CN110740831B - 用于将钎焊球施加到基材上的组件和方法 - Google Patents

Abstract

一种用于将钎焊料从钎焊球施加到基材上的组件，包含：带有大量钎焊球的蓄存器；用于输出单个的钎焊球的输出开口；设置在蓄存器与输出开口之间的供应通道，用于将钎焊球从所述蓄存器供应至所述输出开口；其特征在于，所述供应通道具有带有如下直径的开口横截面，所述直径大于所使用的钎焊球中的一个钎焊球的直径并且小于所使用的钎焊球中的两个钎焊球的直径；抽吸通道，所述抽吸通道通入所述供应通道中，并且所述抽吸通道在抽吸通道与供应通道之间的过渡区域中具有如下横截面，所述横截面小于所使用的钎焊球中的一个钎焊球的横截面；用于在所述供应通道与所述抽吸通道之间产生压力差的装置，从而所述抽吸通道中的压力小于所述供应通道中的压力，并且处于所述供应通道中的钎焊球能在所述抽吸通道的过渡区域处被吸住；和控制机构，其用于如下地控制所述压力差，使得至少一个钎焊球在第一压力差的情况下被挡住在抽吸通道与供应通道之间的过渡区域处并且阻塞另外的钎焊球的供应，并且在第二压力差的情况下被释放。

Description

用于将钎焊球施加到基材上的组件和方法

技术领域

本发明涉及一种用于将钎焊料从钎焊球施加到基材上的组件，所述组件包含

（a）带有大量钎焊球的蓄存器；

（b）输出开口，用于输出单个的钎焊球；

（c）设置在蓄存器与输出开口之间的供应通道，用于将钎焊球从蓄存器供应至输出开口。

背景技术

这样的组件尤其是在键合（Bonding）半导体电路时使用。为了能够在小的空间上施加尽可能多的连接部位并且能够制造具有小的尺寸大小的半导体电路，钎焊球的小的尺寸大小是有利的。具有在低于100μm范围内、例如40μm的直径的钎焊球得到使用。小的球的操纵是困难的。不可能简单地将球从蓄存器中取出并且施加到基材上。这些球必须被分离并且受控制地运动。

已知的是，钎焊球从蓄存器中圆形地安放在盘上。球通过所述盘的转动来运动到连接点上。球在那儿被施加到基材上。为此，设置有封闭装置（Verschlusseinrichtung）。在球被施加之后，所述球继续转动并且该过程以所需要的频次那样地重复。

在施加球之间，分别需要转动所述盘以及准确的定位。这需要时间。所述组件由于可运动的部件而受到一定的磨损。此外，必须使用硬的材料。这样的材料是昂贵的。利用在盘上的布置，始终仅一个球能够被施加到基材上。

JP 2010-162574 A公开了一种用于施加钎焊球的组件。钎焊球移动通过L形的通道。在通道的拐弯处设置有联接部，利用所述联接部能够产生压力差。由此，能够首先吸住一个球。而后该球通过被加载过压而克服重力单个地向上被压到所述通道的在所述拐弯部之后的竖直支腿中。在这样的组件中存在如下的风险，即首先被吸住的球回到供应通道中。这样的组件的制造是复杂的。

发明内容

本发明的任务是，提供一种开头提及的类型的组件，所述组件更经济并且利用所述组件能够将球更快地施加在基材上。根据本发明，所述任务通过如下方式解决：

（d）所述供应通道具有带有如下的直径的开口横截面，所述直径大于一个所使用的钎焊球的钎焊球的直径并且小于两个所使用的钎焊球的钎焊球的直径；

（e）抽吸通道，所述抽吸通道通入所述供应通道中，并且所述抽吸通道在抽吸通道与供应通道之间的过渡区域中具有如下的横截面，其小于一个所使用的钎焊球的横截面；

（f）用于在所述供应通道与所述抽吸通道之间产生压力差的机构，从而所述抽吸通道中的压力小于供应通道中的压力，并且处于供应通道中的钎焊球能在抽吸通道的过渡区域处被吸住；和

（g）控制机构，用于如下地控制压力差，使得至少一个钎焊球在第一压力差的情况下被挡住在抽吸通道与供应通道之间的过渡区域处并且阻塞另外的钎焊球的供应，并且在第二压力差的情况下被释放。

