CN110716339A - 带取向膜的彩色滤光片基板的制造方法和液晶面板的制造方法 - Google Patents

带取向膜的彩色滤光片基板的制造方法和液晶面板的制造方法 Download PDF

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Abstract

提供能够实现没有不均的均匀的取向限制力和成品率的带取向膜的CF基板的制造方法和液晶面板的制造方法。带取向膜的彩色滤光片基板(21A)的制造方法包含：CF形成工序，在基板上形成CF(22)；PS形成工序，在基板上形成PS(26)；取向膜形成工序，以覆盖CF(22)和PS的方式形成取向膜(25)；以及摩擦工序，通过第1摩擦辊(32)和第2摩擦辊(33)摩擦取向膜(25)，第1摩擦辊(32)向将基板推回的方向旋转，且第2摩擦辊(33)向将基板推出的方向旋转，设置在第2摩擦辊(33)的外周的第2摩擦材料(33B)由与设置在第1摩擦辊(32)的外周的第1摩擦材料(32B)相比弹力、韧性比较弱的材质形成。

Description

带取向膜的彩色滤光片基板的制造方法和液晶面板的制造 方法
技术领域
本说明书中公开的技术涉及带取向膜的彩色滤光片基板的制造方法和液晶面板的制造方法。
背景技术
在液晶面板中，作为使液晶分子在一对基板之间具有规则性地进行取向的方法之一，例如，用布等摩擦在基板上形成的聚酰亚胺系的取向膜的表面的摩擦法已得到广泛使用。具体而言，已广泛采用如下技术：通过一边使在表面贴有摩擦用的布的辊旋转，一边使该辊与设置有取向膜的基板相对移动，从而进行摩擦。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：特开平5-142542号公报
发明内容
发明要解决的问题
然而，在作为一对基板之中的一个基板的彩色滤光片基板中，在其表面形成有成为微米级单位的大的台阶的感光间隔物，因此，在摩擦取向膜时，有时这些感光间隔物会成为障碍而产生摩擦材料难以到达的区域。当这样产生了摩擦不良的区域时，在完成的液晶面板中，维持夹持在一对基板之间的液晶的初始取向状态的取向限制力会产生不均，因此，存在液晶面板中产生亮度不均而显示质量下降这样的问题。
另外，如果为了减少这种摩擦不良而以强的压入量进行摩擦，则会产生取向膜的削屑、绒头碎屑这样的异物增加的问题。而且，还会产生由彩色滤光片基板的图案转印引起的取向紊乱、条纹不均这样的问题。这样的异物增加、取向紊乱、条纹不均的产生会导致成品率下降。
鉴于上述情况，本说明书中公开的技术的目的在于，提供一种在基板表面具有大的台阶的彩色滤光片基板中能够实现没有不均的均匀的取向限制力和成品率的带取向膜的彩色滤光片基板的制造方法。另外，本说明书中公开的另一技术是使用通过上述带取向膜的彩色滤光片基板的制造方法制造的彩色滤光片基板的、能够实现没有不均的均匀的取向限制力和成品率的液晶面板的制造方法。
用于解决问题的方案
(1)本说明书中公开的技术是一种带取向膜的彩色滤光片基板的制造方法，至少包含：彩色滤光片形成工序，在基板上形成彩色滤光片；感光间隔物形成工序，在上述基板上形成感光间隔物；取向膜形成工序，以覆盖形成在上述基板上的上述彩色滤光片和上述感光间隔物的方式形成取向膜；以及摩擦工序，通过具有与上述基板平行的旋转轴的圆柱状的第1摩擦辊和第2摩擦辊按顺序摩擦上述取向膜，上述第1摩擦辊设定为向从上述基板相对前进的方向将该基板推回的方向旋转，并且上述第2摩擦辊设定为向将上述基板相对推出的方向旋转，设置在上述第2摩擦辊的外周的第2摩擦材料由与设置在上述第1摩擦辊的外周的第1摩擦材料相比弹力、韧性比较弱的材质形成。
