CN102452037A - 研磨方法和利用该方法制造液晶显示器的方法 - Google Patents
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Abstract
公开了一种研磨方法和利用该方法制造液晶显示器(LCD)的方法。该研磨方法能够减少例如柱状衬垫料的高台阶图案导致的向错和研磨拖尾。该研磨方法包括:将上面形成有取向层的基板装载在工作台上;通过在和期望预倾角的形成方向相反的方向上旋转第一研磨辊,在取向层上执行初级研磨工序,该第一研磨辊上卷绕有第一研磨布;和通过在期望预倾角的形成方向上旋转第二研磨辊,在初级研磨后的取向层上执行次级研磨工序,该第二研磨辊上卷绕有第二研磨布。
Description
技术领域
本发明涉及一种研磨方法和利用该方法制造液晶显示器(LCD)的方法,尤其涉及一种双向研磨的研磨方法和利用该方法制造LCD的方法。
背景技术
随着对信息显示的关注和对便携式信息介质的需求的增加,用于替代传统的显示装置、即阴极射线管(CRT)的平板显示器(FPD)的研究和商业化正在积极地进行中。这些平板显示器之一的液晶显示器(LCD)利用液晶(LC)的光学各向异性显示图像。由于其优秀的分辨率、颜色再现特性和画面质量,液晶显示器正积极地应用于笔记本、台式显示器等等。
一般来说,液晶显示器指的是这样一种显示器,其能够基于图像信息将数据信号分别提供给LC单元,控制以矩阵形式排列的LC单元的每一光透射率,从而显示期望的图像。
下面将参考图1对液晶显示器进行更详细的解释。
图1是示意性地说明现有技术中液晶显示器(LCD)的结构的分解透视图。
如图1所示,液晶显示器主要包括滤色器基板5、阵列基板10、以及放置在滤色器基板5和阵列基板10之间的LC层40。
滤色器基板5由以下组成:由多个子滤色器7构成的用于实现红、绿、蓝(RGB)的滤色器(C);用于将子滤色器7彼此分开并且屏蔽通过LC层40的光线的黑矩阵6;以及用于给LC层40提供电压的透明公共电极8。
阵列基板10由以下组成:设置在水平和垂直方向上以限定多个像素区域(P)的多条栅线16和数据线17;形成在栅线16和数据线17之间的每一交叉处的开关器件、即薄膜晶体管(TFT);以及形成在像素区域(P)中的像素电极18。
像素区域(P)指的是和滤色器基板5的一个子滤色器7对应的一个子像素。这里,将三种类型的子滤色器7(RGB)相互组合而获得彩色图像。即,三个子像素(RGB)组成一个像素,薄膜晶体管(T)分别与所述子像素(RBG)连接。
用于对LC层40的LC分子取向的取向层(未示出)印刷在滤色器基板5和阵列基板10上。这里,通过利用多个辊的印刷方法形成该取向层。
摩擦所述形成在滤色器基板5和阵列基板10上的取向层,以使液晶在恒定的方向上定向。结果是,在恒定的方向上形成了槽。
图2是示意性说明现有技术中的研磨工序的透视图。
如图2所示,在基板10上形成的取向层(未示出)经历研磨工序,以便在取向层的表面上形成槽。研磨工序指的是利用研磨辊30在恒定方向上研磨取向层的表面,所述研磨辊30上卷绕有研磨布(robbing cloth)35。
尽管未图示,不过一旦研磨取向层的表面,就会在取向层的表面上形成微小的槽。
采用由软纤维形成的织物作为研磨布35。包括研磨辊30的研磨设备相对较为简易。
一般来说,通过在期望预倾角的形成方向上的单一摩擦来执行研磨工序。
由于形成在像素区域(P)之间的例如柱状衬垫料(CS)等高台阶图案,在图案的末端可能不能正常执行研磨工序。这可能会导致向错(disclination)、研磨擦痕、研磨拖尾(tails)等。在这种情况下,无论取向层是否被确定为次品,都可能会增加黑色亮度。
