CN110418953B - 冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒 - Google Patents

Abstract

提供一种良好的冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒。一种冷阴极电离真空计，其特征在于，具有：阳极；筒状的阴极，其以包围阳极的方式配置；密封部，其密封阴极的一侧的开口；第1构件，其在阴极的内部与密封部相对，设置有贯通孔；分隔部，其将由阴极、密封部以及第1构件围成的空间分隔成第1构件所面对的第1空间和密封部所面对的第2空间；以及光源，其配置于分隔部或第2空间，并且，发出电磁波，在分隔部的外周部的至少一部分与阴极之间形成有间隙。

Description

冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒

技术领域

本发明涉及一种冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒。

背景技术

冷阴极电离真空计用于对设置到测头容器内的放电空间的阳极与阴极之间施加高电压，产生自放电，从而使气体电离而测定压力。在对阳极与阴极之间施加电压之后不是立即产生放电，因此，优选促进放电开始。例如，在专利文献1中，设置辉光灯而向阴极照射电磁波、具体而言电磁放射线，利用光电效应从阴极产生电子，从而诱发放电。

现有技术文献

专利文献

日本特开平06-26967号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，无法说以往的冷阴极电离真空计一定良好。例如，存在维护的周期比较短的情况，另外，存在无法在足够宽的压力范围内获得稳定的放电特性的情况。

本发明的目的在于提供一种良好的冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒。

用于解决问题的方案

根据实施方式的一观点，提供一种冷阴极电离真空计，该冷阴极电离真空计的特征在于，该冷阴极电离真空计具有：阳极；筒状的阴极，其以包围所述阳极的方式配置；密封部，其密封所述阴极的一侧的开口；第1构件，其在所述阴极的内部与所述密封部相对，设置有贯通孔；分隔部，其将由所述阴极、所述密封部以及所述第1构件围成的空间分隔成所述第1构件所面对的第1空间和所述密封部所面对的第2空间；以及光源，其配置于所述分隔部或所述第2空间，并且，发出电磁波，在所述分隔部的外周部的至少一部分与所述阴极之间形成有间隙。

根据实施方式的另一观点，提供一种冷阴极电离真空计用盒，该冷阴极电离真空计用盒以能够拆卸的方式配置于冷阴极电离真空计的阴极的内部，该冷阴极电离真空计具备：阳极；筒状的所述阴极，其以包围所述阳极的方式配置；以及密封部，其密封所述阴极的一侧的开口，该冷阴极电离真空计用盒的特征在于，该冷阴极电离真空计用盒具备：第1构件，其与所述密封部相对，设置有贯通孔；分隔部，其将由所述阴极、所述密封部以及所述第1构件围成的空间分隔成所述第1构件所面对的第1空间和所述密封部所面对的第2空间；以及筒状的连接部，其连结所述第1构件和所述分隔部，在所述连接部与所述分隔部之间设置有间隙。

根据实施方式的又一观点，提供一种冷阴极电离真空计，其特征在于，该冷阴极电离真空计具备：阳极；筒状的阴极，其以包围所述阳极的方式配置，圆盘状的第1磁性构件，其位于所述阴极的内部，具有供所述阳极贯穿的贯通孔；以及圆盘状的第2磁性构件，其以与所述第1磁性构件相对的方式配置于所述阴极的内部，所述第1磁性构件和所述第2磁性构件中的至少一者的中心部的厚度比外周部的厚度厚。

根据实施方式的又一观点，提供一种冷阴极电离真空计用盒，该冷阴极电离真空计用盒以能够拆卸的方式配置于冷阴极电离真空计的阴极的内部，该冷阴极电离真空计具有阳极和以包围所述阳极的方式配置的筒状的所述阴极，该冷阴极电离真空计用盒的特征在于，该冷阴极电离真空计用盒具备：圆盘状的第1磁性构件，其位于所述阴极的内部，具有供所述阳极贯穿的贯通孔；以及圆盘状的第2磁性构件，其以与所述第1磁性构件相对的方式配置于所述阴极的内部，所述第1磁性构件和所述第2磁性构件中的至少一者的中心部的厚度比外周部的厚度厚。