(2)也可以是，在上述(1)的构成的基础上，上述第1摩擦材料为棉，上述第2摩擦材料为人造丝。
(3)某一实施方式是液晶面板的制造方法，包含：液晶夹持工序，使液晶夹持在带取向膜的彩色滤光片基板与带取向膜的相对基板之间，上述带取向膜的彩色滤光片基板是通过上述(1)或(2)所述的制造方法制造的，上述带取向膜的相对基板配置为与上述带取向膜的彩色滤光片基板的上述取向膜侧相对，并且在与上述带取向膜的彩色滤光片基板相对的面侧形成有相对基板侧取向膜。
(4)也可以是，在上述(3)的构成的基础上，上述带取向膜的相对基板是对在基板上形成有TFT和像素电极的阵列基板形成上述相对侧取向膜而成的，并且至少经过了通过具有与上述阵列基板平行的旋转轴的圆柱状的相对侧第1摩擦辊和相对侧第2摩擦辊按顺序进行摩擦的相对侧摩擦工序，设置在上述相对侧第1摩擦辊的外周的相对侧第1摩擦材料由与设置在上述相对侧第2摩擦辊的外周的相对侧第2摩擦材料相比弹力、韧性比较强的材质形成，上述相对侧第1摩擦辊和上述相对侧第2摩擦辊均设定为向将上述阵列基板朝向该阵列基板相对前进的方向推出的方向旋转。
(5)也可以是，在上述(4)的构成的基础上，上述相对侧第1摩擦辊和上述相对侧第2摩擦辊被设为由单个的上述相对侧第2摩擦辊所摩擦的上述基板的延迟(Δnd2)成为由单个的上述相对侧第1摩擦辊所摩擦的上述基板的延迟(Δnd1)的50～60％的组合(Δnd2/Δnd1×100＝50～60(％))。
发明效果
根据本说明书中公开的带取向膜的彩色滤光片基板的制造方法和液晶面板的制造方法，能够实现没有不均的均匀的取向限制力和成品率。
附图说明
图1是示出一个实施方式的带取向膜的彩色滤光片基板的制造方法的概略图。
图2是示出液晶面板的截面构成的概略截面图。
图3是概略性地示出阵列基板的构成的俯视图。
图4是概略性地示出彩色滤光片基板的构成的俯视图。
图5是示出带取向膜的阵列基板的制造方法的概略图。
附图标记说明
10：液晶面板，11A：CF基板，11B：阵列基板(相对基板)，12：液晶层(液晶)，14：薄膜晶体管(TFT)，15：像素电极，20：取向膜(相对侧取向膜)，21A：带取向膜的CF基板，21B：带取向膜的阵列基板(带取向膜的相对基板)，22：彩色滤光片(CF)，25：取向膜，26：感光间隔物(PS)，32：第1摩擦辊，32B：第1摩擦材料，33：第2摩擦辊，33B：第2摩擦材料，132：第1摩擦辊(相对侧第1摩擦辊)，132B：第1摩擦材料(相对侧第1摩擦材料)，133：第2摩擦辊(相对侧第2摩擦辊)，133B：第2摩擦材料(相对侧第2摩擦材料)。
具体实施方式
说明一个实施方式。通过本实施方式的制造方法形成的带取向膜的CF(彩色滤光片)基板21A用于构成图2所示的被设为公知的构成的液晶面板10的一对基板中的一侧基板。此外，带取向膜的CF基板21A是指形成有经过摩擦工序的取向膜20的CF基板11A。
首先，说明液晶面板10。如图2所示，液晶面板10具有：一对基板11A、11B；以及液晶层(液晶的一个例子)12，其配置在两基板11A、11B之间的内部空间，包含作为光学特性随着电场的施加而发生变化(具有介电常数各向异性，根据电场的施加而改变其朝向)的物质的液晶分子，液晶层12被介于两基板11A、11B之间的未图示的密封部包围而实现了密封。一对基板11A、11B中的表侧设为CF基板11A，里侧设为阵列基板11B(相对基板的一个例子)。CF基板11A和阵列基板11B均是在玻璃制的基板的内表面侧层叠形成各种膜而成的。此外，在两基板11A、11B的外表面侧分别贴附有偏振板13A、13B。