这种问题可能是由研磨工序引起的,并且可能随着研磨布35没有正常通过图案末端而出现。图案的高度越高,研磨工序就会越差。此外,因为研磨布35根据图案的形状向一侧倾斜,所以在图案的末端可能不能正常执行研磨工序。这可能受到图案形状或者研磨布35的方向的影响。
此外,为了防止由于高台阶图案而产生的漏光,黑矩阵的尺寸被限制为大于预定值。这可能会降低孔径比和亮度。
发明内容
因此,本发明一方面提供一种能够通过双向研磨减少向错和研磨拖尾的研磨方法,以及利用该方法制造液晶显示器(LCD)的方法。
为了实现这些和其它优点,并根据本说明书的目的,如本文具体化和概括说明的,提供了一种研磨方法,该方法包括:将上面形成有取向层的基板装载在工作台上;通过在和期望预倾角的形成方向相反的方向上旋转第一研磨辊,在取向层上执行初级研磨工序,第一研磨辊上卷绕有第一研磨布;和通过在期望预倾角的形成方向上旋转第二研磨辊,在初级研磨后的取向层上执行次级研磨工序,第二研磨辊上卷绕有第二研磨布。
为了实现这些和其它优点,并根据本说明书的目的,如本文具体化和概括说明的,提供了一种制造液晶显示器(LCD)的方法,该方法包括:提供其上具有多个阵列基板的母基板和其上具有多个滤色器基板的母基板;对阵列基板执行阵列工序,对滤色器基板执行滤色器工序;在经历过阵列工序和滤色器工序的母基板的每个表面上形成取向层;通过在和期望预倾角的形成方向相反的方向上旋转第一研磨辊,在取向层上执行初级研磨工序,第一研磨辊上卷绕有第一研磨布;通过在期望预倾角的形成方向上旋转第二研磨辊,在初级研磨后的取向层上执行次级研磨工序,第二研磨辊上卷绕有第二研磨布;将经历过研磨工序的一对母基板彼此贴附;和将贴附的母基板切割成多个单位LCD面板。
形成取向层的步骤可以包括:在母基板上沉积由有机聚合物形成的取向材料;将取向材料初步干燥到60℃~80℃的温度;和在80℃~200℃的温度下硬化该取向材料。
可以通过移动上面装载有母基板的工作台和第一研磨辊中的至少一个,执行所述初级研磨工序。
可以通过移动上面装载有母基板的工作台和第二研磨辊中的至少一个,执行所述次级研磨工序。
第一和第二研磨布的毛可以配置为相对于第一和第二研磨辊的旋转轴的垂直方向朝左侧、右侧和中间之一倾斜。这里,所述毛在左右方向上可以具有5°~37°的倾角。
可以将液晶滴到经历过研磨工序且上面具有阵列基板和滤色器基板的母基板中的一个上,可以将密封剂涂到另一母基板上。
可以将上面滴过液晶的母基板贴附到上面涂过密封剂的母基板上。
可以将衬垫料形成在经历过研磨工序且上面具有阵列基板和滤色器基板的母基板中的一个上,可以将密封剂涂到另一母基板上。
可以将上面形成了衬垫料的母基板贴附到上面涂过密封剂的母基板上。然后,可以将贴附的母基板切割成多个LCD面板,并将液晶注入到LCD面板中。
本发明具有以下效果。
首先,在和期望预倾角的形成方向相反的方向上执行初级研磨工序,然后在期望预倾角的形成方向上执行次级研磨工序。这可以减少例如柱状衬垫料的高台阶图案导致的偏差(declination)和研磨拖尾的发生。结果是,图像的黑色亮度降低,对比率增加。
此外,由于研磨拖尾减少,所以黑矩阵可具有更小的尺寸。这提高了孔径比。
从下文给出的详细说明将更加明确地了解本发明更多的应用范围。但应该理解的是,仅以说明性的方式给出了表示本发明的优选实施方式的详细说明和具体例子,因为在本发明的精神和范围之内的各种改变和修改对本领域技术人员而言可以从详细说明中明显看出。
附图说明
所包含的附图用于提供对发明的进一步的理解,并引入组成说明书的一部分,附图图解了本发明的实施例,并与说明书一起用于解释本发明的原理。
在附图中:
图1是示意性说明现有技术中液晶显示器(LCD)的结构的分解透视图;