在所述组件中，球能够通过如下的方式固定保持在供应通道中，即在抽吸通道与供应通道之间产生压力差，从而球由抽吸通道吸住。这能够或者通过抽吸通道中的负压或者通过供应通道中的过压或者通过两者来引起。抽吸通道在供应通道与抽吸通道之间的过渡区域中具有比一个球小的直径。球因此不能够到达到抽吸通道中。其被固定在过渡区域中。供应通道具有如下大的直径，使得球能够容易地运动穿过。供应通道具有小于一个球的直径的两倍的直径。随后的球不能够经过固定在过渡区域中的球。通过将压力关系（Druckverhältnisse）短时间地改变到小的压力差或改变到压力差零，所固定的球能够被释放。该球然后到达至输出开口。压力差接着又提高，从而下一个球同样被固定。

不同于已知的组件，该组件不需要可运动的部件，而是能够仅经由控制压力关系来控制。与部件、例如盘的运动相比，这能够显著更快地实现。

当两个、三个或更多抽吸通道沿钎焊球的运动方向依次通入供应通道中时，并且控制机构如下地设置，使得输出开口侧的钎焊球在至少一个钎焊球能被挡住在其他的抽吸通道中的一个抽吸通道处期间能被释放时，球的分离和控制是特别有利的。由此，避免了当固定的球被释放时一个或多个球经过过渡区域的风险。在供应通道中在上游的固定的球在释放期间挡住其余的球并且阻塞供应通道。在带有三个或更多过渡区域的三个或更多抽吸通道的情况下，球能够依次固定在相应下一个抽吸通道处。为此，压力差相应依次在抽吸通道处下降。

有利地，供应通道被加载高于环境压力的气体压力。为此，供应通道能够与具有带有提高了的压力的氮气或其他惰性气体的气体源连接。惰性气体尤其防止钎焊球氧化或与周围环境发生其他化学反应并且导致冷的钎焊部位。备选地，负压被施加在抽吸通道处。

在本发明的一种特别有利的设计方案中，抽吸通道与环境连接并且控制机构包括用于建立和中断抽吸通道与环境之间的连接的密封件或阀。每次当密封件打开时，在抽吸通道中的压力与供应通道中的压力之间产生压力差。这样的密封件或阀能够非常快速地打开和关闭。相应地，钎焊球能够快速地被施加。抽吸通道也能够通入其他的压力空间中、例如具有负压的压力空间中而不是通向环境。

优选地设置，供应通道通入在出口通道中，其中，出口通道具有出口开口，钎焊料能经由出口开口施加在基材上，并且设置有激光器，其辐射能通过出口通道导引至出口开口，并且其辐射如下地构造，使得钎焊球的钎焊料通过辐射的作用被输送到基材上。由此，球从供应通道运动到出口通道中。激光射束通过出口通道被导引至出口开口。钎焊球能够利用激光射束来熔化并且被施加到基材上。

有利地，供应通道和出口通道形成一角度。供应通道例如能够水平地或近似水平地构造。在供应通道向下朝着出口通道的方向稍微倾斜的情况下，球受到重力并且在没有另外的力的情况下滚动至出口通道。在此，在出口通道之前的区域中的倾斜可以大于在其余区域中的倾斜。出口通道例如能够竖直地或近似竖直地构造。球便基于重力而向下落至出口开口。在组件成角度（gewinkelten）的情况下，激光器和/或用于激光器的转向和/或聚焦光学装置能够容易地安装在上端部处。但是，聚焦光学装置、例如透镜也能够安装在出口通道中的其余部位处。

在用于非常小的球的组件中，要制造小的通道。因此，在一种本发明的特别有利的设计方案中，设置有由多个能够平整地（plan）堆叠的且能够固定的板构成的板组件，其中，供应通道和抽吸通道由在板组件的板中的缝口形成。板能够如下地相叠布置，使得缝口由分别相邻的板封闭。缝口能够借助于激光（Laser）以高的准确度在板中以期望的位置和大小制造。备选地，通道和开孔能够在一个块中制造、例如利用3D打印来制造。