如图2和图3所示，在阵列基板11B中，作为开关元件的许多TFT(Thin FilmTransistor、薄膜晶体管)14和像素电极15按矩阵状排列设置，并且在这些TFT14和像素电极15的周围，以包围它们的方式配设有呈格子状的栅极配线16和源极配线17。规定的图像信号从未图示的控制电路供应到各配线。像素电极15包括ITO(Indium Tin Oxide：氧化铟锡)、ZnO(Zinc Oxide：氧化锌)、IZO(Indium Zink Oxide：氧化铟锌)或者IGZO(IndiumGallium Zink Oxide：氧化铟镓锌)这样的透明电极，在阵列基板11B上形成了约30～80nm的高低差。
另外，在像素电极15的下层，隔着绝缘层18设置有与像素电极15同样地包括透明电极膜的共用电极19。这样，像素电极15和共用电极19都形成于阵列基板11B，当在两电极15、19之间产生了电位差时，会对液晶层12施加不仅包含沿着阵列基板11B的板面的成分还包含相对于阵列基板11B的板面的法线方向上的成分的边缘电场。也就是说，该液晶面板10的动作模式被设为对IPS(In-Plane Switching；面内开关)模式进行了进一步改良的FFS(Fringe Field Switching；边缘场开关)模式。
另外，在该阵列基板11B的上表面，以覆盖TFT14和像素电极15的方式形成有作为取向膜20(相对侧取向膜的一个例子)的例如聚酰亚胺膜。
另一方面，如图2所示，在CF基板11A上，在与阵列基板11B侧的各像素电极15呈相对状的位置设置有彩色滤光片22。彩色滤光片22是R(红色)、G(绿色)、B(蓝色)这三色的着色部按矩阵状反复并排排列而成的。按矩阵状排列的彩色滤光片22的各着色部(各像素)之间由遮光部(黑矩阵)23分隔开，通过该遮光部23，防止了透射过各着色部的各色的光彼此混合所致的混色。在彩色滤光片22和遮光部23的表面，外覆膜24被重叠设置于内侧。另外，用于在其之上以规定的间隔保持与阵列基板11B之间的间隙并夹持液晶层12的柱状的PS(Photo Spacer；感光间隔物)26以规定密度配置在遮光部23。另外，在外覆膜24和感光间隔物26的表面，取向膜25被重叠设置于内侧。
在一对基板中的阵列基板11B上，如上述的那样设置有像素电极15，因此，需要用于维持夹持在一对基板11A、11B之间的液晶的初始取向状态的高的取向限制力。相比于此，在CF基板11A上不形成像素电极，因此其取向限制力是阵列基板11B的一半的程度就足够了。另一方面，在CF基板11A中，如上所述，由感光间隔物26形成的台阶为3μm程度，是比较大的，因此有如下问题：存在进行摩擦时成为感光间隔物26的阴影处而摩擦材料难以充分到达的区域，并由于这样的区域而在液晶面板10中引起显示不均。本实施方式为了解决这种CF基板11A特有的问题，发现了最佳的带取向膜的CF基板21A的制造方法。