图2是示意性说明现有技术中的研磨工序的透视图。
图3是示意性说明本发明的研磨工序的透视图。
图4是说明根据本发明的一个实施例制造液晶显示器(LCD)的方法的流程图;
图5是说明根据本发明的另一实施例制造液晶显示器(LCD)的方法的流程图;
图6是说明图4和5所示的制造液晶显示器的方法中的研磨方法的流程图。
具体实施方式
现在参考附图对实施例进行详细说明。为参考附图进行说明的简要起见,相同或者等同的元件被赋予相同的参考数字,且不再重复这些元件的说明。
下面,参考附图详细解释本发明的研磨方法和利用该方法制造液晶显示器(LCD)的方法。
图3是示意性说明本发明的研磨工序的透视图。
如图所示,本发明的研磨装置包括:第一研磨辊130a和第二研磨辊130b,所述第一研磨辊130a和第二研磨辊130b在不同方向上旋转以进行双向研磨;工作台120,所述工作台120设置在第一研磨辊130a和第二研磨辊130b下方,所述工作台120上安装有基板110以进行研磨;和传送装置(未示出),所述传送装置设置在第一研磨辊130a和第二研磨辊130b上方,被配置为传送第一研磨辊130a和第二研磨辊130b。
工作台120形成为具有长边和短边的长方形。这里,第一研磨辊130a和第二研磨辊130b可以设置在工作台120的长边的方向上。
第一研磨辊130a和第二研磨辊130b中的每一个都形成为具有旋转轴和外圆周表面的圆柱形。第一研磨布135a和第二研磨布135b分别卷绕在第一研磨辊130a和第二研磨辊130b的外圆周表面上。
第一研磨布135a和第二研磨布135b是例如天鹅绒或者棉法兰绒之类的织物,所述织物是通过在具有经纬结构的材料上编织柔软的纺织品,如人造纤维、尼龙和棉纱而形成的。第一研磨布135a和第二研磨布135b用于通过研磨液晶显示器的取向层而形成预定的倾角。
尽管未图示,但是诸如电机的驱动装置(未示出)连接到第一研磨辊130a和第二研磨辊130b,从而使第一研磨辊130a和第二研磨辊130b中的每一个能够以旋转轴为中心旋转。
为了由该研磨装置执行研磨工序,将上面具有取向层(未示出)的基板110装载到工作台120上。
通过将由聚酰胺酸(其为有机聚合物)、可溶的聚酰亚胺等形成的取向材料沉积到基板110上,通过将取向材料干燥到60℃~80℃的温度,然后通过在80℃~200℃的温度下硬化该取向材料,可形成取向层。硬化后的取向层成为聚酰亚胺。
这里,取向层可形成为覆盖包括柱状衬垫料(CS)的基板110的整个表面。
对基板110上形成的取向层实施研磨工序,从而在取向层表面上形成槽。当设定研磨条件时,需要考虑到的最重要事项之一是确定适当的研磨强度,并且在基板110的大面积上均匀施加该研磨强度。
在本发明中,对取向层实施初级研磨工序。首先,向后旋转第一研磨辊130a,所述第一研磨辊130a上卷绕有第一研磨布135a。然后,移动工作台120和第一研磨辊130a中的至少一个,所述工作台120上装载有基板110。更具体地说,当沿着箭头的方向将工作台120从基板110的一侧移动到基板110的另一侧时,第一研磨辊130a在和期望预倾角的形成方向相反的方向上旋转(即顺时针方向)。通过这样,执行所述初级研磨工序。
这里,第一研磨布135a的毛可以相对于第一研磨辊130a的旋转轴的垂直方向朝左侧、右侧和中间之一倾斜。
所述毛在左右方向上可以具有5°~37°的倾角。
研磨布可以分成以下三类。当研磨布的毛具有朝研磨方向的相反方向倾斜的向量分量、且具有相对于研磨辊的旋转轴的垂直方向朝左侧倾斜的向量分量时,该研磨布称为L型研磨布。当研磨布的毛具有朝研磨方向的相反方向倾斜的向量分量、且具有相对于研磨辊的旋转轴的垂直方向朝右侧倾斜的向量分量时,该研磨布称为R型研磨布。当研磨布的毛和研磨辊的旋转轴的垂直方向平行时,该研磨布称为V型研磨布。