发明的效果

根据本发明，能够提供良好的冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒。

附图说明

图1是表示第1实施方式的真空处理装置的概略图。

图2是表示第1实施方式的冷阴极电离真空计的剖视图。

图3是表示第1实施方式的冷阴极电离真空计的测头的剖视图。

图4是表示比较例的冷阴极电离真空计的剖视图。

图5是表示压力-放电电流特性的图表。

图6是表示本实施方式的冷阴极电离真空计的压力-放电电流特性的图表。

图7是表示比较例的冷阴极电离真空计的压力-放电电流特性的图表。

图8是表示放电开始时间的图表。

图9是表示第1实施方式的变形例(其1)的冷阴极电离真空计的剖视图。

图10是表示第1实施方式的变形例(其2)的冷阴极电离真空计的剖视图。

图11是表示第2实施方式的冷阴极电离真空计的剖视图。

图12是表示第2实施方式的冷阴极电离真空计的测头的剖视图。

图13是表示第2实施方式的变形例(其1)的冷阴极电离真空计的测头的剖视图。

图14是表示第2实施方式的变形例(其2)的冷阴极电离真空计的测头的剖视图。

具体实施方式

[第1实施方式]

使用附图对第1实施方式的冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒进行说明。图1是表示本实施方式的真空处理装置的概略图。图1表示本实施方式的冷阴极电离真空计100安装到真空处理装置S的状态。真空处理装置S是例如成膜装置。作为该成膜装置，可列举出例如溅射装置、PVD装置、CVD装置等。另外，真空处理装置S也可以是灰化装置、干蚀刻装置等表面处理装置。

如图1所示，冷阴极电离真空计100具备测头102和与测头102连接起来的冷阴极电离真空计控制部(真空计动作电路)13。真空处理装置S具备真空容器101。测头102以保持着气密的状态安装于真空容器101的壁面的开口部分。具体而言，测头102利用凸缘8与真空容器101连接。此外，冷阴极电离真空计控制部13和测头102既可以独立地设置，也可以一体化。

图2是表示本实施方式的冷阴极电离真空计100的剖视图。冷阴极电离真空计100是例如倒置磁控管型真空计，但并不限定于此。测头102具备阳极2(anode)和构成阴极1(cathode)的测头容器(容器、壳体)103。构成阴极1的测头容器103被成形成大致圆筒状(大致管状)。阳极2被成形成棒状。大致圆筒状的阴极1以包围棒状的阳极2的方式定位。放电空间4由阳极2和阴极1形成。测头容器103由例如金属形成。作为测头容器103的材料，使用例如不锈钢等。阳极2由例如金属形成。

形成磁场的磁体(磁性部件)3以包围测头容器103的方式设置成环状。作为磁体3，优选使用例如铁氧体磁体等永磁体。

在测头容器103的一个端部12设置有绝缘构件6。测头容器103的一个端部(密封部)12被绝缘构件6密封。在绝缘构件6以保持着气密的状态贯通并固定有阳极2。作为绝缘构件6的材料，使用例如氧化铝陶瓷等。测头容器103的另一个端部17开口，与真空容器101连接。

在测头容器103内配置有能够更换的测头用盒106。测头用盒106具备：极靴(构件)104、105，其用于调整磁场，并且包围放电空间4；壁部107，其被成形成沿着测头容器103的壁部103a这样的形状，并且包围放电空间4；板状体20；以及光源罩25，其配置于分隔部。将这样的能够更换的测头用盒106配置于测头容器103内的原因在于，阴极部分由于离子的碰撞而劣化。另外，其原因在于，在放电空间4中溅射的阴极构成粒子附着于覆盖光源15的罩25。

极靴(第1构件)104固定于筒状的壁部(连接部)107的一端。极靴104位于测头容器103的另一个端部17与极靴(第2构件)105之间。极靴104既可以由磁性体形成，也可以由非磁性体形成。在使用了非磁性体作为极靴104的材料的情况下，磁力线相对于测头容器103的壁面弯曲，但在使用了磁性体作为极靴104的材料的情况下，磁力线与测头容器103的壁面平行。因此，出于抑制测头容器103内的电子的偏置的观点考虑，优选使用磁性体作为极靴104的材料。作为极靴104的材料，使用例如磁性体的不锈钢、非磁性体的不锈钢等。极靴104与测头容器103一起构成阴极1。图3是表示测头102的剖视图。图3的(a)与图2的I-I线截面相对应。如图3的(a)所示，在极靴104形成有多个开口(开口部)10。测头102和真空容器101能够经由开口10通气。

