CN110799892B - 用于辅助调整射束扩展器的方法、调整辅助设备以及射束扩展器 - Google Patents

Abstract

一种用于辅助调整射束扩展器(100)的方法，该射束扩展器具有：带有光入射开口(104)和光出射开口(108)的接纳管(102)和至少一个光学元件(200，202，204)，该光学元件设在该光入射开口与出射开口之间的射束路径中以改变经由该光入射开口(104)输入的射束(106)的直径。在该方法中，通过测量与该接纳管(102)耦合的参考面(114)确定该射束(106)沿该射束扩展器(100)光轴(110)的额定位置，通过测量该射束(106)相对该接纳管(102)横截面的能量分布确定该射束(106)沿该光轴(110)的实际位置。通过对比该实际位置与该额定位置，获取在该实际位置与该额定位置之间的偏差值。最后在使用该偏差值时，输出辅助信息(124)，以便进行调整时辅助使用者。

Description

用于辅助调整射束扩展器的方法、调整辅助设备以及射束扩 展器

技术领域

本发明涉及一种用于辅助调整射束扩展器的方法、一种调整辅助设备以及一种射束扩展器。

背景技术

射束扩展器，也被称为扩束器(Beam Expander)，增大或减小激光束的直径。由此，射束扩展器使得光学系统的各种元件可以彼此适配。因此例如在激光器的输出端处的激光束直径可以适配在物镜的输入端所需的直径。此类射束扩展器主要用在激光材料加工中。

透镜系统的最优化的光轴是功能良好的光学系统的基础。在构建射束扩展器时，射束扩展器应受到正确地调整，即在理想情况下位于光轴上。另外，使用者还想要了解，在从射束扩展器出射之后的射束质量是否仍然正常。

发明内容

本发明提供一种用于辅助调整射束扩展器的改进的方法、一种对应的调整辅助设备以及一种改进的射束扩展器。由下面的实施方式和以下说明中得出有利的构型。

透镜系统在射束扩展器中的位置例如可以由于公差而与理想位置有偏差。依据透镜系统的位置不同，因而可以存在不同的输出端射束方向和位置。本文介绍的方案现在可以实现，精确地测量、记录、控制射束扩展器的位置或定位并且与额定位置进行对比。此外，限定了由至少一个传感器监测的机械或光学参考面。在与额定位置有偏差时，可以使用适当的措施进行修正。由此可以确保快速、正确的调整。尤其还可以由未受训的使用者有目的地进行调整。同样由此可以得出关于射束质量的可靠结论。因此可以特别快速地启用射束扩展器。

例如通过温度传感器、散射光传感器或红外摄影机获取射束位置和质量。依据获取的结果不同，例如可以给予使用者关于调整系统中的射束扩展器的简单但有帮助的反馈。

本发明提出了一种用于辅助调整射束扩展器的方法，其中该射束扩展器具有：带有光入射开口和光出射开口的接纳管，以及至少一个光学元件，该光学元件布置在该光入射开口与该光出射开口之间的射束路径中以便改变经由该光入射开口输入的射束的直径，其中该方法包括以下步骤：

通过测量与该接纳管耦合的参考面来确定该射束沿着该射束扩展器的光轴的额定位置，并且通过测量该射束相对于该接纳管的横截面的能量分布来确定该射束沿着该光轴的实际位置；

通过对比该实际位置与该额定位置来获取代表该实际位置与该额定位置之间的偏差的偏差值；以及

输出辅助信息，该辅助信息用于在使用该偏差值的情况下在进行调整时辅助使用者。

射束扩展器可以理解为用于增大或减小光线或光束、尤其如激光光线或激光光束的射束直径的光学系统。光学元件例如可以理解为透镜或反射镜。光学元件例如可以布置为在接纳管的纵向方向上在接纳管中可偏移。参考面例如可以理解为与接纳管在机械上耦合的板状或盘状元件或者适当的光学元件。例如可以通过参考面的法线来预先确定光轴的取向。能量分布例如可以理解为温度分布或亮度分布。能量分布尤其可以相对于射束扩展器的孔径来确定。辅助信息可以理解为关于射束扩展器的取向的操作提示。辅助信息例如可以代表关于射束扩展器的位置修正的方向或长度数值或者是-否的信息或类似内容。