优选地,所述毛在左右方向上可以具有5°~37°的倾角。
然后,对取向层实施次级研磨工序。首先,向前旋转第二研磨辊130b,所述第二研磨辊130b上卷绕有第二研磨布135b。然后,移动工作台120和第二研磨辊130b中的至少一个,所述工作台120上装载有基板110。更具体地说,第二研磨辊130b在期望预倾角的形成方向上旋转(即逆时针方向)。
这里,第二研磨布135b的毛可以相对于第二研磨辊130b的旋转轴的垂直方向朝左侧、右侧和中间之一倾斜。
第一研磨布135a和第二研磨布135b可以被配置为具有例如R型、L型和V型的各种倾斜方向,和前后方向上的各种预倾角。当执行研磨工序时,可以结合考虑例如痕迹宽度、旋转速度等其它条件,根据每个模式选择最佳的研磨布。
第一研磨辊130a的旋转轴和第二研磨辊130b的旋转轴可以设置成彼此平行。
通过首先在和预倾角的形成方向相反的方向(反向)上旋转研磨辊130a,其次在正向上旋转研磨辊130b,来执行本发明的双向研磨。即,在常规技术中,由于形成在像素区域(P)之间的例如柱状衬垫料(CS)等高台阶图案的影响,在图案的末端可能不能正常执行研磨工序。这可能会导致向错、研磨擦痕、研磨拖尾等。但是,在本发明中,在和预倾角的形成方向相反的方向上执行初级研磨工序,然后在正向上执行次级研磨工序。这种双向研磨会减少实施单向研磨工序时产生的向错和研磨拖尾。
下面,参考附图详细解释利用该研磨工序制造液晶显示器的方法。
图4是说明根据本发明的一个实施例制造液晶显示器(LCD)的方法的流程图;图5是说明根据本发明的另一实施例制造液晶显示器(LCD)的方法的流程图。
图4示出了通过液晶注入形成液晶(LC)层的情况下制造液晶显示器的方法,图5示出了通过液晶滴注形成LC层的情况下制造液晶显示器的方法。
制造液晶显示器的工序大体上可以分成在下阵列基板上形成驱动器件的驱动器件阵列工序、在上滤色器基板上形成滤色器的滤色器工序、以及单元(cell)工序。
首先,通过阵列工序在阵列基板上形成限定像素区域的多条栅线和数据线,并且在每个像素区域形成连接到所述栅线和数据线的驱动器件、即薄膜晶体管(TFT)(S101)。通过阵列工序,还形成连接到TFT的像素电极,所述像素电极被配置为当通过所述TFT施加信号时驱动LC层。
在滤色器基板上,通过滤色器工序形成滤色器层和公共电极(S103)。滤色器层由RGB的子滤色器组成。在制造IPS(公平面转换)液晶显示器的情况中,在已经通过阵列工序在上面形成了像素电极的下基板上形成公共电极。
然后,为了给形成在滤色器基板和阵列基板之间的LC层的LC分子提供锚定力或表面锚固(预倾角和定向方向),在每一滤色器基板和阵列基板上印刷取向层,然后对取向层实施研磨工序(S102,S104)。
在本实施例中,在和预倾角的形成方向相反的方向上实施初级研磨,在预倾角的形成方向上实施次级研磨。这样会减少例如柱状衬垫料的高台阶图案引起的偏差和研磨拖尾产生。下面参考图6对此进行详细说明。
图6是说明图4和5所示的制造液晶显示器的方法中的研磨方法的流程图。
一般来说,取向层是确定LC分子的定向和提高显示特性的非常重要的因素。取向层由聚酰胺酸(其为有机聚合物)、或者可溶性基于聚酰亚胺的聚合物形成。在涂到基板上之后,干燥、加热和硬化该材料,以形成取向层。
取向剂印刷工序指的是这样一种工序,其清洗所提供的滤色器基板或阵列基板,和利用印刷设备将液晶取向剂均匀地沉积到滤色器基板或阵列基板的一个表面上(S201)。