极靴105固定于筒状的壁部107的另一端。极靴105位于测头容器103的一个端部(密封部)12与极靴104之间。极靴105与随后论述的板状体(第3构件)20相结合而构成分隔部。极靴105与极靴104同样地既可以由磁性体形成，也可以由非磁性体形成。作为极靴105的材料，与极靴104的材料同样地使用例如磁性体的不锈钢、非磁性体的不锈钢等。极靴105与测头容器103、极靴104等一起构成阴极1。图3的(b)与图2的II-II线截面相对应。如图3的(b)所示，在极靴105的中央部形成有贯通孔11。贯通孔11由棒状的阳极2贯穿。在阳极2与贯通孔11的内表面之间存在有间隙14。

壁部107被成形成沿着测头容器103的壁部103a这样的形状。即，壁部107形成为大致圆筒状。壁部107与极靴104、极靴105同样地既可以由磁性体形成，也可以由非磁性体形成。作为壁部107的材料，与极靴104、极靴105同样地使用例如磁性体的不锈钢、非磁性体的不锈钢等。壁部107与测头容器103、极靴104、105等一起构成阴极1。

如上述这样，测头容器103、极靴104、极靴105、以及壁部107构成了阴极1。阳极2位于由极靴104、极靴105以及壁部107围成的放电空间4内、即由测头用盒106围成的放电空间4内。

也能够认为由阳极2和阴极1形成的放电空间4被极靴105和极靴104分隔开。也能够认为由阴极1、密封部12以及极靴104围成的空间被构成分隔部的极靴105和板状体20分隔成极靴104所面对的放电空间(第1空间)4和密封部12所面对的空间(第2空间)5。

在极靴105形成有用于插入光源15的光源配置部(光源设置部、光源插入部、光源安装部)22。光源15发出电磁波、例如软X射线。光源配置部22是例如在极靴105形成的贯通孔。在光源配置部22配置有光源15。也可以在光源配置部22设置罩25。光源配置部22位于壁部107的附近。光源配置部22与壁部107之间的距离比光源配置部22与阳极2之间的距离短。即，光源15位于壁部107的附近。并且，光源15与壁部107之间的距离比光源15与阳极2之间的距离短。光源15配置于壁部107的附近，因此，从光源15发出的电磁波不伴随着能量较大的衰减就到达壁部107。因此，由于光电效应，电子(光电子)易于从壁部107向放电空间4内放射。壁部107是阴极1中的到阳极2为止的距离最长的部分。因此，只要使电子从壁部107大量放射，到达阳极2为止的移动距离较长的电子就向放电空间4大量供给。若到达阳极2为止的移动距离较长的电子向放电空间4大量供给，则电子23与气体分子24之间的碰撞概率变高，能够使放电开始之前的时间缩短。

在极靴105的放电空间4侧设置有板状体(构件、板状构件)20。在板状体20的中心部形成有贯通孔20a。板状体20在极靴105的中央部固定于极靴105。板状体20形成为例如圆盘状。在板状体20的外周部的至少一部分与壁部107之间存在有间隙21。从光源15发出的光、即电磁波向形成间隙21的壁部107照射。或，电磁波能经由间隙21向放电空间4内导入。从壁部107放射出来的电子也能经由间隙21向放电空间4内导入。光源15配置于板状体20与极靴105之间。光源15以无法从放电空间4内直接看到的方式配置。不过，只要以光源的至少一部分无法从放电空间4内直接看到的方式配置有光源，也可以以定位等为目的，光源15的其他一部分向放电空间4内突出。光源15在放电空间4之外配置于构成分隔部的极靴105。在本实施方式中，通过以覆盖光源15的方式配置板状体20，光源15无法从放电空间4内直接看到。在本实施方式中，以无法从放电空间4内直接看到的方式配置有光源15的原因在于，抑制在放电空间4中溅射的阴极构成粒子向光源15附着。能抑制阴极构成粒子向光源15附着，因此，光源15能够长期间向外部放射电磁波。因此，根据本实施方式，能够延长测头102的寿命。

极靴105的靠放电空间4侧的面倾斜。换言之，极靴105的外周部处的极靴105与板状体20之间的距离比极靴105的中心部处的极靴105与板状体20之间的距离大。极靴105的中央部的厚度比极靴105的外周部的厚度厚。使极靴105的靠放电空间4侧的面倾斜的原因在于，使从光源15发出的电磁波充分地到达壁部107。