根据一个实施方式，在该确定步骤中，可以通过测量该射束相对于该横截面的温度分布和/或亮度分布来确定该实际位置。由此可以以相对小的耗费来可靠地确定实际位置。

依据实施方式不同，在该确定步骤中，可以通过测量在该光学元件的光学有效面处和/或在该接纳管处和/或在射束方向上位于光入射开口上游的位置处和/或在接纳管的纵向方向上的至少两个不同位置处的能量分布来确定该实际位置。光学有效面可以理解为光学元件的位于射束扩展器的孔径区域中的区段。由此可以提高在确定实际位置时的准确度。

根据另一个实施方式，在该确定步骤中，可以通过测量沿着该横截面在至少两个不同的测量方向上的能量分布来确定该实际位置。由此可以实现沿着横截面来至少二维地测量实际位置。

还有利的是，在该确定步骤中，通过测量在彼此正交的测量方向上的能量分布来确定该实际位置。正交的测量方向例如可以为二维坐标系的纵坐标和横坐标。由此可以以相对小的计算耗费来确定实际位置。

本文提出的方案还提出了一种用于辅助调整射束扩展器的调整辅助设备，其中该射束扩展器具有：带有光入射开口和光出射开口的接纳管，以及至少一个光学元件，该光学元件布置在该光入射开口与该光出射开口之间的射束路径中以便改变经由该光入射开口输入的射束的直径，其中该调整辅助设备具有以下特征：

与该接纳管耦合或能够耦合的参考面；

传感器装置，该传感器装置通过测量该参考面来确定该射束沿着该射束扩展器的光轴的额定位置并且通过测量该射束相对于该接纳管的横截面的能量分布来确定该射束沿着该光轴的实际位置；以及

分析装置，该分析装置用于通过对比该实际位置与该额定位置来获取代表该实际位置与该额定位置之间的偏差的偏差值并且输出辅助信息，该辅助信息用于在使用该偏差值的情况下在进行调整时辅助使用者。

传感器装置可以理解为单独的传感器或由多个传感器(例如温度传感器、光传感器或散射光传感器)形成的组件。传感器在此例如围绕接纳管的罩面或者围绕光学元件的周向线星形或十字形分布地布置。

分析装置在此可以为处理传感器信号并且取决于该传感器信号输出控制信号和/或数据信号的电气设备。分析装置可以具有接口，该接口可以硬件方式和/或软件方式形成。在硬件方式形成的情况下，这些接口例如可以是包含该设备的各种不同功能的所谓系统ASIC的一部分。然而还可行的是，该接口是自有的集成电路或者至少部分由分立的构造元件组成。在软件方式形成的情况下，这些接口可以是例如与其他软件模块一起存在于微控制器上的软件模块。

根据一个实施方式，该传感器装置可以具有至少一个温度传感器和/或至少一个光传感器和/或至少一个散射光传感器和/或至少一个红外摄影机。由此可以可靠且准确地确定额定位置和实际位置。

另一个实施方式可以由透镜表面的特殊微米或纳米结构组成。它例如可以为由极细的金属丝形成的“网”，这些金属丝由于升温而经历电阻变化。如果这些金属丝连接到分析单元，则可以准确且快速地获取其位置，因为微金属丝的热惯量是较小的。

为了确定该实际位置和/或该额定位置，该传感器装置例如可以具有在射束方向上位于该光入射开口上游的传感器板，该传感器板具有至少两个传感器，这些传感器用于测量在入射到该接纳管中时该射束的反射。由此可以通过分析反射图样、尤其反射图样的对称性来确定实际位置和/或额定位置。

另外，在此提出的方案提供了一种具有以下特征的射束扩展器：

带有光入射开口和光出射开口的接纳管；

至少一个光学元件，该光学元件布置在该光入射开口与该光出射开口之间的射束路径中以便改变经由该光入射开口输入的射束的直径；以及

根据以上实施方式之一所述的调整辅助设备。

有利的还有一种计算机程序产品或具有程序代码的计算机程序，该程序代码可以存储在机器可读载体或存储介质(如半导体存储器、硬盘存储器或光存储器)上并且尤其当该程序产品或程序在计算机或设备上实施时用于执行、实现和/或控制根据上述实施方式之一的方法的步骤。