将液晶取向剂沉积到滤色器基板或阵列基板的一个表面上时,主要采用利用印刷设备的印刷方法。根据印刷方法,通过入口注入到排列成行的多个辊中的液晶取向剂被提供给所述辊的外圆周表面。然后,所述辊开始将液晶取向剂印刷到滤色器基板或阵列基板的一个表面上。
利用这种印刷方法涂布到滤色器基板或阵列基板上的取向剂具有约40nm-80nm的厚度。一旦通过下述干燥和硬化工序硬化该取向剂,就完成了取向层。
用于将印刷到滤色器基板或阵列基板的一个表面上的液晶取向剂干燥和硬化成取向层的硬化工序(S202)按如下方式实施。在采用将上面涂了取向剂的滤色器基板或阵列基板放在预热器中、且每一块滤色器基板和阵列基板都被直接加热的热板(hot plate)方法的情况中,通过初级低温加热印刷的取向剂被平面化,之后通过次级高温加热使取向剂的溶剂均匀蒸发。
然后,将滤色器基板或阵列基板放入硬化炉中,之后对滤色器基板或阵列基板进行最后的热处理。结果是,取向剂完全实现为取向层。
然后,为了给形成在滤色器基板和阵列基板之间的LC层的LC分子提供锚定力或表面锚固,对取向层实施研磨工序。
这里,研磨工序是按如下方式实施的。首先,将诸如天鹅绒的研磨布切割成适当的大小。然后,将研磨布卷绕到研磨辊的外圆周表面上,然后利用该研磨辊研磨上面具有取向层的滤色器基板或阵列基板。
一旦研磨了取向层的表面,就会在该取向层的表面上形成微小的槽。
在本实施例中,对取向层执行初级研磨工序(S203)。首先,向后旋转第一研磨辊,第一研磨辊上卷绕有第一研磨布。然后,移动工作台和第一研磨辊中的至少一个,工作台上装载有滤色器基板或阵列基板。更具体地说,当将工作台从滤色器基板或阵列基板的一侧移动到另一侧时,第一研磨辊在和期望预倾角的形成方向相反的方向上旋转。
然后,对取向层实施次级研磨工序(S204)。首先,向前旋转第二研磨辊,第二研磨辊上卷绕有第二研磨布。然后,移动工作台和第二研磨辊中的至少一个,工作台上装载有滤色器基板或阵列基板。更具体地说,第二研磨辊在期望预倾角的形成方向上旋转,从而对已经历过初级研磨工序的滤色器基板或阵列基板的取向层实施次级研磨工序。
这里,第一研磨布和第二研磨布的毛可以相对于第一研磨辊和第二研磨辊的旋转轴的垂直方向朝左侧、右侧和中间之一倾斜。
第一研磨布和第二研磨布可以配置为具有例如R型、L型和V型的各种倾斜方向,和前后方向上的各种预倾角。当执行研磨工序时,可以结合考虑例如痕迹宽度、旋转速度等其它条件,根据每个模式选择最佳的研磨布。
第一研磨辊的旋转轴和第二研磨辊的旋转轴可以设置成彼此平行。
如图4和5所示,用取向层测试仪对完全经历过研磨工序的滤色器基板和阵列基板执行取向层测试(S105)。
如果研磨不均匀,则LC分子的取向度不一致。这会导致局部次品,从而导致其它光学特性低劣。
用于研磨次品的测试包括初级测试和次级测试,所述初级测试用于测试在涂布的取向层表面上是否存在污点、条纹或者孔洞,所述次级测试用于测试研磨后的取向层表面的均匀度,和测试研磨后的取向层表面上是否存在擦痕。
可采用蒸汽测试仪作为取向层测试仪。下面,将对蒸汽测试仪进行详细解释。
蒸汽测试仪中设有蒸汽发生器。为了测试取向层是否是次品,将形成有取向层的基板表面暴露给蒸汽发生器。然后,用设备观察具有蒸汽(vaporous)的取向层的非均匀性,例如变色、亮度差异和凝聚,以测试均匀性。因为蒸汽测试仪的处理简单,且不会对被测试的基板造成损害,所以可以提高生产率。
利用蒸汽测试仪测试取向层是按如下方式执行的。
首先,将上面形成了取向层的基板设置在蒸汽发生器上。这里,安装基板以使基板具有预定倾角,例如40°~50°的倾角,从而能够容易观测到蒸汽等。
来自蒸汽发生器的蒸馏水被加热到预定温度,例如80℃~100℃的温度以产生蒸汽。结果是,在基板的取向层上形成蒸汽。
