CN110534447A - 一种基于cim的自动变更检量的抽检方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基于CIM的自动变更检量的抽检方法，包括如下步骤：待检产品生产后，扫描并匹配检量测规则；判断产品是否满足抽检批次,若产品满足抽检批次则进行抽检；计算该产品相关联的设定的检量测机台的机台效能，如果机台效能有变化，则对设定表的目前抽检频率进行变更。本发明既能够保证生产的节拍，又能够保证机台充分利用；提升了产品的检测精准度，并提升检测机台的利用率，无需针对某个订单单独购买昂贵的检量测机台，保证了产品的品质，提升了效益。

Description

一种基于CIM的自动变更检量的抽检方法
技术领域
本发明涉及抽检技术领域，尤其涉及一种基于CIM的自动变更检量的抽检方法。
背景技术
在泛半导体行业(液晶面板和半导体)的制程过程中，需要针对不同的场景对产品进行实时检测，而检测机台(AOI自动光学检测机)又十分昂贵；所以大部分的情况下都是抽检模式(就是根据CIM系统的设定，按照规则，如某种产品，在某个工艺流程上使用1/n的模式,即每n批次产品抽检一次)对产品进行检测。
目前的检测模式都是靠人员依据经验在系统上进行设定，机台按照系统的设定进行检测；但此种模式下，由于人员的设定和生产的计划总会出现一定的不匹配，导致要么产品检测出现延时(机台太忙)，影响整个生产的节拍；要么机台太闲，导致产品抽检不充分，机台利用率太低，甚至出现品质问题。
传统技术存在以下缺点：
1.检测频率设定靠人员经验，不准确；
2.不同产品，不同工艺，不同制程站点对抽检的频率要求不一样，导致一旦切换新产品需要重新设定，工作量大，且设定不准确；
3.为了某些订单，需要购买昂贵的检量测机台，但利用率太低；
4.不同产品同时生产时，由于产品的差异，导致机台利用率太高，某些产品无法抽检，影响产品品质。
发明内容
本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种基于CIM的自动变更检量的抽检方法，包括如下步骤：
S1:初始化产品和检量测机台的抽检设定规则；
S2:有待检产品生产后，检量测机台匹配抽检设定规则；若匹配到抽检设定规则，则转S3；若匹配不到抽检设定规则,转S4；
S3:判断产品是否满足抽检批次,若满足则转S5；否则转S8；
S4:计算并判断检量测机台的制程能力，若检量测机台的制程能力正常则转S5；否则转S8；
S5:检测产品，收集检测结果，如果通过S3跳转过来，则转S6，否则转S8；
S6:计算检量测机台对于该抽检批次对应产品的效能，判断是否变化，若是则转S7,否则转S8；
S7:修改抽检设定规则；
S8:进入下一制程站点。
本发明的有益效果在于：
1.通过修改合适的检量测频率，提高产品的检测精度；
2.能够针对不同不同制程站点进行不同的抽检，减少检量测设备的成本投入，无需针对某个订单单独购买昂贵的检量测机台，保证了产品的品质，提升了效益；
3.减少人员的干预和工作量，提升检量测设备的使用率；
4.智能改善产品的生产周期，提升工厂的效益。
附图说明
图1是本发明的原理图；
图2是设定规则的示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步说明：
如图1所示，本发明一种基于CIM的自动变更检量的抽检方法，包括如下步骤：
S1:初始化产品和检量测机台的抽检设定规则；
S2:有待检产品生产后，检量测机台匹配抽检设定规则；若匹配到抽检设定规则，则转S3；若匹配不到抽检设定规则,转S4；
S3:判断产品是否满足抽检批次,若满足则转S5；否则转S8；
S4:计算并判断检量测机台的制程能力，若检量测机台的制程能力正常则转S5；否则转S8；
S5:检测产品，收集检测结果，如果通过S3跳转过来，则转S6，否则转S8；
S6:计算检量测机台对于该抽检批次对应产品的效能，判断是否变化，若是则转S7,否则转S8；
S7:修改抽检设定规则；
S8:进入下一制程站点。
进一步的，所述抽检设定规则包括产品的名称、站点、机台、最低抽检频率、最高抽检频率与当前抽检频率。
进一步的，所述计算检量测机台对于该抽检批次对应产品的效能具体过程包括：
设在制品数量为W,产品派送时间为T，良率为G，K1为在制品数量影响系数，K2为产品派送时间影响系数，K3为产品良率系数，M为检量测机台的制程能力，则
M＝K1*W+K2*T+K3*G。
操作人员先初始化设定检量测抽检规则；如对CCC产品抽检，产品生产后，扫描并匹配获取检量测抽检规则；若得到抽检频率为1/9的检量测抽检规则，即对所有产品中的1/9产品进行抽检，反之，若得不到检量测抽检规则，属于一种特殊情况，即产品无需抽检的情况。