附图说明

以下结合附图示例性地描述本发明。在附图中：

图1示出了在输出端位置中的根据本发明实施例的射束扩展器的示意图；

图2示出了根据本发明实施例的射束扩展器的示意图；

图3示出了图2中的传感器装置的示意图；

图4示出了根据本发明的一个替代实施例的传感器装置的示意图；

图5示出了用于展示通过根据本发明实施例的传感器装置测量的温度分布的图表；

图6示出了用于展示通过根据本发明实施例的传感器装置测量的温度分布的图表；

图7示出了根据本发明实施例的射束扩展器的示意图；

图8示出了图7中的传感器装置的示意图；

图9示出了根据本发明的一个替代实施例的传感器装置的示意图；

图10示出了用于展示通过根据本发明实施例的传感器装置测量的亮度分布的图表；

图11示出了根据本发明实施例的射束扩展器的示意图；

图12示出了根据本发明实施例的射束扩展器的一个区段的示意图；

图13示出了在经修正的输入下根据本发明实施例的传感器装置的传感器图像的示意图；

图14示出了在偏斜的输入下根据本发明实施例的传感器装置的传感器图像的示意图；

图15示出了根据本发明实施例的分析装置的示意图；并且

图16示出了根据本发明实施例的方法的流程图。

具体实施方式

在以下对本发明的优选实施例的描述中，相同或相似的附图标记被用于在不同的附图中展示的和类似地起作用的元件，其中省略了对这些元件的重复描述。

图1示出了在输出端位置中的根据本发明实施例的射束扩展器100的示意图。射束扩展器100包括接纳管102，该接纳管用于接纳透镜系统，如呈光学变焦镜(Zooms)或具有小视场的聚焦系统的形式。接纳管102具有用于输入射束106的光入射开口104和用于输出射束106的光出射开口108。处于简洁原因，射束106展示为单光线。然而在实际中，射束106可以包括多条(相同指向的)单光线。射束106尤其为激光。透镜系统布置并形成在光入射开口104与光出射开口108之间的射束路径中，以便改变射束106的直径。虚线标识了透镜系统的最优化的光轴110。由于公差，可能存在不同的输出射束方向和位置。在图1中示例性地标注了射束106在光出射开口108处的三个不同的输出射束方向。

射束扩展器100包括调整辅助设备112，该调整辅助设备用于在调整射束扩展器100时辅助使用者。调整辅助设备112具有参考面114，该参考面代表光轴110的取向并且与接纳管102牢固连接。参考面114例如实现为由光轴110限定的机械参照物。根据图1，光轴110垂直于参考面114延伸。参考面114在此示例性地布置在接纳管102的光入射面104处。

调整辅助设备112还包括传感器装置116，该传感器装置形成为用于通过测量参考面114来确定射束106沿着光轴110的额定位置并且输出代表额定位置的额定值118。另外，传感器装置116形成为用于通过测量射束106在接纳管102的横截面中的能量分布来确定射束106沿着光轴110的实际位置并且输出代表实际位置的实际值120。

例如，调整辅助设备112以内部的温度传感机构或散射光传感机构作为传感器装置116来实现。

调整辅助设备112的分析装置122形成为用于从传感器装置116接收这两个值118、120并且通过对比这两个值118、120来输出辅助信息124，该辅助信息用于在进行调整时辅助使用者。

根据一个替代实施例，确定额定位置和实际位置通过由分析装置122对应地进一步处理传感器装置116的传感器信号来进行。

图2示出了用于与本发明实施例一起使用的射束扩展器100的示意图。射束扩展器100基本上对应于上文中借助于图1描述的射束扩展器。示例性示出了透镜系统的呈单独透镜形式的第一光学元件200、第二光学元件202和第三光线元件204。光学元件200、202、204例如布置为在接纳管102中可偏移，以便改变射束106的直径。与图1中类似，射束106相对于光轴110偏斜地输入接纳管102中。

根据这个实施例，传感器装置116包括至少一个第一传感器206、至少一个第二传感器208以及至少一个第三传感器210，该第一传感器用于测量射束106在第一光学元件200处的能量分布，该第二传感器用于测量射束106在第二光学元件202处的能量分布，该第三传感器用于测量射束106在第三光学元件204处的能量分布。根据图2，传感器206、208、210各自形成为温度传感器，用于测量沿着接纳管102的横截面的温度分布。