在本发明的另一种设计方案中，板组件能够具有带有供应通道的供应通道板和贴靠其处的引导板，所述引导板在供应通道的区域中具有引导缝口用于引导钎焊球在供应通道中的运动，所述引导缝口具有比供应通道的宽度小的宽度。优选地，引导板布置在带有供应通道的板下方。球便在引导缝口上如在轨道上那样地移动。由此确保，球在供应通道中在中间运动并且不会累积和阻塞。

优选地，板组件具有与供应通道板相邻的第一抽吸通道板，其在供应通道的背离蓄存器的端部区域中具有沿钎焊球的运动方向依次布置的开孔，所述开孔形成抽吸通道与供应通道之间的过渡区域；并且板组件在第一抽吸通道板的背离供应通道板的侧上具有第二抽吸通道板，其具有缝口，所述缝口将开孔与环境或引导通向环境的通道连接。第一抽吸通道板中的开孔在板组合在一起的状态下处于用于供应通道的缝口上方在其端部之前不远处。所述开孔分别通入在布置在其之上的第二抽吸通道板中的缝口中的不同的缝口中。第二抽吸通道板中的缝口能够但不是必须相互连接。所述缝口通入通向环境的开口中。但是也可行的是，缝口引导通向表面并且与负压空间连接。

本发明的另一种设计方案设置成，蓄存器、输出开口、供应通道和抽吸通道组合在一个模块中，并且设置有至少一个另外的相同类型的模块，其与所述模块形成模块组合件，其中，所述模块的输出开口能并排地定位在基材上方。不同于带有盘的组件，当前的组件形成紧凑的块，所述块在其平整侧（Planseite）能与其他的这样的块连接。以这种方式能够将多个球同时施加在基材上。由此，能够显著减少用于装配基材的时间。

多个可单个地取向的模块能够组合成可作为整体取向的模块组合件。

附图说明

本发明的设计方案由以下实施例得出。下面参照附上的附图更详细地阐释实施例。

其中：

图1示出用于将钎焊球施加到基材上的组件的竖直剖面的示意性的图示。

图2a-d示出针对板组件的板的设计方案，其被用在根据图1的组件中。

图3示出在图2的板组件的图2d的板中的引导缝口的工作原理。

图4示出根据图1的用于施加钎焊球的组件中的出口通道的示意性的图示。

图5示出图1中的剖切平面A-A中的竖直剖面，其中，球被吸住。

图6示出在图1中的剖切平面A-A中的竖直剖面，其中，球被释放。

图7示出带有多个模块的用于在相同的时间间隔中施加多个钎焊球的组件。

图8示出被施加在基材上的钎焊球的示意性的图示，所述钎焊球利用由大量模块构成的模块化的组件施加。

图9示出被施加在基材上的钎焊球的示意性的图示，所述钎焊球利用来自图8的围绕水平轴线倾翻的模块化的组件来施加。

图10示出被施加在基材上的钎焊球的示意性的图示，所述钎焊球利用来自图8的围绕竖直轴线倾翻的模块化的组件来施加。

图11示出当模块化的组件围绕竖直轴线倾翻时钎焊球之间的间距如何变化。

图12示出钎焊球的间距通过倾翻模块化的组件中的模块能够如何来相对彼此改变。

图13示出模块为了调整成期望的位置而倾翻的程度（Ausmass）。

具体实施方式

图1是焊接头部（Bond-Kopfes）的示意性的图示，其共同地以10来标明。焊接头部10在此为了其更好的一目了然起见而示出为没有所需要的控制装置和保持装置。这样的焊接头部布置在基材（未示出）之上。来自蓄存器14的钎焊球12以下文描述的方式分离并且被施加到所述基材上。对于这样的基材的一个示例是晶片。

焊接头部10具有块16。在当前实施例中，块16由铝制成。理解的是，每种其他材料也能够是适用的。不需要使用昂贵的、硬的材料。块16基本上是方形的，但是也能够采用其他的外部形状，如果这是有意义的话。