用使用者的肉眼或者诸如照相机的设备从对面观测具有蒸汽的基板的非均匀性,例如变色、亮度差异和凝聚,从而测试取向层的均匀性。
通过该取向层测试,可以测试到取向层的微小缺陷或者杂质导致的污染。在本实施方式中,在研磨工序之后执行取向层测试。但是,也可以在研磨工序之前执行取向层测试。
如图4所示,在经历过取向层测试的阵列基板上形成衬垫料以维持恒定的单元间隙。将密封剂涂到滤色器基板的外边缘上。然后,利用压力将滤色器基板和阵列基板彼此贴附(S106,S107,S108)。衬垫料可以是通过分散实现的球状衬垫料,或者是通过构图实现的柱状衬垫料。
滤色器基板和阵列基板分别形成在大面积母基板上。即,多个面板区域被分配给大面积母基板,并且薄膜晶体管(TFT)和滤色器层形成在每一面板区域上。因此,为了生产单个的LCD面板,必须切割母基板以进行处理(S109)。然后,通过LC注入口将液晶注入到每一个经处理的LCD面板中,并且密封该LC注入口从而形成LC层。然后,对每一LCD面板进行测试,以制造LCD面板(S110,S111)。
这里,通过利用压力差的真空注入法注入液晶。根据真空注入法,将从大面积母基板分离的LCD面板的LC注入口浸入容器中,该容器设置在真空腔室中且包含液晶,然后改变腔室内的真空度,从而液晶因LCD面板内外的压力差而注入到LCD面板中。一旦液晶充满了LCD面板,就密封该LC注入口,以形成LCD面板的LC层。在利用真空注入法在LCD面板中形成LC层的情况中,密封图案是部分敞开的,以用作LC注入口。
但是,上述真空注入法可能存在以下问题。
首先,在LCD面板中填充液晶需要很长时间。一般来说,彼此贴附的LCD面板在几百cm2的面积上具有几μm的间隙。因此,即使应用利用压力差的真空注入法,每单位时间注入的液晶量也是非常少的。例如,在制造约15英寸的LCD面板的情况中,在LCD面板中填充液晶需要大约8个小时。这么长的时间会降低生产率。此外,随着LCD面板越来越大,在LCD面板中填充液晶要花更长的时间,并且在填充时会产生次品。
其次,消耗的液晶量很大。一般来说,注入到LCD面板中的液晶量要比容器中容纳的液晶量少得多。而且,一旦液晶暴露在空气或者特定气体中,液晶就因和特定气体反应而劣化。即使容器中容纳的液晶用来填充多块LCD面板,也会导致填充之后剩下的大量液晶被丢弃。因为昂贵的液晶被丢弃,所以LCD面板的成本很高。这会降低价格竞争力。
为了克服真空注入法的问题,可以采用滴注法。
如图5所示,在取向层测试(S105)之后,用密封剂在滤色器基板上形成预定的密封图案,和在阵列基板上形成液晶层(S106′,S107′)。
根据滴注法,通过在排列有多个阵列基板的大面积第一母基板或者排列有多个滤色器基板的第二母基板的图像显示区域上滴注和分配液晶,然后通过利用压力将第一和第二母基板彼此贴附到一起,将液晶均匀地施加到图像显示区域的全部部分上,从而形成LC层。
在通过滴注法在LCD面板上形成LC层的情况中,为了防止液晶漏到图像显示区域外面,需要将密封图案实现为封闭图案,以包围像素区域的外边缘。
根据滴注法,滴注液晶花费的时间比真空注入法要短。此外,即使LCD面板变大,也可以非常快地形成LC层。
此外,只在基板上滴注所需量的液晶。这样,可以防止真空注入法中丢弃昂贵液晶导致的LCD面板的高成本。从而提高了价格竞争力。
然后,将上面滴有液晶且涂布了密封剂的第一和第二母基板彼此对准,然后利用压力通过密封剂将它们贴附到一起。滴注的液晶均匀分配到LCD面板的整个部分上(S108′)。通过这些工序,在其间插入了LC层的贴附的第一和第二母基板上形成了多个LCD面板。将这些玻璃基板切割成多个LCD面板,检查每块分离的LCD面板,从而制造液晶显示器(S109′,S110′)。