光源15的至少一部分由罩25覆盖。更具体而言，光源15由例如圆筒状的罩25覆盖。罩25由例如石英管构成。在本实施方式中，由罩25覆盖光源15基于以下这样的理由。从光源15引出来的电极26a、26b利用例如焊接等固定于设置到绝缘构件6的未图示的电极。因此，在放电空间4中溅射的阴极构成粒子向光源15自身附着，光源15无法向外部充分地放射电磁波，在此情况下也必须更换绝缘构件6等。相对于此，在本实施方式中，光源15由罩25覆盖，因此，在放电空间4中溅射的阴极构成粒子虽然能向罩25附着，但难以向光源15附着。于在放电空间4中溅射的阴极构成粒子附着到罩25的情况下，只要更换包括罩25的测头用盒106就足矣。因此，根据本实施方式，能够有助于维护成本的降低。出于这样的理由，在本实施方式中，由罩25覆盖光源15。

也可以向光源15和罩25中的至少一者涂敷功函数较低的材料、具体而言金属膜。若电磁波向功函数较低的材料入射，则更高效地产生电子。因而，只要向光源15、罩25等涂敷功函数较低的材料，就能够高效地产生电子。另外，也可以向壁部107的内表面涂敷功函数比壁部107的材料的功函数低的材料。在该情况下，能够在实施了该涂敷的部位高效地产生电子。

阳极2以保持着气密的状态贯通绝缘构件6并固定。阳极2与冷阴极电离真空计控制部13电连接。在冷阴极电离真空计控制部13设置有对阳极2施加电压的电源18和测定向阳极2流动的放电电流的放电电流检测部19。

在本实施方式中，光源15不是配置于极靴104侧，而是配置于极靴105侧，由此，无论是向光源15还是向阳极2都能从相同的一侧供给电力。因此，能够在以保持着气密的状态贯通有阳极2的绝缘构件以保持成气密的状态设置有用于向光源15供给电力的端子。无需将阳极2和设置有向光源15供给电力的端子的绝缘构件配置于不同的场所，由此，根据本实施方式，能够有助于构造的简化、低成本化等。

如上述这样，极靴105的中央部的厚度比极靴105的外周部的厚度厚。在本实施方式中，极靴105的中央部的厚度比极靴105的外周部的厚度厚不仅具有上述那样的意义，也具有以下这样的意义。即，在极靴105存在有贯通孔11。一般而言，若在极靴105的中央部存在有贯通孔11，则放电空间4的中央部处的磁通密度相对变小。相对于此，若使极靴105的中央部的厚度比极靴105的外周部的厚度大，则能够使放电空间4的中央部处的磁通密度增大。在高真空下，电子的绝对数较少，绝对数较少的电子向阳极2附近、即放电空间4的中央部集中。因此，使放电空间4的中央部处的磁通密度增大的做法促进放电，有助于放电开始时间的缩短等。如此，使极靴105的中央部的厚度比极靴105的外周部的厚度厚的做法也能有助于放电开始时间的缩短等。

如上述这样，极靴105的靠放电空间4侧的面倾斜。因此，极靴105的厚度从外周部到中央部逐渐变大。即，在本实施方式中，极靴105的厚度连续地变化。从极靴105的外周部到中央部使厚度逐渐变大的做法能有助于IP特性(压力-放电电流特性)、再现性的提高。

测头102的一部分能够相对于测头102拆卸而更换。该部分被称为冷阴极电离真空计用盒。极靴104、105、板状体20、罩25能包含于测头用盒106、即冷阴极电离真空计用盒。

(评价结果)

使用附图对本实施方式的冷阴极电离真空计100的评价结果进行说明。

图4是表示比较例的冷阴极电离真空计200的剖视图。在比较例的冷阴极电离真空计200中，在极靴205与绝缘构件6之间配置有光源15，光源15位于阳极2的附近。另外，在比较例的冷阴极电离真空计200中，极靴105的厚度变得均匀。

图5是表示实施例、即本实施方式的冷阴极电离真空计100和比较例的冷阴极电离真空计200的I-P特性、即压力-放电电流特性的图表。横轴是压力，纵轴是放电电流。如从图5可知那样，在比较例的冷阴极电离真空计200中，未必充分地获得线性的特性。相对于此，在本实施方式的冷阴极电离真空计100的情况下，在较宽的压力范围内充分地获得线性的特性。由此可知：根据本实施方式，能提供在较宽的压力范围内能高精度地测定的冷阴极电离真空计100。