传感器装置116的额外的传感器212形成为用于测量接纳管102(如在接纳管102的罩面处)的温度。接纳管102的温度例如在测量温度分布时用作参考温度。

另外示出了覆盖光出射开口108的任选的封闭玻璃214。

图3示出图2中的传感器装置116的示意图。以前视图示出了第一光学元件200。然而，以下对传感器装置116的说明还可以以类似方式适用于射束扩展器的第二或第三光线元件。

围绕光学元件200的边缘以均匀的间距分布有四个第一传感器206，以便测量四个温度值T1、T2、T3、T4用于确定温度分布且由此确定射束106的实际位置。射束106(如1/e2激光束)位于射束扩展器的有效孔径300之内。

第一传感器206布置为十字形，其中传感器206中的每两个传感器彼此成对地对置。由此可以沿着接纳管的横截面在两个不同的、彼此正交的测量方向上测量射束106的实际位置。

根据此实施例，传感器206被布置为围绕光学元件200的透镜边缘302分布。

图4示出了根据本发明的替代实施例的传感器装置116的示意图。与图3不同，传感器装置116在此具有八个而非四个第一传感器206。在此，传感器206被布置为例如围绕光学元件200环状

分布并且各自成对地彼此对置，以便能够在四个不同的测量方向测量温度分布。例如，这四个测量方向各自相互错开45°的角度。

图5示出了用于展示通过根据本发明实施例的传感器装置测量的温度分布的图表，该传感器装置为如上文借助于图3描述的传感器装置。示出了用于测定或计算射束扩展器的中心位置的二维坐标系。在此，纵坐标500对应于第一测量方向，而横坐标502对应于传感器装置的第二测量方向。点504代表在接纳管的横截面中，更确切地说是在图3中的光学元件的光学有效面中，射束的实际位置。例如，对应于射束的实际位置，点504处于坐标系的第四象限中。

图6示出了用于展示通过根据本发明实施例的传感器装置测量的温度分布的图表。示出了用于复杂计算模型的坐标系，这些计算模型用于尤其借助于在接纳管的纵向方向上分布地布置的传感器来计算射束扩展器的中心位置，这些传感器相应的传感器位置分别例如以毫米记录在横坐标502上。除了点504之外，还示出了两个另外的点600、602，这些点各自代表在接纳管的纵向方向上的不同测量位置处(例如在第二和第三光线元件处)射束的实际位置。

图5和图6示出了计算模型，这些计算模型可以用于确定传感器位置。由此获得的射束位置例如在LED或显示器上产生了例如用于修正的数值。

图7示出了根据本发明实施例的射束扩展器100的示意图。射束扩展器100基本上对应于上文中借助于图2描述的射束扩展器，区别在于，传感器206、208、210、212在此不是形成为温度传感器而是形成为光传感器或散射光传感器，以便借助于沿着接纳管102的横截面的亮度分布来确定射束106的实际位置。

光传感器或散射光传感器例如分别环形或十字形围绕光学元件200、202、204的外边缘布置，如在图8和图9中所示。

图8示出图7中的传感器装置116的示意图。示例性示出了第一光学元件200的前视图，该第一光学元件带有四个呈光传感器或散射光传感器形式的第一传感器206，这些第一传感器类似于上文借助于图3描述的实施例地布置为以十字形围绕光学元件200的边缘分布，以便测量四个亮度值P1、P2、P3、P4。

图9示出了根据本发明的替代实施例的传感器装置116的示意图。与图8不同，类似于上文借助于图4描述的实施例，传感器装置116具有每个光学元件八个呈光二极管或散射光传感器形式的传感器206，以便检测散射光或反向反射。传感器206在此布置为环形围绕这些光学元件，如在图9中以第一光学元件200为例所示。

在图3、4、8和9中展示的温度曲线例如可以通过使用透镜表面的特殊微米或纳米结构来产生。在此例如可以使用由极细的金属丝形成的“网”，这些金属丝在透镜表面上方水平和竖直地跨过并且形成为用于在升温时经历电阻变化。如果这些金属丝连接到分析单元，则可以通过分析单独金属丝的电阻来准确且快速地获得升温点的位置，因为(微)金属丝的热惯量是较小的。因此可以在水平和竖直方向上非常简单地获得受热点的中心。因此，以此方式可以非常快速且精准地获得升温的位置，从而基于这个已知的位置同样非常快速且精准地进行调整。基于此种工作方式的调整辅助设备的振荡时间(Einschwingzeit)因此同样非常短。