下面，说明带取向膜的CF基板21A的制造方法。此外，图1是示出一个实施方式的、形成有取向膜25的CF基板11A的取向处理方法(摩擦工序)的概略图。首先，在基板上形成多个CF(彩色滤光片)22和PS(感光间隔物)26等(彩色滤光片形成工序和感光间隔物形成工序)，以覆盖这些CF22和PS26等的方式形成取向膜25(取向膜形成工序)。然后，将形成有该取向膜25的CF基板11A在水平的状态下吸附保持在整体设置于未图示的摩擦装置的搬运装置的工作台31上。工作台31能使其传送速度(工作台移动速度)发生变化，能够根据后述的摩擦辊32、33的旋转速度来调整摩擦取向膜25的次数。在本实施方式中，工作台31设定为仅向一个方向(图1所示的从右至左)移动。
摩擦装置在工作台31的搬运路径的上方具备可旋转的一对摩擦辊32、33。一对摩擦辊32、33中的一个摩擦辊是配置在搬运方向的上游侧的第1摩擦辊32，另一个摩擦辊是与第1摩擦辊32相比配置在搬运方向的下游侧的第2摩擦辊33。第1摩擦辊32和第2摩擦辊33均呈圆柱状，其旋转轴配置在与CF基板11A平行且与搬运方向正交的方向上。另外，第1摩擦辊32和第2摩擦辊33被设为长度和直径为相同的尺寸。
第1摩擦辊32是在圆柱状的第1辊32A的外表面缠绕包括棉材料的布(第1摩擦材料的一个例子)32B而成的。另外，第2摩擦辊33是在圆柱状的第2辊33A的外表面缠绕包括人造丝(Rayon)材料的布(第2摩擦材料的一个例子)33B而成的。从而，第2摩擦辊33的表面的弹力、韧性比第1摩擦辊32的表面的弹力、韧性弱。
此外，这些第1摩擦辊32和第2摩擦辊33的摩擦材料32B、33B分别不限于棉和人造丝，能使用所希望的摩擦材料。另外，第1摩擦辊32和第2摩擦辊33分别能够独个地设定旋转方向、旋转速度以及相对于CF基板11A(工作台31)的高度等。其中，旋转速度以每单位时间摩擦辊32、33旋转的次数来定义(rpm/revolutions per minute：每分钟的旋转次数)。另外，摩擦辊32、33的高度被设为：不仅能调整各摩擦辊32、33的摩擦材料32B、33B接触CF基板11A的压入量(毛接触长度)，而且也能通过仅使摩擦辊32和33中的一个摩擦辊与CF基板11A接触而将另一个摩擦辊设为与CF基板11A分离的状态来使所缠绕的摩擦材料32B、33B中的一个摩擦材料不与CF基板11A接触。
当在表面形成有取向膜25的CF基板11A由搬运装置在搬运方向(图1的从右至左)搬运时，上述的第1摩擦辊32和第2摩擦辊33会一边旋转一边按顺序贴靠于取向膜25的表面，并进行摩擦(摩擦工序)。此时，第1摩擦辊32向从CF基板11A的前进方向(搬运方向)将该CF基板11A推回的方向旋转(在图1中为逆时针旋转。以下，将向该方向旋转而进行摩擦称为向上摩擦。)。另一方面，第2摩擦辊33设定为向将CF基板11A推出的方向旋转(在图1中为顺时针旋转。以下，将沿该方向旋转而进行摩擦称为向下摩擦。)。
这样，对于形成有CF22、PS26以及覆盖它们的取向膜25的CF基板11A，首先，通过弹力、韧性比较强的表面的第1摩擦辊32进行摩擦，从而能够在CF基板11A的大范围内显现出适合于CF基板11A的取向限制力。此时，由于台阶大的PS26，有时会产生成为PS26的阴影处而第1摩擦辊32难以到达的区域，致使一部分成为摩擦不良。但是，在本实施方式中，之后，通过弹力、韧性比较弱的轻柔的表面的第2摩擦辊33进行摩擦，从而第2摩擦辊33也会到达在通过第1摩擦辊32进行摩擦时成为了摩擦不良的区域，能够形成整体上抑制了不均的接近于均匀的状态的带取向膜的CF基板21A。
另外，此时，第1摩擦辊32为向上摩擦，第2摩擦辊33为向下摩擦，将旋转方向设为相反，从而与将旋转方向设定为相同的方向的情况相比，能够更容易地使摩擦辊到达由于PS26而形成的大的台阶的阴影处。