在块16中设置有大的空心空间用作蓄存器14。蓄存器14利用盖子18密封地封闭。此外，块16具有宽的贯通开孔20。贯通开孔20用作出口通道30的一部分。在贯通开孔中布置有聚焦透镜22。聚焦透镜22或透镜组件用于将激光射束24聚焦在出口开口26的区域中。激光射束24用于熔化处于出口开口中的钎焊球12。

块16与由多个堆叠的板32、34和36构成的板组件连接。板32、34和36在图2b、2c和2d中分开地示出。带有板32、34和36的板组件安坐在块16与基座38之间。所有部件能够由铝或其他适合的材料制成。为了固定，块16和板组件的板沿着边缘设有开孔40，开孔能够在图2中良好地看出。在当前的实施例中设置有10个开孔40。但是也能够设置有更多或更少的开孔40。螺纹紧固件能够通过这些开孔插接，其与基座中的螺纹开孔固定地拧紧。螺纹紧固件的头部能够沉入在块16中的凹部中。

板32、34和36分别设有开孔42。每个板的开孔42与其他的板中的所属的开孔42和贯通开孔20对齐。其与基座38中的相对应的开孔44一起形成出口通道30的一部分。

此外，板32设有宽的开孔46。开孔46与形成蓄存器14的空心空间对齐，并且具有大约相同的直径。这在图1中能良好地看出。在板34中设置有缝口48。缝口48形成供应通道的如下的部分，球12从蓄存器14通过该部分被引导至出口开口26。缝口48从开孔46下方延伸直到开孔42的区域之前不远。缝口48的宽度大于来自蓄存器14的要使用的球12的宽度。这样球12能够良好地运动通过缝口48。但是，缝口48的宽度如下地小，使得没有第二球12从另一个球旁边经过。即在一个部位处始终仅一个球12能够运动通过缝口48。球12因此单个地依次移动通过缝口48。

在当前的实施例中，球12在缝口48的中间引导。此外，大致同样长的缝口50布置在处于其下方的板36中。缝口50具有比球12的直径小的宽度。这在图3中能良好地看出。球12因此不能够到达缝口50中，而是在该缝口中像在轨道上那样地受到引导。由此，球12如在图1中示意性地示出的那样依次在缝口50上在由缝口48形成的供应通道中移动。在背离蓄存器14的端部52处，缝口50圆形地扩宽。该扩宽部大于球12的直径。球12因此能够通过扩宽部52到达下面。在缝口48的端部处也能够设置有这样的扩宽部60。由此，使向下的运动变得容易。

在基座38中设置有呈倾斜的开孔的形式的连接通道54。其尤其是在图1中能良好地看出。连接通道54将扩宽部52和处于其上方的缝口48或扩宽部60与贯通开孔44连接。连接通道54比球12的直径宽，从而该球能够从供应通道48通过扩宽部60和52以及连接通道54到达出口通道30中。

图4示出沿着竖直的剖切平面穿过出口通道30的横截面，该剖切平面相对于图1中的剖切平面转动90度的角度。在那儿看出连接通道54在出口通道30中的带有球12的通入区域56。图5和图6示出横向地沿缝口48和50的纵向方向偏移的横截面。在那儿能看出连接通道54的入口区域58。在图5和6中能看出与入口区域58对齐的扩宽部52的位置。

板32靠放在带有供应通道48的板34上。板32设有三个开孔62、64和66，其直径小于所使用的球12的直径。这在图1中能看出。这些开孔在尺寸（Maßstab）方面基于其小的尺寸大小（Abmessungen）在图2b中不能良好地看出并且因此附加地放大地示出。开孔62、64和66沿纵向方向成一排偏移地处于缝口48上方。开孔62在缝口48的背离蓄存器14的侧上布置在缝口48和50的扩宽的区域60和52上方。开孔64和66沿纵向方向偏移地布置在缝口48和50上方靠近蓄存器14的区域中。

图1是示意性的图示。在那儿，开孔62、64和66通入到块16中竖直的贯通开孔68、70和72中。贯通开孔68、70和72将开孔62、64和66与环境（Atmosphäre）连接。可控制的阀或密封件（Shutter）（未示出）控制通向环境的连接。这通过箭头74、76和78来表示。