图10示出了用于展示通过根据本发明实施例的传感器装置测量的亮度分布的图表，该传感器装置为如上文借助于图8描述的传感器装置。类似于上文借助于图5描述的温度分布，在具有轴500、502的二维坐标系中展示了亮度分布。为了计算射束扩展器的中心位置，在此需要非线性缩放。

图11示出了根据本发明实施例的射束扩展器100的示意图。根据此实施例，传感器装置116包括由至少四个光传感器1101形成的额外的传感器环1100。传感器环1100在射束方向上位于光入射开口104(更确切地说第一光学元件200的光入射面)上游，以便测量在入射到接纳管102中时射束106的反射，从而确定实际位置或额定位置。光传感器1101例如与射束扩展器100的使用波长相匹配。

图12示出了根据本发明实施例的射束扩展器100的一个区段的示意图。示出了来自图11的传感器环1100，该传感器环在此实现为传感器板，该传感器板用于使射束106在由适当的板几何形状确定的角度范围内穿过。

在此所示的布置是基于：在定中心后的状态下，残留反射(Restreflexe)也必须产生对称的图样。为此在能够检测到此类残留反射的位置处布置有适当的光传感器环。通过任选地使用过滤器，确保了不测量所有其他的波长并且不产生干扰信号。

图13示出了在射束向射束扩展器中的经修正的输入下根据本发明实施例的传感器装置的传感器图像1300的示意图。在传感器图像1300中展示了通过传感器装置测量的沿着射束扩展器的光轴的光照强度分布。

与图13不同，图14示出了在偏斜的输入下传感器装置的传感器图像1400的示意图。

图15示出了根据本发明实施例的分析装置122的示意图。分析装置122包括获取单元1500，用于在使用额定值118和实际值120的情况下通过对比额定位置与实际位置来获取偏差值1502。对应地，偏差值1502代表额定位置与实际位置之间的偏差。输出单元1504形成为用于在使用偏差值1502的情况下输出辅助信息124。辅助信息124例如代表可在LED或显示器上显示的提示。例如当由传感器装置测量的温度特征曲线或亮度特征曲线代表射束扩展器的正确取向时，LED发绿光，或者当温度特征曲线或亮度特征曲线代表射束扩展器的不正确取向时，LED发红光。具有中间阶段的LED灯或者在显示器上显示相对于参照物的方向建议也是可行的。

图16示出了根据本发明实施例的方法1600的流程图。用于辅助调整射束扩展器的方法1600例如可以在使用上文描述的调整辅助设备的情况下来实施。在此，在步骤1610中通过测量参考面来确定射束的额定位置。同样在步骤1610中通过测量射束在接纳管中的能量分布来确定射束的实际位置。在另一个步骤1620中，通过对比实际位置与额定位置来确定代表在实际位置与额定位置之间的偏差的偏差值。最后在步骤1630中在使用偏差值的情况下输出辅助信息，以便在调整射束扩展器时辅助使用者。

下面用不同的措辞再次总结本文提出的方案的各种实施例。通过借助于参考面114沿着光轴110确定额定位置以及通过由至少一个传感器测量和修正对具有射束扩展器100的光学系统进行调整。

根据一个实施例，为此使用传感器系统，该传感器系统具有温度传感器和/或光传感器和/或散射光传感器。在此，这些传感器尤其彼此耦合并且联网，以便能够对非常小的偏差做出反应并且进行修正调整。用于修正的数据测量是相对于参考面114进行的。

根据另一个实施例，射束扩展器100具有至少一个带有传感器的调整板，在上文也称为传感器环1100。任选地，在使用IR摄影机、IR/VIS摄影机或散射光传感器的情况下通过IR摄影机成像进行测量。

为了确定传感器位置，例如使用计算模型，这些计算模型产生由此获得的射束位置并且最终提供用于修正的数值。

光学系统的光学器件和传感器尤其根据参考面114来定位。参考面114例如为机械或光学参照物，通过该参照物可以实现非常准确的调整。

光传感器例如指向光学有效面或者布置在光学有效面处，如布置在单独的光学器件、透镜或板处。温度传感器与光传感器的组合也是可行的。

所描述的并且在附图中所示的实施例仅仅是示例性选择的。不同的实施例可以完全或者在单独特征方面彼此组合。还可以通过另外的实施例的特征来补充一个实施例。

此外，可以重复以及以与所描述的不同的顺序来实施本发明的方法步骤。

如果一个实施例在第一特征与第二特征之间包括“和/或”的连词，则应理解为，该实施例根据一个实施方式具有第一特征和第二特征并且根据一个另外的实施方式仅具有第一特征或仅具有第二特征。