而且，通过如上述这样使用弹力、韧性比较弱的材质作为第2摩擦辊33的第2摩擦材料33B，能够有效地除去由于第1摩擦辊32的摩擦导致起尘而产生的异物。对于该异物除去效果，向下摩擦比向上摩擦大，因此，优选将第2摩擦辊33设为向下摩擦而将第1摩擦辊32设为向上摩擦的构成。根据这种本实施方式的带取向膜的CF基板21A的制造方法，能得到整体上抑制了不均的均匀的取向限制力，并且成品率提高。
然而，一般地，在将一对摩擦辊的旋转方向设定为相对于基板相互反向旋转的情况下，如上所述，能够避免大的台阶导致的摩擦不良，但另一方面，各摩擦辊的摩擦效果相互抵消，取向限制力(由取向膜的延迟表示)有变低的倾向。对于这种问题，在如本实施方式那样变更第1摩擦材料32B和第2摩擦材料33B的材质，利用摩擦材料本身的弹力、韧性的不同并进行反向旋转的摩擦的情况下，与在第1摩擦材料32B和第2摩擦材料33B中使用相同的摩擦材料的情况相比，摩擦效果的抵消效果会减半，这已得到了确认。从而，能够抑制由于PS26的阴影导致的摩擦不良，并且作为CF基板11A能够显现出比以往好的取向限制力。
另一方面，在本实施方式中使用的形成有取向膜20的阵列基板11B被设为通过与上述的CF基板11A的摩擦装置同样地具有在圆柱状的第1辊132A的外周设置有弹力、韧性比较强的第1摩擦材料132B(相对侧第1摩擦材料的一个例子)的第1摩擦辊132(相对侧第1摩擦辊的一个例子)和在圆柱状的第2辊133A的外周设置有弹力、韧性比较弱的第2摩擦材料133B(相对侧第2摩擦材料的一个例子)的第2摩擦辊133(相对侧第2摩擦辊的一个例子)的摩擦装置进行了摩擦处理(相对侧摩擦工序)的阵列基板，但是在第1摩擦辊132和第2摩擦辊133均设为向下摩擦这一点上与CF基板11A用摩擦装置不同(参照图5)。
在阵列基板11B中，由于形成像素电极15，因此，如上所述，与CF基板11A不同，需要高的取向限制力(取向膜的延迟)。另外，阵列基板11B表面的台阶为像素电极15所形成的30～80nm，比CF基板11A的PS26所形成的3μm程度小。另一方面，在阵列基板11B中，与CF基板11A不同，表面被设为复杂的凹凸形状，因此，有如下倾向：摩擦材料无法充分到达凹凸的各个角落，难以得到高的取向限制力。
对于这种问题，在本实施方式中，在制作阵列基板11B时，在摩擦工序中，组合使用弹力、韧性比较强的表面的第1摩擦辊132和弹力、韧性比较弱的表面的第2摩擦辊133，并且将第1摩擦辊132和第2摩擦辊133都设为向下摩擦。通过设为这种构成，通过第1摩擦辊132，能够在大范围内显现出取向所需要的高的取向限制力，接着，通过第2摩擦辊133，能够对未能被第1摩擦辊132摩擦到的复杂的凹凸的各个角落进行摩擦而显现出取向限制力。另外，通过弹力、韧性弱的表面的第2摩擦辊133同时能够除去由于第1摩擦辊132的摩擦导致起尘而产生的异物。因此，能得到阵列基板11B整体上抑制了不均的高的取向限制力，并且成品率提高。
另外，通过这样将弹力、韧性比较强的表面的第1摩擦辊132与弹力、韧性比较弱的表面的第2摩擦辊132进行组合，并且将旋转方向都设为向下摩擦，从而关于取向处理效果能够得到协同效果，能够显现出更高的取向限制力。详细地，在阵列基板11B的摩擦中使用的第1摩擦辊132和第2摩擦辊133的组合最优选设为由单个的第2摩擦辊133所摩擦的阵列基板11B的延迟(Δnd2)成为由单个的第1摩擦辊132所摩擦的阵列基板11B的延迟(Δnd1)的50～60％的组合(Δnd2/Δnd1×100＝50～60(％))，在设为这种组合的情况下，能最高效地得到各摩擦辊132、133的延迟的合计值(Δnd1+Δnd2)以上的延迟(Δnd)。