上述实施方式和优点仅仅是范例,不对本公开构成限制。这些内容可以很容易地应用到其它类型的装置中。说明书是说明性的,不限制权利要求的范围。很多供选方案、修改和变更对本领域技术人员来说都是显而易见的。这里描述的例示性实施例的特征、结构、方法和其它特点可以通过各种方式组合,以获得另外的和/或供选择的例示性实施例。
因为当前特征在不脱离其本质的情况下可以表现为几种形式,所以应该理解的是,除非另有说明,上述实施例不局限于前述说明的任何细节,而是应该广义地理解为由权利要求限定的范围,因此所有落在权利要求范围内的变化和修改,或者该范围内的等价物都包含在权利要求的范围内。
Claims (16)
1.一种研磨方法,包括:
将上面形成有取向层的基板装载在工作台上;
通过在和期望预倾角的形成方向相反的方向上旋转第一研磨辊,在取向层上执行初级研磨工序,所述第一研磨辊上卷绕有第一研磨布;和
通过在期望预倾角的形成方向上旋转第二研磨辊,在初级研磨后的取向层上执行次级研磨工序,所述第二研磨辊上卷绕有第二研磨布。
2.权利要求1所述的方法,其中通过移动上面装载有基板的工作台和第一研磨辊中的至少一个,执行所述初级研磨工序。
3.权利要求1所述的方法,其中通过移动上面装载有基板的工作台和第二研磨辊中的至少一个,执行所述次级研磨工序。
4.权利要求1所述的方法,其中所述第一研磨布和第二研磨布的毛被配置为相对于第一研磨辊和第二研磨辊的旋转轴的垂直方向朝左侧、右侧和中间之一倾斜。
5.权利要求4所述的方法,其中所述毛在左右方向上具有5°~37°的倾角。
6.一种制造液晶显示器的方法,包括:
提供其上具有多个阵列基板的母基板和其上具有多个滤色器基板的母基板;
对阵列基板执行阵列工序,对滤色器基板执行滤色器工序;
在经历过阵列工序和滤色器工序的母基板的每个表面上形成取向层;
通过在和期望预倾角的形成方向相反的方向上旋转第一研磨辊,在取向层上执行初级研磨工序,所述第一研磨辊上卷绕有第一研磨布;
通过在期望预倾角的形成方向上旋转第二研磨辊,在初级研磨后的取向层上执行次级研磨工序,所述第二研磨辊上卷绕有第二研磨布;
将经历过研磨工序的一对母基板彼此贴附;和
将贴附的母基板切割成多个单位LCD面板。
7.权利要求6所述的方法,其中形成取向层的步骤包括:
在母基板上沉积由有机聚合物形成的取向材料;
将取向材料初步干燥到60℃~80℃的温度;和
在80℃~200℃的温度下硬化所述取向材料。
8.权利要求6所述的方法,其中通过移动上面装载有母基板的工作台和第一研磨辊中的至少一个,执行所述初级研磨工序。
9.权利要求6所述的方法,其中通过移动上面装载有母基板的工作台和第二研磨辊中的至少一个,执行所述次级研磨工序。
10.权利要求6所述的方法,其中所述第一研磨布和第二研磨布的毛被配置为相对于第一研磨辊和第二研磨辊的旋转轴的垂直方向朝左侧、右侧和中间之一倾斜。
11.权利要求10所述的方法,其中所述毛在左右方向上具有5°~37°的倾角。
12.权利要求6所述的方法,其中将液晶滴到经历过研磨工序且上面具有阵列基板和滤色器基板的母基板中的一个上,将密封剂涂到另一母基板上。
13.权利要求12所述的方法,其中将上面滴过液晶的母基板贴附到上面涂过密封剂的母基板上。
14.权利要求6所述的方法,其中将衬垫料形成在经历过研磨工序且上面具有阵列基板和滤色器基板的母基板中的一个上,将密封剂涂到另一母基板上。
15.权利要求14所述的方法,其中将上面形成了衬垫料的母基板贴附到上面涂过密封剂的母基板上。
16.权利要求15所述的方法,其中将贴附的母基板切割成多个LCD面板,并将液晶注入到LCD面板中。
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