块16设有侧向的开孔80。开孔80在内部通入缝口48和50的区域中以及开孔46的区域中。具有惰性气体、例如氮气的气体源联接到开孔80处。这些气体处于提高了的压力下。以这种方式给组件的整个内部空间、包括利用盖子18封闭的蓄存器14、缝口48和50、开孔62、64、66、68、70和72以及开孔54在内加载提高了的压力。当在开孔68、70或72中的一个开孔中的通向环境的阀打开时，产生压力差。在缝口48和50中的压力高于在开孔中的压力。相应地，产生抽吸作用。在供应通道中的球在经过开孔时利用打开了的阀被吸住。

由缝口48形成的供应通道的尺寸大小如下地选择，使得一个球12不能够经过其他的球。也就是说，当一个球12基于抽吸作用而固定在开孔62、64或66处时，没有球能够经过。在供应通道中的通过完全被阻塞。图1示意性地示出球固定在每个开孔62、64和66处的情况。

通道68、70和72的制造（如其在图1中的示意性的图示中示出的那样）是困难的。开孔62、64和66具有非常小的直径并且紧密地彼此相邻。通过将另外的板82放上到板32上能够简化制造。板82同样具有开孔40、42和46，其在上面已经根据其他的板来得到了描述。此外，板82具有三个缝口84、86和88。缝口84在出口侧的端部90处通入开孔62上方的区域中。缝口86在出口侧的端部90处通入开孔64上方的区域中。缝口88在出口侧的端部90处通入开孔66上方的区域中。缝口84、86和88的出口侧的端部90是相对窄的，从而缝口不延伸直至相邻的开孔上方。但是在其余地方缝口84、86和88扩宽。基座16具有开孔，类似于开孔68、70和72，其现在能够稍微宽地实施并且或者从侧面或者从上方延伸直至缝口84、86和88的环境侧的另一个端部92。这样的缝口能够在没有大的耗费的情况下利用激光制造在板中。超声波振动器94用于组件的高频运动。利用振动器94改善球12的可运动性。其不会被卡住或阻塞。

组件如下地工作：

在盖子打开时能够在蓄存器14中将钎焊球12填入。接着蓄存器14利用盖子14又密封地封闭。球12通过开孔46向下落到缝口48中。在那儿，球向右运动。图1示出如下的组件，其中供应通道48基本上水平地伸延。在此，通过压力降引起运动。但是，为了改善球朝着出口开口的方向的运动，供应通道48也能够稍微向下朝着出口开口的方向倾斜。这能够通过楔形的板来实现或通过倾斜整个组件来实现。在此，球12通过缝口50在供应通道48中在中间地被引导，如这在图3和6中能良好地看出。

首先，所有通向环境的阀打开。在供应通道48与开孔62、64和66之间的过渡区域中，球12基于压力差被吸住。在此，球阻塞随后的球的通过，如这在图1中能良好地看出。

当在通道68处的阀关闭时，在开孔62之前的球被释放。该球基于重力落到连接通道54中。球12从连接通道54落到出口通道30中。在出口开口26中，球首先卡住。在此，出口开口26被封闭。在出口通道30中以及在连接通道54中构建提高了的压力。压力传感器（未示出）测量连接通道54中的压力。连接通道54中的压力升高是对于一个球处于出口开口26的区域中的标志。

当球12到达了出口开口26中时，开孔68中的阀打开。开孔70中的阀关闭。在此，被固定的球中的中间的球被释放。该球在下一个开孔68处被吸住且固定。接着，开孔70中的阀又打开并且开孔72中的阀关闭。之前固定在蓄存器侧的开孔66之前的球在此被释放并且在中间的开孔64之前被吸住且固定。当开孔72中的阀又打开，来自供应通道48的一个新的球被固定在开孔66之前。该球阻塞随后的球的运动。以这种方式始终仅一个单个的球被输送至出口开口26。

激光射束24利用出口通道30中的透镜22或透镜组件来聚焦。出口开口26中的球安坐在激光射束24的焦点中。如下地选择激光射束的能量，使得球12熔化并且钎焊料被施加在处于下方的基材上。理解的是，出口开口准确地定位在要使用钎焊料的部位处。组件不使用可运动的部件。施加钎焊球所能用的速度因此仅仅通过阀的关闭时间来限制。相比于对于盘或同类物的运动所需要的时间，该关闭时间显著更小。