在摩擦工序之后，使所得到的带取向膜的CF基板21A与带取向膜的阵列基板21B以取向膜彼此相对的方式配置，在各取向膜20、25之间封入液晶(液晶层12)，并通过密封物进行密封，从而制造使液晶(液晶层12)夹持在一对基板21A、21B之间的液晶面板10(液晶夹持工序)。
以这种方式制造的液晶面板10具备没有不均的均匀且高的取向限制力和高的成品率。
接着，下面详细地说明具体实施上述的实施方式的制造方法的实施例和比较例。
1.基于使用了单个的摩擦辊的摩擦处理的带取向膜的CF基板和带取向膜的伪(Dummy)基板以及液晶面板的验证
在实施例之前，通过以下的方法来进行基于使用了单个的摩擦辊的摩擦处理的带取向膜的CF基板、带取向膜的伪基板以及使用该带取向膜的CF基板的液晶面板的评价。
首先，对在基板上形成有多个彩色滤光片(CF)22和感光间隔物(PS)26等(进行了彩色滤光片形成工序和感光间隔物形成工序)的CF基板11A和在基板上不具备这些图案的伪基板的表面，通过柔版印刷法以约100nm的膜厚形成聚酰亚胺膜(取向膜形成工序)，将这些带膜的基板载置于搬运装置的工作台31上的规定位置并对其进行吸附保持。然后，以20mm/sec的速度进行搬运，在表1所示的条件下，通过在直径为150mmφ的辊上缠绕有摩擦材料的单个的摩擦辊来对带膜的CF基板和带膜的伪基板进行摩擦处理。另外，使用通过摩擦处理得到的这些各带取向膜的CF基板和在表2所示的条件下制作的带取向膜的阵列基板来制作液晶面板。
对于以这种方式得到的各带取向膜的CF基板和液晶面板，观察不均的产生频率。对于不均产生频率，在带取向膜的CF基板中，是对取向处理面施加水蒸气，使用卤素灯和绿色灯等进行目视确认。另外，在液晶面板中，是通过在背光源上对在外表面配置正交尼科尔的两个偏振板而成的液晶面板进行取向检查来确认的。在这种取向检查中，当摩擦材料没有到达且PS26的阴影处没有被遮光部23遮住而扩展到液晶面板的有源区域的情况下，会作为漏光被视觉识别出，因此，检查是容易的。另外，表中所示的不均的评价结果是关于带取向膜的CF基板和液晶面板这两者的结果。而且，对于起尘的频率，是使用KUBOTEK公司制造的异物检查机来对带取向膜的CF基板上的异物数进行计数。
另外，针对各带取向膜的伪基板，测量成为取向限制力的指标的延迟(Δnd)。在测量中使用Axo Metrics公司制造的“Axo Scan FAA-3series”，从带取向膜的伪基板的取向处理面的上方照射光，并测量透射光的延迟(Retardation)。另外，对于延迟，在取向膜面内以12个点进行测量，并算出平均、标准偏差以及标准偏差/平均。此外，之所以在带取向膜的伪基板中进行延迟的测量，是因为在带取向膜的CF基板中测量的情况下，测量用的光由于CF、PS等的凹凸图案而发生漫反射，从而无法得到取向膜本身的准确的测量值。
在表1中示出各样本的制作条件和测量结果。
[表1]
Figure BDA0002125268750000111
另外，在表2中示出本实施方式中使用的阵列基板的制作条件和测量结果。
[表2]
Figure BDA0002125268750000121