图6是表示实施例、即本实施方式的冷阴极电离真空计100的I-P特性的图表。在图6中示出有进行了3次的测定的结果。图7是表示比较例的冷阴极电离真空计200的I-P特性的图表。在图7中也示出有进行了3次的测定的结果。如从图7可知那样，在比较例的冷阴极电离真空计200的情况下，I-P特性波动。相对于此，如从图6可知那样，在本实施方式的冷阴极电离真空计100的情况下，I-P特性几乎不波动。如由此可知那样，可知：根据本实施方式，能提供再现性良好的冷阴极电离真空计100。

图8是表示实施例、即本实施方式的冷阴极电离真空计100和比较例的冷阴极电离真空计200的放电开始时间的图表。横轴表示利用0.1Pa的氮使测头102内劣化了的累积时间。纵轴表示放电开始时间。如从图8可知那样，在比较例的冷阴极电离真空计200中，在仅25小时的劣化累积时间处，超过了作为放电开始时间的好坏判定的基准的3秒。相对于此，根据本实施方式，即使超过100小时的劣化累积时间，放电开始时间也低于作为好坏判定的基准的3秒。由此可知：根据本实施方式，能实现寿命较长的测头102。此外，作为好坏判定的基准的3秒是出于方便所设定的基准，并不是一般的好坏判定的基准。

如此，根据本实施方式，在极靴105的放电空间4侧设置有板状体20，由于板状体20而无法从放电空间4内直接看到光源15。因此，根据本实施方式，能够抑制在放电空间4中溅射的阴极构成粒子向光源15附着，光源15能够长期间放射电磁波。而且，在本实施方式中，从光源15发出的电磁波易于到达壁部107。因此，根据本实施方式，能够提供放电开始时间较短且寿命较长的冷阴极电离真空计100。而且，在本实施方式中，极靴105的中央部的厚度比极靴105的外周部的厚度厚。而且，极靴的厚度从极靴的外周部朝向中央部逐渐变化。因此，根据本实施方式，能够提供能在较宽的压力范围内实现稳定的特性的冷阴极电离真空计100。如此，根据本实施方式，能够提供具有良好的特性的冷阴极电离真空计100。

(变形例(其1))

使用图9对本实施方式的变形例(其1)的冷阴极电离真空计100a进行说明。图9是表示本变形例的冷阴极电离真空计100a的剖视图。

对于本变形例的冷阴极电离真空计100a，不仅位于测头容器103的一个端部12侧的极靴105从外周部朝向中央部逐渐变厚，而且位于测头容器103的另一个端部17侧的极靴104a的厚度也从外周部朝向中央部逐渐变厚。极靴104a的靠放电空间4侧的面倾斜。根据本变形例，极靴104a的中央部的厚度比极靴104a的外周部的厚度大，因此，能够使放电空间4的中央部处的磁通密度更加增大。因此，根据本变形例，能够更加促进放电，有助于放电开始时间的缩短等。而且，极靴104a的厚度从外周部朝向中央部逐渐变化，因此，获得稳定的特性。如此，也可以使极靴104a的厚度从外周部朝向中央部逐渐变大。

(变形例(其2))

使用图10对本实施方式的变形例(其2)的冷阴极电离真空计100b进行说明。图10是表示本变形例的冷阴极电离真空计100b的剖视图。

对于本变形例的冷阴极电离真空计100b，无论是位于测头容器103的一个端部12侧的极靴105a、还是位于测头容器103的另一个端部17侧的极靴104b，都以厚度在中央部变大的方式产生台阶。如此，也可以以厚度在中央部变大的方式产生台阶。在本变形例中，也能够使放电空间4的中央部处的磁通密度更加增大，能够促进放电，能够有助于放电开始时间的缩短等。

[第2实施方式]

使用附图对第2实施方式的冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒进行说明。图11是表示本实施方式的冷阴极电离真空计的剖视图。对与图1～图10所示的第1实施方式的冷阴极电离真空计相同的构成要素标注相同的附图标记而省略说明或使说明简洁。

本实施方式的冷阴极电离真空计100c的极靴105b的形状与第1实施方式的情况不同。另外，本实施方式的冷阴极电离真空计100的光源15的配置与第1实施方式的情况不同。在本实施方式的冷阴极电离真空计100c中，未设置板状体20。