工作原理如下：初始化产品和检量测机台的设定规则；待检产品生产后匹配检量测规则；如果匹配到规则，则计算该产品是否满足抽检批次；如果匹配不到规则则计算检量测机台的制程能力；如果产品满足批次抽检或者检量测机台有制程能力，则进行抽检；抽检完成后产品进入下一制程站点；抽检完成后，如果是满足匹配到规则的，则会触发该机台，计算该产品相关联的设定的检量测机台的机台效能，如果机台效能有变化，则会触发该抽检规则的变更，变更后会对设定表的目前抽检频率进行变更。
待检测产品的在制品数量越大，则目前检量测机台的抽检频率降低幅度越小；产品派送的时间，计算产品目前派送到该检量测机台的时间，如果派送变慢，则目前检量测机台的抽检频率会降低幅度越大；检测后产品的良率系数，良率越高，检量测机台的目前抽检频率降低幅度越小。设定K1、K2、K3的值，K1+K2+K3＝1，实现产能监控，便于机台布局调整，如K1＝30％,K2＝25％,K3＝45％。
目前抽检频率为系统根据检量测机台的使用情况自动调节的抽检频率。抽检频率的大小会影响生产效益，合理的抽检频率能够在保证产品质量检测的同时保证生产的效益。
根据产品、站点、机台设定抽检频率，如附图2若产品为CCC则在1000站点会匹配到如上第三条设定进行生产，即按照1/9的抽检频率进行抽检。
本发明既能够保证生产的节拍，又能够保证机台充分利用，减少人员干预，节约成本，大大提升了产品的检测精准度，并提升检测机台的利用率，无需针对某个订单单独购买昂贵的检量测机台，保证了产品的品质，提升了效益。
本发明的技术方案不限于上述具体实施例的限制，凡是根据本发明的技术方案做出的技术变形，均落入本发明的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种基于CIM的自动变更检量的抽检方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1:初始化产品和检量测机台的抽检设定规则；
S2:有待检产品生产后，检量测机台匹配抽检设定规则；若匹配到抽检设定规则，则转S3；若匹配不到抽检设定规则,转S4；
S3:判断产品是否满足抽检批次,若满足则转S5；否则转S8；
S4:计算并判断检量测机台的制程能力，若检量测机台的制程能力正常则转S5；否则转S8；
S5:检测产品，收集检测结果，如果通过S3跳转过来，则转S6，否则转S8；
S6:计算检量测机台对于该抽检批次对应产品的效能，判断是否变化，若是则转S7,否则转S8；
S7:修改抽检设定规则；
S8:进入下一制程站点。
2.根据权利要求1所述一种基于CIM的自动变更检量的抽检方法，其特征在于，所述抽检设定规则包括产品的名称、站点、机台、最低抽检频率、最高抽检频率与当前抽检频率。
3.根据权利要求1所述一种基于CIM的自动变更检量的抽检方法，其特征在于，所述计算检量测机台对于该抽检批次对应产品的效能具体过程包括：
设在制品数量为W,产品派送时间为T，良率为G，K1为在制品数量影响系数，K2为产品派送时间影响系数，K3为产品良率系数，M为检量测机台的制程能力，则
M＝K1*W+K2*T+K3*G。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US20060178767A1 (en) * 2005-02-04 2006-08-10 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Systems and methods for inspection control
CN103346105A (zh) * 2013-06-27 2013-10-09 上海华力微电子有限公司 一种可按照工艺晶圆数量负载动态调整的缺陷抽检方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060178767A1 (en) * 2005-02-04 2006-08-10 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Systems and methods for inspection control
CN103346105A (zh) * 2013-06-27 2013-10-09 上海华力微电子有限公司 一种可按照工艺晶圆数量负载动态调整的缺陷抽检方法

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