IR传感器测量钎焊料的温度。以这种方式能够控制激光放射度（Laseraktivität）。为此，能够设置有半透镜，利用其将激光辐射（Laserstrahlung）从侧面射入到出口通道30中。该半透镜使IR辐射向上透过。激光器能够构造为IR或VIS激光器。

在当前的实施例中，选择了如下的组件，其整体基本上形成方形的模块（Modulblock）100。仅仅出口开口26设置在向下伸出的顶部中。这实现多个这样的模块（Module）100能够并排地布置，如这示意性地在图7中示出的那样。这样形成的模块组合件102能够在基材104上运动或基材104在模块组合件102之下运动。

图8示出一种图案，其在每个模块100同时将钎焊球施加在基材上时产生。理解的是，通过对每个模块的适合的时间上的控制，接触点106的位置能够沿y方向、也就是说沿基材14或模块组合件102的运动方向以期望的方式移动。

接触点沿x方向的间距在模块组合件中同样能调整。在两个接触点106和108之间的间距112例如通过所属的模块114和116的出口开口的间距来确定。出口开口处于模块114和116的前部的区域中。当现在模块114和/或116围绕竖直轴线旋转小的角度时，模块114和116形成一角度。在此，模块的间距108在所属的出口开口的区域中改变。

利用模块围绕竖直轴线的这样的单独的角度运动所实现的角度范围在紧凑的模块组合件中是受限的。因此，在模块100之间的间距较小时，必要时不能够满足（abzudecken）所有的范围（Bereich）。因此在当前的组件中设置，整个模块组合件围绕共同的轴线118可运动地布置。这通过箭头120来示出。出口开口26在围绕该轴线118旋转时不再处于垂直于运动方向的一排124中。替代地，出口开口的排124与基材104或模块组合件的运动方向122形成不等于90°的角度α。这在图9中示出。由此，在接触点之间的间距126相对于如其在图8中示例性示出的最大的间距112减小。

这样的转动的作用在图11中再一次详细地示出。多个出口开口26成一排，其通过线130表示。处于这排上的钎焊球134具有间距112，其以d₁来表明。当现在模块组合件转动一角度时（如这在图7中能看出的那样），钎焊球处于一排132上。在d的方向上的间距126现在以d₂来标明并且小于d₁。

整个模块组合件的转动引起，所有间距能够以相同的尺度改变。但是也可行的是，各个模块相对彼此倾翻。图12示例性地示出，间距136如何通过模块100从竖直的平面出发围绕垂直于图示平面的水平轴线相对于模块114倾翻而减少。

看出的是，通过模块组合件在空间中作为整体的适合的取向以及通过单独的模块彼此间的取向实现接触点的位置的匹配。不同于在已知的组件中，基材的由此更大的面实际上能够同时以钎焊料来装配。

整个模块组合件围绕水平轴线128的转动（如这在图13中的侧视图中所示出的那样）实现在相同的时间分辨率（Zeitauflösung）下在接触点之间的更小的间距。这在图10中示出。

理解的是，不仅能够使用如下的模块组合件，其中仅使用带有模块的一排。以相同的方式能够使多个模块沿运动方向依次布置，从而能够使基材的整个面同时被接触。

Claims (12)

1.用于将由钎焊球（12）构成的钎焊料施加到基材（104）上的组件，包含：

（a）带有大量钎焊球（12）的蓄存器（14）；

（b）用于输出单个的钎焊球（12）的出口开口（26）；

（c）设置在蓄存器（14）与出口开口（26）之间的供应通道（48），用于将钎焊球（12）从所述蓄存器（14）供应至所述出口开口（26）；

其特征在于，

（d）所述供应通道（48）具有带有如下的直径的开口横截面，所述直径大于所使用的钎焊球（12）中的一个钎焊球的直径并且小于所使用的钎焊球（12）中的两个钎焊球的直径；

（e）抽吸通道（68、70、72），所述抽吸通道通入所述供应通道（48）中，并且所述抽吸通道在抽吸通道（68、70、72）与供应通道（48）之间的过渡区域（62、64、66）中具有如下的横截面，所述横截面小于所使用的钎焊球（12）中的一个钎焊球的横截面；

