(1)、支撑腿(2)、MOCVD加热器源本体(16)、辅助支撑机构、调高机构以及转动固定机构；其中所述放置板(1)底侧固定连接有支撑腿(2)，且放置板(1)顶侧表面设有固定座(12)，且固定座(12)顶侧表面固定连接有MOCVD加热器源本体(16)；
所述辅助支撑机构包括支撑块(14)、转动槽(1401)以及滚珠(15)，且支撑块(14)固定连接在放置板(1)顶侧表面；所述支撑块(14)顶侧表面开设有转动槽(1401)，且转动槽(1401)内转动连接有滚珠(15)；所述滚珠(15)顶端与固定座(12)底侧表面滚动连接；
所述调节机构包括液压缸(4)、连接板(5)、电动推杆(6)以及推板(7)，且液压缸(4)固定连接在放置板(1)底侧；所述液压缸(4)输出端固定连接有连接板(5)，且连接板(5)底侧贴合有推板(7)；所述连接板(5)顶侧表面固定连接有电动推杆(6)，且电动推杆(6)输出端与推板(7)固定连接；
所述转动固定机构包括固定板(10)、紧固螺栓(11)、所述固定座(12)以及防滑纹(13)，且固定板(10)固定连接在放置板(1)顶侧表面；所述固定板(10)顶侧表面螺纹连接有紧固螺栓(11)；所述固定座(12)表面设有的防滑纹(13)贴合。
2.根据权利要求1所述的一种便于拆装维修的MOCVD加热器源，其特征在于：所述放置板(1)底侧固定连接有四个支撑腿(2)，四个所述支撑腿(2)位于放置板(1)底侧四个拐角位置处，且支撑腿(2)底端转动连接有滚轮(3)。
3.根据权利要求1所述的一种便于拆装维修的MOCVD加热器源，其特征在于：所述放置板(1)顶侧表面开设有放置槽(101)，所述放置槽(101)内固定连接有电动机(9)，所述电动机(9)输出轴末端固定连接有固定座(12)。
4.根据权利要求1所述的一种便于拆装维修的MOCVD加热器源，其特征在于：所述支撑块(14)数目为若干个，且若干个支撑块(14)在放置块表面关于电动机(9)输出轴环形分布。
5.根据权利要求1所述的一种便于拆装维修的MOCVD加热器源，其特征在于：所述电动推杆(6)数目为四个，四个所述电动推杆(6)位于连接板(5)表面四个拐角位置处。
6.根据权利要求1所述的一种便于拆装维修的MOCVD加热器源，其特征在于：所述推板(7)底部固定连接有若干个防滑凸块(8)，且若干个防滑凸块(8)在推板(7)底侧表面均匀分布。
7.根据权利要求1所述的一种便于拆装维修的MOCVD加热器源，其特征在于：所述固定板(10)数目为两个，所述固定板(10)横截面呈L型结构，两个所述固定板(10)关于固定座(12)对称分布。
8.根据权利要求1所述的一种便于拆装维修的MOCVD加热器源，其特征在于：所述防滑纹(13)横截面呈圆环形结构，且防滑纹(13)上方设有紧固螺栓(11)。
9.根据权利要求1所述的一种便于拆装维修的MOCVD加热器源，其特征在于：所述紧固螺栓(11)末端贯穿固定板(10)，且紧固螺栓(11)末端与防滑纹(13)顶侧表面紧密贴合。
10.根据权利要求1-9任意一项所述的一种便于拆装维修的MOCVD加热器源得出一种便于拆装维修的MOCVD加热器源的操作方法，其特征在于：所述操作方法包括如下步骤：
一、调节MOCVD加热器源位置，维修工作者通过启动液压缸(4)，液压缸(4)带动底端的防滑凸块(8)与接触地面分离，移动MOCVD加热器源本体(16)至合适位置后，再次启动液压缸(4)，液压缸(4)推动连接板(5)移动，连接板(5)推动底侧贴合的推板(7)移动，进而推板(7)底侧的防滑凸块(8)与接触面贴合，保障MOCVD加热器源放置稳定；
二、MOCVD加热器源本体(16)高度调节，启动电动推杆(6)，电动推杆(6)推动推板(7)作用接触面，接触面进而反作用力的作用下，放置板(1)升起，进而放置板(1)顶侧连接MOCVD加热器源本体(16)升高，进而调节至满足维修工作维修的位置；
三、转动调节，启动电动机(9)，电动机(9)驱动固定座(12)转动，固定座(12)进而带动顶侧MOCVD加热器源主体(16)转动，转动至合适位置，然后停止转动，通过紧固螺栓(11)末端与防滑纹(13)顶侧表面贴合，然后保障固定座(12)稳定放置，进而便于维修过程中稳定，便于操作。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111893574A (zh) * 2020-07-21 2020-11-06 江苏利泷半导体科技有限公司 氧化镓单晶生长炉
CN115190659A (zh) * 2022-07-15 2022-10-14 江苏实为半导体科技有限公司 一种叠装节能式大功率加热器

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09330960A (ja) * 1996-06-08 1997-12-22 Tokyo Electron Ltd 検査装置
CN103151881A (zh) * 2013-03-11 2013-06-12 中国能源建设集团江苏省电力建设第三工程公司 一种可拆卸调整底座及其对定子的调整方法
CN108408600A (zh) * 2018-04-19 2018-08-17 无锡集安自动化科技有限公司 一种机械设备检修台
CN207801435U (zh) * 2018-01-10 2018-08-31 宁夏中科天际防雷检测有限公司 一种方便拆装维护的变电站防雷装置
CN108748020A (zh) * 2018-08-09 2018-11-06 天津华西建设工程有限公司 一种机电设备维修用具有稳定性能好的辅助固定装置
CN209170161U (zh) * 2018-12-18 2019-07-26 深圳市鑫台创电机有限公司 一种异步电机生产出厂用检修装置
CN209427902U (zh) * 2018-12-29 2019-09-24 佛山市润辉机电安装有限公司 一种电梯维修专用工具

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09330960A (ja) * 1996-06-08 1997-12-22 Tokyo Electron Ltd 検査装置
CN103151881A (zh) * 2013-03-11 2013-06-12 中国能源建设集团江苏省电力建设第三工程公司 一种可拆卸调整底座及其对定子的调整方法
CN207801435U (zh) * 2018-01-10 2018-08-31 宁夏中科天际防雷检测有限公司 一种方便拆装维护的变电站防雷装置
CN108408600A (zh) * 2018-04-19 2018-08-17 无锡集安自动化科技有限公司 一种机械设备检修台
CN108748020A (zh) * 2018-08-09 2018-11-06 天津华西建设工程有限公司 一种机电设备维修用具有稳定性能好的辅助固定装置
CN209170161U (zh) * 2018-12-18 2019-07-26 深圳市鑫台创电机有限公司 一种异步电机生产出厂用检修装置
CN209427902U (zh) * 2018-12-29 2019-09-24 佛山市润辉机电安装有限公司 一种电梯维修专用工具

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111893574A (zh) * 2020-07-21 2020-11-06 江苏利泷半导体科技有限公司 氧化镓单晶生长炉
CN115190659A (zh) * 2022-07-15 2022-10-14 江苏实为半导体科技有限公司 一种叠装节能式大功率加热器
CN115190659B (zh) * 2022-07-15 2023-08-29 江苏实为半导体科技有限公司 一种叠装节能式大功率加热器

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