如图11所示，在极靴105b的与放电空间4侧相反的一侧形成有光源配置部22a。光源配置部22a是例如在极靴105形成的孔。该孔未贯通极靴105b。在光源配置部22a配置有光源15。在本实施方式中，由于极靴105b，从放电空间4内不会直接看到光源15。光源配置部22a与第1实施方式同样地位于壁部107的附近。因此，光源15位于壁部107的附近。光源15配置于密封部12所面对的空间(第2空间)5。

图12是表示本实施方式的冷阴极电离真空计100c的测头102c的剖视图。图12与图11的III-III线截面相对应。如图12所示，在极靴105b形成有开口28、即缺口。由于形成有开口28，因此，在极靴105b的外周部的至少一部分与壁部107之间存在有间隙27。从光源15发出的光、即电磁波能经由间隙27向放电空间4内导入。从壁部107放射出来的电子也能经由间隙27向放电空间4内导入。

在本实施方式中，位于测头102c的一个端部12侧的极靴105b的与放电空间4侧相反的一侧的面倾斜。因此，在极靴105b的外周部中，极靴105b的与放电空间4侧相反的一侧的面与放电空间4之间的距离变短。因此，根据本实施方式，能够使从光源15发出的电磁波充分地到达壁部107中的接近放电空间4的部位。

使极靴105b的中央部的厚度比极靴105b的外周部的厚度大的做法与第1实施方式同样地能有助于使放电空间4的中央部处的磁通密度增大。因此，在本实施方式中，也能够促进放电，能够实现放电开始时间的缩短等。

如此，也可以在极靴105b的与放电空间4侧相反的一侧配置光源15。在本实施方式中，不会从放电空间4内直接看到光源15，因此，能够抑制在放电空间4中溅射的阴极构成粒子向光源15附着，光源15能够长期放射电磁波。

而且，在本实施方式中，极靴104的靠放电空间4侧的面与极靴105b的靠放电空间4侧的面平行，因此，放电空间4的形状成为上下左右对称。若如此将放电空间4设为简单的形状、即没有凹凸的形状，则难以产生局部的异常放电。因此，根据本实施方式，能够更加抑制测定值的偏差，能够使再现性更加良好。

(变形例(其1))

使用图13对本实施方式的变形例(其1)的冷阴极电离真空计100d进行说明。图13是表示本变形例的冷阴极电离真空计100d的测头102d的剖视图。

对于本变形例的冷阴极电离真空计100d，不仅位于测头容器103的一个端部12侧的极靴105从外周部朝向中央部逐渐变厚，而且位于测头容器103的另一个端部17侧的极靴104c的厚度也从外周部朝向中央部逐渐变厚。极靴104c的与放电空间4侧相反的一侧的面倾斜。根据本变形例，极靴104c的中央部的厚度比极靴104c的外周部的厚度大，因此，能够使放电空间4的中央部处的磁通密度更加增大。因此，根据本变形例，能够进一步促进放电，有助于放电开始时间的缩短等。而且，极靴104c的厚度从外周部朝向中央部逐渐变化，因此，获得稳定的特性。如此，也可以使极靴104c的厚度从外周部朝向中央部逐渐变大。

(变形例(其2))

使用图14对本实施方式的变形例(其2)的冷阴极电离真空计进行说明。图14是与图12不同的实施方式。如图14所示，在极靴105b形成多个有开口28a～28c、即缺口。由于形成有开口28a～28c，因此，在极靴105b与壁部107之间存在有间隙27a～27c。从光源15发出的电磁波能经由间隙27a～27c向放电空间4内导入。从壁部107放射出来的电子也能经由间隙27a～27c向放电空间4内导入。根据本变形例，在大范围内存在有间隙27a～27c，因此，能将从光源15发出的电磁波、因光电效应而产生的电子更高效地向放电空间4内导入。因而，根据本实施方式，能够实现放电开始时间等的进一步的缩短等。

[变形实施方式]

并不限于上述实施方式，能够进行各种变形。

例如，在第2实施方式中，也可以是，不使极靴104c、105b的面倾斜，而是通过形成台阶，使极靴104c、105b的中央部的厚度比外周部的厚度大。

附图标记说明

1、阴极；2、阳极；4、放电空间；15、光源；100、冷阴极电离真空计；102、测头；103、测头容器；104、105、极靴；106、测头用盒；107、壁部。

Claims (17)