（f）用于在所述供应通道（48）与所述抽吸通道（68、70、72）之间产生压力差的机构，从而在所述抽吸通道（68、70、72）中的压力小于在所述供应通道（48）中的压力，并且处于所述供应通道（48）中的钎焊球（12）能被吸住在所述抽吸通道（68、70、72）的过渡区域（62、64、66）处；

（g）控制机构，用于如下地控制所述压力差，使得至少一个钎焊球（12）在第一压力差的情况下被挡住在抽吸通道（68、70、72）与供应通道（48）之间的过渡区域处并且阻塞另外的钎焊球（12）的供应，并且在第二压力差的情况下被释放；以及

（h）所述供应通道（48）基本上水平地伸延并且所述钎焊球（12）的运动通过所述压力差引起。

2.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，三个或更多抽吸通道（68、70、72）沿所述钎焊球（12）的运动方向依次通入所述供应通道（48）中，并且所述控制机构如下地设置，使得出口开口侧的钎焊球在至少一个钎焊球能被挡住在其他的抽吸通道中的一个抽吸通道处期间能被释放。

3.根据权利要求1或2所述的组件，其特征在于，所述供应通道（48）被加载以高于环境压力的气体压力。

4.根据权利要求3所述的组件，其特征在于，所述供应通道（48）与具有带有提高了的压力的氮气或其他的惰性气体的气体源连接。

5.根据权利要求3所述的组件，其特征在于，所述抽吸通道（68、70、72）与环境连接并且所述控制机构包括遮板或阀，用于建立和中断抽吸通道（68、70、72）与环境之间的连接。

6.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，所述供应通道（48）通入出口通道（54、30）中，其中，所述出口通道（30）具有所述出口开口（26），钎焊料能经由所述出口开口施加在基材（104）上，并且设置有激光器，所述激光器的辐射（24）能通过所述出口通道（30）导引至所述出口开口（26），并且所述激光器的辐射（24）如下地构造，使得所述钎焊球（12）的钎焊料通过所述辐射的作用被输送到所述基材（104）上。

7.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，设置有由多个能够平整地堆叠的且能够固定的板（32、34、36、82）构成的板组件，其中，所述供应通道（48）和所述抽吸通道至少部分地由在所述板组件的所述板中的缝口（84、86、88）形成。

8.根据权利要求7所述的组件，其特征在于，所述板组件具有带有所述供应通道（48）的供应通道板（34）和贴靠在所述供应通道板处的引导板（36），所述引导板在所述供应通道（48）的区域中具有引导缝口（50）用于引导所述钎焊球在所述供应通道（48）中的运动，所述引导缝口具有比所述供应通道的宽度小的宽度。

9.根据权利要求8所述的组件，其特征在于，所述板组件具有与所述供应通道板（34）相邻的第一抽吸通道板（32），所述第一抽吸通道板在所述供应通道（48）的背离所述蓄存器（14）的端部区域中具有沿所述钎焊球的运动方向依次布置的开孔（62、64、66），其形成抽吸通道（68、70、72）与供应通道（48）之间的过渡区域；并且所述板组件在所述第一抽吸通道板（32）的背离所述供应通道板（34）的侧上具有第二抽吸通道板（82），所述第二抽吸通道板具有缝口（84、86、88），所述缝口将所述开孔（62、64、66）与环境或引导通向所述环境的通道（68、70、72）连接。

10.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，蓄存器（14）、所述出口开口（26）、所述供应通道（48）和所述抽吸通道（68、70、72）组合在一个模块（100）中，并且设置有至少一个另外的相同类型的模块（114、116），其与所述模块（100）形成模块组合件（102），其中，所述模块（100、114、116）的出口开口（26）能并排地定位在基材（104）上方。

11.根据权利要求10所述的组件，其特征在于，所述模块（100）相对彼此间隔开地布置并且所述模块中的至少一个模块相对于垂直于基材平面的轴线的位置是能调整的。

12.根据权利要求10或11所述的组件，其特征在于，所述模块组合件（102）相对于垂直于和/或平行于所述基材平面的轴线（118、128）的位置是能调整的。

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