Claims (9)

1.一种用于辅助调整射束扩展器（100）的方法（1600），其中该射束扩展器（100）具有：带有光入射开口（104）和光出射开口（108）的接纳管（102），以及至少一个光学元件（200，202，204），该光学元件布置在该光入射开口（104）与该光出射开口（108）之间的射束路径中以便改变经由该光入射开口（104）输入的射束（106）的直径，其中该方法（1600）包括以下步骤：

通过测量与该接纳管（102）耦合的参考面（114）来确定（1610）该射束（106）沿着该射束扩展器（100）的光轴（110）的额定位置，并且通过测量该射束（106）相对于该接纳管（102）的横截面（300，302）的能量分布来确定该射束（106）沿着该光轴（110）的实际位置；

通过对比该实际位置与该额定位置来获取（1620）代表该实际位置与该额定位置之间的偏差的偏差值（1502）；以及

输出（1630）辅助信息（124），该辅助信息用于在使用该偏差值（1502）的情况下在进行调整时辅助使用者。

2.根据权利要求1所述的方法（1600），其中在该确定（1610）步骤中，通过测量该射束（106）相对于该横截面（300，302）的温度分布和/或亮度分布来确定该实际位置。

3.根据以上权利要求之一所述的方法（1600），其中在该确定（1610）步骤中，通过测量在该光学元件（200，202，204）的光学有效面处和/或在该接纳管（102）处和/或在射束方向上位于光入射开口（104）上游的位置处和/或在接纳管（102）的纵向方向上的至少两个不同位置处的能量分布来确定该实际位置。

4.根据权利要求1所述的方法（1600），其中在该确定（1610）步骤中，通过测量沿着该横截面（300，302）在至少两个不同的测量方向上的能量分布来确定该实际位置。

5.根据权利要求4所述的方法（1600），其中在该确定（1610）步骤中，通过测量在彼此正交的测量方向上的能量分布来确定该实际位置。

6.一种用于辅助调整射束扩展器（100）的调整辅助设备（112），其中该射束扩展器（100）具有：带有光入射开口（104）和光出射开口（108）的接纳管（102），以及至少一个光学元件（200，202，204），该光学元件布置在该光入射开口（104）与该光出射开口（108）之间的射束路径中以便改变经由该光入射开口（104）输入的射束（106）的直径，其中该调整辅助设备（112）具有以下特征：

与该接纳管（102）耦合或能够耦合的参考面（114）；

传感器装置（116），该传感器装置通过测量该参考面（114）来确定该射束（106）沿着该射束扩展器（100）的光轴（110）的额定位置并且通过测量该射束（106）相对于该接纳管（102）的横截面（300，302）的能量分布来确定该射束（106）沿着该光轴（110）的实际位置；以及

分析装置（122），该分析装置用于通过对比该实际位置与该额定位置来获取代表该实际位置与该额定位置之间的偏差的偏差值（1502）并且输出辅助信息（124），该辅助信息用于在使用该偏差值（1502）的情况下在进行调整时辅助使用者。

7.根据权利要求6所述的调整辅助设备（112），其中该传感器装置（116）具有至少一个温度传感器和/或至少一个光传感器。

8.根据权利要求6或7所述的调整辅助设备（112），其中为了确定该实际位置和/或该额定位置，该传感器装置（116）具有在射束方向上位于该光入射开口（104）上游的传感器板（1100），该传感器板具有至少两个传感器（1101），这些传感器用于测量在入射到该接纳管（102）中时该射束（106）的反射。

9.一种射束扩展器（100），具有以下特征：

带有光入射开口（104）和光出射开口（108）的接纳管（102）；

至少一个光学元件（200，202，204），该光学元件布置在该光入射开口（104）与该光出射开口（108）之间的射束路径中以便改变经由该光入射开口（104）输入的射束（106）的直径；以及

根据权利要求6至8之一所述的调整辅助设备（112）。

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