1.一种冷阴极电离真空计，其特征在于，

该冷阴极电离真空计具有：

阳极；

筒状的阴极，其以包围所述阳极的方式配置；

密封部，其密封所述阴极的一侧的开口；

第1构件，其在所述阴极的内部与所述密封部相对，设置有贯通孔；

分隔部，其将由所述阴极、所述密封部以及所述第1构件围成的空间分隔成所述第1构件所面对的第1空间和所述密封部所面对的第2空间；以及

光源，其配置于所述分隔部或所述第2空间，并且，发出电磁波，

在所述分隔部的外周部的至少一部分与所述阴极之间形成有间隙。

2.根据权利要求1所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，

所述分隔部包括第2构件和配置到所述第2构件的靠所述第1空间的一侧的第3构件，

所述光源的至少一部分配置于所述第2构件的内部。

3.根据权利要求2所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，

所述第2构件的外周部处的所述第2构件与所述第3构件之间的距离比所述第2构件的中心部处的所述第2构件与所述第3构件之间的距离大。

4.根据权利要求2或3所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，

所述间隙形成于所述第3构件的外周部的至少一部分与所述阴极之间。

5.根据权利要求1所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，

所述分隔部由第2构件构成，所述光源的至少一部分配置于所述第2空间。

6.根据权利要求2、3或5所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，

所述第2构件的中心部的厚度比所述第2构件的外周部的厚度厚。

7.根据权利要求6所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，

所述第2构件的厚度从所述第2构件的外周部朝向所述第2构件的中心部连续地变化。

8.根据权利要求1或2所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，

所述光源与所述阴极之间的距离比所述光源与所述阳极之间的距离短。

9.根据权利要求2或3所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，

所述第1构件和所述第2构件是磁性体。

10.根据权利要求2或3所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，

所述第3构件由非磁性体形成。

11.根据权利要求1或2所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，

该冷阴极电离真空计还具备覆盖所述光源的至少一部分的罩。

12.根据权利要求11所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，

在所述罩形成有金属膜。

13.根据权利要求1或2所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，

在所述光源的表面形成有金属膜。

14.一种冷阴极电离真空计用盒，其以能够拆卸的方式配置于冷阴极电离真空计的阴极的内部，该冷阴极电离真空计具备：阳极；筒状的所述阴极，其以包围所述阳极的方式配置；以及密封部，其密封所述阴极的一侧的开口，该冷阴极电离真空计用盒的特征在于，

该冷阴极电离真空计用盒具备：

第1构件，其与所述密封部相对，设置有贯通孔；

分隔部，其将由所述阴极、所述密封部以及所述第1构件围成的空间分隔成所述第1构件所面对的第1空间和所述密封部所面对的第2空间；以及

筒状的连接部，其连结所述第1构件和所述分隔部，

在所述连接部与所述分隔部之间设置有间隙。

15.根据权利要求14所述的冷阴极电离真空计用盒，其特征在于，

该冷阴极电离真空计用盒还具备配置到所述分隔部的光源罩。

16.一种冷阴极电离真空计，其特征在于，

该冷阴极电离真空计具备：

阳极；

筒状的阴极，其以包围所述阳极的方式配置；

圆盘状的第1磁性构件，其位于所述阴极的内部，具有供所述阳极贯穿的贯通孔；以及

圆盘状的第2磁性构件，其以与所述第1磁性构件相对的方式配置于所述阴极的内部，

所述第1磁性构件和所述第2磁性构件中的至少一者的中心部的厚度比外周部的厚度厚。

17.一种冷阴极电离真空计用盒，其以能够拆卸的方式配置于冷阴极电离真空计的阴极的内部，该冷阴极电离真空计具有阳极和以包围所述阳极的方式配置的筒状的所述阴极，该冷阴极电离真空计用盒的特征在于，

该冷阴极电离真空计用盒具备：

圆盘状的第1磁性构件，其位于所述阴极的内部，具有供所述阳极贯穿的贯通孔；以及

圆盘状的第2磁性构件，其以与所述第1磁性构件相对的方式配置于所述阴极的内部，

所述第1磁性构件和所述第2磁性构件中的至少一者的中心部的厚度比外周部的厚度厚。

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