如表1所示，将使用棉作为摩擦材料并以450rpm的旋转速度进行向上摩擦的比较例1与比较例2进行比较，在毛接触长度短(压入量小)的比较例1中，不均较多，在毛接触长度长的比较例2中，起尘较多。另一方面，关于延迟，比较例2与比较例1相比，平均稍优异，波动(标准偏差/平均)小到比较例1的一半以下。
另外，将使用棉作为摩擦材料并以650rpm的旋转速度进行向下摩擦的比较例3与比较例4进行比较，在毛接触长度短的比较例3中，不均较多，在毛接触长度长的比较例4中，虽然不均稍微改善，但起尘变多。另一方面，关于延迟，比较例4与比较例3相比，平均优异，并且波动(标准偏差/平均)也小。即，观察到与比较例1和比较例2同样的倾向。
另一方面，在将使用与棉相比弹力、韧性比较弱的人造丝作为摩擦材料并以1200rpm的旋转速度进行向下摩擦的比较例5与比较例6进行比较的情况下，也观察到同样的倾向。即，毛接触长度短的比较例5与毛接触长度长的比较例6相比起尘少。不均基本没有变化。另外，不均和起尘均比利用棉作为摩擦材料时良好。另一方面，关于延迟，毛接触长度短的比较例中的平均值、波动都更良好，成为了与棉时相反的结果。
2.基于使用了2个摩擦辊的摩擦处理的带取向膜的CF基板、带取向膜的伪基板以及液晶面板的评价
以表1所示的单个的摩擦辊的摩擦处理的结果为基础，在表3所示的条件下，进行基于使用了2个摩擦辊32、33的摩擦处理(摩擦工序)的带取向膜的CF基板21A、带取向膜的伪基板以及使用了该带取向膜的CF基板21A的液晶面板10的评价。摩擦处理前的带膜的基板的形成方法和液晶面板的制造方法(另外使用的带取向膜的阵列基板)设为与上述1同样，搬运速度也与上述1同样地设为20mm/sec。另外，测量方法也是以与上述1同样的方法进行。
在表3中示出各样本的制作条件和测量结果。
[表3]
Figure BDA0002125268750000141
如表3所示，可知：在将摩擦辊的旋转方向在第1摩擦辊32中设为向上摩擦而在第2摩擦辊33中设为向下摩擦的情况下，即使在有PS(感光间隔物)26的情况下，也不易产生成为PS26的阴影处而难以进行摩擦的区域，不易产生不均(参照比较例7、比较例8以及实施例1)。
但是，在均使用棉作为第1摩擦材料32B和第2摩擦材料33B的比较例7和比较例8中，起尘较多，成品率不佳。另外，与单独使用各摩擦辊的情况相比，由2个辊进行摩擦后的延迟的测量值变小。认为这是由于，通过将各摩擦辊32、33的旋转方向设为相反，关于延迟，摩擦效果相抵消了。
与上述比较例7和比较例8相比，在使用弹力、韧性比较强的棉作为第1摩擦材料32B，之后使用弹力、韧性比较弱的人造丝作为第2摩擦材料33B的实施例1中，能够进一步改善不均。认为这是由于，通过第1摩擦辊32和第2摩擦辊33的旋转方向、以及由第1摩擦材料32B和第2摩擦材料33B的材质的差异所致的摩擦材料本身的弹力、韧性的强度的不同，使得起因于PS26的摩擦不良得到了改善。
另外，通过使用人造丝作为第2摩擦材料33B，弹力、韧性弱的人造丝具有像扫帚那样将由第1摩擦辊32产生的削屑、绒头碎屑这样的异物除去的功能，因此，起尘也得到了大幅改善。
而且，在实施例1中，得到了比在分别单独使用第1摩擦辊32或者第2摩擦辊33的情况下的各延迟(Δnd1、Δnd2)高的延迟(平均)。这是由于，通过变更第1摩擦材料32B和第2摩擦材料33B的材质，利用摩擦材料本身的弹力、韧性的强度并且变更摩擦强度，从而由于反向旋转而产生的摩擦效果的抵消效果被减半了。
根据以上的结果能够得到确认，在首先通过弹力、韧性比较强的棉进行向上摩擦，之后通过弹力、韧性比较弱的人造丝进行向下摩擦的情况下，由PS26的台阶导致的CF基板11A的摩擦不良得到改善，能得到抑制了不均的均匀的延迟，并且起尘得到抑制。
＜其它实施方式＞
本说明书中公开的技术不限于通过上述记述和附图所说明的实施方式，例如，如下这样的实施方式也包含在技术范围内。
(1)在上述实施例中，虽然设为使基板相对于第1摩擦辊32、132和第2摩擦辊33、133的相对搬运方向为一个方向并使一对摩擦辊从相同方向接触基板的构成，但也可以通过使基板相对于一对摩擦辊进行往复的方式来进行摩擦。不过，在这种构成中，节拍(Tact)下降。
(2)在上述实施例中，虽然将第1摩擦辊32、132和第2摩擦辊33、133的直径设为相同的尺寸，但也可以使用直径不同的摩擦辊。
(3)在上述实施例中，虽然将第1摩擦辊32、132和第2摩擦辊33、133的旋转轴设定为与搬运方向正交的方向，但旋转轴也可以不与搬运方向正交。
(4)各摩擦辊的压入量、旋转速度不限于上述实施例，能够适当变更。另外，搬运装置的移动速度也不限于上述实施方式。
(5)液晶面板中使用的带取向膜的阵列基板不限于上述实施方式，能够使用制作条件不同的阵列基板。

Claims (5)

1.一种带取向膜的彩色滤光片基板的制造方法，其特征在于，至少包含：
彩色滤光片形成工序，在基板上形成彩色滤光片；
感光间隔物形成工序，在上述基板上形成感光间隔物；
取向膜形成工序，以覆盖形成在上述基板上的上述彩色滤光片和上述感光间隔物的方式形成取向膜；以及
摩擦工序，通过具有与上述基板平行的旋转轴的圆柱状的第1摩擦辊和第2摩擦辊按顺序摩擦上述取向膜，
上述第1摩擦辊设定为向从上述基板相对前进的方向将该基板推回的方向旋转，并且上述第2摩擦辊设定为向将上述基板相对推出的方向旋转，
设置在上述第2摩擦辊的外周的第2摩擦材料由与设置在上述第1摩擦辊的外周的第1摩擦材料相比弹力、韧性比较弱的材质形成。
2.根据权利要求1所述的带取向膜的彩色滤光片基板的制造方法，
上述第1摩擦材料为棉，上述第2摩擦材料为人造丝。
3.一种液晶面板的制造方法，其特征在于，包含：液晶夹持工序，使液晶夹持在带取向膜的彩色滤光片基板与带取向膜的相对基板之间，上述带取向膜的彩色滤光片基板是通过权利要求1或权利要求2所述的制造方法制造的，上述带取向膜的相对基板配置为与上述带取向膜的彩色滤光片基板的上述取向膜侧相对，并且在与上述带取向膜的彩色滤光片基板相对的面侧形成有相对基板侧取向膜。
4.根据权利要求3所述的液晶面板的制造方法，
上述带取向膜的相对基板是对在基板上形成有TFT和像素电极的阵列基板形成上述相对侧取向膜而成的，并且至少经过了通过具有与上述阵列基板平行的旋转轴的圆柱状的相对侧第1摩擦辊和相对侧第2摩擦辊按顺序进行摩擦的相对侧摩擦工序，
设置在上述相对侧第1摩擦辊的外周的相对侧第1摩擦材料由与设置在上述相对侧第2摩擦辊的外周的相对侧第2摩擦材料相比弹力、韧性比较强的材质形成，
上述相对侧第1摩擦辊和上述相对侧第2摩擦辊均设定为向将上述阵列基板朝向该阵列基板相对前进的方向推出的方向旋转。
5.根据权利要求4所述的液晶面板的制造方法，
上述相对侧第1摩擦辊和上述相对侧第2摩擦辊被设为如下组合：由单个的上述相对侧第2摩擦辊所摩擦的上述基板的延迟(Δnd2)成为由单个的上述相对侧第1摩擦辊所摩擦的上述基板的延迟(Δnd1)的50～60％。
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